專利名稱：一種多功能的機(jī)械手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及磁控濺射系統(tǒng)的濺射室里的一種分離推拉桿與樣品托的裝 置，尤其只需要一個(gè)實(shí)驗(yàn)員就能夠容易、方便、快速卸下樣品托，并且僅需-一 個(gè)實(shí)驗(yàn)員手動可以調(diào)節(jié)齒輪，讓齒輪上的孔(齒輪上只有這一個(gè)孔)對準(zhǔn)樣品托， 固定齒輪，做好濺射前的準(zhǔn)備。
背景技術(shù)：
目前公知的磁控濺射系統(tǒng)的機(jī)械手作用是將樣品托從推拉桿傳送到轉(zhuǎn)盤 上，依靠機(jī)械手給樣品托銷子一個(gè)阻力，將樣品托與推拉桿分離后使樣品托固 定到轉(zhuǎn)盤上，目前機(jī)械手的結(jié)構(gòu)頂端是圓柱體形，而樣品托的銷子也是圓柱體 形，用目前機(jī)械手的頂端固定樣品托易打滑，在操作過程中經(jīng)常讓人費(fèi)不少力 氣和時(shí)間，也不能準(zhǔn)確分離樣品托和推拉桿。同時(shí)目前磁控濺射系統(tǒng)的機(jī)械手， 不能使齒輪上的孔(齒輪上只有這一個(gè)孔)對準(zhǔn)樣品托，也不能固定樣品托。 發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有的磁控濺射系統(tǒng)的濺射室里機(jī)械手固定樣品托容易打滑的不 足之處，本實(shí)用新型提供一種機(jī)械手，該機(jī)械手不僅能夠協(xié)助推拉桿傳遞樣品 托，使推拉桿和樣品托快速分離，還可以使用機(jī)械手手動調(diào)節(jié)齒輪，使齒輪上 的孔(齒輪上只有這一個(gè)孔)對準(zhǔn)樣品托，固定齒輪。
本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是將機(jī)械手的前端加以改 迸，由圓柱體形狀變成長方體形狀，當(dāng)樣品托從推拉桿傳送到轉(zhuǎn)盤上，采用了 改進(jìn)的長方體形狀的機(jī)械手接觸樣品托上的銷子(靠近推拉桿這邊)，給銷子一 個(gè)阻力時(shí)，機(jī)械手就不會打滑，能快速地將樣品托與推拉桿分離，準(zhǔn)確無誤地
將樣品托固定到轉(zhuǎn)盤指定位置。同時(shí)在機(jī)械手距離長方體最前端60毫米位置焊 接一個(gè)長15毫米、寬25毫米的長方形撥叉，這個(gè)撥叉寬度正好可以卡進(jìn)齒輪的 齒牙，實(shí)驗(yàn)員就可以使用機(jī)械手調(diào)節(jié)齒輪，使齒輪上的孔(齒輪上只有這一個(gè)孔) 對準(zhǔn)樣品托，同時(shí)固定齒輪。
本實(shí)用新型的有益效果是，機(jī)械手不僅可以完成分離推拉桿和樣品托任 務(wù)，又可以完成轉(zhuǎn)盤上的樣品托和齒輪的定位，固定齒輪，只需將機(jī)械手的前 端由圓柱體形狀，變成長方體形狀，同時(shí)將機(jī)械手距離長方體最前端60毫米位 置焊接一個(gè)長15毫米、寬25毫米的長方形撥叉，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，既省時(shí)又 省力，能達(dá)到事半功倍的效果。以下結(jié)合附圖
和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。 圖l是多功能機(jī)械手的結(jié)構(gòu)示意圖 圖2是多功能機(jī)械手的俯視圖 圖3是多功能機(jī)械手固定齒輪的示意圖 圖4是多功能機(jī)械手準(zhǔn)備分離樣品托的示意圖 圖5是多功能機(jī)械手已經(jīng)分離樣品托的示意圖
圖中1.機(jī)械手主桿；2.拔叉；3.齒牙；4.轉(zhuǎn)盤；5.樣品托；6.銷子；7. 推拉桿；8.轉(zhuǎn)盤上放置樣品托位置；9.長方體形狀的機(jī)械手前端。
具體實(shí)施方式

實(shí)施例從圖l可以清楚的看到結(jié)構(gòu)改進(jìn)后的多功能機(jī)械手的主要結(jié)構(gòu) 包括圓柱體形狀的機(jī)械手主桿(l)，拔叉(2)，長方體形狀的機(jī)械手前端(9)。
在圖3所示實(shí)施例中，用機(jī)械手的撥叉(2)卡進(jìn)齒牙(3)用以調(diào)整齒輪 上的孔(齒輪上只有這一個(gè)孔)對準(zhǔn)樣品托，齒輪已經(jīng)定位，樣品托(5)準(zhǔn)備送
到轉(zhuǎn)盤(4)上面的放置樣品托位置(8)處。
在圖4所示實(shí)施例中，當(dāng)推拉桿(7)傳送樣品托(5)至濺射室的轉(zhuǎn)盤(4) 上放置樣品托的位置(8)時(shí)，此時(shí)長方體形狀的機(jī)械手前端(9)己經(jīng)接觸銷 子(6)做好分離樣品托(5)與推拉桿(7)的準(zhǔn)備。
在圖5所示實(shí)施例中，機(jī)械手給銷子(6)阻力的同時(shí)，實(shí)驗(yàn)員給推拉桿(7) 一個(gè)往后拉的外力，從而使樣品托(5)和推拉桿(7)分離。
權(quán)利要求1、一種多功能的機(jī)械手，它包括機(jī)械手主桿(1)，拔叉(2)，長方體形狀的機(jī)械手前端(9)，其特征在于在距離長方方體形狀的機(jī)機(jī)械手前端60毫米處有一個(gè)長25毫米，寬15毫米的拔叉(2)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能的機(jī)械手，其特征是所述的轉(zhuǎn)盤(4) 上有一個(gè)放置樣品托的位置(8)，且轉(zhuǎn)盤(4)周邊有正好可以卡進(jìn)拔叉(2) 的齒牙(3)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的多功能機(jī)械手，其特征是所述推拉桿(7)的 前部分為樣品托(5)，位于樣品托(5)部分在與推拉桿(7)的連接處有一個(gè) 銷子(6)。
專利摘要一種多功能的機(jī)械手。它是在磁控濺射系統(tǒng)的濺射室里的一種分離推拉桿與樣品托的裝置，只需要將機(jī)械手的前端由圓柱體形狀變成長方體形狀，實(shí)驗(yàn)人員用機(jī)械手的前端接觸樣品托上圓柱體形狀的銷子時(shí)就不會打滑，能夠快速準(zhǔn)確地分離樣品托和推拉桿。同時(shí)在機(jī)械手距離長方體最前端60毫米位置焊接一個(gè)長15毫米、寬25毫米的長方形撥叉，這個(gè)撥叉寬度正好可以卡進(jìn)齒輪的齒牙，用以調(diào)節(jié)齒輪，使齒輪上的孔(齒輪上只有這一個(gè)孔)對準(zhǔn)樣品托，同時(shí)固定齒輪。結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，既省時(shí)又省力，能達(dá)到事半功倍的效果。
文檔編號B25J1/00GK201061881SQ20062003634
公開日2008年5月21日 申請日期2006年11月21日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月21日
發(fā)明者明 徐, 紀(jì)紅萱, 陳衛(wèi)東 申請人:紀(jì)紅萱;陳衛(wèi)東;徐 明