【技術(shù)領(lǐng)域】
本發(fā)明涉太陽(yáng)能級(jí)硅片切割技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種多邊結(jié)構(gòu)尺寸硅片的切割方法及粘棒工裝。
背景技術(shù):
目前,用來(lái)在多線切割機(jī)上,用來(lái)切割太陽(yáng)能級(jí)硅片的硅棒形狀主要為四方棱柱,其中主要分為單晶、多晶兩大類尺寸,其中主流尺寸為8.4英寸,其余也有6英寸,但目前已逐漸淘汰,主要原因是隨著技術(shù)進(jìn)步與市場(chǎng)需求的推動(dòng),對(duì)硅片單位面積發(fā)電量有了更高要求。為此,太陽(yáng)能級(jí)硅片尺寸從最初的3英寸圓片逐漸增加到今天主流的8.4英寸方片,在同樣為8英寸的硅片中,單晶硅片比多晶硅片轉(zhuǎn)換效率高,然而單晶硅片的有效面積卻要稍微小一點(diǎn),主要是因?yàn)閱尉Ч杵姆桨羰怯蓤A棒切割四個(gè)邊角形成,為了進(jìn)一步提高單晶單張硅片面積,不得已才有了四個(gè)圓弧倒角。長(zhǎng)期以來(lái),從單晶圓棒成本、切方去除邊料成本、單張硅片面積大小、組件有效發(fā)電表面積等因素綜合計(jì)算,得出現(xiàn)在主流的8.4寸單晶硅片,邊長(zhǎng)156.75mm,圓弧投影長(zhǎng)度8.5mm。盡管現(xiàn)有的8.4吋單晶硅片綜合成本已經(jīng)下降不少,但為了進(jìn)一步提高材料與能源的有效利用,還需要進(jìn)一步的采取措施。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題,本發(fā)明的目的在于提供一種多邊結(jié)構(gòu)尺寸硅片的切割方法及粘棒工裝,通過(guò)該方法能夠提高硅片與晶圓面積比,以降低單晶硅片的綜合成本。
本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下:
一種多邊結(jié)構(gòu)尺寸硅片的切割方法,包括如下步驟:
步驟一、粘膠,將樹(shù)脂板、晶托和邊數(shù)不少于五的多邊形晶棒粘接為粘棒工裝;
步驟二、上料,將粘棒工裝安裝到上下料工裝上;
步驟三、切割,通過(guò)線切割將粘棒工裝沿徑向切割成切割片;
步驟四、下料,通過(guò)上下料工裝將加工完成后的切割片從切片機(jī)中卸下;
步驟五、脫膠,將切割片進(jìn)行脫膠,使樹(shù)脂板、晶托和硅片分離。
所述步驟一中,先將樹(shù)脂板與晶托粘接,固化20-30min,再將多邊形晶棒與樹(shù)脂板粘接,預(yù)固化20-40min,再將多邊形晶棒、樹(shù)脂板和晶托粘接而成的粘棒工裝放置到二次固化區(qū),固化2-4h。
所述步驟二中,將粘棒工裝安裝到上下料工裝上后,對(duì)晶棒進(jìn)行清潔。
所述步驟三中,線切割粘棒工裝時(shí),采用雙向往復(fù)切割,隨著多邊形晶棒切割面積大小的變化,單位時(shí)間需求鋼線量做同步變化,以使得參與切割的鋼線磨損更加均勻。
線切割粘棒工裝時(shí),將多邊形晶棒沿徑向等分為若干段,隨著多邊形晶棒切割面積大小的變化趨勢(shì),單位時(shí)間需求鋼線量以及進(jìn)給量做同步變化。
在開(kāi)始線切割粘棒工裝時(shí),鋼線速度設(shè)定為500-800m/min,進(jìn)給速度設(shè)定為0.4-1mm/min,當(dāng)切割到2-3mm時(shí),鋼線速度設(shè)定為1000-1500m/min,切割最大進(jìn)給速度設(shè)定為1.5mm/min。
一種多邊結(jié)構(gòu)尺寸硅片的粘棒工裝,包括樹(shù)脂板、晶托和邊數(shù)不少于五的多邊形晶棒,樹(shù)脂板與晶托粘接,多邊形晶棒粘接于樹(shù)脂板的表面。
所述樹(shù)脂板為平板狀,多邊形晶棒的一個(gè)面與樹(shù)脂板粘接。
所述樹(shù)脂板與多邊形晶棒粘接的面上設(shè)有v形槽,該v形槽兩邊的夾角的與多邊形晶棒相鄰兩個(gè)面的夾角相同。
所述多邊形晶棒的截面形狀為正多邊形。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有如下有益效果:
本發(fā)明的多邊結(jié)構(gòu)尺寸硅片的切割方法通過(guò)粘膠、上料、切割、下料和脫膠工藝對(duì)邊數(shù)不少于五的多邊形晶棒進(jìn)行切割,能夠在現(xiàn)有的多線切割設(shè)備、輔材不變的基礎(chǔ)上,對(duì)切割工藝進(jìn)行調(diào)整,完成多線切割多邊結(jié)構(gòu)的晶棒,同時(shí)能夠在現(xiàn)有的晶圓直徑不變的基礎(chǔ)上,切割出的單張硅片表面積比現(xiàn)有的單張硅片表面積增加22.5%以上,進(jìn)一步提高了設(shè)備產(chǎn)能。
進(jìn)一步的,線切割粘棒工裝時(shí),采用雙向往復(fù)切割,隨著多邊形晶棒切割面積大小的變化,單位時(shí)間需求鋼線量做同步變化,采用這種方式使得參與切割的鋼線磨損更加均勻,從而保證加工出的硅片品質(zhì)不受影響;采用這種方式切割能夠保證出刀時(shí)順利切透,進(jìn)一步降低崩邊、邊緣的不良。
進(jìn)一步的,線切割粘棒工裝時(shí),將多邊形晶棒沿徑向等分為若干段,隨著多邊形晶棒切割面積大小的變化趨勢(shì),單位時(shí)間需求鋼線量以及進(jìn)給量做同步變化,因此能夠滿足不同邊數(shù)的晶棒切割,而且在切割時(shí)可操作性更強(qiáng)。
【附圖說(shuō)明】
圖1為本發(fā)明所使用的樹(shù)脂版的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為本發(fā)明所使用的晶托的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3為本發(fā)明所使用的晶棒的一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4為本發(fā)明的實(shí)施1和實(shí)施例2中所使用的晶托、樹(shù)脂板、晶棒三者粘接方式示意圖;
圖5為本發(fā)明的截面為正六棱柱的晶棒在切割倉(cāng)中安裝待切割示意圖;
圖6為本發(fā)明實(shí)例1中對(duì)六棱柱晶棒分割方式示意圖;
圖7本發(fā)明實(shí)例1中切割位置、進(jìn)給速度、分割數(shù)、線速度關(guān)系圖;
圖8為本發(fā)明六棱柱需求的另一種樹(shù)脂板結(jié)構(gòu)示意圖;
圖9為本發(fā)明實(shí)例2中切割正六棱柱晶棒另一種分割方式示意圖;
圖10為本發(fā)明實(shí)例2中切割正六棱柱晶棒的另一種分割方式示意圖;
圖11為本發(fā)明實(shí)例2中切割位置、進(jìn)給速度、分割數(shù)、線速度關(guān)系圖;
圖12為本發(fā)明實(shí)例3中切割正五棱柱晶棒在切割倉(cāng)中安裝待切割示意圖;
圖13為本發(fā)明實(shí)例3中切割正五棱柱晶棒的一種分割方式示意圖;
圖14為本發(fā)明實(shí)例3中切割位置、進(jìn)給速度、分割數(shù)、線速度關(guān)系圖。
其中,1-樹(shù)脂板,2-晶托,2-1-安裝孔,3-晶棒,4-等分線,5-線網(wǎng),6-1-第一主輥,6-2-第二主輥,7-槽,8-切割起始位置,9-分割線。
【具體實(shí)施方式】
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例來(lái)對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明。
如圖1-圖14所示,本發(fā)明的多邊結(jié)構(gòu)尺寸硅片的粘棒工裝,包括樹(shù)脂板1、晶托2和邊數(shù)不少于五的正多邊形晶棒3,樹(shù)脂板1與晶托2粘接,多邊形晶棒3粘接于樹(shù)脂板1的表面。
如圖1、圖4和圖12所示,樹(shù)脂板為平板狀,多邊形晶棒的一個(gè)面與樹(shù)脂板粘接。
如圖8和圖9所示,樹(shù)脂板與多邊形晶棒粘接的面上設(shè)有v形槽,該v形槽兩邊的夾角與多邊形晶棒相鄰兩個(gè)面的夾角相同。
本發(fā)明的一種多邊結(jié)構(gòu)尺寸硅片的切割方法,包括如下步驟:
步驟一、粘膠,將樹(shù)脂板1、晶托2和邊數(shù)不少于五的多邊形晶棒3粘接為粘棒工裝,具體的,先將樹(shù)脂板與晶托粘接,固化20-30min,再將多邊形晶棒與樹(shù)脂板粘接,預(yù)固化20-40min,再將多邊形晶棒、樹(shù)脂板和晶托粘接而成的粘棒工裝放置到二次固化區(qū),固化2-4h;
步驟二、上料,先對(duì)晶棒進(jìn)行清潔,檢查棱邊有無(wú)破損缺口,再將粘棒工裝安裝到上下料工裝上;
步驟三、切割,通過(guò)線切割將粘棒工裝沿徑向切割成切割片,具體的,線切割粘棒工裝時(shí),采用雙向往復(fù)切割,將多邊形晶棒沿徑向等分為若干段,隨著多邊形晶棒切割面積大小的變化趨勢(shì),單位時(shí)間需求鋼線量以及進(jìn)給量做同步變化,以使得參與切割的鋼線磨損更加均勻;
在開(kāi)始線切割粘棒工裝時(shí),鋼線速度設(shè)定為500-800m/min,進(jìn)給速度設(shè)定為0.4-1mm/min,當(dāng)切割到2-3mm時(shí),鋼線速度設(shè)定為1000-1500m/min,切割最大進(jìn)給速度設(shè)定為1.5mm/min;
步驟四、下料,通過(guò)上下料工裝將加工完成后的切割片從切片機(jī)中卸下,運(yùn)送脫膠機(jī)中,加工完成的料包含樹(shù)脂板、晶托、硅片三者粘接成的一體;
步驟五、脫膠,將切割片進(jìn)行脫膠,使樹(shù)脂板、晶托和硅片分離。
實(shí)施例1
一種多邊結(jié)構(gòu)太陽(yáng)能光伏硅片的切割方法,其步驟:(1)粘膠;(2)上料;(3)切割;(4)下料;(5)脫膠,清洗檢測(cè),包裝,其中,
(1)粘膠:如圖1所示,樹(shù)脂板1厚度5-20mm,長(zhǎng)度600-700mm,寬度100-150mm,圖2所示為,晶托2粘膠表面長(zhǎng)×寬為600×120mm,優(yōu)選為620×115mm,更優(yōu)選為650×110mm,所述晶托上設(shè)有與上下料工裝夾具以及設(shè)備連接的連接孔2-1;圖3所示,所述晶棒3的形狀為正六棱柱,邊長(zhǎng)尺寸為100-110mm,優(yōu)選為108mm。所述將樹(shù)脂板1與晶托2粘接,固化20-30min;所述將正六邊形棱柱晶棒3其中一個(gè)側(cè)平面與樹(shù)脂板粘接,預(yù)固化20-40min;所述將樹(shù)脂板、晶托、多邊結(jié)構(gòu)晶棒三者粘接成的一體放置到二次固化區(qū),固化2-4h,如圖4所示。
(2)上料:使用上料工裝將樹(shù)脂板1、晶托2、正六棱柱晶棒3三者粘接成的一體(粘棒工裝)安裝到上下料工裝上,并用酒精對(duì)晶棒做清潔,檢查棱邊有無(wú)破損缺口。所述,安裝位置為晶托上的安裝孔2-1與上下料工裝配合。
(3)線切割:切割鋼線為通常所用電鍍金剛線。切割方法為隨著切割面積的變化,單位時(shí)間內(nèi)所需求鋼線量也在做同步變化。
如圖5所示,粘接好的料在線網(wǎng)5上方,線網(wǎng)安裝在兩個(gè)對(duì)稱主輥(即第一主輥6-1和第二主輥6-2)上,所述主輥上涂覆有彈性材料,優(yōu)選為聚氨酯。彈性材料上刻有均勻一致的槽7,用來(lái)承載鋼線,保證切割出硅片的厚度。
如圖6所示,晶棒等分分割示意圖,將晶棒橫斷面等分為n=n1+n2=10份;以分割線9為界線將晶棒橫斷面分為上下兩部分,其中n1=5為下半部分分割數(shù),n2=5為上半部分分割數(shù)。開(kāi)始切割時(shí),鋼線速度設(shè)定為500m/min,進(jìn)給速度設(shè)定為0.6mm/min,當(dāng)切割到2mm(即到達(dá)切割線起始位置8)處時(shí),鋼線速度設(shè)定為1200m/min,切割最大進(jìn)給速度設(shè)定為1.5mm/min,采用往復(fù)雙向切割,每分割數(shù)需要鋼線量依照逐漸遞增、逐漸遞減方式進(jìn)給。如:設(shè)定總新線供給量sn=6.3km,硅棒橫斷面總分割數(shù)n=n1+n2=10,n1=5,n2=5。分割數(shù)從下向上依次記為1,2,3…10。前5個(gè)分割數(shù)的新線供給量以等差數(shù)列形式遞增,其中第1個(gè)分割數(shù)新線供給量記作a1=0.3km,第2個(gè)分割數(shù)新線供給量a2=0.5km,依次,第5個(gè)分割數(shù)新線供給量a5=1.1km,公差為d1=a2-a1=200m,且d1>0;第6個(gè)至第9個(gè)分割數(shù)的新線供給量以等差數(shù)列形式遞減,第9個(gè)分割數(shù)的新線供給量與第10個(gè)分割數(shù)的新線供給量相等,其中第6個(gè)分割數(shù)新線供給量a6=0.9km,第7個(gè)分割數(shù)新線供給量a7=0.7km,第9、10個(gè)分割數(shù)新線供給量a9=a10=0.3km,公差為d2=a6-a7=200m,且d2>0。如圖7所示,為該實(shí)例切割位置與新線供給量關(guān)系曲線。
(4)下料:使用上下料工裝將切完成后的料卸下,所述,下料工裝應(yīng)通過(guò)晶托插孔來(lái)完成下料。下料后需要切割硅片外觀有無(wú)破損。
(5)脫膠,清洗檢測(cè),包裝:工藝要求脫膠、清洗、包裝工藝與現(xiàn)有的相同;所述檢測(cè)工藝中要求設(shè)定檢測(cè)設(shè)備硅片尺寸為本發(fā)明多邊結(jié)構(gòu)硅片尺寸。檢測(cè)設(shè)備可選為漢尼科,可選為應(yīng)用材料等。
實(shí)施例2:一種多邊結(jié)構(gòu)太陽(yáng)能光伏硅片的切割方法,其步驟:(1)粘膠;(2)上料;(3)切割;(4)下料;(5)脫膠,清洗檢測(cè),包裝。其中,
(1)粘膠:如圖8所示,樹(shù)脂板為楔形結(jié)構(gòu),所述與晶托粘接表面尺寸:長(zhǎng)度為600-700mm,寬度100-150mm;樹(shù)脂板的第一上表面1.1與第二上表面1.2與晶棒上同一棱邊兩側(cè)的表面粘接,晶托2粘膠表面長(zhǎng)×寬為600×120mm。所述晶托上具有與上下料工裝夾具以及設(shè)備連接的連接孔2-1。所述晶棒3為正六棱柱,邊長(zhǎng)尺寸為100-110mm,優(yōu)選為108mm。所述將樹(shù)脂板與晶托2粘接,固化20-30min;所述將正六邊形棱柱晶棒3其中2個(gè)平面即上同一棱邊兩側(cè)的表面與樹(shù)脂板的第一上表面1.1和第二上表面1.2粘接,預(yù)固化20-40min;所述將樹(shù)脂板、晶托、多邊結(jié)構(gòu)晶棒三者粘接成的一體放置到二次固化區(qū),固化2-4h。
(2)上料:使用上料工裝將樹(shù)脂板、晶托2、正六棱柱晶棒3三者粘接成的一體安裝到上下料工裝上,并用酒精對(duì)晶棒做清潔,檢查棱邊有無(wú)破損缺口。所述,安裝位置為晶托上的安裝孔2-1與上下料工裝配合。
(3)線切割:將料裝入切片機(jī)后,如圖9所示,為切割六棱柱晶棒在切片機(jī)中的另一種切割示意圖。其中粘接好的料在線網(wǎng)5上方,線網(wǎng)安裝在兩個(gè)對(duì)稱主輥上,所述主輥上涂覆有彈性材料,優(yōu)選為聚氨酯。彈性材料商刻有均勻一致的槽,用來(lái)承載鋼線,保證切割出硅片的厚度。
如圖10所示,晶棒等分分割示意圖,總體以分割線9為界線將晶棒橫斷面分為上中下三部分,通過(guò)等分線4將晶棒橫斷面分為n=13份,下部分為n1=5份,中部分為n2=3份,上部分為n3=5份。開(kāi)始切割時(shí),鋼線速度設(shè)定為700m/min,進(jìn)給速度設(shè)定為0.8mm/min,當(dāng)切割到2mm(即到達(dá)切割線起始位置8)處時(shí),鋼線速度設(shè)定為1400m/min,切割最大進(jìn)給速度設(shè)定為1.5mm/min,采用往復(fù)雙向切割,每分割數(shù)需要鋼線量依照逐漸遞增、恒定、逐漸遞減方式進(jìn)給。如:設(shè)定總新線供給量sn=7km,硅棒橫斷面總分割數(shù)n=n1+n2+n3=13,n1=5,n2=3,n3=5,分割數(shù)從下向上依次記為0,2,3…12。n1分割為5部分,前5個(gè)分割數(shù)的新線供給量以等差數(shù)列形式遞增,其中第0個(gè)分割數(shù)新線供給量記作a0=0.1km,第1個(gè)分割數(shù)新線供給量a1=0.2km,依次第4個(gè)分割數(shù)新線供給量a4=0.5km,公差為d1=a2-a1=100m,且d1>0;n2分割為3部分,分割數(shù)新線供給量分別記作a5、a6、a7且各部分新線供給量均為c=0.9km;n3分割為5部分,分別記為a8,a9….a12。第8個(gè)至第11個(gè)分割數(shù)的新線供給量以等差數(shù)列形式遞減,第11個(gè)分割數(shù)的新線供給量與第12個(gè)分割數(shù)的新線供給量相等,其中第8個(gè)分割數(shù)新線供給量a8=0.7km,第9個(gè)分割數(shù)新線供給量a9=0.6km,第10個(gè)分割數(shù)新線供給量a10=0.5km,第11、12個(gè)分割數(shù)新線供給量a11=a12=0.4km,公差為d2=a8-a9=200m,且d2>0。如圖11所示,為該實(shí)例切割位置與新線供給量關(guān)系曲線。
(4)下料:使用上下料工裝將切完成后的料卸下,所述,下料工裝應(yīng)通過(guò)晶托插孔來(lái)完成下料。下料后需要切割硅片外觀有無(wú)破損。
(5)脫膠,清洗檢測(cè),包裝:工藝要求脫膠、清洗、包裝工藝與現(xiàn)有的相同;所述檢測(cè)工藝中要求設(shè)定檢測(cè)設(shè)備硅片尺寸為本發(fā)明多邊結(jié)構(gòu)硅片尺寸。檢測(cè)設(shè)備可選為漢尼科,可選為應(yīng)用材料等。
實(shí)施例3:一種多邊結(jié)構(gòu)太陽(yáng)能光伏硅片的切割方法,其步驟:(1)粘膠;(2)上料;(3)切割;(4)下料;(5)脫膠,清洗檢測(cè),包裝。其中,
(1)粘膠:如圖12所示,切割晶棒為五棱柱體。樹(shù)脂板1:長(zhǎng)度為680mm,寬度為125mm;樹(shù)脂板1上表面與晶棒的一個(gè)側(cè)面粘接,晶托2粘膠表面長(zhǎng)×寬優(yōu)選為650×115mm,更優(yōu)選為680×110mm。所述晶棒3為正五棱柱,邊長(zhǎng)尺寸為123mm,優(yōu)選為123.6mm。所述將樹(shù)脂板1與晶托2粘接,固化20-30min;將正五邊形棱柱晶棒3其中1個(gè)平面與樹(shù)脂板上表面粘接,預(yù)固化20-40min;樹(shù)脂板、晶托、多邊結(jié)構(gòu)晶棒三者粘接成的一體3放置到二次固化區(qū),固化2-4h。
(2)上料:使用上料工裝將樹(shù)脂板1、晶托2、正六棱柱晶棒3三者粘接成的一體安裝到上下料工裝上,并用酒精對(duì)晶棒做清潔,檢查棱邊有無(wú)破損缺口。所述,安裝位置為晶托上的安裝孔2-1與上下料工裝配合。
(3)線切割:如圖13所示,晶棒分割示意圖,總體以分割線9為界線將晶棒橫斷面分為上下兩部分,通過(guò)等分線4將晶棒橫斷面分為10份,下部分為n1=4份,上部分為n2=6份。開(kāi)始切割時(shí),鋼線速度設(shè)定為650m/min,進(jìn)給速度設(shè)定為0.8mm/min,當(dāng)切割到3mm(即到達(dá)切割線起始位置8)處時(shí),鋼線速度設(shè)定為1500m/min,切割進(jìn)給速度設(shè)定為1.5mm/min,采用往復(fù)雙向切割,每分割數(shù)需要鋼線量依照逐漸遞增、逐漸遞減方式進(jìn)給。設(shè)定總新線供給量sn=6km,硅棒橫斷面總分割數(shù)n=n1+n2,n1=4,n2=6。分割數(shù)從下向上依次為1,2,3…10。第1-4個(gè)分割數(shù)依次記為a1,a2,a3,a4,前4個(gè)分割數(shù)的新線供給量以等差數(shù)列形式遞增,其中第1個(gè)分割數(shù)新線供給量記作a1=0.1km,第2個(gè)分割數(shù)新線供給量a2=0.3km,依次第4個(gè)分割數(shù)新線供給量a4=0.7km,差為d1=a2-a1=200m,且d1>0;第5-10個(gè)分割數(shù)依次記為a5,a6...a9,a10,第5個(gè)至第10個(gè)分割數(shù)的新線供給量以等差數(shù)列形式遞減,其中第5個(gè)分割數(shù)新線供給量a5=1km,第6個(gè)分割數(shù)新線供給量a6=0.9km,第10個(gè)分割數(shù)新線供給量a10=0.5km,公差為d2=a5-a6=100m,且d2>0。如圖14所示,為切割位置與新線供給量關(guān)系曲線。
(4)下料:使用上下料工裝將切完成后的料卸下,所述,下料工裝應(yīng)通過(guò)晶托插孔來(lái)完成下料。下料后需要切割硅片外觀有無(wú)破損。
(5)脫膠,清洗檢測(cè),包裝:工藝要求脫膠、清洗、包裝工藝與現(xiàn)有的相同;所述檢測(cè)工藝中要求設(shè)定檢測(cè)設(shè)備硅片尺寸為本發(fā)明多邊結(jié)構(gòu)硅片尺寸。檢測(cè)設(shè)備可選為漢尼科,可選為應(yīng)用材料等。
本發(fā)明的有益性在于,所述切割鋼線為通常所用電鍍金剛線。切割方法為隨著切割面積的變化,單位時(shí)間內(nèi)所需求鋼線量也在做同步變化,原因是:采用這種方式使得參與切割的鋼線磨損更加均勻,從而保證加工出的硅片品質(zhì)不受影響;采用這種方式切割能夠保證出刀時(shí)順利切透,進(jìn)一步降低崩邊、邊緣的不良。同時(shí)切割出的單張硅片表面積比現(xiàn)有的單張硅片表面積增加22.5%,進(jìn)一步提高了設(shè)備產(chǎn)能,也能夠提高電池組件單位面積發(fā)電量。
以上僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式,旨在體現(xiàn)本發(fā)明特征所帶來(lái)的優(yōu)越性,并非是對(duì)本發(fā)明技術(shù)方法的限制。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)了解,一切基于本發(fā)明技術(shù)內(nèi)容所做的修改、變化或者替代技術(shù)特征,皆應(yīng)涵蓋于本發(fā)明所附權(quán)利要求主張的技術(shù)范疇。