技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供安裝基板制造系統(tǒng)及其下支撐構(gòu)件的設(shè)置方法。具備下支撐構(gòu)件、搬運(yùn)部、下支撐構(gòu)件設(shè)置部、基板處理部、具有第一和第二接受位置的搬入側(cè)分配部、基板供給部、下支撐構(gòu)件供給部。搬入側(cè)分配部將供給至第二接受位置的下支撐構(gòu)件交接于搬運(yùn)部。搬運(yùn)部在從搬入側(cè)分配部交接后向作業(yè)位置搬運(yùn)下支撐構(gòu)件。下支撐構(gòu)件設(shè)置部將搬運(yùn)至作業(yè)位置的下支撐構(gòu)件固定于下支撐構(gòu)件設(shè)置部。搬入側(cè)分配部將供給至第一接受位置的基板交接于搬運(yùn)部。搬運(yùn)部將從搬入側(cè)分配部交接的基板搬運(yùn)至作業(yè)位置。下支撐構(gòu)件支承搬運(yùn)至作業(yè)位置的基板的下表面。處理部以下支撐構(gòu)件固定于下支撐構(gòu)件設(shè)置部且下支撐構(gòu)件支承基板的下表面的狀態(tài)對(duì)基板的上表面實(shí)施規(guī)定處理。

技術(shù)研發(fā)人員：萬谷正幸;坂上隆昭
受保護(hù)的技術(shù)使用者：松下知識(shí)產(chǎn)權(quán)經(jīng)營株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.15
技術(shù)公布日：2017.08.25