本發(fā)明涉及對(duì)基板實(shí)施絲網(wǎng)印刷、部件的裝配等規(guī)定的處理的安裝基板制造系統(tǒng)以及該安裝基板制造系統(tǒng)中的下支撐構(gòu)件的設(shè)置方法。

背景技術(shù)：

以往，在對(duì)基板進(jìn)行絲網(wǎng)印刷、部件的裝配等規(guī)定的處理的安裝基板制造系統(tǒng)中，以穩(wěn)定地進(jìn)行對(duì)基板的處理為目的，對(duì)成為處理對(duì)象的基板的下表面進(jìn)行支承。在該基板的支承中使用的下支撐構(gòu)件根據(jù)基板的尺寸、下表面的狀態(tài)(例如，已經(jīng)安裝于基板的下表面的部件的配置狀態(tài))等而形狀、大小等不同，在切換要生產(chǎn)的基板的種類時(shí)，根據(jù)成為處理對(duì)象的基板而需要進(jìn)行替換下支撐構(gòu)件的換批調(diào)整作業(yè)。替換該下支撐構(gòu)件的換批調(diào)整作業(yè)絕大多數(shù)是手工作業(yè)，牽涉到作業(yè)工時(shí)的增大。因此，已知有如下的方法：在預(yù)先準(zhǔn)備了與基板的種類相應(yīng)的多個(gè)下支撐構(gòu)件之后，根據(jù)成為處理對(duì)象的基板而自動(dòng)地更換這些下支撐構(gòu)件。例如，日本專利第3499759號(hào)公報(bào)公開有如下內(nèi)容：將能夠保持下支撐構(gòu)件的載體供給至搬運(yùn)部?jī)?nèi)，通過該供給的載體而進(jìn)行下支撐構(gòu)件的供給和回收。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

安裝基板制造系統(tǒng)具備：下支撐構(gòu)件；對(duì)基板和所述下支撐構(gòu)件進(jìn)行搬運(yùn)的搬運(yùn)部；設(shè)于所述搬運(yùn)部的下方且能夠相對(duì)于所述下支撐構(gòu)件拆裝的下支撐構(gòu)件設(shè)置部；對(duì)所述基板的上表面實(shí)施規(guī)定的處理的基板處理部；具有相互不同的第一接受位置和第二接受位置的搬入側(cè)分配部；向所述第一接受位置供給所述基板的基板供給部；以及向所述第二接受位置供給所述下支撐構(gòu)件的下支撐構(gòu)件供給部。所述搬入側(cè)分配部將供給至所述第二接受位置的所述下支撐構(gòu)件交接于所述搬運(yùn)部。所述搬運(yùn)部在從所述搬入側(cè)分配部交接之后將所述下支撐構(gòu)件搬運(yùn)至作業(yè)位置。所述下支撐構(gòu)件設(shè)置部將搬運(yùn)至所述作業(yè)位置的所述下支撐構(gòu)件固定于所述下支撐構(gòu)件設(shè)置部。所述搬入側(cè)分配部將供給至所述第一接受位置的所述基板交接于所述搬運(yùn)部。所述搬運(yùn)部將從所述搬入側(cè)分配部交接來的所述基板搬運(yùn)至所述作業(yè)位置。所述下支撐構(gòu)件對(duì)搬運(yùn)至所述作業(yè)位置的所述基板的下表面進(jìn)行支承。所述處理部在所述下支撐構(gòu)件固定于所述下支撐構(gòu)件設(shè)置部且所述下支撐構(gòu)件支承所述基板的所述下表面的狀態(tài)下，對(duì)所述基板的所述上表面實(shí)施所述規(guī)定的處理。

該安裝基板制造系統(tǒng)能夠不妨礙基板的供給而設(shè)置下支撐構(gòu)件。

附圖說明

圖1是示出實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)的概要結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖2是實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)具備的絲網(wǎng)印刷裝置的側(cè)視圖。

圖3是實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)具備的絲網(wǎng)印刷裝置的下支撐構(gòu)件的附近的側(cè)剖視圖。

圖4是一并示出實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)具備的絲網(wǎng)印刷裝置的下支撐構(gòu)件和下支撐構(gòu)件設(shè)置部的側(cè)剖視圖。

圖5是示出實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)具備的絲網(wǎng)印刷裝置的動(dòng)作系統(tǒng)的框圖。

圖6a～圖6c是通過實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷作業(yè)時(shí)的動(dòng)作說明圖。

圖7a和圖7b是通過實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷作業(yè)時(shí)的動(dòng)作說明圖。

圖8是通過實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷作業(yè)時(shí)的動(dòng)作說明圖。

圖9a～圖9c是通過實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)進(jìn)行絲網(wǎng)印刷作業(yè)時(shí)的動(dòng)作說明圖。

圖10a和圖10b是一并示出實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)具備的絲網(wǎng)印刷裝置的下支撐構(gòu)件和載體的立體圖。

圖11a～圖11c是通過實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)進(jìn)行下支撐構(gòu)件的設(shè)置作業(yè)時(shí)的動(dòng)作說明圖。

圖12a～圖12c是通過實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)進(jìn)行下支撐構(gòu)件的設(shè)置作業(yè)時(shí)的動(dòng)作說明圖。

圖13a～圖13c是通過實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)進(jìn)行下支撐構(gòu)件的設(shè)置作業(yè)時(shí)的動(dòng)作說明圖。

圖14a和圖14b是一并示出實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)具備的絲網(wǎng)印刷裝置的下支撐構(gòu)件和載體的立體圖。

圖15a～圖15c是通過實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)進(jìn)行下支撐構(gòu)件的回收作業(yè)時(shí)的動(dòng)作說明圖。

圖16a～圖16c是通過實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)進(jìn)行下支撐構(gòu)件的回收作業(yè)時(shí)的動(dòng)作說明圖。

圖17a～圖17c是通過實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)進(jìn)行下支撐構(gòu)件的回收作業(yè)時(shí)的動(dòng)作說明圖。

具體實(shí)施方式

在日本專利第3499759號(hào)公報(bào)所記載的裝置中，載體按照與基板完全相同的路徑被輸送至搬運(yùn)部，因此為了將自動(dòng)設(shè)置的下支撐構(gòu)件供給至搬運(yùn)部?jī)?nèi)而進(jìn)行自動(dòng)設(shè)置，需要使基板供給部對(duì)基板的供給暫時(shí)地停止。因此，對(duì)基板的處理作業(yè)中斷，可能導(dǎo)致基板的生產(chǎn)性降低。

以下，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1示出實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)1。安裝基板制造系統(tǒng)1對(duì)基板2實(shí)施絲網(wǎng)印刷處理和部件的裝配處理而制造安裝基板，且具備基板供給部11、搬入側(cè)中繼輸送機(jī)12、絲網(wǎng)印刷裝置13、搬出側(cè)中繼輸送機(jī)14、部件安裝裝置15、下支撐構(gòu)件供給部16以及下支撐構(gòu)件回收部17?；?的流動(dòng)是從作業(yè)者op觀察到的左方朝向右方的方向，并將該方向設(shè)為x軸方向。另外，將從作業(yè)者op觀察到的前后方向設(shè)為y軸方向、將上下方向設(shè)為z軸方向。

基板供給部11設(shè)于安裝基板制造系統(tǒng)1的最上游工序側(cè)，并連續(xù)地供給基板2。搬入側(cè)中繼輸送機(jī)12設(shè)于基板供給部11的下游工序側(cè)，將基板供給部11供給的基板2搬運(yùn)至下游工序側(cè)的絲網(wǎng)印刷裝置13。

如圖1所示，絲網(wǎng)印刷裝置13在基臺(tái)21上具備搬入側(cè)分配部22、印刷執(zhí)行部23、搬出側(cè)分配部24。印刷執(zhí)行部23設(shè)于基臺(tái)21的中央部，搬入側(cè)分配部22設(shè)于基臺(tái)21上的印刷執(zhí)行部23的左側(cè)的區(qū)域(印刷執(zhí)行部23的上游工序側(cè))。另外，搬出側(cè)分配部24設(shè)于基臺(tái)21上的印刷執(zhí)行部23的右側(cè)的區(qū)域(印刷執(zhí)行部23的下游工序側(cè))。

在圖1中，搬入側(cè)分配部22在沿y軸方向排列設(shè)定的多個(gè)接受位置中任一處位置接受從上游工序側(cè)供給來的搬運(yùn)對(duì)象物，并將該接受的搬運(yùn)對(duì)象物交接于印刷執(zhí)行部23的(詳細(xì)而言為后述的搬運(yùn)部44的)左端側(cè)的搬運(yùn)部入口。在本實(shí)施方式中，搬入側(cè)分配部22接受搬運(yùn)對(duì)象物的接受位置為，靠近作業(yè)者op側(cè)的接受位置p1(圖1中由虛線表示)、和遠(yuǎn)離作業(yè)者op側(cè)的接受位置p2(圖1中由虛線表示)這兩處位置，接受位置p1與搬運(yùn)部入口一致。

基板供給部11經(jīng)由搬入側(cè)中繼輸送機(jī)12而向接受位置p1供給基板2。因此，搬入側(cè)分配部22在接受位置p1處接受到搬運(yùn)對(duì)象物(在此為基板2)的情況下，使該基板2直接位于搬運(yùn)部入口。即，在本實(shí)施方式中，基板供給部11向搬入側(cè)分配部22具備的多個(gè)接受位置中的接受位置p1供給作為搬運(yùn)對(duì)象物的基板2。

在圖2中，印刷執(zhí)行部23具備在基臺(tái)21上設(shè)置的基板保持單元31、掩模32以及刮板頭33?；灞３謫卧?1具備：在基臺(tái)21上設(shè)置的xyz旋轉(zhuǎn)臺(tái)41；借助xyz旋轉(zhuǎn)臺(tái)41而能夠進(jìn)行水平面內(nèi)的移動(dòng)、升降移動(dòng)以及繞z軸的旋轉(zhuǎn)的基座部42；在基座部42具有的一對(duì)搬運(yùn)部支承壁43上安裝的搬運(yùn)部44以及一對(duì)夾緊構(gòu)件45；在搬運(yùn)部44的下方設(shè)置的下支撐構(gòu)件設(shè)置部46；裝卸自如地設(shè)置在下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的上表面上的下支撐構(gòu)件47；以及使下支撐構(gòu)件設(shè)置部46(即下支撐構(gòu)件47)相對(duì)于基座部42升降的升降機(jī)構(gòu)48(下支撐構(gòu)件設(shè)置部升降機(jī)構(gòu))。掩模32以及刮板頭33構(gòu)成對(duì)下表面被下支撐構(gòu)件47支承的基板2的上表面實(shí)施規(guī)定的處理的基板處理部。

在圖2中，搬運(yùn)部44具有在y軸方向上對(duì)置設(shè)置的一對(duì)輸送機(jī)44a。一對(duì)夾緊構(gòu)件45被夾緊構(gòu)件驅(qū)動(dòng)部45m驅(qū)動(dòng)而以相互接近或分離的方式進(jìn)行工作。搬運(yùn)部44通過搬入側(cè)分配部22接受位于搬運(yùn)部入口(接受位置p1)的搬運(yùn)對(duì)象物而進(jìn)行搬運(yùn)，并進(jìn)行該搬運(yùn)對(duì)象物向規(guī)定的作業(yè)位置pw的定位和搬出。

如圖2以及圖3所示，掩模32在基板保持單元31的上方被保持為水平姿態(tài)。掩模32由例如金屬制的平板狀構(gòu)件構(gòu)成，在其中央部設(shè)有與在基板2的上表面上形成的多個(gè)電極(未圖示)分別對(duì)應(yīng)的圖案開口(未圖示)。刮板頭33構(gòu)成為，在被頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33m驅(qū)動(dòng)而在掩模32的上方沿y軸方向移動(dòng)的刮板基座33b上，具備在y軸方向上對(duì)置設(shè)置的兩個(gè)刮板33k、以及使各刮板33k相對(duì)于刮板基座33b升降的兩個(gè)工作缸33s。

如圖3以及圖4所示，下支撐構(gòu)件47是具有內(nèi)部空間47s的中空的箱狀構(gòu)件，且由磁性體材料構(gòu)成。下支撐構(gòu)件47是對(duì)由搬運(yùn)部44定位于作業(yè)位置pw的作為搬運(yùn)對(duì)象物的基板2的下表面進(jìn)行支承的構(gòu)件，在本實(shí)施方式中，成為在支承由搬運(yùn)部44定位于作業(yè)位置pw的基板2的下表面的同時(shí)進(jìn)行吸附的結(jié)構(gòu)。

下支撐構(gòu)件47的頂板51的上表面是與基板2的下表面接觸的面，且具備向上方開口的多個(gè)吸附孔51a。下支撐構(gòu)件47的底板52的下表面是與下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的上表面接觸的面，且具備向下方開口的多個(gè)配管連接孔52a。

在圖3以及圖4中，在下支撐構(gòu)件47的底板52上設(shè)有以向下表面?zhèn)嚷冻龅姆绞铰袢氲亩鄠€(gè)磁鐵(磁鐵47m)。另一方面，下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的包括其至少上表面在內(nèi)的恒定的區(qū)域由磁性體材料構(gòu)成。因此，在下支撐構(gòu)件47與下支撐構(gòu)件設(shè)置部46之間作用有相互吸引的磁力，在下支撐構(gòu)件47設(shè)置于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46時(shí)，下支撐構(gòu)件47借助磁力而固定于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46。

如圖4所示，在下支撐構(gòu)件47的下表面上設(shè)有向下方突出的凸部47a，在下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的上表面上設(shè)有能夠與凸部47a嵌合的形狀的凹部46a。凸部47a和凹部46a分別在x軸方向(圖4的與紙面垂直的方向)上排列設(shè)置有多個(gè)，通過下支撐構(gòu)件47的多個(gè)凸部47a與下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的多個(gè)凹部46a嵌合，由此下支撐構(gòu)件47在相對(duì)于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46準(zhǔn)確地定位的狀態(tài)下設(shè)置于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46。

凸部47a優(yōu)選為圓錐臺(tái)狀，這樣一來，在將下支撐構(gòu)件47從上方設(shè)置于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46時(shí)，即便各凸部47a的中心軸與對(duì)應(yīng)的凹部46a的中心軸稍微偏離，也能夠?qū)⑾轮螛?gòu)件47設(shè)置于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46上的準(zhǔn)確的位置。需要說明的是，在此，在下支撐構(gòu)件47的下表面上設(shè)有凸部47a，在下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的上表面上設(shè)有凹部46a，但也可以在下支撐構(gòu)件47的下表面上設(shè)有凹部，在下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的上表面上設(shè)有凸部。即，在設(shè)于下支撐構(gòu)件47和下支撐構(gòu)件設(shè)置部46中的任一方的凸部與設(shè)于下支撐構(gòu)件47和下支撐構(gòu)件設(shè)置部46中的任意另一方的凹部嵌合的狀態(tài)下，將下支撐構(gòu)件47設(shè)置于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46即可。

在圖3以及圖4中，在下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的內(nèi)部形成有吸附用配管56，在下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的上表面形成有吸附用配管56的出口開口56a。在下支撐構(gòu)件47設(shè)置于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46時(shí)，吸附用配管56的出口開口56a與在下支撐構(gòu)件47的底板52上設(shè)置的配管連接孔52a一致，下支撐構(gòu)件47的內(nèi)部空間47s與吸附用配管56被連接(圖4)。

在圖3中，吸附用配管56通過在下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的外部延伸的外部配管56g而與真空源vp相連，在外部配管56g夾裝有控制閥57。在基板2與下支撐構(gòu)件47接觸的狀態(tài)下使真空源vp通過外部配管56g以及吸附用配管56而吸出空氣時(shí)，利用吸附孔51a所產(chǎn)生的吸附力將基板2吸附于下支撐構(gòu)件47。通過驅(qū)動(dòng)控制閥57來調(diào)節(jié)吸附孔51a所產(chǎn)生的吸附力的大小而能夠調(diào)節(jié)基板2的保持力，此外，還通過驅(qū)動(dòng)控制閥57將吸附用配管56向大氣開放而能夠解除下支撐構(gòu)件47對(duì)基板2的吸附。

在圖1中，搬運(yùn)部44在搬出搬運(yùn)對(duì)象物時(shí)從右端側(cè)的搬運(yùn)部出口搬出搬運(yùn)對(duì)象物，搬出側(cè)分配部24以將從搬運(yùn)部44搬出的搬運(yùn)對(duì)象物移動(dòng)至搬運(yùn)部出口的狀態(tài)接受搬運(yùn)對(duì)象物。然后，搬出側(cè)分配部24從在y軸方向上排列設(shè)定的多個(gè)搬出位置中的任一處位置，將從搬運(yùn)部44接受到的搬運(yùn)對(duì)象物向外部搬出。在本實(shí)施方式中，搬出位置為靠近作業(yè)者op側(cè)的搬出位置p3(圖1中由虛線表示)、和遠(yuǎn)離作業(yè)者op側(cè)的搬出位置p4(圖1中由虛線表示)這兩處位置，搬出位置p3也與搬運(yùn)部出口對(duì)應(yīng)。因此，搬出側(cè)分配部24在搬運(yùn)部出口處接受搬運(yùn)對(duì)象物時(shí)，使該搬運(yùn)對(duì)象物直接位于搬出位置p3。

在上述結(jié)構(gòu)的絲網(wǎng)印刷裝置13中，由絲網(wǎng)印刷裝置13具備的控制裝置60進(jìn)行搬入側(cè)分配部22的工作控制、搬運(yùn)部44的工作控制、夾緊構(gòu)件驅(qū)動(dòng)部45m的工作控制、xyz旋轉(zhuǎn)臺(tái)41對(duì)基座部42的移動(dòng)控制、升降機(jī)構(gòu)48對(duì)基座部42的升降工作控制、工作缸33s對(duì)刮板33k的升降工作控制、頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33m對(duì)刮板頭33的移動(dòng)控制以及搬出側(cè)分配部24的工作控制(圖5)。另外，控制裝置60也進(jìn)行控制閥57的驅(qū)動(dòng)控制(也參照?qǐng)D3)。

在圖1中，搬出側(cè)中繼輸送機(jī)14設(shè)于絲網(wǎng)印刷裝置13的下游工序側(cè)。搬出側(cè)中繼輸送機(jī)14接受絲網(wǎng)印刷裝置13的搬出側(cè)分配部24從搬出位置p3向外部搬出的搬運(yùn)對(duì)象物而向下游工序側(cè)的部件安裝裝置15搬出。

在圖1中，部件安裝裝置15通過基板搬運(yùn)路61對(duì)從搬出側(cè)中繼輸送機(jī)14輸送來的基板2進(jìn)行搬運(yùn)，將該基板2定位于作業(yè)位置pw，并利用位于基板搬運(yùn)路61的下方的基板支承單元62來支承基板2。然后，利用裝配頭63，向在絲網(wǎng)印刷裝置13中實(shí)施了絲網(wǎng)印刷的基板2的電極上裝配部件(未圖示)。

在圖1中，下支撐構(gòu)件供給部16在絲網(wǎng)印刷裝置13的上游工序側(cè)沿y軸方向與搬入側(cè)中繼輸送機(jī)12排列設(shè)置。下支撐構(gòu)件供給部16將在絲網(wǎng)印刷裝置13的下支撐構(gòu)件設(shè)置部46上要設(shè)置的下支撐構(gòu)件47作為搬運(yùn)對(duì)象物而進(jìn)行供給。在本實(shí)施方式中，下支撐構(gòu)件供給部16將作為搬運(yùn)對(duì)象物的下支撐構(gòu)件47向絲網(wǎng)印刷裝置13具備的接受位置p2供給。然后，搬入側(cè)分配部22在接受位置p2處接受到下支撐構(gòu)件47之后，移動(dòng)至搬運(yùn)部入口，將該下支撐構(gòu)件47交接于搬運(yùn)部44。這樣，在本實(shí)施方式中，下支撐構(gòu)件供給部16向搬入側(cè)分配部22具備的多個(gè)接受位置中的與接受位置p1不同的接受位置p2供給作為搬運(yùn)對(duì)象物的下支撐構(gòu)件47。

在圖1中，下支撐構(gòu)件回收部17在絲網(wǎng)印刷裝置13的下游工序側(cè)沿y軸方向與搬出側(cè)中繼輸送機(jī)14排列設(shè)置。下支撐構(gòu)件回收部17接受并回收在絲網(wǎng)印刷裝置13的下支撐構(gòu)件設(shè)置部46上設(shè)置的下支撐構(gòu)件47。在本實(shí)施方式中，絲網(wǎng)印刷裝置13的搬出側(cè)分配部24在從搬運(yùn)部44搬出的搬運(yùn)對(duì)象物為下支撐構(gòu)件47的情況下，將該下支撐構(gòu)件47從搬出位置p4向下游工序側(cè)搬出，下支撐構(gòu)件回收部17設(shè)于接受從搬出位置p4搬出的下支撐構(gòu)件47的位置。下支撐構(gòu)件回收部17回收并收容從搬出側(cè)分配部24接受到的下支撐構(gòu)件47。

接下來，對(duì)安裝基板制造系統(tǒng)1在安裝基板的制造時(shí)的動(dòng)作進(jìn)行說明。在安裝基板的制造中，首先，基板供給部11向搬入側(cè)中繼輸送機(jī)12供給基板2(圖6a)。從基板供給部11接受基板2后的搬入側(cè)中繼輸送機(jī)12向預(yù)先位于搬運(yùn)部入口(接受位置p1)的搬入側(cè)分配部22交接基板2(圖6b)。在搬運(yùn)部入口接受到基板2的搬入側(cè)分配部22將基板2直接向搬運(yùn)部44搬出，搬運(yùn)部44將接受到的基板2向作業(yè)位置pw搬運(yùn)(圖6c)。在基板2被搬運(yùn)至作業(yè)位置pw之后，升降機(jī)構(gòu)48使下支撐構(gòu)件設(shè)置部46上升(圖7a中所示的箭頭a1)，使下支撐構(gòu)件47的上表面與基板2的下表面接觸(圖7a)。

在下支撐構(gòu)件47的上表面與基板2的下表面接觸之后，控制裝置60使控制閥57工作，在吸附孔51a產(chǎn)生吸附力。由此，基板2緊貼于下支撐構(gòu)件47的上表面，即便在基板2存在翹曲等變形的情況下，也在該變形被修正的狀態(tài)下支承于下支撐構(gòu)件47。

在基板2被下支撐構(gòu)件47支承之后，升降機(jī)構(gòu)48使下支撐構(gòu)件設(shè)置部46進(jìn)一步上升(圖7b中所示的箭頭a2)。由此，基板2被下支撐構(gòu)件47抬起，并與搬運(yùn)部44分離(圖7b)。在基板2被抬起而其上表面成為與一對(duì)夾緊構(gòu)件45的上表面相同的高度之后，夾緊構(gòu)件驅(qū)動(dòng)部45m所驅(qū)動(dòng)的一對(duì)夾緊構(gòu)件45以相互接近的方式工作，從y軸方向的兩端側(cè)夾緊基板2(圖7b中所示的箭頭b)。

在一對(duì)夾緊構(gòu)件45夾緊基板2之后，xyz旋轉(zhuǎn)臺(tái)41工作，使基板2水平移動(dòng)，以使掩模32的圖案開口與基板2的電極上下一致，然后，使基座部42上升(圖8中所示的箭頭c)。由此，在基板2的上表面與掩模32的下表面接觸之后，刮板頭33借助工作缸33s使一方的刮板33k下降，使該刮板33k的下端與掩模32的上表面抵接(圖8)。在刮板33k的下端與掩模32的上表面抵接之后，頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)33m工作而使刮板頭33沿y軸方向移動(dòng)(圖8以及圖9a所示的箭頭d)，使刮板33k在掩模32上滑動(dòng)。由此，預(yù)先供給至掩模32上的漿料pst被刮板33k刮攏，通過掩模32的開口而向基板2的電極印刷漿料pst。

在向基板2的電極印刷漿料pst之后，xyz旋轉(zhuǎn)臺(tái)41工作而使基座部42下降，使基板2與掩模32分離(脫版)。在基板2與掩模32分離之后，控制裝置60使控制閥57工作而解除基板2的吸附。在基板2的吸附被解除之后，一對(duì)夾緊構(gòu)件45在相互分離的方向上工作而解除基板2的夾緊，升降機(jī)構(gòu)48使下支撐構(gòu)件設(shè)置部46下降，使基板2載置于搬運(yùn)部44(圖3)。在基板2載置于搬運(yùn)部44之后，搬運(yùn)部44搬運(yùn)基板2，并向預(yù)先位于搬運(yùn)部出口(搬出位置p3)的搬出側(cè)分配部24搬出(圖9b)。搬出側(cè)分配部24在搬運(yùn)部出口處接受搬運(yùn)部44所搬出的基板2(實(shí)施了絲網(wǎng)印刷的基板2)，并直接向搬出側(cè)中繼輸送機(jī)14搬出(圖9c)。由此，絲網(wǎng)印刷裝置13對(duì)一片基板2的絲網(wǎng)印刷結(jié)束。

搬出側(cè)中繼輸送機(jī)14將從絲網(wǎng)印刷裝置13接受的基板2向部件安裝裝置15搬出。部件安裝裝置15利用基板搬運(yùn)路61接受搬出側(cè)中繼輸送機(jī)14所搬出的基板2并將基板2定位于作業(yè)位置pw，在將該基板2由基板支承單元62支承的基礎(chǔ)上，利用裝配頭63向基板2裝配部件。然后，在向基板2裝配了應(yīng)裝配的所有部件之后，將基板2向外部(下游工序側(cè))搬出。

在這樣的結(jié)構(gòu)的安裝基板制造系統(tǒng)1中，能夠分別自動(dòng)地進(jìn)行絲網(wǎng)印刷裝置13具備的下支撐構(gòu)件47的設(shè)置和拆卸，以下說明其步驟。

在將下支撐構(gòu)件47自動(dòng)地設(shè)置于絲網(wǎng)印刷裝置13的下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的情況下，使用形成為基板狀的載體71(圖10a、圖10b)。在載體71的下表面設(shè)有向下方露出的多個(gè)磁鐵(磁鐵71m)。如上所述，下支撐構(gòu)件47由磁性體材料構(gòu)成，磁鐵71m利用磁力來吸引下支撐構(gòu)件47，因此在使下支撐構(gòu)件47的上表面與載體71的下表面接觸時(shí)，下支撐構(gòu)件47被保持于載體71。這樣，在本實(shí)施方式中，在載體71的下表面設(shè)有磁鐵71m，下支撐構(gòu)件47借助磁鐵71m發(fā)揮的磁力而被保持于載體71的下表面。

在此，磁鐵71m發(fā)揮以如下的吸引力來吸引下支撐構(gòu)件47的磁力，該吸引力比設(shè)于下支撐構(gòu)件47的磁鐵47m吸引下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的磁力弱。即，下支撐構(gòu)件47與載體71之間的吸引力比下支撐構(gòu)件47與下支撐構(gòu)件設(shè)置部46之間的吸引力弱。

如圖10a、圖10b所示，在載體71的下表面設(shè)有向下方突出的多個(gè)突起部71a，在下支撐構(gòu)件47的上表面設(shè)有能夠與各突起部71a嵌合的形狀的多個(gè)孔部47b。通過載體71的多個(gè)突起部71a與下支撐構(gòu)件47的多個(gè)孔部47b嵌合，由此下支撐構(gòu)件47被準(zhǔn)確地保持在相對(duì)于載體71的規(guī)定的保持位置。

如上所述，保持有下支撐構(gòu)件47的載體71被預(yù)先設(shè)置于下支撐構(gòu)件供給部16，下支撐構(gòu)件供給部16向搬入側(cè)分配部22具備的多個(gè)接受位置中的與接受位置p1不同的接受位置p2供給作為搬運(yùn)對(duì)象物的下支撐構(gòu)件47(下支撐構(gòu)件供給工序)。具體地說，在預(yù)先使搬入側(cè)分配部22位于接受位置p2之后，將保持有下支撐構(gòu)件47的載體71從下支撐構(gòu)件供給部16向搬入側(cè)分配部22搬出(圖11a)。從下支撐構(gòu)件供給部16接受到保持有下支撐構(gòu)件47的載體71的搬入側(cè)分配部22從接受位置p2移動(dòng)至接受位置p1(圖11b)。然后，搬入側(cè)分配部22將載體71交接于搬運(yùn)部44，搬運(yùn)部44將接受到的載體71搬運(yùn)至作業(yè)位置pw(圖11c)。即，利用搬入側(cè)分配部22以及搬運(yùn)部44將從接受位置p2供給來的下支撐構(gòu)件47搬運(yùn)至作業(yè)位置pw(下支撐構(gòu)件搬運(yùn)工序)。

通過搬運(yùn)部44將載體71搬運(yùn)至作業(yè)位置pw，在載體71所保持的下支撐構(gòu)件47位于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的上方之后(圖12a)，將位于該下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的上方的下支撐構(gòu)件47設(shè)置于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46(下支撐構(gòu)件設(shè)置工序)。具體地說，首先，升降機(jī)構(gòu)48使下支撐構(gòu)件設(shè)置部46上升(圖12b中所示的箭頭a3)，使下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的上表面與下支撐構(gòu)件47的下表面接觸，由此利用磁鐵47m與下支撐構(gòu)件設(shè)置部46之間的磁力將載體71所保持的下支撐構(gòu)件47固定于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46(此時(shí)，下支撐構(gòu)件設(shè)置部46側(cè)的多個(gè)凹部46a與下支撐構(gòu)件47側(cè)的多個(gè)凸部47a嵌合)。這樣一來，在下支撐構(gòu)件47固定于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46之后，升降機(jī)構(gòu)48使下支撐構(gòu)件設(shè)置部46下降(圖12c中所示的箭頭a4)。

在上述那樣的下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的升降工作中，在下支撐構(gòu)件設(shè)置部46與載體71所保持的下支撐構(gòu)件47的下表面接觸時(shí)，下支撐構(gòu)件47受到與載體71之間的吸引力和與下支撐構(gòu)件設(shè)置部46之間的吸引力，但如上所述，由于下支撐構(gòu)件47與載體71之間的吸引力比下支撐構(gòu)件47與下支撐構(gòu)件設(shè)置部46之間的吸引力弱，因此之后在下支撐構(gòu)件設(shè)置部46下降時(shí)，下支撐構(gòu)件47與載體71分離，而成為設(shè)置于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的狀態(tài)(圖12c)。

如上所述，在下支撐構(gòu)件47設(shè)置于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46之后，搬運(yùn)部44將與下支撐構(gòu)件47分離的載體71搬運(yùn)至搬運(yùn)部入口的一側(cè)，并將載體71交接于預(yù)先位于搬運(yùn)部入口(接受位置p1)的搬入側(cè)分配部22(圖13a)。然后，接受到載體71的搬入側(cè)分配部22從接受位置p1移動(dòng)至接受位置p2(圖13b)，并將載體71向下支撐構(gòu)件供給部16搬出。下支撐構(gòu)件供給部16接受并回收載體71(圖13c)。由此，下支撐構(gòu)件47向絲網(wǎng)印刷裝置13的設(shè)置結(jié)束。

在自動(dòng)地回收設(shè)于絲網(wǎng)印刷裝置13的下支撐構(gòu)件47的情況下，使用形成為基板狀的載體72(圖14a、圖14b)。在圖14a、圖14b中，在載體72的下表面設(shè)有向下方露出的多個(gè)磁鐵(磁鐵72m)。如上所述，下支撐構(gòu)件47由磁性體材料構(gòu)成，磁鐵72m利用磁力來吸引下支撐構(gòu)件47，因此通過使下支撐構(gòu)件47的上表面與載體72的下表面接觸，能夠使下支撐構(gòu)件47保持于載體72。需要說明的是，設(shè)于載體72的磁鐵72m發(fā)揮比設(shè)于下支撐構(gòu)件47的磁鐵47m吸引下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的磁力強(qiáng)的吸引力。即，下支撐構(gòu)件47與載體72之間的吸引力比下支撐構(gòu)件47與下支撐構(gòu)件設(shè)置部46之間的吸引力強(qiáng)。

在將載體72設(shè)置于下支撐構(gòu)件回收部17之后，下支撐構(gòu)件回收部17等待搬出側(cè)分配部24移動(dòng)至搬出位置p4而將載體72向搬出側(cè)分配部24搬出(圖15a)。接受到載體72的搬出側(cè)分配部24從搬出位置p4移動(dòng)至搬出位置p3(圖15b)。然后，搬出側(cè)分配部24將載體72交接于搬運(yùn)部44，搬運(yùn)部44將接受到的載體72搬運(yùn)至作業(yè)位置pw(圖15c)。

搬運(yùn)部44將載體72搬運(yùn)至作業(yè)位置pw，由此在該載體72位于在下支撐構(gòu)件設(shè)置部46上設(shè)置的下支撐構(gòu)件47的上方之后(圖16a)，將設(shè)置于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的下支撐構(gòu)件47從下支撐構(gòu)件設(shè)置部46拆卸而交接于搬運(yùn)部44(下支撐構(gòu)件拆卸工序)。具體地說，首先，升降機(jī)構(gòu)48使下支撐構(gòu)件設(shè)置部46上升(圖16b中所示的箭頭a5)，使下支撐構(gòu)件47的上表面與載體72的下表面接觸，由此利用磁鐵72m與下支撐構(gòu)件47之間的磁力使下支撐構(gòu)件47保持于載體72。然后，這樣一來，在下支撐構(gòu)件47被保持于載體72之后，(圖16b)，升降機(jī)構(gòu)48使下支撐構(gòu)件設(shè)置部46下降(圖16c中所示的箭頭a6)。

在上述那樣的下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的升降工作中，在載體72與下支撐構(gòu)件47的上表面接觸時(shí)，下支撐構(gòu)件47受到與下支撐構(gòu)件設(shè)置部46之間的吸引力和與載體72之間的吸引力，但如上所述，由于下支撐構(gòu)件47與載體72之間的吸引力比下支撐構(gòu)件47與下支撐構(gòu)件設(shè)置部46之間的吸引力強(qiáng)，因此之后在下支撐構(gòu)件設(shè)置部46下降時(shí)，下支撐構(gòu)件47與下支撐構(gòu)件設(shè)置部46分離而被交接于載體72，下支撐構(gòu)件47成為從下支撐構(gòu)件設(shè)置部46拆卸下來的狀態(tài)(圖16c)。

如上所述，在將下支撐構(gòu)件47交接于載體72之后，搬運(yùn)部44將下支撐構(gòu)件47交接于搬出側(cè)分配部24(下支撐構(gòu)件交接工序)。具體地說，搬運(yùn)部44將保持有下支撐構(gòu)件47的載體72搬運(yùn)至搬運(yùn)部出口側(cè)，并交接于預(yù)先位于搬運(yùn)部出口(搬出位置p3)的搬出側(cè)分配部24(圖17a)。然后，搬出側(cè)分配部24將從搬運(yùn)部44接受到的下支撐構(gòu)件47從搬出位置p4搬出(下支撐構(gòu)件搬出工序)。具體地說，接受到載體72的搬出側(cè)分配部24在從搬出位置p3移動(dòng)至搬出位置p4之后(圖17b)，將載體72向下支撐構(gòu)件回收部17搬出。然后，下支撐構(gòu)件回收部17接受并回收載體72以及下支撐構(gòu)件47(圖17c)。由此，來自絲網(wǎng)印刷裝置13的下支撐構(gòu)件47的回收結(jié)束。

這樣，在本實(shí)施方式中，搬出側(cè)分配部24將作為搬運(yùn)對(duì)象物的基板2從多個(gè)搬出位置中的搬出位置p3搬出，并將作為搬運(yùn)對(duì)象物的下支撐構(gòu)件47從多個(gè)搬出位置中的與搬出位置p3不同的搬出位置p4搬出。

另外，在本實(shí)施方式中，下支撐構(gòu)件47在保持于基板狀的載體71的下表面的狀態(tài)下被供給至接受位置p2，載體71由搬入側(cè)分配部22以及搬運(yùn)部44搬運(yùn)而搬運(yùn)至作業(yè)位置pw。另外，從下支撐構(gòu)件設(shè)置部46拆卸而保持于載體72的下支撐構(gòu)件47由搬運(yùn)部44以及搬出側(cè)分配部24搬運(yùn)，由此從搬出位置p4搬出。

根據(jù)上述的步驟，能夠進(jìn)行下支撐構(gòu)件47向絲網(wǎng)印刷裝置13的設(shè)置和下支撐構(gòu)件47從絲網(wǎng)印刷裝置13的回收，在進(jìn)行下支撐構(gòu)件47的回收之后，接著進(jìn)行下支撐構(gòu)件47的設(shè)置作業(yè)，由此能夠自動(dòng)地進(jìn)行安裝基板的生產(chǎn)過程中的下支撐構(gòu)件47的更換作業(yè)。

如以上說明那樣，在本實(shí)施方式中的安裝基板制造系統(tǒng)1(安裝基板制造系統(tǒng)1中的下支撐構(gòu)件的設(shè)置方法)中，對(duì)于將搬運(yùn)對(duì)象物交接于搬運(yùn)部44的搬入側(cè)分配部22而言，在搬運(yùn)對(duì)象物為基板2的情況下，在接受位置p1處接受基板2而交接于搬運(yùn)部44，在搬運(yùn)對(duì)象物為下支撐構(gòu)件47的情況下，在與接受位置p1不同的接受位置p2處接受下支撐構(gòu)件47而交接于搬運(yùn)部44。因此，在設(shè)置下支撐構(gòu)件47時(shí)，能夠?qū)⑾轮螛?gòu)件47以與基板2不同的路徑進(jìn)行供給，無需使來自基板供給部11的基板2的供給停止(中斷)，因此能夠不妨礙基板供給部11對(duì)基板2的供給而進(jìn)行下支撐構(gòu)件47的自動(dòng)設(shè)置。

需要說明的是，在上述實(shí)施方式中，通過在下支撐構(gòu)件47與下支撐構(gòu)件設(shè)置部46之間作用磁力(吸引力)而將下支撐構(gòu)件47設(shè)置于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46，但也可以通過磁力以外的方法將下支撐構(gòu)件47設(shè)置于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46。另外，下支撐構(gòu)件47借助設(shè)于載體71的磁鐵71m發(fā)揮的磁力而被保持于載體71的下表面，但也可以通過磁力以外的方法將下支撐構(gòu)件47保持于載體71。另外，同樣地，下支撐構(gòu)件47借助設(shè)于載體72的磁鐵72m發(fā)揮的磁力而被保持于載體72的下表面，但也可以通過磁力以外的方法將下支撐構(gòu)件47保持于載體72。

另外，在上述實(shí)施方式中，對(duì)基板2的處理內(nèi)容是通過絲網(wǎng)印刷裝置13對(duì)基板2印刷漿料pst的絲網(wǎng)印刷作業(yè)，但也可以是其他的作業(yè)，例如，利用部件安裝裝置15向基板2裝配部件的部件裝配作業(yè)等。在對(duì)基板2的處理內(nèi)容為部件裝配作業(yè)的情況下，在將上述實(shí)施方式所示的部件安裝裝置15具備的基板搬運(yùn)路61置換為上述實(shí)施方式中的搬運(yùn)部44、將基板支承單元62置換為下支撐構(gòu)件47、將絲網(wǎng)印刷裝置13置換為基板供給部11的基礎(chǔ)上，采用如下結(jié)構(gòu)即可：部件安裝裝置15具備搬入側(cè)分配部22和搬出側(cè)分配部24，此外，在部件安裝裝置15的下游工序側(cè)具備回收基板支承單元62的下支撐構(gòu)件回收部(支承單元回收部)。

如上所述，搬運(yùn)部44搬運(yùn)基板2和下支撐構(gòu)件47。下支撐構(gòu)件設(shè)置部46設(shè)于搬運(yùn)部44的下方，并且能夠相對(duì)于下支撐構(gòu)件47拆裝?；逄幚聿?2、33對(duì)基板2的上表面實(shí)施規(guī)定的處理。搬入側(cè)分配部22具有接受位置p1和與接受位置p1不同的接受位置p2。基板供給部11向接受位置p1供給基板2。下支撐構(gòu)件供給部16向接受位置p2供給下支撐構(gòu)件47。搬入側(cè)分配部22將供給至接受位置p2的下支撐構(gòu)件47交接于搬運(yùn)部44。搬運(yùn)部44將從搬入側(cè)分配部22交接來的下支撐構(gòu)件47搬運(yùn)至作業(yè)位置pw。下支撐構(gòu)件設(shè)置部46將搬運(yùn)至作業(yè)位置pw的下支撐構(gòu)件47固定于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46。搬入側(cè)分配部22將供給至接受位置p1的基板2交接于搬運(yùn)部44。搬運(yùn)部44將從搬入側(cè)分配部22交接來的基板2搬運(yùn)至作業(yè)位置pw。下支撐構(gòu)件47對(duì)搬運(yùn)至作業(yè)位置pw的基板2的下表面進(jìn)行支承。處理部32、33在下支撐構(gòu)件47固定于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46且下支撐構(gòu)件47支承基板2的下表面的狀態(tài)下對(duì)基板2的上表面實(shí)施規(guī)定的處理。

安裝基板制造系統(tǒng)也可以具備搬出側(cè)分配部24。在該情況下，搬出側(cè)分配部24具有搬出位置p3和與搬出位置p3不同的搬出位置p4。搬運(yùn)部44也可以將基板2和下支撐構(gòu)件47從作業(yè)位置pw交接于搬出側(cè)分配部24。搬出側(cè)分配部24將從搬運(yùn)部44交接來的基板2從搬出位置p3搬出，將從搬運(yùn)部44交接來的下支撐構(gòu)件47從搬出位置p4搬出。

安裝基板制造系統(tǒng)還具備保持下支撐構(gòu)件47的載體71。在該情況下，下支撐構(gòu)件供給部在載體71將下支撐構(gòu)件47保持于載體71的下表面的狀態(tài)下，將載體71供給至接受位置p2。搬入側(cè)分配部22在下支撐構(gòu)件47保持于載體71的下表面的狀態(tài)下，將供給至接受位置p2的載體71交接于搬運(yùn)部44。搬運(yùn)部44在下支撐構(gòu)件47保持于載體71的下表面的狀態(tài)下，將從搬入側(cè)分配部22交接來的載體71搬運(yùn)至作業(yè)位置pw，由此將下支撐構(gòu)件47搬運(yùn)至作業(yè)位置pw。

安裝基板制造系統(tǒng)還具備設(shè)于下支撐構(gòu)件47的下表面的磁鐵47m。在該情況下，下支撐構(gòu)件47借助磁鐵47m的磁力而固定于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46。

安裝基板制造系統(tǒng)還具備設(shè)于載體71的下表面的磁鐵71m。在該情況下，下支撐構(gòu)件47借助磁鐵71m的磁力而保持于載體71的下表面。

安裝基板制造系統(tǒng)還具備使下支撐構(gòu)件設(shè)置部46升降的升降機(jī)構(gòu)48。在該情況下，升降機(jī)構(gòu)48構(gòu)成為，使下支撐構(gòu)件設(shè)置部46上升，將載體71所保持的下支撐構(gòu)件47固定于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46。升降機(jī)構(gòu)48構(gòu)成為，在下支撐構(gòu)件47固定于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46的狀態(tài)下使下支撐構(gòu)件設(shè)置部46下降，由此將下支撐構(gòu)件47設(shè)置于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46。

安裝基板制造系統(tǒng)還具備設(shè)于下支撐構(gòu)件47的下表面的磁鐵47m。在該情況下，下支撐構(gòu)件47借助磁鐵47m的磁力而固定于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46。

升降機(jī)構(gòu)48也可以構(gòu)成為，使下支撐構(gòu)件設(shè)置部46上升而使下支撐構(gòu)件47保持于載體72。在該情況下，升降機(jī)構(gòu)48構(gòu)成為，在下支撐構(gòu)件47保持于載體72的狀態(tài)下使下支撐構(gòu)件設(shè)置部46下降，由此將下支撐構(gòu)件47從下支撐構(gòu)件設(shè)置部46拆卸下來。

安裝基板制造系統(tǒng)還具備搬出側(cè)分配部24，該搬出側(cè)分配部24具有搬出位置p3和與搬出位置p3不同的搬出位置p4。在該情況下，搬運(yùn)部44構(gòu)成為，將基板2從作業(yè)位置pw交接于搬出側(cè)分配部24，搬運(yùn)部44在下支撐構(gòu)件47保持于載體72的狀態(tài)下，將下支撐構(gòu)件47交接于搬出側(cè)分配部24。搬出側(cè)分配部24構(gòu)成為，將從搬運(yùn)部44交接來的基板2從搬出位置p3搬出，在下支撐構(gòu)件47保持于載體72的狀態(tài)下，將從搬運(yùn)部44交接來的下支撐構(gòu)件47從搬出位置p4搬出。

下支撐構(gòu)件47也可以在支承由搬運(yùn)部44搬運(yùn)至作業(yè)位置pw的基板2的下表面的同時(shí)進(jìn)行吸附。

下支撐構(gòu)件47和下支撐構(gòu)件設(shè)置部46中的一方也可以具有凸部47a。在該情況下，在下支撐構(gòu)件47和下支撐構(gòu)件設(shè)置部46中的另一方設(shè)有凹部46a。在凸部47a與凹部46a嵌合的狀態(tài)下，下支撐構(gòu)件47設(shè)置于下支撐構(gòu)件設(shè)置部46。

向接受位置p2供給下支撐構(gòu)件47。將供給至接受位置p2的下支撐構(gòu)件47從搬入側(cè)分配部22交接于搬運(yùn)部44。利用搬運(yùn)部44將從搬入側(cè)分配部22交接來的下支撐構(gòu)件47搬運(yùn)至作業(yè)位置pw。利用上述的方法，能夠在安裝基板制造系統(tǒng)中設(shè)置下支撐構(gòu)件47。