專利名稱：徑向裝卸的光學(xué)鍍膜比較片切換裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種光學(xué)儀器，特別是涉及一種監(jiān)控鍍膜鏡面反射的光學(xué)測量裝置。
背景技術(shù)：
早期光學(xué)薄膜的膜層結(jié)構(gòu)為規(guī)整膜系，各層的光學(xué)厚度均相同或為整數(shù)倍，可以在一個比較片上用一個監(jiān)控波長對整個膜系進(jìn)行監(jiān)控。近年來隨著膜系設(shè)計軟件的發(fā)展，逐漸發(fā)展了非規(guī)整的膜系以獲得優(yōu)化的光譜曲線，要在一個或幾個比較片上完成整個膜系的控制，是無法實現(xiàn)的，須在十幾個或幾十個比較片上進(jìn)行切換才能完成。這就要求監(jiān)控系統(tǒng)的比較片上能夠容納和切換更多的監(jiān)控點。現(xiàn)代的鍍膜機(jī)上都裝備了比較片切換裝置，比較片切換裝置位于鍍膜機(jī)真空室中央上方?，F(xiàn)有鍍膜機(jī)中的比較片切換裝置全部采用從下方取出、放入比較片或比較片托盤的方式。因為比較片或比較片托盤是繞一個轉(zhuǎn)軸進(jìn)行切換的，所以這種裝卸方式稱為軸向裝卸方式，由于比較片或比較片托盤下面還有比較片擋板，軸向裝卸方式在裝卸比較片或比較片托盤時，必須同時裝卸比較片擋板，非常不方便操作。例如日本光馳公司和新科隆公司的鍍膜機(jī)比較片切換裝置(見圖4)，就是使用了一個帶三個定位孔的環(huán)形平板玻璃做比較片，操作時需要先取掉比較片擋板、取出三個螺母后，才能拿出比較片；放置新的比較片時，要先對準(zhǔn)定位孔、上緊三個螺母后，再安裝上比較片擋板。德國萊寶光學(xué)鍍膜機(jī)的比較片切換裝置采用了12孔比較片托盤，從下方取出放入比較片托盤和比較片擋板，結(jié)構(gòu)與圖4所示相似，只不過環(huán)形的平板玻璃比較片改為帶12個小圓形比較片的環(huán)形托盤?？傊F(xiàn)有鍍膜機(jī)使用的軸向裝卸方式普遍存在比較片更新裝卸操作不便的問題，這給操作人員帶來了一定的困難，由于經(jīng)常需要在高溫下進(jìn)行這一拆裝操作，工作人員存在被燙傷的危險、工效低。
實用新型內(nèi)容為了解決上述問題，本實用新型的目的在于提供一種操作方便的徑向裝卸的光學(xué)鍍膜比較片切換裝置。
本實用新型目的是這樣實現(xiàn)的一種徑向裝卸的光學(xué)鍍膜比較片切換裝置，主要由比較片切換驅(qū)動軸、驅(qū)動連接件、比較片擋板、螺紋支撐桿、真空法蘭、石英晶體探頭、監(jiān)控孔和比較片構(gòu)成，所述的驅(qū)動連接件為圓柱體，上端通過一個定位螺釘固定在比較片切換驅(qū)動軸上，下端側(cè)面的倒L形開口與比較片吊盤組件中的橫桿扣接；所述的比較片吊盤組件的下端有一比較片擋板，擋板的圓心處開有圓形監(jiān)控孔，它位于一個放置比較片吊盤組件的圓形淺槽中，淺槽的圓心是比較片切換驅(qū)動軸的軸心，它的直徑略大于比較片吊盤組件；而比較片擋板的另一側(cè)帶有石英晶體探頭的方孔，比較片擋板通過底部的定位螺栓將其固定在螺紋支撐桿上；所述的螺紋支撐桿的中部通過定位螺栓與自準(zhǔn)直透鏡組件支架連接、頂部有排氣孔并與真空法蘭螺紋相接；所述的自準(zhǔn)直透鏡組件支架上有自準(zhǔn)直透鏡組件，自準(zhǔn)直透鏡組件支架的三個臂組成了一個T型結(jié)構(gòu)，每個臂上各有一個開口，用壓緊螺母固定。調(diào)整三個螺紋支撐桿的高度，可使比較片擋板及比較片托盤的法線方向與自準(zhǔn)直透鏡組件支架上自準(zhǔn)直透鏡的光軸平行。
使用時將比較片放在比較片托盤上，用鉗子夾住比較片吊盤橫桿，從比較片切換裝置的側(cè)面沿著比較片擋板的上表面插入，將比較片吊盤橫桿的中部插入驅(qū)動連接件側(cè)面開的倒L形開口后松開鉗子，使比較片托盤落入比較片擋板上的圓形淺槽中；取出時，只要用鉗子夾住比較片吊盤橫桿向上提起，拉出比較片吊盤組件即可。
由于本實用新型采用了側(cè)面裝卸光學(xué)鍍膜比較片吊盤的工作方式取消了裝卸比較片擋板的操作環(huán)節(jié)，從而使操作人員無須仰頭從下方對準(zhǔn)安裝孔、降低了被燙傷的危險性、減輕了工作強(qiáng)度、減少工作時間，本裝置成本低、結(jié)構(gòu)簡單、操作方便。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明。


圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型的A-A剖視圖；圖3為本實用新型的B-B剖視圖；圖4為日本光馳公司和新科隆公司的鍍膜機(jī)比較片切換裝置示意圖；圖中，1比較片切換驅(qū)動軸、2驅(qū)動連接件、3比較片吊盤組件、4橫桿、5比較片托盤、6橫桿支架、7比較片擋板、8定位螺釘、9自準(zhǔn)直透鏡組件、10自準(zhǔn)直透鏡組件支架、11螺紋支撐桿、12壓緊螺母、13定位螺栓、14、排氣孔、15真空法蘭、16淺槽、17監(jiān)控孔、18方孔、19探頭和20比較片。
具體實施方式
在圖1、2、3中，比較片切換驅(qū)動軸1與監(jiān)控孔17不在同一軸上，見圖3所示。所述的比較片切換驅(qū)動軸1通過驅(qū)動連接件2帶動比較片吊盤組件3驅(qū)動，進(jìn)行監(jiān)控點的切換。所述的圓柱體的驅(qū)動連接件2的上端通過一個定位螺釘8將其固定在比較片切換驅(qū)動軸1上，驅(qū)動連接件2與比較片切換驅(qū)動軸1同軸，驅(qū)動連接件2的下端側(cè)面有一個倒L形開口；所述的比較片吊盤組件3由橫桿4、比較片托盤5和橫桿支架6構(gòu)成，比較片吊盤組件3通過橫桿4扣接在驅(qū)動連接件2的倒L形開口內(nèi)而與驅(qū)動連接件2相接，倒L形開口垂直部分的中心面通過驅(qū)動連接件2的旋轉(zhuǎn)軸而轉(zhuǎn)動。為了提供雙光路系統(tǒng)，在本裝置中安裝了由三個螺紋支撐桿11連接，通過壓緊螺母12固定的自準(zhǔn)直透鏡組件支架10，自準(zhǔn)直透鏡組件支架10呈T型分布的三個臂上均有開口，自準(zhǔn)直透鏡組件支架10的中間裝有自準(zhǔn)直透鏡組件9。頂部有排氣孔14的螺紋支撐桿11與真空法蘭15螺紋相接，下端通過定位螺栓13將比較片擋板7固定。所述的比較片擋板7的圓心處開有圓形監(jiān)控孔17，它在一個位于比較片擋板7的一側(cè)的圓形的淺槽16中，淺槽16的圓心是比較片切換驅(qū)動軸1的軸心，淺槽16上放置比較片托盤5，而比較片擋板7的另一側(cè)有方孔18，方孔18中設(shè)有石英晶體探頭19。比較片吊盤組件3中橫桿4的中心軸到比較片托盤5的上沿距離應(yīng)大于驅(qū)動連接件2側(cè)面開口中心水平面到驅(qū)動連接件2下端面的距離；驅(qū)動連接件2下端面距離到比較片擋板7上表面的距離大于比較片托盤5的厚度，以使比較片托盤5能順利插入到驅(qū)動連接件2下端的倒L形開口內(nèi)。比較片擋板7上的圓形的淺槽16的深度應(yīng)小于驅(qū)動連接件2上倒L形開口垂直部分的高度、大于橫桿4的半徑，以確保橫桿4既能落入倒L形開口垂直部分帶動比較片吊盤組件3轉(zhuǎn)動，又使得比較片托盤5能與比較片擋板7中的圓形淺槽16底面緊密接觸，保證比較片20的準(zhǔn)確定位。更換時，首先將比較片20放進(jìn)比較片吊盤組件3中的比較片托盤5上，用鉗子夾住橫桿4，將比較片托盤5從驅(qū)動連接件2的下側(cè)面沿著比較片擋板7的上表面插入，使得橫桿4插入驅(qū)動連接件2下端的倒L形開口后松開鉗子，使比較片托盤5正好落入比較片擋板7的圓形淺槽16中。取出時，只要用鉗子夾住比較片吊盤組件3中的橫桿4向上提起，拉出比較片吊盤組件3即可。所述的比較片20可以是一個大的圓形平板玻璃，也可是多個小圓形的平板玻璃沿圓周排布。只要使用制成不同形狀的比較片托盤5即可，該裝置既可用于小光斑反射方式對膜厚進(jìn)行監(jiān)控，也可取出自準(zhǔn)直透鏡組件9后用于大光斑透射方式對膜厚進(jìn)行監(jiān)控。
實施例1對原一米鍍膜機(jī)的比較片切換裝置進(jìn)行了改造。本裝置的比較片切換驅(qū)動軸1的直徑為10毫米，它的驅(qū)動連接件2直徑為20毫米，在驅(qū)動連接件2側(cè)下面開有一個倒L形口，寬高的尺寸分別為4.5毫米和5毫米，開口中心距離下端面為10毫米；比較片擋板7在距驅(qū)動連接件2下端面4毫米處，用M3標(biāo)準(zhǔn)螺絲作為定位螺釘8固定驅(qū)動連接件2。比較片托盤7的直徑取100毫米，吊盤組件的橫桿直徑4毫米，比較片吊盤組件3中的橫桿4中心距離到比較片托盤5的上沿距離為10毫米，比較片托盤厚度為3毫米。比較片擋板7直徑150毫米，定位螺栓13為M8標(biāo)準(zhǔn)六角螺栓；比較片擋板7上的圓形淺槽16的直徑取100毫米、深2毫米，圓形監(jiān)控孔17的直徑為5毫米，石英晶體探頭19的安裝方孔18為40×80平方毫米。螺紋支撐桿11上的排氣孔14的直徑為3毫米，壓緊螺母12為M8標(biāo)準(zhǔn)螺紋螺母。自準(zhǔn)直透鏡組件9的直徑為22毫米，自準(zhǔn)直透鏡組件支架10的厚度為15毫米。經(jīng)實際使用，取出比較片20的時間由原來的約2分鐘減小為不到半分鐘；安裝比較片20的時間由原來的約5分鐘減小為不到半分鐘。比較片20的切換平穩(wěn)，切換后光信號變化小于1％。
權(quán)利要求1.一種徑向裝卸的光學(xué)鍍膜比較片切換裝置，主要由比較片切換驅(qū)動軸、驅(qū)動連接件、比較片擋板、螺紋支撐桿、真空法蘭、石英晶體探頭、監(jiān)控孔和比較片構(gòu)成，其特征在于所述的驅(qū)動連接件(2)的上端通過定位螺釘(8)與比較片切換驅(qū)動軸(1)相連，下端有一倒L形開口與比較片吊盤組件(3)中橫桿(4)相扣；所述的比較片擋板(7)的圓心處開有圓型監(jiān)控孔(17)，它位于一個以驅(qū)動軸為圓心的圓型淺槽(16)中，圓型淺槽(16)上放有比較片吊盤組件(3)，所述的比較片擋板(7)的另一側(cè)有方孔(18)，方孔(18)中設(shè)有石英晶體探頭(19)，比較片擋板(7)的底部通過定位螺栓(13)固定在螺紋支撐(11)上，所述的螺紋支撐桿(11)的中部通過定位螺栓(12)與自準(zhǔn)直透鏡組件支架(10)連接，頂部有排氣孔(14)并與真空法蘭(15)螺紋連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的徑向裝卸的光學(xué)鍍膜比較片切換裝置，其特征在于所述的比較片吊盤組件(3)是由橫桿(4)、比較片托盤(5)和橫桿支架(6)組成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的徑向裝卸的光學(xué)鍍膜比較片切換裝置，其特征在于所述的驅(qū)動連接件(2)下端的倒L形開口通過比較片吊盤組件(3)中的橫桿(4)與比較片吊盤組件(3)相連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3所述任意一項的徑向裝卸的光學(xué)鍍膜比較片切換裝置，其特征在于所述的比較片擋板(7)固定在自準(zhǔn)直透鏡組件支架(10)相連的三個螺紋支撐桿(11)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的徑向裝卸的光學(xué)鍍膜比較片切換裝置，其特征在于所述的自準(zhǔn)直透鏡組件支架(10)是由呈T型分布的三個臂構(gòu)成的。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的徑向裝卸的光學(xué)鍍膜比較片切換裝置，其特征在于所述的自準(zhǔn)直透鏡組件支架(10)的三個臂上各有一個開口。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的徑向裝卸的光學(xué)鍍膜比較片切換裝置，其特征在于比較片吊盤組件(3)中橫桿(4)的中心軸到比較片托盤(5)的上沿距離應(yīng)大于驅(qū)動連接件(2)側(cè)面開口中心水平面到驅(qū)動連接件(2)下端面的距離。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的徑向裝卸的光學(xué)鍍膜比較片切換裝置，其特征在于驅(qū)動連接件(2)下端面距離到比較片擋板(7)上表面的距離大于比較片托盤(5)的厚度。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的徑向裝卸的光學(xué)鍍膜比較片切換裝置，其特征在于比較片擋板(7)上的圓形淺槽(16)的深度小于驅(qū)動連接件(2)上倒L形開口垂直部分的高度、大于橫桿(4)的半徑。
專利摘要本實用新型涉及一種監(jiān)控鍍膜鏡面反射率的光學(xué)測量裝置，為了解決軸向裝卸方式中普遍存在的操作不便問題，本實用新型采用了徑向裝卸的光學(xué)鍍膜比較片切換裝置，利用比較片驅(qū)動連接件②的側(cè)開倒L形口，從側(cè)面通過比較片吊盤組件③直接將比較片(20)裝卸，無需裝卸比較片擋板、無需從下方對準(zhǔn)安裝孔，減少了操作環(huán)節(jié)、可自動定位，操作員只需平視操作、減少操作時間、降低了燙傷的危險。本裝置結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、動作可靠、成本低。
文檔編號G02B1/10GK2769903SQ20052000525
公開日2006年4月5日 申請日期2005年3月4日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月4日
發(fā)明者閆宏 申請人:閆宏