技術(shù)編號:2784340
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種光學(xué)儀器,特別是涉及一種監(jiān)控鍍膜鏡面反射的光學(xué)測量裝置。背景技術(shù)早期光學(xué)薄膜的膜層結(jié)構(gòu)為規(guī)整膜系,各層的光學(xué)厚度均相同或?yàn)檎麛?shù)倍,可以在一個(gè)比較片上用一個(gè)監(jiān)控波長對整個(gè)膜系進(jìn)行監(jiān)控。近年來隨著膜系設(shè)計(jì)軟件的發(fā)展,逐漸發(fā)展了非規(guī)整的膜系以獲得優(yōu)化的光譜曲線,要在一個(gè)或幾個(gè)比較片上完成整個(gè)膜系的控制,是無法實(shí)現(xiàn)的,須在十幾個(gè)或幾十個(gè)比較片上進(jìn)行切換才能完成。這就要求監(jiān)控系統(tǒng)的比較片上能夠容納和切換更多的監(jiān)控點(diǎn)?,F(xiàn)代的鍍膜機(jī)上都裝備了比較片切換...
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