專利名稱：用于激光加工連續(xù)移動(dòng)的薄片材料的方法和系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明大體涉及激光加工。明確地說，本發(fā)明涉及用于加工連續(xù)移動(dòng)或展 開的薄片材料的激光加工系統(tǒng)和方法。
背景技術(shù)：
光可用于在單層或多層工件中形成(例如)孔和/或盲通路。半導(dǎo)體晶片加工 可包含各種類型的激光微機(jī)械加工，包含(例如)劃線、切割、鉆孔、移除半 導(dǎo)體連結(jié)(熔絲)、熱退火，和/或修整鈍性的厚或薄膜組件。
激光可用于加工例如塑料或光學(xué)膜等的材料薄片。可將大塑料或光學(xué)薄片 切割成較小片以用于諸如在(例如)蜂窩式電話、汽車導(dǎo)^t系統(tǒng)、個(gè)人數(shù)字助
理(PDA)、膝上型計(jì)算機(jī)、電視和其它電子裝置等中使用的平板顯示器中。
通常，使用機(jī)械沖孔機(jī)來切割塑料或膜材料的薄片。沖孔機(jī)較快，但與模具的 頻繁更換和維護(hù)相關(guān)聯(lián)的許多停工時(shí)間減少了有效處理量。此外，使用激光切 割較大材料薄片一直限于高速率下的直線切割。
發(fā)明內(nèi)容
本文揭示的實(shí)施例提供用于激光加工移動(dòng)的薄片材料的系統(tǒng)和方法。在一
個(gè)實(shí)施例中， 一種用于加工移動(dòng)的薄片材料的系統(tǒng)包含 一個(gè)或一個(gè)以上激光 加工頭，其經(jīng)配置以用一個(gè)或一個(gè)以上激光束照明所述移動(dòng)的薄片材料；以及 真空夾盤，其經(jīng)配置以將所述移動(dòng)的薄片材料的第 一部分可移除地固定到其 處。所述真空夾盤進(jìn)一步經(jīng)配置以控制當(dāng)所述第一部分被所述一個(gè)或一個(gè)以上 激光束加工時(shí)所述移動(dòng)的薄片材料的速率。
在另 一實(shí)施例中， 一種用激光束加工薄片材料的方法包含將薄片材料從第 一輥移動(dòng)到第二輥，以及在薄片材料的第 一部分從第 一輥移動(dòng)到第二輥時(shí)將夾盤可移除地固定到薄片材料的第一部分。所述方法進(jìn)一步包含以預(yù)定速率移動(dòng) 夾盤，以及在薄片材料的第 一部分固定到移動(dòng)夾盤時(shí)用激光束照明薄片材料的 第一部分。
在另 一 實(shí)施例中， 一種激光加工系統(tǒng)包含用于用激光束照明薄片材料的構(gòu) 件、用于在用激光束照明薄片材料的部分時(shí)固持所述部分的構(gòu)件、用于在用激 光束照明薄片材料的第 一部分時(shí)和薄片材料的第二部分時(shí)以恒定速率移動(dòng)所
述用于固持的構(gòu)件的構(gòu)件，以及用于穿過激光加工區(qū)域饋送薄片材料而不在第 一部分與第二部分的照明之間停止的構(gòu)件。
從參看附圖進(jìn)行的以下對(duì)優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)描述中將了解額外方面和優(yōu)點(diǎn)。
圖1A、 1B和1C說明用于加工膜的常規(guī)系統(tǒng)。
圖2、 3、 4和5是根據(jù)某些實(shí)施例用于加工薄片材料的系統(tǒng)的框圖。 圖6A和6B是根據(jù)另一實(shí)施例用于加工薄片材料的系統(tǒng)的框圖。
具體實(shí)施例方式
激光可用于加工大薄片材料，例如塑料或光學(xué)膜。塑料或光學(xué)膜的薄片可 用在(例如)用于蜂窩式電話、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、個(gè)人數(shù)字助理(PDA)、膝上 型計(jì)算機(jī)、電視和其它電子裝置的平板顯示器中。
使用激光系統(tǒng)將一巻薄片材料(例如，膜)切割成用于特定監(jiān)視器大小的 小片稱為轉(zhuǎn)換。在轉(zhuǎn)換工藝中，通常將一巻薄片材料展開并放置在另一材料上 以用于加工。接著收集經(jīng)轉(zhuǎn)換的薄片材料片。當(dāng)所述巻薄片材料是(例如)在 多個(gè)膜層之間包含粘合劑的偏光膜時(shí)，經(jīng)轉(zhuǎn)換片的邊緣往往會(huì)粘附到下方的材 料。在此情況下，通常難以在不減小生產(chǎn)率的情況下拾取經(jīng)轉(zhuǎn)換片。
一般來說，常規(guī)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)基于模切(die cutting)系統(tǒng)，其中使用內(nèi)嵌到 平板中的經(jīng)圖案化刀片來轉(zhuǎn)換膜。在此類系統(tǒng)中，將柔性類似橡膠的材料用于 輥式傳送機(jī)中以收集經(jīng)轉(zhuǎn)換片。
A.以三個(gè)臺(tái)進(jìn)行射束定位現(xiàn)參看圖式，其中相同參考標(biāo)號(hào)表示相同元件。出于清晰起見，參考標(biāo)號(hào) 的第一位指示對(duì)應(yīng)元件被首次使用的圖式編號(hào)。在以下描述內(nèi)容中，提供大量 特定細(xì)節(jié)以便徹底理解本發(fā)明的實(shí)施例。然而，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解， 可在沒有所述特定細(xì)節(jié)的一者或一者以上或者利用其它方法、組件或材料的情 況下實(shí)踐本發(fā)明。此外，在一些情況下，未詳細(xì)展示或描述眾所周知的結(jié)構(gòu)、 材料或操作以免混淆本發(fā)明的各方面。此外，在一個(gè)或一個(gè)以上實(shí)施例中所描 述的特征、結(jié)構(gòu)或特性可以任何適宜的方式組合。
通常通過在機(jī)械沖孔機(jī)或常規(guī)激光加工系統(tǒng)下定位并固定在適當(dāng)位置而 加工例如膜巻或離散膜薄片的某些材料。舉例來說，圖1A、 1B和1C說明用
于加工膜110的常^見系統(tǒng)100。如圖1A所示，膜110首先在運(yùn)動(dòng)臺(tái)113上移 動(dòng)(如箭頭112所指示)到在轉(zhuǎn)換系統(tǒng)114下的加工區(qū)域中，所述轉(zhuǎn)換系統(tǒng) 114包含具有(或不具有)X和Y臺(tái)上的檢流計(jì)的機(jī)械沖孔機(jī)或常規(guī)激光系統(tǒng)。
如圖1B所示，在膜110定位在加工區(qū)域中之后，轉(zhuǎn)換系統(tǒng)114執(zhí)行加工 (如箭頭116所指示)。當(dāng)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)114包含機(jī)械沖孔機(jī)或常規(guī)激光系統(tǒng)時(shí)， 載運(yùn)膜110的運(yùn)動(dòng)臺(tái)113必須在加工(例如，切割)進(jìn)行時(shí)停止。當(dāng)需要或要 求以某一精確性在膜110上方定位切割刀片或激光束時(shí)，轉(zhuǎn)換系統(tǒng)114可能需 要在轉(zhuǎn)換系統(tǒng)114加工膜110之前執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)工藝。如圖1C所示，在加工之后， 運(yùn)動(dòng)臺(tái)113將經(jīng)轉(zhuǎn)換膜110移出加工區(qū)域(如箭頭118所指示)。
因此，用于轉(zhuǎn)換的總時(shí)間包含在加工膜110之前將膜110移動(dòng)到適當(dāng)位置 所需的時(shí)間，以及加工膜110所需的時(shí)間。由于在加工進(jìn)行之前將膜IIO移動(dòng) 并設(shè)置在某一位置所需的時(shí)間以及對(duì)準(zhǔn)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)114 (如果必需的話)所需的 時(shí)間，使處理量急劇減少。因此，本文的揭示內(nèi)容允許消除或減少非工藝時(shí)間 以改進(jìn)總處理量。此外，揭示內(nèi)容可減小可能由用浮動(dòng)輥(位于加工區(qū)域之前 和之后的重物)將膜平坦地保持在加工區(qū)域上的 一般分步重復(fù)工藝引起的光學(xué) 膜的機(jī)械和光學(xué)應(yīng)力。此外，在某些實(shí)施例中，激光加工期間材料的連續(xù)流動(dòng) 引起材料中的光學(xué)各向異性，其可為有利的。舉例來說，在偏光膜的情況下， 所引起的各向異性實(shí)質(zhì)上改進(jìn)圖像質(zhì)量。
圖2、 3、 4和5是根據(jù)某些實(shí)施例用于加工薄片材料210的系統(tǒng)200的框 圖。系統(tǒng)200包含一激光器212、多個(gè)真空夾盤24 (展示十二個(gè))，和一平移臺(tái)或傳送機(jī)216,所述平移臺(tái)或傳送機(jī)216經(jīng)配置以移動(dòng)真空夾盤24穿過激 光器212的加工區(qū)域。在一個(gè)實(shí)施例中，系統(tǒng)200還包含X和Y臺(tái)(未圖示) 以相對(duì)于薄片材料210移動(dòng)激光束212。舉例來i兌，X和Y臺(tái)可包含臺(tái)架系統(tǒng)。 另外，或在另一實(shí)施例中，系統(tǒng)200可包含檢流計(jì)(未圖示)，其經(jīng)配置以將 來自激光器212的激光束與薄片材料210進(jìn)一步對(duì)準(zhǔn)。
如上文所論述，薄片材料210可包含(例如)塑料或光學(xué)膜。在一個(gè)實(shí)施 例中，薄片材料210具有約lmm與約2mm之間的厚度。然而，本文揭示的 實(shí)施例不限于此厚度范圍。事實(shí)上，系統(tǒng)200可經(jīng)配置以加工具有實(shí)質(zhì)上小于 1 mm且實(shí)質(zhì)上大于2 mm的厚度的材料。在某些實(shí)施例中，系統(tǒng)200在薄片 材料210從第一輥轉(zhuǎn)移到第二輥時(shí)加工薄片材料210。在其它實(shí)施例中，系統(tǒng) 200加工材料210的離散片或薄片。
不管薄片材料210包含離散片還是從第一輥轉(zhuǎn)移到第二輥，真空夾盤214 均經(jīng)配置以在傳送機(jī)216在恒定速率下移動(dòng)真空夾盤214和薄片材料210 (如 箭頭218所指示)時(shí)牢牢地固持薄片材料210。當(dāng)傳送機(jī)216和真空夾盤214 移動(dòng)薄片材料210時(shí)，激光器212將激光束(如箭頭220所指示)從傳送機(jī) 216上方的X和Y臺(tái)上的檢流計(jì)區(qū)塊投送到薄片材料210。
通過檢流計(jì)、X和Y臺(tái)以及傳送機(jī)216來協(xié)調(diào)激光束定位。因此，總加 工時(shí)間包含射束投送時(shí)間，而沒有重復(fù)對(duì)準(zhǔn)所需的額外時(shí)間或在激光器212 下將材料重復(fù)地移入和移出加工區(qū)域所需的時(shí)間。
技術(shù)人員從本文的揭示內(nèi)容將了解，并非在每個(gè)實(shí)施例中均需要檢流計(jì)和 /或X和Y臺(tái)。舉例來說，在一個(gè)實(shí)施例中，系統(tǒng)200包含用于移動(dòng)待加工的 薄片材料210的傳送機(jī)216，以及移動(dòng)入射到工作表面的激光束的X和Y臺(tái) 的臺(tái)架。而且，本文揭示的系統(tǒng)可支持額外臺(tái)，例如針對(duì)Z方向以調(diào)節(jié)射束 聚焦或經(jīng)準(zhǔn)直射束大小的臺(tái)。
根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，復(fù)合型射束定位器提供緩慢和快速移動(dòng)以便在不停止射 束移動(dòng)的情況下加工薄片材料210。在一個(gè)實(shí)施例中，整個(gè)移動(dòng)可由三個(gè)或三 個(gè)以上不同移動(dòng)組成，即緩慢、中速和快速移動(dòng)。然而，基本算法可保持與常 規(guī)復(fù)合型射束定位器的基本算法相同。臺(tái)架速率可維持恒定或可被監(jiān)視以用于 調(diào)節(jié)射束定位。待加工材料的大致對(duì)準(zhǔn)可在在激光器212下移動(dòng)材料之前在真空夾盤214 上進(jìn)行。舉例來說，圖3和4說明位于沿傳送機(jī)216的點(diǎn)附近的位置傳感器 310(展示兩個(gè))，在所述點(diǎn)處真空夾盤214與薄片材料210對(duì)準(zhǔn)。在其它實(shí)施 例中，傳感器310可安裝在每一真空夾盤214上或夾盤214周圍。傳感器310 可為(例如)電荷耦合裝置(CCD)或用以感測(cè)薄片材料210相對(duì)于真空夾盤 214的位置的任何其它傳感器。此類傳感器310可在X和/或Y方向上平行地 定位。
在一些實(shí)施例中，從薄片材料210分離出具有預(yù)定大小的小片。在此類實(shí) 施例中，如圖4所示，可通過關(guān)閉真空或通過稍許施加正空氣壓力以將所分離 片410從夾盤214排開到附近的接納托盤412來從真空夾盤214回收所分離片 410。在排開所分離片410之后，真空夾盤214可由傳送機(jī)216載運(yùn)到一位置， 在所述位置將真空打開以與未經(jīng)加工的薄片材料210的另一部分對(duì)準(zhǔn)。在另一 實(shí)施例中，如果工藝不涉及排開所分離片410,那么真空夾盤214可來回移動(dòng) (例如，不圍繞傳送機(jī)216循環(huán))，或可按照水平與垂直移動(dòng)的組合移動(dòng)，以 使真空夾盤214返回到將真空打開的原始對(duì)準(zhǔn)位置。
為了改進(jìn)處理量，還可考慮雙頭或多頭系統(tǒng)。在此類實(shí)施例中，兩個(gè)頭在 垂直于材料流的Y方向上的移動(dòng)可成鏡像的，以減少可影響相對(duì)于薄片材料 210的平穩(wěn)射束移動(dòng)的任何振動(dòng)。
一個(gè)實(shí)例雙頭系統(tǒng)500展示于圖5中。在此實(shí)例實(shí)施例中，兩個(gè)激光路徑 每一者包含CW激光器510和配置為亞微秒激光功率控制器/快門的AOM 512。 AOM 512還配置為用于CW激光器510的脈沖發(fā)生器。在另 一實(shí)施例中，AOM 512可配置為用于脈沖激光的脈沖拾取器。AOM 512還可經(jīng)配置以調(diào)節(jié)脈沖能 量和重復(fù)率，使得加工不僅可在恒定速率周期期間發(fā)生，而且可在加速和減速 周期期間發(fā)生。
每一激光路徑可包含光學(xué)器件，例如第一鏡514,用于將激光束從AOM 512穿過第一透鏡516、孔518和第二透鏡519而導(dǎo)向第二鏡520，所述第二 鏡520經(jīng)配置以將激光束導(dǎo)向射束分裂器522或射束收集器524，此取決于 AOM 512所選擇的偏轉(zhuǎn)角。在一個(gè)實(shí)施例中，射束分裂器522將激光束的一 部分導(dǎo)向經(jīng)配置以對(duì)AOM 512提供激光功率控制的功率監(jiān)視器523。每一射束分裂器522還將激光束的一部分導(dǎo)向位于X、 Y臺(tái)(臺(tái)架)528上的相應(yīng)加 工頭526。每一加工頭526將其相應(yīng)激光束導(dǎo)向在額外臺(tái)工作表面530上對(duì)準(zhǔn) 的薄片材料210。
B.無級(jí)(index free)膜轉(zhuǎn)換系統(tǒng)
圖6A和6B是根據(jù)另一實(shí)施例用于加工薄片材料的系統(tǒng)600的框圖。此 實(shí)施例提供一種在薄片材料210由一個(gè)或一個(gè)以上激光加工頭614(展示兩個(gè)) 加工時(shí)將薄片材料210從第 一輥610準(zhǔn)確地饋送到第二輥612的方法。技術(shù)人 員從本文的揭示內(nèi)容將了解，兩個(gè)或兩個(gè)以上加工頭614可在平行于薄片材料 210的流動(dòng)方向616 (如圖6A和6B中所示)的方向上和/或在垂直于薄片材 料210的流動(dòng)方向616的方向上對(duì)準(zhǔn)。
系統(tǒng)600通過在薄片材料210從第一輥610行進(jìn)到第二輥612時(shí)利用X 和Y線性臺(tái)的運(yùn)動(dòng)、真空夾盤618以及X和Y檢流計(jì)協(xié)調(diào)薄片材料210的運(yùn) 動(dòng)來提供無級(jí)膜轉(zhuǎn)換。在一些實(shí)施例中，系統(tǒng)600還利用Z臺(tái)協(xié)調(diào)薄片材料 210的運(yùn)動(dòng)。
系統(tǒng)600還無縫地提供對(duì)薄片材料210的經(jīng)轉(zhuǎn)換片的回收。系統(tǒng)600包含 載體620，其經(jīng)配置以接納薄片材料210的經(jīng)轉(zhuǎn)換片，且將經(jīng)轉(zhuǎn)換片傳送到其 可被拾取(例如，由用戶或機(jī)器人裝置)的位置以用于進(jìn)一步加工(如圖6A 中箭頭622所指示)。在一個(gè)實(shí)施例中，載體620包含定位在薄片材料210與 真空夾盤618之間的金屬薄片。技術(shù)人員從本文的揭示內(nèi)容將了解，在其它實(shí) 施例中，載體620可包含非金屬材料，例如塑料。在一個(gè)實(shí)施例中，載體620 形成傳送帶，其當(dāng)激光束關(guān)閉或被阻擋時(shí)(圖6A)在薄片材料210與真空夾 盤618之間行進(jìn)。
在一個(gè)實(shí)施例中，薄片材料210在轉(zhuǎn)換工藝期間從第 一輥610連續(xù)移動(dòng)到 第二輥612。為了加工薄片材料210,系統(tǒng)600將加工頭614和真空夾盤618 定位在各別初始位置。如圖6B所示，真空夾盤628打開真空(如箭頭624所 指示)以抵靠真空夾盤618將薄片材料210和載體620的金屬薄片臨時(shí)固定在 適當(dāng)位置。金屬薄片經(jīng)適當(dāng)穿孔以便允許真空夾盤618抵靠栽體620的金屬薄 片吸取薄片材料210。下伏臺(tái)接著移動(dòng)真空夾盤618以便以已知速率并在已知 位置處饋送薄片材料210,使得利用X和Y線性臺(tái)以及加工頭614的X和Y檢流計(jì)，可能實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的運(yùn)動(dòng)協(xié)調(diào)。
在真空夾盤618移動(dòng)薄片材料210時(shí)，加工頭614打開(或解除阻擋)其 各別激光束以轉(zhuǎn)換薄片材料210片。在針對(duì)一組轉(zhuǎn)換圖案完成轉(zhuǎn)換工藝之后， 激光束關(guān)閉(或被阻擋)。真空夾盤618接著關(guān)閉真空使得薄片材料210和載 體620的金屬薄片與真空夾盤618分開。在一個(gè)實(shí)施例中，為了實(shí)現(xiàn)薄片材料 210的平穩(wěn)脫離，真空夾盤618可穿過載體620的金屬薄片中的孔吹氣。分開 之后，第一輥610和/或第二輥612繼續(xù)饋送薄片材料210，且經(jīng)轉(zhuǎn)換片保持在 栽體620上。載體620接著將薄片材料210的經(jīng)轉(zhuǎn)換片傳送到拾取位置(見圖 6A中的箭頭622)。
在從第 一輥610饋送到第二輥612的薄片材料210的第 一部分完成轉(zhuǎn)換之 后，真空夾盤618、 X和Y臺(tái)以及X和Y^f全流計(jì)移回到其各別初始位置以與 薄片材料210的額外部分再對(duì)準(zhǔn)。
當(dāng)薄片材料210被轉(zhuǎn)換時(shí)，薄片層之間使用的碎屑或粘合劑可不利地粘附 到載體620的金屬薄片的表面。隨著系統(tǒng)600繼續(xù)將薄片材料210的不同部分 和載體620固定到真空夾盤618,碎屑和粘合劑可在薄片材料210的不同部分 之間轉(zhuǎn)移。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，為了避免此污染轉(zhuǎn)移，載體620的金屬薄片在與 薄片材料210的每一部分對(duì)準(zhǔn)之前進(jìn)行清潔。
在某些實(shí)施例中，第一輥610和/或第二輥612不提供對(duì)薄片材料210的 準(zhǔn)確速率控制。事實(shí)上，具有下伏線性臺(tái)的真空夾盤620提供轉(zhuǎn)換期間速率和 位置的準(zhǔn)確參考。然而，為了避免由輥610、 612提供的速率與由真空夾盤620 提供的速率的不良的較大差異，系統(tǒng)600可包含速率控制器和反饋傳感器以控 制相對(duì)速率。因此，薄片材料210的每一部分可與真空夾盤618快速對(duì)準(zhǔn)。速 率控制還允許在材料的整個(gè)連續(xù)薄片或巻的整個(gè)轉(zhuǎn)換工藝期間以實(shí)質(zhì)上恒定 速率將薄片材料210從第一輥610饋送到第二輥612。
在一些實(shí)施例中，真空夾盤618提供載體620的金屬薄片的唯一移動(dòng)。在 其它實(shí)施例中，載體620的金屬薄片當(dāng)不固定到真空夾盤618時(shí)由其它輥(展 示四個(gè))驅(qū)動(dòng)。在某些此類實(shí)施例中，系統(tǒng)600包含適當(dāng)速率控制和反饋以減 小載體620的金屬薄片的速率與真空夾盤618的速率之間的差異。
所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，可在不脫離本發(fā)明的基本原理的情況下對(duì)上述實(shí)施例的細(xì)節(jié)作出許多變化。因此，本發(fā)明的范圍應(yīng)僅由所附權(quán)利要求書確 定。
權(quán)利要求
1.一種用于加工移動(dòng)的薄片材料的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括一個(gè)或一個(gè)以上激光加工頭，其經(jīng)配置以用一個(gè)或一個(gè)以上激光束照明所述移動(dòng)的薄片材料；以及真空夾盤，其經(jīng)配置以將所述移動(dòng)的薄片材料的第一部分可移除地固定到其處，所述真空夾盤進(jìn)一步經(jīng)配置以當(dāng)所述第一部分被所述一個(gè)或一個(gè)以上激光束加工時(shí)控制所述移動(dòng)的薄片材料的速率。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中， 一旦激光加工開始，所述薄片材料 就從第 一輥連續(xù)移動(dòng)到第二輥。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中當(dāng)所述第一部分未固定到所述真空夾 盤時(shí)，所述第 一輥和所述第二輥中的至少一者控制所述移動(dòng)的薄片材料的所述 速率。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述真空夾盤進(jìn)一步經(jīng)配置以在所述 移動(dòng)的薄片材料的所迷第一部分被所述一個(gè)或一個(gè)以上激光束加工之后釋放所述移動(dòng)的薄片材料的所述第 一部分，并將所述移動(dòng)的薄片材料的第二部分可 移除地固定到其處以由所述一個(gè)或一個(gè)以上激光束加工。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括附接到所述真空夾盤的傳送 機(jī)，所述傳送機(jī)經(jīng)配置以控制所述真空夾盤的速率。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述傳送機(jī)包括一個(gè)或一個(gè)以上額外真空夾盤，所述額外真空夾盤經(jīng)配置以在用所述一個(gè)或一個(gè)以上激光束加工所述移動(dòng)的薄片材料的一個(gè)或一個(gè)以上第二部分期間固定到所述一個(gè)或一個(gè)以 上第二部分。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上激光束經(jīng)配置以 從所述第一部分和所述一個(gè)或一個(gè)以上第二部分分離片，且其中所述真空夾盤 和所述額外真空夾盤中的至少一者進(jìn)一步經(jīng)配置以將所述經(jīng)分離片傳送到接 納托盤。
8. 根椐權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括定位在所述移動(dòng)的薄片材料 與所述真空夾盤之間的載體，所述真空夾盤經(jīng)配置以將所述載體與所述移動(dòng)的薄片材料的所述第一部分一起可移除地固定到其處，所述載體經(jīng)配置以在所述 薄片材料由所述一個(gè)或一個(gè)以上激光束加工之后接納并傳送所述薄片材料的 經(jīng)分離片。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中所述真空夾盤進(jìn)一步經(jīng)配置以將正空 氣壓力施加到所述薄片材料的所述經(jīng)分離片以便將其從所述載體排出到接納 托盤。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中所述載體包括經(jīng)穿孔金屬薄片。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中所述金屬薄片經(jīng)配置為用于傳送 所述經(jīng)分離片的傳送帶。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括運(yùn)動(dòng)臺(tái)，所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)經(jīng)配 置以相對(duì)于所述移動(dòng)的薄片材料移動(dòng)所述一個(gè)或一個(gè)以上激光加工頭。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括一個(gè)或一個(gè)以上位置傳感 器，所述位置傳感器經(jīng)配置以提供用于使所述真空夾盤與所述移動(dòng)的薄片材料 的所述第一部分對(duì)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)。
14. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述薄片材料包括光學(xué)膜。
15. —種用激光束加工薄片材料的方法，所述方法包括 將所述薄片材料從第 一輥移動(dòng)到第二輥；在所述薄片材料的第一部分從所述第一輥移動(dòng)到所述第二輥時(shí)將夾盤可 移除地固定到所述薄片材料的所述第 一部分； 以預(yù)定速率移動(dòng)所述夾盤；以及在所述薄片材料的所述第一部分固定到所述移動(dòng)夾盤時(shí)用所述激光束照 明所述薄片材料的所述第 一部分。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其進(jìn)一步包括在所述薄片材料的所述第一部分被所述激光束加工之后從所述夾盤釋放 所述薄片材料的所述第一部分；以及在不停止將所述薄片材料從所述第一輥移動(dòng)到所述第二輥的情況下將所 述夾盤可移除地固定到所述薄片材料的第二部分。
17. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其進(jìn)一步包括使用附接到所述夾盤的 傳送機(jī)來以預(yù)定速率移動(dòng)所述夾盤。
18. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其進(jìn)一步包括 使用所迷傳送^I4多動(dòng)附接到其處的一個(gè)或一個(gè)以上額外夾盤；以及 在所述薄片材料從所述第 一輥移動(dòng)到所述第二輥時(shí)將所述兩個(gè)或兩個(gè)以上額外夾盤可移除地固定到所述薄片材料的兩個(gè)或兩個(gè)以上第二部分以用于 激光加工。
19. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其進(jìn)一步包括將所述夾盤上的所述薄 片材料的經(jīng)分離片傳送到接納托盤。
20. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其進(jìn)一步包括將載體可移除地固定在所述夾盤與所述薄片材料的所述可移除地固定的 第一部分之間；在所述第一部分由所述激光束加工之后，使所述載體和所述薄片材料的所 述第一部分與所述夾盤脫離；以及在所述載體上傳送所述薄片材料的經(jīng)分離片。
21. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其進(jìn)一步包括相對(duì)于所述移動(dòng)的薄片 材料移動(dòng)激光加工頭。
22. —種激光加工系統(tǒng)，其包括用于用激光束照明薄片材料的構(gòu)件；用于在用所述激光束照明所述薄片材料的部分時(shí)固持所述部分的構(gòu)件； 用于在用所述激光束照明所述薄片材料的第 一部分時(shí)和所述薄片材料的 第二部分時(shí)以恒定速率移動(dòng)所述用于固持的構(gòu)件；以及用于穿過激光加工區(qū)域饋送所述薄片材料而不在所述第一部分與所述第 二部分的所述照明之間停止的構(gòu)件。
23. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的激光加工系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括用于在所述第 一部分和所述第二部分已由所述激光束照明之后傳送所述薄片材料的經(jīng)分離 片的構(gòu)件。
24. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的激光加工系統(tǒng)，其中所述用于固持的構(gòu)件經(jīng) 配置以固持所述用于傳送薄片材料的構(gòu)件。
全文摘要
用于激光加工連續(xù)移動(dòng)的薄片材料的系統(tǒng)和方法包含一個(gè)或一個(gè)以上激光加工頭，其經(jīng)配置以用一個(gè)或一個(gè)以上激光束照明所述移動(dòng)的薄片材料。所述薄片材料例如可包含在激光工藝期間從第一輥連續(xù)移動(dòng)到第二輥的光學(xué)膜。在一個(gè)實(shí)施例中，真空夾盤經(jīng)配置以將所述移動(dòng)的薄片材料的第一部分可移除地固定到其處。所述真空夾盤控制當(dāng)所述第一部分被所述一個(gè)或一個(gè)以上激光束加工時(shí)所述移動(dòng)的薄片材料的速率。在一個(gè)實(shí)施例中，傳送機(jī)包含多個(gè)真空夾盤，其經(jīng)配置以在激光加工期間接連固定到所述薄片材料的不同部分。
文檔編號(hào)G02F1/1335GK101617264SQ200780050399
公開日2009年12月30日 申請(qǐng)日期2007年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月26日
發(fā)明者大迫康, 馬克·寇摩斯基, 馬克·昂瑞斯 申請(qǐng)人:伊雷克托科學(xué)工業(yè)股份有限公司