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一種硅片線切割機(jī)的制作方法

文檔序號:11396952閱讀:242來源:國知局
一種硅片線切割機(jī)的制造方法與工藝

本實(shí)用新型屬于硅片線切割技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種硅片線切割機(jī)。



背景技術(shù):

傳統(tǒng)的硅片線切割設(shè)備的切割頭,軸承箱的中心距比較寬,中心距寬,導(dǎo)輪的轉(zhuǎn)動速度慢,切割效率低,切割的過程容易斷線,硅片容易碎裂,更嚴(yán)重會導(dǎo)致整個(gè)硅棒斷裂。原有的砂漿噴嘴是直接噴在硅片或線網(wǎng)上,砂漿對硅片撞擊力度較大,容易造成硅片破裂,線網(wǎng)上也不能均勻地分布砂漿;另外傳統(tǒng)的砂漿噴嘴使用數(shù)量多,安裝繁瑣。

傳統(tǒng)的硅片線切割設(shè)備的收放線工裝上面有兩個(gè)導(dǎo)向輪,切割線呈S型走向,容易脫線,導(dǎo)致斷線。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為解決現(xiàn)有技術(shù)和實(shí)際情況中存在的上述問題,本實(shí)用新型提供了一種硅片線切割機(jī),包括切割頭、進(jìn)給臺、進(jìn)給臺固定架、收放線工裝、線筒室和主電機(jī),所述進(jìn)給臺固定于進(jìn)給臺固定架,所述切割頭位于所述進(jìn)給臺下方,所述切割頭一側(cè)設(shè)有收放線工裝,所述進(jìn)給臺固定架另一側(cè)設(shè)有線筒室;所述切割頭包括切割頭底座、位于切割頭底座兩端的切割頭立柱,砂漿噴嘴、碎片盒,所述切割頭立柱上設(shè)有兩個(gè)用于安裝切割頭軸承箱的軸承的切割頭安裝孔;所述砂漿噴嘴位于所述切割頭立柱中間,兩側(cè)各一個(gè),相對設(shè)置;兩個(gè)所述砂漿噴嘴之間位于砂漿噴嘴下面設(shè)有碎片盒。

優(yōu)選地,所述砂漿噴嘴包括蓄水槽,所述蓄水槽上設(shè)有進(jìn)水口,所述蓄水槽兩側(cè)設(shè)有支撐架,所述蓄水槽側(cè)面設(shè)有出水孔,所述出水孔下面設(shè)有傾斜的導(dǎo)流板。

優(yōu)選地,所述收放線工裝包括兩個(gè)固定支撐塊、兩個(gè)支撐塊、兩個(gè)導(dǎo)向輪支撐塊和收放線工裝固定底座,所述固定支撐塊與收放線工裝固定底座固定連接,所述支撐塊與固定支撐塊固定連接,所述導(dǎo)向輪支撐塊與支撐塊連接,所述導(dǎo)向輪支撐塊上設(shè)有導(dǎo)向輪安裝孔。

優(yōu)選地,所述線筒室包括底板、所述底板上部平行安裝有兩個(gè)張力臂電機(jī),與所述張力臂電機(jī)相連設(shè)有張力臂,所述張力臂下端設(shè)有張力臂導(dǎo)向輪,所述底板下部平行設(shè)有兩個(gè)導(dǎo)向輪支架,所述導(dǎo)向輪支架上設(shè)有轉(zhuǎn)向?qū)蜉?,左?cè)導(dǎo)向輪支架位于左側(cè)張力臂導(dǎo)向輪的右下方,右側(cè)導(dǎo)向輪支架位于右側(cè)張力臂導(dǎo)向輪的右下方;所述底板右側(cè)依次設(shè)有放線輪和收線輪,所述收線輪和放線輪左上方分別設(shè)有收線導(dǎo)向輪和放線導(dǎo)向輪。

在切割導(dǎo)輪的兩側(cè)設(shè)置砂漿噴嘴,砂漿在盒子里面裝滿后,勻速流出,對硅片沖擊力不大,位于兩側(cè)砂漿也可以在線網(wǎng)上均勻分布。

碎片盒上方有切割線組和硅棒,在切割的過程中,有部分硅片會掉落,硅片會掉落在碎片盒里面,有部分可以進(jìn)行回收利用;碎片盒位于線網(wǎng)下部,有效保護(hù)碎片,便于收集。

本實(shí)用新型硅片線切割機(jī)的切割頭,安裝孔的中心距縮小了,線網(wǎng)縮小了,更穩(wěn)定不容易斷線,切割質(zhì)量更高,提高生產(chǎn)效率和硅片的合格率。

本實(shí)用新型優(yōu)化導(dǎo)向輪排布結(jié)構(gòu),線筒室小導(dǎo)輪的數(shù)量由原來的10個(gè)減少到6個(gè),切割室由4個(gè)減少到2個(gè),提升切割效率,降低斷線概率;本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)改變,同時(shí)改變張力臂和電機(jī)排布位置,提升切割效率,適應(yīng)專用金剛線切割。

本實(shí)用新型的收放線工裝提升了切割效率,降低了斷線概率。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的硅片線切割機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的硅片線切割機(jī)的切割頭的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的硅片線切割機(jī)的線筒室的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例的硅片線切割機(jī)的收放線工裝的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示,一種硅片線切割機(jī),包括切割頭3、進(jìn)給臺2、進(jìn)給臺固定架1、收放線工裝4、線筒室6和主電機(jī)5,所述進(jìn)給臺2固定于進(jìn)給臺固定架1,所述切割頭3位于所述進(jìn)給臺2下方,所述切割頭3一側(cè)設(shè)有收放線工裝4,進(jìn)給臺固定架1另一側(cè)設(shè)有線筒室6;

如圖2所示,所述切割頭3,包括切割頭底座34、位于切割頭底座34兩端的切割頭立柱35,砂漿噴嘴31、碎片盒37,所述切割頭立柱35上設(shè)有兩個(gè)用于安裝切割頭軸承箱的軸承的切割頭安裝孔32;所述砂漿噴嘴31位于所述切割頭立柱35中間,兩側(cè)各一個(gè),相對設(shè)置;兩個(gè)所述砂漿噴嘴31之間位于砂漿噴嘴31下面設(shè)有碎片盒37。

所述砂漿噴嘴31包括蓄水槽40,所述蓄水槽40上設(shè)有進(jìn)水口11,所述蓄水槽40兩側(cè)設(shè)有支撐架12,所述蓄水槽側(cè)面設(shè)有出水孔,所述出水孔下面設(shè)有傾斜的導(dǎo)流板39。

如圖4所示,所述收放線工裝4,包括兩個(gè)固定支撐塊41、兩個(gè)支撐塊42、兩個(gè)導(dǎo)向輪支撐塊43、收放線工裝固定底座48,所述固定支撐塊41與收放線工裝固定底座48固定連接,所述支撐塊42與固定支撐塊41固定連接,所述導(dǎo)向輪支撐塊43與支撐塊42連接,所述導(dǎo)向輪支撐塊43上設(shè)有導(dǎo)向輪安裝孔,所述導(dǎo)向輪安裝孔上安裝有導(dǎo)向輪。

所述支撐塊42上設(shè)有支撐塊安裝孔47,所述固定支撐塊41通過支撐塊安裝孔47固定連接于收放線工裝固定底座48。

如圖3所示,所述線筒室6,包括底板21、所述底板21上部平行安裝有兩個(gè)張力臂電機(jī)22,與所述張力臂電機(jī)22相連設(shè)有張力臂23,所述張力臂23下端設(shè)有張力臂導(dǎo)向輪24,所述底板21下部平行設(shè)有兩個(gè)導(dǎo)向輪支架30,所述導(dǎo)向輪支架30上設(shè)有轉(zhuǎn)向?qū)蜉?5,左側(cè)導(dǎo)向輪支架30位于左側(cè)張力臂導(dǎo)向輪24的右下方,右側(cè)導(dǎo)向輪支架30位于右側(cè)張力臂導(dǎo)向輪24的右下方;所述底板右側(cè)依次設(shè)有放線輪29和收線輪28,所述收線輪28和放線輪29左上方分別設(shè)有收線導(dǎo)向輪27和放線導(dǎo)向輪26。

依次纏繞放線輪29、放線導(dǎo)向輪26、左側(cè)張力臂導(dǎo)向輪24、左側(cè)轉(zhuǎn)向?qū)蜉?5設(shè)有通向切割室切割線,依次纏繞右側(cè)轉(zhuǎn)向?qū)蜉?5、右側(cè)張力臂導(dǎo)向輪24、收線導(dǎo)向輪27和收線輪8設(shè)有由切割室回來切割線。

所述主電機(jī)5用于驅(qū)動切割室導(dǎo)輪。

最后應(yīng)說明的是:以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已,并不用于限制本實(shí)用新型,盡管參照前述實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明,對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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