本發(fā)明涉及真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空吸附工作臺及真空吸附裝置。

背景技術(shù)：

在面板制作的多個(gè)工藝流程(如基板切割、面板粘合以及面板表面貼膜等)中，均需采用真空吸附工作臺，通過抽真空裝置先將面板固定在工作臺上，再進(jìn)行后續(xù)的工藝加工。

現(xiàn)有技術(shù)各種不同尺寸的面板，采用同一尺寸的真空吸附工作臺。若面板過小，工作臺上未覆蓋有面板的部分吸氣孔與外界連通，導(dǎo)致真空吸附工作臺出現(xiàn)漏氣現(xiàn)象；若面板過大，工作臺不能將面板完全固定。因此，根據(jù)不同尺寸的面板，需要更換不同尺寸的真空吸附工作臺，而真空吸附工作臺的頻繁更換，增加了大量的設(shè)備調(diào)試時(shí)間，降低了面板加工的工作效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的實(shí)施例提供一種真空吸附工作臺及真空吸附裝置，可固定各種不同尺寸的面板。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案：

一種真空吸附工作臺，包括工作臺本體，所述工作臺本體上開設(shè)有多個(gè)吸氣孔；還包括第一吸氣管道和封堵件，所述第一吸氣管道與多個(gè)所述吸氣孔均連通，所述封堵件可與所述第一吸氣管道配合連接，以斷開所述吸氣孔與所述第一吸氣管道的連接。

本發(fā)明實(shí)施例還公開了一種真空吸附裝置，包括上述技術(shù)方案所述的真空吸附工作臺和抽真空裝置，所述抽真空裝置與所述真空吸附工作臺的第二吸氣管道連通。

相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明實(shí)施例提供的真空吸附工作臺及真空吸附裝置，工作臺本體上開設(shè)的多個(gè)吸氣孔與第一吸氣管道均連通。當(dāng)待吸附物放置于工作臺本體時(shí)，通過第一吸氣管道、吸氣孔將待吸附物吸附于工作臺本體上；對于工作臺本體上未覆蓋有待吸附物的吸氣孔，通過封堵件插入第一吸氣管道內(nèi)，斷開未覆蓋有待吸附物的吸氣孔與第一吸氣管道的連接，從而避免真空吸附工作臺出現(xiàn)漏氣現(xiàn)象。本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附工作臺通過調(diào)整封堵件插入第一吸氣管道的深度，可固定不同尺寸的待吸附物(如面板)，不需更換真空吸附工作臺，減少了設(shè)備的調(diào)試時(shí)間，提高了工作效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例中真空吸附工作臺的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例中真空吸附工作臺的截面示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例中真空吸附工作臺上放置有待吸附物的結(jié)構(gòu)示意圖之一；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例中真空吸附工作臺上放置有待吸附物的結(jié)構(gòu)示意圖之二；

圖5為本發(fā)明實(shí)施例中真空吸附裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。

參照圖1～3，本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附工作臺，包括工作臺本體1、第一吸氣管道2和封堵件3，在工作臺本體1上開設(shè)有多個(gè)吸氣孔11，多個(gè)吸氣孔11與第一吸氣管道2均連通，封堵件3可與第一吸氣管道2配合連接，以斷開吸氣孔11與第一吸氣管道2的連接。

相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明實(shí)施例提供的真空吸附工作臺，工作臺本體1上開設(shè)的多個(gè)吸氣孔11與第一吸氣管道2均連通。當(dāng)待吸附物100放置于工作臺本體1時(shí)，第一吸氣管道2通過吸氣孔11將待吸附物100吸附于工作臺本體1上；對于工作臺本體1上未覆蓋有待吸附物100的吸氣孔11，通過封堵件3插入第一吸氣管道2內(nèi)，斷開未覆蓋有待吸附物100的吸氣孔11與第一吸氣管道2的連接，從而避免真空吸附工作臺出現(xiàn)漏氣現(xiàn)象。本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附工作臺通過調(diào)整封堵件3插入第一吸氣管道2的深度，可固定不同尺寸的待吸附物100(如面板)，不需更換真空吸附工作臺，減少了設(shè)備的調(diào)試時(shí)間，提高了工作效率。

可選地，多個(gè)吸氣孔11可自由分布，部分第一吸氣管道2被封堵后，不會影響第一吸氣管道2與其他吸氣孔11的連通，這種第一吸氣管道2的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)難度較大。因此，本發(fā)明實(shí)施例中的多個(gè)吸氣孔11以多排方式分布，各排的吸氣孔11之間不連通，相應(yīng)地，第一吸氣管道2為多個(gè)，多個(gè)第一吸氣管道2與多排吸氣孔11一一對應(yīng)連通；同理，封堵件3也為多個(gè)，多個(gè)封堵件3可與多個(gè)第一吸氣管道2一一配合連接，第一吸氣管道2的結(jié)構(gòu)較簡單。

上述第一吸氣管道2設(shè)有多個(gè)進(jìn)氣口、出氣口和開口21，其中，多個(gè)進(jìn)氣口開設(shè)于第一吸氣管道2的管壁上，且與多個(gè)吸氣孔11一一連通；出氣口位于第一吸氣管道2的一端，開口21位于第一吸氣管道2的另一端，出氣口用于與抽真空裝置連通，封堵件3可方便地通過該開口21插入第一吸氣管道2內(nèi)。

在使用中，將待吸附物100沿吸氣孔11延伸方向的一側(cè)放置，將封堵件3從另一側(cè)插入第一吸氣管道2內(nèi)，即可封堵住待吸附物100未覆蓋住的吸氣孔11。

上述吸氣孔11的排布方向與第一吸氣管道2的延伸方向可相同，也可不同。若吸氣孔11的排布方向與第一吸氣管道2的延伸方向不同，則第一吸氣管道2的中部有折彎結(jié)構(gòu)，第一吸氣管道2的長度較長，封堵件3在折彎處不易插入；或吸氣孔11傾斜設(shè)置，從而與第一吸氣管道2連通，增加吸氣孔11的加工難度。參照圖2，若多排吸氣孔11沿第一方向p平行設(shè)置(圖2中其他箭頭所示為吸氣方向)，第一吸氣管道2的延伸方向與第一方向平行，即吸氣孔11的排布方向與第一吸氣管道2的延伸方向相同；封堵件3設(shè)計(jì)為封堵桿，封堵桿的長度方向與第一吸氣管道2的延伸方向平行，且可滑動設(shè)置于第一吸氣管道2內(nèi)，封堵桿通過開口21插入第一吸氣管道2較方便，且第一吸氣管道2為平直的管道，結(jié)構(gòu)較簡單。因此，本發(fā)明實(shí)施例優(yōu)先采用后者的方案。優(yōu)選地，吸氣孔11沿豎直方向開設(shè)，第一吸氣管道2對應(yīng)設(shè)置于吸氣孔11豎直方向的下方。

考慮到封堵件3插入第一吸氣管道2的深度，僅可從吸氣孔11是否封閉看出，而吸氣孔的深度較大，觀察吸氣孔11是否封閉的難度較大，導(dǎo)致封堵件3插入第一吸氣管道2的位置不易控制，因此，優(yōu)選地，本發(fā)明實(shí)施例的封堵件3固定連接有限位件4，限位件4位于工作臺本體1的上方，限位件4可與待吸附物100的邊沿抵接，同時(shí)封堵件3在第一吸氣管道2內(nèi)也停止運(yùn)動，從而限制封堵件3的封堵位置，以方便封堵件3插入第一吸氣管道2內(nèi)合適的位置，使封堵操作較簡單。

可選地，限位件4為限位桿，限位桿4的長度方向可與第一方向p平行，工作臺本體1的上表面設(shè)有多個(gè)導(dǎo)向凹槽12，該導(dǎo)向凹槽12位于相鄰兩排的吸氣孔11之間，或多排吸氣孔11中位于外側(cè)的一排吸氣孔與工作臺本體1的外邊沿之間，當(dāng)將封堵桿插入第一吸氣管道2時(shí)，限位桿配合插入導(dǎo)向凹槽12中，隨著封堵桿的移動，限位桿沿導(dǎo)向凹槽12的延伸方向移動。

進(jìn)一步地，多個(gè)第一吸氣管道2分別與抽真空裝置連通，導(dǎo)致吸氣管道結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，因此，優(yōu)選地，本發(fā)明實(shí)施例的抽真空吸附平臺還包括第二吸氣管道5，第二吸氣管道5與抽真空裝置連通，多個(gè)第一吸氣管道2的出氣口分別與第二吸氣管道5連通，多個(gè)第一吸氣管道2不需直接與抽真空裝置連通，第一吸氣管道2可設(shè)計(jì)的較短，多個(gè)較短的第一吸氣管道2和第二吸氣管道5組成的吸氣管道其結(jié)構(gòu)較簡單。

當(dāng)抽真空裝置的吸力較大時(shí)，封堵桿受力發(fā)生移動，如封堵桿移至待吸附物100下方的第一吸氣管道2內(nèi)，斷開待吸附物100下方的吸氣孔11與第一吸氣管道2的連通，使得待吸附物100不能可靠固定。因此，本發(fā)明實(shí)施例的封堵桿為中空結(jié)構(gòu)，且封堵桿與第二吸氣管道5連通，封堵桿與第一吸氣管道2配合的端部兩側(cè)的壓力相同，使得封堵桿可停留于第一吸氣管道2內(nèi)的任一位置，防止封堵桿被進(jìn)一步吸入第一吸氣管道2內(nèi)。此外，本發(fā)明實(shí)施例中第二吸氣管道5位于工作臺本體1的下方，封堵桿通過外部的管道與第二吸氣管道5連通。

為了提高封堵桿的密封性，本發(fā)明實(shí)施例的封堵桿與第一吸氣管道2配合的一端套設(shè)有密封圈31，提高了封堵桿與第一吸氣管道2配合的端部的密封性，進(jìn)一步防止封堵桿被吸入第一吸氣管道2內(nèi)。

可選地，第一吸氣管道2可設(shè)置于工作臺本體1的下方，也可設(shè)置于工作臺本體1內(nèi)。本發(fā)明實(shí)施例將第一吸氣管道2設(shè)置于工作臺本體1內(nèi)，且位于吸氣孔11的下方，便于吸氣孔11與第一吸氣管道2的連通；相應(yīng)地，上述的開口21位于工作臺本體1上與第一方向垂直的側(cè)面。

上述限位件4與封堵件3可直接固定連接，也可真空吸附平臺包括固定板6，通過固定板6將限位桿與封堵件3固定連接，固定方式較簡單。優(yōu)選地，本發(fā)明實(shí)施例采用后者的方案。

參照圖3～4，本發(fā)明實(shí)施例中的真空吸附平臺由4個(gè)工作臺本體1組成，限位桿和封堵桿通過固定板6組成的封堵組件，在使用中，圖中上方的兩塊工作臺本體1，每個(gè)封堵組件的限位桿位于封堵桿之上；圖中下方的兩塊工作臺本體，每個(gè)封堵組件的封端桿位于限位桿之上。

本發(fā)明實(shí)施例還公開了一種真空吸附裝置300，包括上述所有的真空吸附工作臺、以及抽真空裝置200，抽真空裝置200與真空吸附工作臺的第二吸氣管道5連通，如圖5所示。由于在本實(shí)施例的真空吸附裝置內(nèi)安裝的真空吸附工作臺與上述的各實(shí)施例中提供的真空吸附工作臺結(jié)構(gòu)相同，因此二者能夠解決相同的技術(shù)問題，并達(dá)到相同的預(yù)期效果。

本發(fā)明實(shí)施例中真空吸附裝置300的工作流程為：先將待吸附物100放置于工作臺本體1上，將封堵組件朝靠近待吸附物100推動，直至限位桿與待吸附物100抵靠，對于整排均沒有覆蓋待吸附物100的吸氣孔11，將封堵件3推至第一吸氣管道2內(nèi)，直至固定板6的內(nèi)表面與工作臺本體的側(cè)面相抵靠，在將抽真空裝置200打開。

以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。