專利名稱：陣列測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于測(cè)試玻璃面板的陣列測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
一般來說，平板顯示器(FPD)是比具有布勞恩顯像管(Braim Tube)的傳統(tǒng)電視機(jī)或顯示器薄而且輕的圖像顯示器。液晶顯示器(LCD)、等離子體顯示面板(PDP)、場(chǎng)致發(fā)射顯示器(FED)以及有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)是已開發(fā)并使用的平板顯示器的代表實(shí)例。這種FPD中的IXD是以向排列為矩陣形狀的液晶單元獨(dú)立地提供基于圖像信息的數(shù)據(jù)信號(hào)來控制液晶單元的透光性的方式來顯示預(yù)期圖像的圖像顯示器。IXD薄且輕，而且還具有包括功耗低以及操作電壓低在內(nèi)的許多其它優(yōu)點(diǎn)，因此被廣泛地使用。下面將詳細(xì)描述用在這種LCD中的液晶面板的典型制造方法。首先，在上玻璃面板上形成彩色濾光片和共用電極。之后，在與上玻璃面板相對(duì)的下玻璃面板上形成薄膜晶體管(TFT)和像素電極。隨后將配向?qū)臃謩e涂布至上玻璃面板和下玻璃面板。之后摩擦配向?qū)右员銥殡S后在配向?qū)又g形成的液晶層中的液晶分子提供預(yù)傾角和配向方位。此后，通過將密封膠涂布至玻璃面板中的至少一個(gè)來形成密封膠圖案，以保持玻璃面板間的間隙、防止液晶漏出、以及密封玻璃面板間的間隙。隨后，在玻璃面板之間形成液晶層，從而完成液晶面板。在上述過程中，測(cè)試具有TFT和像素電極的下玻璃面板(下文中稱為“玻璃面板”) 是否有缺陷的操作，是通過例如檢測(cè)柵極線或數(shù)據(jù)線是否斷線或者檢測(cè)像素單元是否顯色不佳來實(shí)現(xiàn)的。典型地，使用具有多個(gè)探針引腳的陣列測(cè)試裝置來測(cè)試玻璃面板。利用陣列測(cè)試裝置來對(duì)玻璃面板進(jìn)行測(cè)試包括將探針引腳置于對(duì)應(yīng)于形成在玻璃面板上的電極的位置、在壓力下將探針引腳與電極接觸、以及然后將電信號(hào)通過探針引腳施加至電極。設(shè)置在玻璃面板上的電極的位置以及電極的布置方式，也就是說，電極的數(shù)量以及各相鄰電極之間的距離，對(duì)于不同種類的玻璃面板而言是不同的。因此，利用單一陣列測(cè)試裝置來測(cè)試多種類型的玻璃面板必須包括將探針組件更換為具有與待測(cè)試玻璃面板的電極的位置和布置方式對(duì)應(yīng)的探針引腳的另一個(gè)探針組件。然而，當(dāng)測(cè)試多種類型的玻璃面板時(shí)，為了測(cè)試目的將探針組件更換為具有與玻璃面板的電極的位置和布置方式對(duì)應(yīng)的探針引腳的另一個(gè)探針組件導(dǎo)致降低處理效率的問題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，針對(duì)以上現(xiàn)有技術(shù)中產(chǎn)生的問題提出本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的是提供一種陣列測(cè)試裝置，其構(gòu)造為包括具有不同布置類型的探針引腳的不同種類的探針棒通過轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒而切換，從而能夠僅僅通過單一陣列測(cè)試裝置來高效地測(cè)試具有不同電極位置、 布置方式和布置方位的不同種類的玻璃面板。
為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明提供一種陣列測(cè)試裝置，包括探針組件，其設(shè)置在探針組件支撐框架上，能夠沿著探針組件支撐框架的縱向移動(dòng)；以及多個(gè)探針棒，其設(shè)置在探針組件上，能夠轉(zhuǎn)動(dòng)，其中在不同探針棒上以不同布置類型設(shè)置有探針引腳。


由以下結(jié)合附圖的詳細(xì)描述，將更加清楚地理解本發(fā)明前述的和其他的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)，其中圖1是示出根據(jù)本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的立體圖；圖2是圖1的陣列測(cè)試裝置的探針組件的立體圖；圖3和4是示出圖2的探針組件的連續(xù)操作的立體圖；圖5和6是示出根據(jù)本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的探針組件的立體圖；以及圖7和8是示出根據(jù)本發(fā)明第三個(gè)實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的探針組件的立體圖。
具體實(shí)施例方式下文將結(jié)合附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的陣列測(cè)試裝置的實(shí)施方式。如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置包括將玻璃面板P加載到其上的加載單元10、測(cè)試由加載單元10加載的玻璃面板P的測(cè)試單元20、以及將已由測(cè)試單元20測(cè)試的玻璃面板P從加載單元10卸載的卸載單元30。測(cè)試單元20測(cè)試玻璃面板P的電缺陷。測(cè)試單元20包括透光支撐板21、測(cè)試模塊22、探針組件23以及控制單元(未示出)。由加載單元10加載的玻璃面板P放置在透光支撐板21上。測(cè)試模塊22測(cè)試放置在透光支撐板21上的玻璃面板P的電缺陷。探針組件23向放置在透光支撐板21上的玻璃面板P的電極E施加電信號(hào)。控制單元控制測(cè)試模塊22和探針組件23。如圖2和3所示，探針組件支撐框架50設(shè)置在透光支撐板21上方并沿著透光支撐板21的縱向(X軸方向)延伸預(yù)定長(zhǎng)度。探針組件23安裝在探針組件支撐框架50上， 能夠沿探針組件支撐框架50的縱向(X軸方向)移動(dòng)。探針組件23包括多個(gè)探針棒70、 升降單元80和轉(zhuǎn)動(dòng)單元90。探針棒70以可轉(zhuǎn)動(dòng)的方式設(shè)置在探針組件23上。探針引腳 60以不同的方式布置在各個(gè)探針棒70上。升降單元80沿Z軸方向移動(dòng)探針棒70。轉(zhuǎn)動(dòng)單元90轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70。探針組件支撐框架50連接于Y軸驅(qū)動(dòng)單元51，從而探針組件支撐框架50能夠由 Y軸驅(qū)動(dòng)單元51沿水平地垂直于探針組件支撐框架50的縱向(X軸方向)的方向(Y軸方向)移動(dòng)。而且，X軸驅(qū)動(dòng)單元52設(shè)置在探針組件支撐框架50和探針組件23之間。X軸驅(qū)動(dòng)單元52沿探針組件支撐框架50的縱向移動(dòng)探針組件23。諸如線性馬達(dá)、滾珠絲杠等的各種線性驅(qū)動(dòng)裝置可以用作Y軸驅(qū)動(dòng)單元51和/或X軸驅(qū)動(dòng)單元52。探針棒70從探針組件23沿水平方向延伸。探針引腳60設(shè)置在每個(gè)探針棒70之下并且沿著探針棒70延伸的方向布置。探針引腳60在探針棒70上的布置方式可以相互不同。例如，探針引腳60的布置方式可以由探針引腳60的數(shù)量或者各相鄰探針引腳60之間的距離確定。在該實(shí)施方式中，探針棒70包括第一探針棒71和第二探針棒72，第一探針棒71具有以第一布置類型布置的探針引腳61，第二探針棒72具有以第二布置類型布置的探針引腳62。第一布置類型可以包括16引腳型布置，其中具有十六個(gè)探針引腳61。第二布置類型可以包括M引腳型布置，其中探針引腳62的數(shù)量是二十四個(gè)。本發(fā)明不限于具有兩個(gè)探針棒70并且探針引腳60以兩種不同布置類型設(shè)置在探針棒上的這種結(jié)構(gòu)。也就是說，本發(fā)明可以通過具有兩個(gè)或更多個(gè)探針棒70并且探針引腳60以不同布置類型設(shè)置在探針棒上的結(jié)構(gòu)來實(shí)施。在該實(shí)施方式中，沿著探針組件支撐框架50的縱向延伸的軸線稱為X軸。水平地垂直于X軸并且沿著玻璃面板P加載到裝置上或者玻璃面板P從裝置卸載的方向延伸的軸線稱為Y軸。豎立地垂直于X軸和Y軸的軸線稱為Z軸?；谶@種假定，第一探針棒71和第二探針棒72可以沿著包含X軸和Y軸的平面延伸預(yù)定長(zhǎng)度并且相互成角度。在該實(shí)施方式中，盡管第一探針棒71和第二探針棒72的縱向之間的角度圖示為90°，但是本發(fā)明不限于這種結(jié)構(gòu)。例如，第一探針棒71和第二探針棒72的縱向之間的角度可以是180°或者其他一些角度。這樣，第一探針棒71和第二探針棒72的縱向之間的角度可以大于或者小于90°。理想地，第一探針棒71和第二探針棒72的縱向之間的角度設(shè)定為當(dāng)?shù)谝惶结槹?1和第二探針棒72中的一個(gè)位于對(duì)應(yīng)于玻璃面板P的電極E的位置時(shí)，第一探針棒71和第二探針棒72中的另一個(gè)位于非玻璃面板P的區(qū)域或者處于玻璃面板P的實(shí)際上對(duì)于產(chǎn)品而言無用的部分的上方。在此情況下，能夠防止不與電極E接觸的探針棒70接觸玻璃面板P的實(shí)際上對(duì)于產(chǎn)品而言有用的部分，從而防止損壞玻璃面板 P。升降單元80設(shè)置在探針組件23上并且連接于探針棒70。例如使用液壓的致動(dòng)器、使用電力的線性馬達(dá)等的各種裝置能夠用作升降單元，只要它能夠沿Z軸方向上下移動(dòng)探針棒70。升降單元80用來向下移動(dòng)探針棒70使得探針引腳60按壓放置在透光支撐板21上的玻璃面板P的相應(yīng)電極E。轉(zhuǎn)動(dòng)單元90可以包括設(shè)置在探針組件23上并且連接于探針棒70的轉(zhuǎn)動(dòng)軸，并且轉(zhuǎn)動(dòng)單元90構(gòu)造為操作員 能夠手動(dòng)地轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70?？蛇x地，轉(zhuǎn)動(dòng)單元90可以包括設(shè)置在探針組件23上并且連接于探針棒70的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)，從而探針棒70能夠由轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)繞Z軸自動(dòng)地轉(zhuǎn)動(dòng)。在此情況下，理想地步進(jìn)馬達(dá)用作轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)以便精確地控制探針棒70的轉(zhuǎn)動(dòng)角度。在本發(fā)明中，能夠通過根據(jù)玻璃面板P的種類(玻璃面板能夠具有以不同布置類型布置的電極E)來轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70而將具有對(duì)應(yīng)于電極的布置類型的探針引腳60容易地對(duì)準(zhǔn)于玻璃面板P的電極E。電極E的布置方式可以由電極E的數(shù)量、各相鄰電極E之間的距離、或者電極E的布置方位來確定。如圖3所示，電極E可以包括以第一布置類型布置在玻璃面板P上的電極El?？蛇x地，如圖4所示，電極E可以包括以第二布置類型布置在玻璃面板P上的電極E2。第一布置類型可以包括16電極型布置，其中電極E的數(shù)量是十六個(gè)。 第二布置類型可以包括對(duì)電極型布置，其中電極E的數(shù)量是二十四個(gè)。就電極E的布置方位而言，盡管在圖3和4中示出具有沿Y軸方向布置的電極E的玻璃面板P，但是根據(jù)本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置能夠應(yīng)用于具有沿X軸方向布置的電極E的玻璃面板P。轉(zhuǎn)動(dòng)單元90用來繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70。例如，如圖3所示，當(dāng)具有對(duì)應(yīng)于第一類型探針引腳61的電極El的玻璃面板P加載到裝置上時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)單元90繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70 5使得第一探針棒71移動(dòng)到對(duì)應(yīng)于電極El的位置。如圖4所示，當(dāng)具有對(duì)應(yīng)于第二類型探針引腳62的電極E2的玻璃面板P加載到裝置上時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)單元90繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70使得第二探針棒72移動(dòng)到對(duì)應(yīng)于電極E2的位置。這樣，在根據(jù)本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置中，能夠通過根據(jù)具有以不同布置類型布置的電極E的玻璃面板P的種類來轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70而將具有與玻璃面板P的電極E的布置方式對(duì)應(yīng)的布置方式的探針引腳60容易地對(duì)準(zhǔn)于電極E。將描述具有上述構(gòu)造的根據(jù)本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的操作。首先，玻璃面板P由加載單元10加載到透光支撐板21上。隨后，探針組件23向玻璃面板P的電極E施加電信號(hào)以利用測(cè)試單元20測(cè)試玻璃面板P的電缺陷。在探針組件23向玻璃面板P的電極E施加電信號(hào)之前，探針組件23可以由探針組件支撐框架50沿Y軸方向移動(dòng)，也可以由X軸驅(qū)動(dòng)單元52沿X軸方向移動(dòng)，其中探針組件支撐框架50由Y軸驅(qū)動(dòng)單元51沿Y軸方向移動(dòng)。通過沿X軸和/或Y軸方向移動(dòng)，探針組件23移動(dòng)到玻璃面板P的形成有電極E的部分。由此，設(shè)置在相應(yīng)的探針棒70上的探針引腳60鄰近玻璃面板P的電極E放置。這里，探針棒70可以由操作員手動(dòng)地或者由轉(zhuǎn)動(dòng)單元90繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)。這樣，在玻璃面板P具有對(duì)應(yīng)于第一類型探針引腳61的第一類型電極El的情況下，第一探針棒71放置在對(duì)應(yīng)于第一類型電極El的位置。在玻璃面板P具有對(duì)應(yīng)于第二類型探針引腳62的第二類型電極E2的情況下，第二探針棒72放置在對(duì)應(yīng)于第二類型電極E2的位置。隨后，通過升降單元80的操作，探針棒70向下移動(dòng)，從而探針棒70的與玻璃面板 P上的電極E對(duì)準(zhǔn)的探針引腳60按壓相應(yīng)的電極E。在此狀態(tài)下，當(dāng)電信號(hào)通過探針棒70 的已與玻璃面板P的相應(yīng)電極E接觸的探針引腳60施加到電極E時(shí)，測(cè)試單元20的測(cè)試模塊22操作以測(cè)試玻璃面板P的電缺陷。如上所述，在根據(jù)本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置中，具有以不同布置類型設(shè)置的探針引腳60的探針棒70以可轉(zhuǎn)動(dòng)的方式安裝在探針組件23上。這樣，能夠通過轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70而將設(shè)置有具有與電極E的布置方式對(duì)應(yīng)的布置方式的探針引腳60的探針棒70容易地對(duì)準(zhǔn)于電極E。因此，即使具有不同布置類型的電極E-例如電極E的數(shù)量、各相鄰電極E之間的距離或者電極E的方位不同一的不同種類的玻璃面板P加載到單一陣列測(cè)試裝置上，與需要更換探針組件23的現(xiàn)有技術(shù)不同，本發(fā)明的陣列測(cè)試裝置能夠高效地測(cè)試玻璃面板P而無須用另一探針組件來更換探針組件23。下文將結(jié)合圖5和6詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置。在第二個(gè)實(shí)施方式的描述中，將使用相同的附圖標(biāo)記來表示與第一個(gè)實(shí)施方式中相同的那些構(gòu)件，并略去它們的進(jìn)一步說明。參見圖5和6，根據(jù)第二個(gè)實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置構(gòu)造為包括具有第一布置類型的探針引腳61的第一探針棒71以及包括具有第二布置類型的探針引腳62的第二探針棒72沿相同方向定位。詳細(xì)而言，如圖5和6所示，各具有矩形形狀的探針棒70可以相互集成在一起。在此情況下，探針棒70構(gòu)造為具有不同布置類型的探針引腳60沿不同的方向突出。當(dāng)然，本發(fā)明不限于這種構(gòu)造。例如，探針棒70可以獨(dú)立設(shè)置并且沿Z軸方向隔開預(yù)定距離。而且，本發(fā)明不限于包括具有以兩種布置類型布置的探針引腳60的兩個(gè)探針棒70，而是可以包括具有以不同布置類型布置的探針引腳60的兩個(gè)或更多個(gè)探針棒70。
在該實(shí)施方式中，轉(zhuǎn)動(dòng)單元90包括第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91和第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92，第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91繞探針棒70延伸所沿的軸線(圖5中的Y軸或者圖6中的X軸)轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70， 第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70。
第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91可以包括連接于探針棒70的轉(zhuǎn)動(dòng)軸，并且可以構(gòu)造為操作員能夠手動(dòng)地轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70?？蛇x地，第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91可以包括設(shè)置在探針組件23上并且連接于探針棒70的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá),從而探針棒70能夠由轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)自動(dòng)地轉(zhuǎn)動(dòng)。在此情況下,理想地步進(jìn)馬達(dá)用作轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)以便精確地控制探針棒70的轉(zhuǎn)動(dòng)角度。第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91用來繞探針棒70延伸所沿的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70。例如，當(dāng)具有對(duì)應(yīng)于第一類型探針引腳61的電極El的玻璃面板P加載到裝置上時(shí),第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91繞探針棒70延伸所沿的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70，使得第一探針棒71面向電極El。當(dāng)具有對(duì)應(yīng)于第二類型探針引腳62的電極E2 的玻璃面板P加載到裝置上時(shí)，第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91繞探針棒70延伸所沿的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒 70,使得第二探針棒72面向電極E2。
第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92可以包括安裝在探針組件23上并連接于探針棒70的轉(zhuǎn)動(dòng)軸，并且第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92可以構(gòu)造為操作員能夠手動(dòng)地繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70?？蛇x地，第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92可以包括設(shè)置在探針組件23和第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91之間的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)，從而探針棒70 能夠由轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)自動(dòng)地繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)。在此情況下，理想地步進(jìn)馬達(dá)用作轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)以便精確地控制探針棒70繞Z軸的轉(zhuǎn)動(dòng)角度。第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92用來繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70。例如， 如圖5所示，當(dāng)電極E沿Y軸方向布置在玻璃面板P上時(shí)，第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70，使得探針引腳60與相應(yīng)的電極E對(duì)準(zhǔn)。如圖6所示，當(dāng)電極E沿X軸方向布置在玻璃面板P上時(shí)，第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70，使得探針引腳60與沿X軸方向布置的相應(yīng)電極E對(duì)準(zhǔn)。而且，提供第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92用來應(yīng)對(duì)具有以不同方位布置的電極E 的玻璃面板P。如果電極E在玻璃面板P上的布置方位總是不變的，則轉(zhuǎn)動(dòng)單元90可以僅僅包括第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91而不包括第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92。
在根據(jù)本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置中，能夠僅僅通過轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70 而將探針引腳60容易地對(duì)準(zhǔn)于相應(yīng)電極E，即使具有不同布置類型的電極E-即相鄰電極 E之間的距離或者電極E的數(shù)量不同一的不同種類的玻璃面板P加載到陣列測(cè)試裝置上。
而且，即使電極E的位置和方位不同，也能夠僅僅通過轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70而將探針引腳60容易地對(duì)準(zhǔn)于相應(yīng)電極E。
下文將結(jié)合圖7和8詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明第三個(gè)實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置。在第三個(gè)實(shí)施方式的描述中，將使用相同的附圖標(biāo)記來表不與第一個(gè)或第二個(gè)實(shí)施方式中相同的那些構(gòu)件，并略去它們的進(jìn)一步說明。
在根據(jù)本發(fā)明第三個(gè)實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置中，如圖7所示，假定沿探針組件支撐框架50的縱向延伸的軸線稱為X軸，水平地垂直于X軸并且沿著玻璃面板P加載到裝置上或者玻璃面板P從裝置卸載的方向延伸的軸線稱為Y軸，以及豎立地垂直于X軸和Y軸的軸線稱為Z軸。基于這種假定，第一探針棒71和第二探針棒72可以在包含X軸和Z軸的平面上延伸預(yù)定長(zhǎng)度并且相互成角度。而且，轉(zhuǎn)動(dòng)單元90可以包括第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91，其繞Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70。
可選地，如圖8所示，當(dāng)假定沿探針組件支撐框架50的縱向延伸的軸線稱為X軸、 水平地垂直于X軸并且沿著玻璃面板P加載到裝置上或者玻璃面板P從裝置卸載的方向延伸的軸線稱為Y軸、以及豎立地垂直于X軸和Y軸的軸線稱為Z軸時(shí)，第一探針棒71和第二探針棒72可以沿著包含Y軸和Z軸的平面延伸預(yù)定長(zhǎng)度并且相互成角度。而且，轉(zhuǎn)動(dòng)單元90可以包括第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91，其繞X軸轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70。
在該實(shí)施方式中，第一探針棒71和第二探針棒72的縱向之間的角度可以是90°， 并且本發(fā)明不限于這種結(jié)構(gòu)。例如，第一探針棒71和第二探針棒72的縱向之間的角度可以大于或者小于90°。另外，本發(fā)明不限于包括具有以不同布置類型布置的探針引腳60的兩種探針棒70的結(jié)構(gòu)。也就是說，本發(fā)明可以通過包括具有以兩種或更多種布置類型設(shè)置的探針引腳60的兩個(gè)或更多個(gè)探針棒70的結(jié)構(gòu)來實(shí)施。
第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91可以包括連接于探針棒70的轉(zhuǎn)動(dòng)軸，并且可以構(gòu)造為操作員能夠手動(dòng)地轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70?？蛇x地，第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91可以包括設(shè)置在探針組件23上并且連接于探針棒70的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá),從而探針棒70能夠由轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)自動(dòng)地轉(zhuǎn)動(dòng)
第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91用來轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70。例如，當(dāng)具有對(duì)應(yīng)于第一類型探針引腳61 的電極El的玻璃面板P加載到裝置上時(shí)，第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70，使得第一探針棒 71位于對(duì)應(yīng)于電極El的位置。當(dāng)具有對(duì)應(yīng)于第二類型探針引腳62的電極E2的玻璃面板 P加載到裝置上時(shí)，第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70,使得第二探針棒72移動(dòng)到對(duì)應(yīng)于電極 E2的位置。
而且，按照與第二實(shí)施方式相同的方式，轉(zhuǎn)動(dòng)單元90可以進(jìn)一步包括繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70的第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92。第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92可以包括安裝在探針組件23上并連接于探針棒70的轉(zhuǎn)動(dòng)軸,并且第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92可以構(gòu)造為操作員能夠手動(dòng)地繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70?？蛇x地，第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92可以包括設(shè)置在探針組件23和第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91之間的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)，從而探針棒70能夠由轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)自動(dòng)地繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)。第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92用來繞Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70。因此，即使具有不同布置方位的電極E的不同種類的玻璃面板P加載到裝置上，探針引腳60也能夠精確地對(duì)準(zhǔn)電極E。這樣，提供第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92用來應(yīng)對(duì)具有不同布置方位的電極E的玻璃面板P。如果電極E在玻璃面板P上的布置方位總是不變的，則轉(zhuǎn)動(dòng)單元90可以僅僅包括第一轉(zhuǎn)動(dòng)單元91而不包括第二轉(zhuǎn)動(dòng)單元92。
在根據(jù)本發(fā)明第三個(gè)實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置中，能夠僅僅通過轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70 而將探針引腳60容易地對(duì)準(zhǔn)于相應(yīng)電極E，即使具有不同布置類型的電極E-即各相鄰電極E之間的距離或者電極E的數(shù)量不同一的不同種類的玻璃面板P加載到陣列測(cè)試裝置上。而且，即使電極E的位置和方位不同，也能夠僅僅通過轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒70而將探針引腳60 容易地對(duì)準(zhǔn)于相應(yīng)電極E。
在本發(fā)明實(shí)施方式中描述的技術(shù)實(shí)質(zhì)可獨(dú)立實(shí)施或彼此結(jié)合。而且，根據(jù)本發(fā)明的探針組件不僅可以用在用于將電信號(hào)施加到玻璃面板的電極的裝置中，而且可以用在用于將電信號(hào)施加到各種基板的電極的裝置中，以測(cè)試它們的缺陷。
如上所述，在根據(jù)本發(fā)明的陣列測(cè)試裝置中，當(dāng)由單一陣列測(cè)試裝置測(cè)試具有不同布置類型的電極E的不同種類的玻璃面板時(shí)，與需要用另一探針組件來更換探針組件的現(xiàn)有技術(shù)不同，僅僅通過轉(zhuǎn)動(dòng)探針棒就能夠?qū)⑻结樢_容易地對(duì)準(zhǔn)于相應(yīng)的電極。因此，能夠提高生產(chǎn)過程的效率。
權(quán)利要求
1.一種陣列測(cè)試裝置，包括探針組件，所述探針組件設(shè)置在探針組件支撐框架上，能夠沿著所述探針組件支撐框架的縱向移動(dòng)；以及多個(gè)探針棒，所述多個(gè)探針棒設(shè)置在所述探針組件上，能夠轉(zhuǎn)動(dòng)，其中在不同探針棒上以不同布置類型設(shè)置有探針引腳。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，其中，當(dāng)沿著所述探針組件支撐框架的縱向延伸的軸線稱為X軸、水平地垂直于所述X軸的軸線稱為Y軸、以及豎立地垂直于所述X軸和Y軸的軸線稱為Z軸時(shí)，所述探針棒沿著包含所述X軸和Y軸的平面延伸預(yù)定長(zhǎng)度，所述探針棒相互成角度，以及所述探針棒能夠繞所述Z軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，其中，當(dāng)沿著所述探針組件支撐框架的縱向延伸的軸線稱為X軸、水平地垂直于所述X軸的軸線稱為Y軸、以及豎立地垂直于所述X軸和Y軸的軸線稱為Z軸時(shí)，所述探針棒沿著相同的方向延伸預(yù)定長(zhǎng)度，以及所述探針棒能夠繞所述探針棒延伸所沿的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述探針棒相互集成在一起。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，其中，當(dāng)沿著所述探針組件支撐框架的縱向延伸的軸線稱為X軸、水平地垂直于所述X軸的軸線稱為Y軸、以及豎立地垂直于所述X軸和Y軸的軸線稱為Z軸時(shí)，所述探針棒沿著包含所述X軸和Z軸的平面延伸預(yù)定長(zhǎng)度，所述探針棒相互成角度，以及所述探針棒能夠繞所述Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，其中，當(dāng)沿著所述探針組件支撐框架的縱向延伸的軸線稱為X軸、水平地垂直于所述X軸的軸線稱為Y軸、以及豎立地垂直于所述X軸和Y軸的軸線稱為Z軸時(shí)，所述探針棒沿著包含所述Y軸和Z軸的平面延伸預(yù)定長(zhǎng)度，所述探針棒相互成角度，以及所述探針棒能夠繞所述X軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求3至6中任一項(xiàng)所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述探針棒能夠繞所述Z 軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
全文摘要
本文公開一種陣列測(cè)試裝置，其包括多個(gè)探針棒，在所述多個(gè)探針棒上以不同布置類型設(shè)置有探針引腳。探針棒通過轉(zhuǎn)動(dòng)而切換。因此，本發(fā)明的陣列測(cè)試裝置能夠高效地測(cè)試具有不同電極位置和布置方式的不同種類的玻璃面板。
文檔編號(hào)G09G3/00GK102539850SQ201110036160
公開日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年2月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月20日
發(fā)明者崔珍榮, 樸廷喜, 李在*, 潘俊浩 申請(qǐng)人:塔工程有限公司