一種光罩拿取裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種光罩拿取裝置，其包括一個支架和一個用于產(chǎn)生真空的注射器，所述支架帶有用于吸住光罩的真空吸盤，所述注射器上帶有用于固定注射器活塞的阻擋部件，所述真空吸盤上有若干真空孔，且所述注射器通過真空管連接所述真空孔。通過本實用新型所述的光罩拿取裝置可以簡單安全地從機臺拿取光罩，還能夠避免碰觸到光罩的薄膜。
【專利說明】一種光罩拿取裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及光刻【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種用于從機臺上拿取光罩的光罩拿取裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]光罩是光刻部門的靈魂，它由玻璃和薄膜組成，其中薄膜非常薄，任何時候不能有觸碰，否則影響成像及其他問題。某些時候，光罩會因為真空的問題(比如玻璃面臟，機臺真空值低)而發(fā)生故障停留在載臺上，此時必須先將光罩用手取出來(因光罩機械臂不能吸住光罩)，但由于光罩的邊緣會被載臺支撐住，沒有足夠的空間能人工下手拿取光罩，同時拿取光罩時一定不能碰光罩的薄膜面。所以，從機臺光罩載臺上拿取光罩是比較困難的。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種光罩拿取裝置，用于解決手動從光罩載臺上拿取光罩時存在的問題。
[0004]本實用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下:一種光罩拿取裝置，其包括一個支架和一個用于產(chǎn)生真空的注射器，所述支架帶有用于吸住光罩的真空吸盤，所述注射器上帶有用于固定注射器活塞的阻擋部件，所述真空吸盤上有若干真空孔，且所述注射器通過真空管連接所述真空孔。
[0005]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實用新型還可以做如下改進。
[0006]進一步，所述支架上端設(shè)計有便于將支架上提的部件。
[0007]進一步，所述真空吸盤有兩個，且對稱地設(shè)置在所述支架的底部。
[0008]進一步，所述阻擋部件采用螺母。
[0009]本實用新型的有益效果是:通過本實用新型所述的光罩拿取裝置可以簡單安全地從機臺拿取光罩，且工程師在迅速拿取光罩的同時，還能夠避免碰觸到光罩的薄膜，從而能迅速恢復(fù)機臺功能。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型所述光罩拿取裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為本實用新型中真空吸盤與真空孔的位置示意圖。
[0012]附圖中，各標(biāo)號所代表的部件列表如下:
[0013]1、支架，2、注射器，3、真空吸盤，4、阻擋部件，5、真空孔，6、真空管。
【具體實施方式】
[0014]以下結(jié)合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。
[0015]如圖1所示，本實施例給出了一種光罩拿取裝置，其包括一個支架I和一個用于產(chǎn)生真空的注射器2，所述支架I帶有用于吸住光罩的真空吸盤3，所述注射器2上帶有用于固定注射器活塞的阻擋部件4，所述真空吸盤3上有若干真空孔5，且所述注射器2通過真空管6連接所述真空孔5。如圖2所示，所述真空吸盤3有兩個，且對稱地設(shè)置在所述支架的底部。另外，所述阻擋部件4可以采用螺母。
[0016]將所述光罩拿取裝置放在光罩上，并讓真空吸盤接觸光罩的玻璃面。當(dāng)向外拉注射器的活塞時，通過真空管和真空孔，真空吸盤內(nèi)部的氣壓會低于外部大氣壓，光罩就會被真空吸盤吸住，然后通過阻擋部件將注射器的活塞固定，然后向上提支架，光罩就會被安全地帶離光罩載臺。為便于操作，所述支架上端設(shè)計有便于將支架上提的部件。
[0017]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種光罩拿取裝置，其特征在于，包括一個支架和一個用于產(chǎn)生真空的注射器，所述支架帶有用于吸住光罩的真空吸盤，所述注射器上帶有用于固定注射器活塞的阻擋部件，所述真空吸盤上有若干真空孔，且所述注射器通過真空管連接所述真空孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩拿取裝置，其特征在于，所述支架上端設(shè)計有便于將支架上提的部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩拿取裝置，其特征在于，所述真空吸盤有兩個，且對稱地設(shè)置在所述支架的底部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩拿取裝置，其特征在于，所述阻擋部件采用螺母。
【文檔編號】B25B27/00GK203510080SQ201320678553
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年10月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月30日
【發(fā)明者】姚佳輝, 陳培剛 申請人:武漢新芯集成電路制造有限公司