金剛線切割機(jī)硅粉過濾系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及金剛線切割技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種金剛線切割機(jī)硅粉過濾系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在金剛線切割中，切割液是回收再循環(huán)利用的，然而切割過程中，會(huì)因刀口切割而產(chǎn)生大量的硅粉，硅粉融入到切割液中，而硅粉在切割中起到阻礙切割的作用，使得金剛線切割力大受影響。隨著切割的深入，切割液中硅粉含量越來越多，影響越來越大，造成硅片表面附著嚴(yán)重，難以清洗，并出現(xiàn)氧化、色斑等情況，因此，便需要對(duì)過濾系統(tǒng)的過濾栗進(jìn)行清洗，然而，如果對(duì)過濾栗進(jìn)行清洗，就需要將整臺(tái)機(jī)器停機(jī)，將過濾栗摘下，浪費(fèi)時(shí)間，使得工作不連續(xù)，影響工作效率。
[0003]如圖1所示，其為現(xiàn)有技術(shù)中的金剛線切割機(jī)硅粉過濾系統(tǒng)，切割液收集裝置I收集切割液，通過第一過濾管路3輸入到過濾栗5中，經(jīng)過過濾栗5的過濾，然后通過輸出管路將切割液輸送至切割液噴出口 11，對(duì)硅片進(jìn)行冷卻、降溫。工作過程中，需要對(duì)過濾栗5進(jìn)行清理，將過濾栗5拆下，必須停機(jī)才能進(jìn)行此項(xiàng)工作，因此，到導(dǎo)致工作的中止、暫停，影響工作的連續(xù)性，浪費(fèi)工作時(shí)間，降低工作的效率。
[0004]再者，在實(shí)際生產(chǎn)中，過濾栗剛剛進(jìn)行清洗更換顧慮網(wǎng)后的一段時(shí)間內(nèi)，回收的切割液中硅粉的含量并不高，并不會(huì)影響到切割質(zhì)量，因此，在整個(gè)工作時(shí)間內(nèi)，使得過濾栗均處于工作的狀態(tài)，存在的能源的浪費(fèi)。
[0005]因此，如何研發(fā)一種在對(duì)過濾栗進(jìn)行清洗的過程中，使得金剛線切割機(jī)工作連續(xù)、不停機(jī)，節(jié)約工作時(shí)間、提高工作效率，并且設(shè)計(jì)合理，節(jié)約能源的金剛線切割機(jī)硅粉過濾系統(tǒng)，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的技術(shù)問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題，是提供一種金剛線切割機(jī)硅粉過濾系統(tǒng)，其設(shè)計(jì)更加科學(xué)、合理，減少浪費(fèi)、節(jié)約了能源。
[0007]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:
[0008]金剛線切割機(jī)硅粉過濾系統(tǒng)，包括切割液收集裝置、切割液噴出口和連通二者之間的第一過濾管路，所述第一過濾管路上設(shè)有過濾栗I，在切割液收集裝置和切割液噴出口之間還設(shè)有連通二者的且與所述第一過濾管路并列的連通管路；所述連通管路上設(shè)有閥門III ;所述第一過濾管路上還設(shè)有位于過濾栗I的上游的閥門I ;所述第一過濾管路和連通管路的上游還設(shè)有硅粉的檢測(cè)裝置。
[0009]作為優(yōu)選，所述切割液收集裝置和切割液噴出口之間還設(shè)有連通二者的且與所述第一過濾管路和連通管路并列的第二過濾管路，所述第二過濾管路上設(shè)有過濾栗II和位于過濾栗II上游的閥門II。
[0010]作為優(yōu)選，所述閥門1、閥門II和閥門III均為電磁閥，還設(shè)有控制電磁閥打開和關(guān)閉的控制裝置。
[0011]作為優(yōu)選，所述過濾栗I和過濾栗II內(nèi)部設(shè)有目數(shù)為100-120的圓筒濾網(wǎng)及過濾袋。
[0012]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:
[0013]1、本實(shí)用新型通過在原有的過濾管路上增加一條與原管路并列的沒有過濾栗的新管路，并在兩條管路上均設(shè)置閥門，在兩條管路的上游設(shè)置硅粉的檢測(cè)裝置，以實(shí)現(xiàn)通過檢測(cè)裝置檢測(cè)切割液中硅粉的含量，當(dāng)硅粉含量較低，不會(huì)影響硅片質(zhì)量時(shí)，啟用不需要過濾的管路；當(dāng)切割液中的硅粉含量較高，以至于影響硅片的切割質(zhì)量時(shí)，關(guān)閉無過濾作用的新管路，打開過濾管路，對(duì)切割液中的硅粉進(jìn)行過濾，以保證硅片表面的質(zhì)量。這種系統(tǒng)設(shè)計(jì)，科學(xué)、合理，減少了浪費(fèi)、節(jié)約了能源。
[0014]2、本實(shí)用新型在上述兩條管路的基礎(chǔ)上，增加第二條過濾管路，此管路上設(shè)有第二過濾栗和閥門II，當(dāng)?shù)谝贿^濾管路的過濾栗需要清洗時(shí)，關(guān)閉閥門I，同時(shí)打開閥門II，通過第二過濾栗進(jìn)行過濾，此時(shí)可以摘下第一過濾栗進(jìn)行清洗，而不影響工作的連續(xù)性。這種結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了當(dāng)切割液的中硅粉含量較高，但是過濾栗又需要進(jìn)行清洗的情況下，切割機(jī)工作的連續(xù)性，提高了工作效率。
[0015]3、在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，將所有閥門均設(shè)為電磁閥，通過控制裝置對(duì)電磁閥的控制，實(shí)現(xiàn)了工作的自動(dòng)化，提高了工作效率，節(jié)省了人力資源。
【附圖說明】
[0016]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的過濾系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]各圖號(hào)名稱為:1 一切割液收集裝置；2—硅粉檢測(cè)裝置；3—第一過濾管路；4一閥門I ;5—過濾栗I ;6—第二過濾管路；7—閥門II ；8一過濾栗II ；9一閥門111;10—連通管路；11一切割液噴出口。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0020]如圖2所示，本實(shí)用新型包括切割液收集裝置1、切割液噴出口 11和連通二者之間的第一過濾管路3，所述第一過濾管路3上設(shè)有過濾栗I 5，在切割液收集裝置I和切割液噴出口 11之間還設(shè)有連通二者的且與所述第一過濾管路3并列的連通管路10 ;所述連通管路10上設(shè)有閥門III9;所述第一過濾管路3上還設(shè)有位于過濾栗I 5的上游的閥門I 4;所述第一過濾管路3和連通管路10的上游還設(shè)有硅粉的檢測(cè)裝置2。
[0021]本實(shí)用新型的工作過程為，首先開機(jī)，此時(shí)的過濾栗處于過濾良好的狀態(tài)，硅粉的檢測(cè)裝置2檢測(cè)到切割液中的硅粉含量較低，不會(huì)影響硅片表面質(zhì)量，此時(shí)關(guān)閉閥門I 4，第一過濾管路3不通，同時(shí)打開閥門III 9，切割液通過連通管路10，從切割液噴出口 11噴出，對(duì)硅片表面進(jìn)行降溫冷卻；當(dāng)工作一段時(shí)間后，硅粉的檢測(cè)裝置2檢測(cè)到切割液中的硅粉含量較高，會(huì)影響硅片表面質(zhì)量時(shí)，關(guān)閉閥門III 9，同時(shí)打開。
[0022]采用上述結(jié)構(gòu)的有益效果在于:系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)科學(xué)、合理，減少了浪費(fèi)、節(jié)約了能源，以最低的能源消耗保證了硅片表面的切割質(zhì)量。
[0023]進(jìn)一步的，所述切割液收集裝置I和切割液噴出口 11之間還設(shè)有連通二者的且與所述第一過濾管路3和連通管路10并列的第二過濾管路6，所述第二過濾管路6上設(shè)有過濾栗II 8和位于過濾栗II 8上游的閥門II 7。
[0024]本實(shí)用新型在上述兩條管路的基礎(chǔ)上，增加第二條過濾管路6，此管路6上設(shè)有第二過濾栗8和閥門II 7，當(dāng)?shù)谝贿^濾管路3的過濾栗5需要清洗時(shí)，關(guān)閉閥門I 4，同時(shí)打開閥門II 7，通過第二過濾栗8進(jìn)行過濾，此時(shí)可以摘下第一過濾栗5進(jìn)行清洗，而不影響工作的連續(xù)性。
[0025]采用上述結(jié)構(gòu)的有益效果在于:實(shí)現(xiàn)了當(dāng)切割液的中硅粉含量較高，但是過濾栗又需要進(jìn)行清洗的情況下，切割機(jī)工作的連續(xù)性，提高了工作效率。
[0026]進(jìn)一步的，所述閥門I 4、閥門II 7和閥門III9均為電磁閥，還設(shè)有控制電磁閥打開和關(guān)閉的控制裝置。
[0027]采用上述結(jié)構(gòu)的有益效果在于:將所有閥門均設(shè)為電磁閥，通過控制裝置對(duì)電磁閥的控制，實(shí)現(xiàn)了工作的自動(dòng)化，提高了工作效率，節(jié)省了人力資源。
[0028]進(jìn)一步的，所述過濾栗I 5和過濾栗II 8內(nèi)部設(shè)有目數(shù)為100-120的圓筒濾網(wǎng)及過濾袋。
[0029]采用上述結(jié)構(gòu)的有益效果在于:可以提高過濾栗的過濾效果，延長(zhǎng)過濾栗的使用時(shí)間，降低切割液中硅粉的含量，保證硅片的切割質(zhì)量。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.金剛線切割機(jī)硅粉過濾系統(tǒng)，包括切割液收集裝置(I)、切割液噴出口(11)和連通二者之間的第一過濾管路(3)，所述第一過濾管路(3)上設(shè)有過濾栗I (5)，其特征在于:在切割液收集裝置(I)和切割液噴出口(11)之間還設(shè)有連通二者的且與所述第一過濾管路(3)并列的連通管路(10);所述連通管路(10)上設(shè)有閥門111(9);所述第一過濾管路(3)上還設(shè)有位于過濾栗I (5)的上游的閥門I (4);所述第一過濾管路(3)和連通管路(10)的上游還設(shè)有硅粉的檢測(cè)裝置(2 )。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛線切割機(jī)硅粉過濾系統(tǒng)，其特征在于:所述切割液收集裝置(I)和切割液噴出口( 11)之間還設(shè)有連通二者的且與所述第一過濾管路(3 )和連通管路(10)并列的第二過濾管路(6)，所述第二過濾管路(6)上設(shè)有過濾栗II (8)和位于過濾栗II (8)上游的閥門II (7)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金剛線切割機(jī)硅粉過濾系統(tǒng)，其特征在于:所述閥門I(4)、閥門II (7)和閥門111(9)均為電磁閥，還設(shè)有控制電磁閥打開和關(guān)閉的控制裝置。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的金剛線切割機(jī)硅粉過濾系統(tǒng)，其特征在于:所述過濾栗I (5)和過濾栗II (8)內(nèi)部設(shè)有目數(shù)為100-120的圓筒濾網(wǎng)及過濾袋。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種金剛線切割機(jī)硅粉過濾系統(tǒng)，屬于金剛線切割技術(shù)領(lǐng)域，包括切割液收集裝置、切割液噴出口和連通二者之間的第一過濾管路，所述第一過濾管路上設(shè)有過濾泵Ⅰ，在切割液收集裝置和切割液噴出口之間還設(shè)有連通二者的且與所述第一過濾管路并列的連通管路；所述連通管路上設(shè)有閥門Ⅲ；所述第一過濾管路上還設(shè)有位于過濾泵Ⅰ的上游的閥門Ⅰ；所述第一過濾管路和連通管路的上游還設(shè)有硅粉的檢測(cè)裝置。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)更加科學(xué)、合理，減少浪費(fèi)、節(jié)約了能源。
【IPC分類】B28D7/00, B28D5/00
【公開號(hào)】CN204869281
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520557504
【發(fā)明人】王會(huì)敏, 何京輝, 李立偉, 張立濤, 史彪
【申請(qǐng)人】邢臺(tái)晶龍電子材料有限公司
【公開日】2015年12月16日
【申請(qǐng)日】2015年7月29日