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一種多邊結(jié)構(gòu)尺寸硅片的切割方法及粘棒工裝與流程

文檔序號:11700400閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種多邊結(jié)構(gòu)尺寸硅片的切割方法及粘棒工裝,其中包含如下步驟:(1)粘膠;(2)上料;(3)線切割,通過對現(xiàn)有金剛線多線切割工藝做優(yōu)化,實(shí)施對多邊結(jié)構(gòu)晶棒的切片;(4)下料,采用上下料工裝將加工完成后的硅片運(yùn)送脫膠機(jī)中;(5)脫膠,清洗檢測,包裝。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于,能夠在現(xiàn)有的多線切割設(shè)備、輔材不變的基礎(chǔ)上,對切割工藝進(jìn)行簡單調(diào)整,完成多線切割多邊結(jié)構(gòu)的晶棒,同時(shí)能夠在現(xiàn)有的晶圓直徑不變的基礎(chǔ)上,切割出的單張硅片表面積比現(xiàn)有的單張硅片表面積增加22.5%以上,進(jìn)一步提高了設(shè)備產(chǎn)能。

技術(shù)研發(fā)人員:胡立鋒;王新平
受保護(hù)的技術(shù)使用者:樂葉光伏科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.04.12
技術(shù)公布日:2017.07.18
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