本發(fā)明涉及對(duì)板狀的被加工物進(jìn)行加工的加工裝置的搬送機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

在將以半導(dǎo)體晶片、封裝基板等為代表的板狀的被加工物分割成多個(gè)芯片時(shí)，例如，會(huì)使用切削裝置、激光加工裝置等加工裝置。近年來(lái)，為了削減無(wú)塵室的建設(shè)、維護(hù)等所需的成本，這樣的加工裝置的省空間化不斷發(fā)展(例如，參照專利文獻(xiàn)1、2等)。

例如，能夠通過將被加工物的搬送機(jī)構(gòu)從加工裝置省略而實(shí)現(xiàn)加工裝置的省空間化。在省略了被加工物的搬送機(jī)構(gòu)的情況下，通過操作者的手動(dòng)作業(yè)來(lái)執(zhí)行將被加工物搬入到卡盤工作臺(tái)以及將被加工物從卡盤工作臺(tái)搬出。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2010-272842號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2013-254834號(hào)公報(bào)

但是，在如上述那樣通過操作者的手動(dòng)作業(yè)來(lái)對(duì)被加工物進(jìn)行搬送的情況下，與由搬送機(jī)構(gòu)進(jìn)行的自動(dòng)搬送的情況相比需要更多的操作者，有時(shí)反而還增加了加工成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于該問題點(diǎn)而完成的，其目的在于提供適合于省空間化的加工裝置的搬送機(jī)構(gòu)。

根據(jù)本發(fā)明，提供一種加工裝置的搬送機(jī)構(gòu)，其設(shè)置在加工裝置中，該加工裝置具有：卡盤工作臺(tái)，其對(duì)被加工物進(jìn)行保持；加工單元，其對(duì)保持在該卡盤工作臺(tái)上的被加工物進(jìn)行加工；加工進(jìn)給單元，其使該卡盤工作臺(tái)在對(duì)被加工物進(jìn)行加工的加工區(qū)域與對(duì)被加工物進(jìn)行搬出搬入的搬出搬入?yún)^(qū)域之間沿加工進(jìn)給方向移動(dòng)；以及分度進(jìn)給單元，其使該加工單元沿垂直于該加工進(jìn)給方向的分度進(jìn)給方向移動(dòng)，該加工裝置的搬送機(jī)構(gòu)將被加工物相對(duì)于該卡盤工作臺(tái)搬出搬入，其特征在于，該加工裝置的搬送機(jī)構(gòu)具有：裝載工作臺(tái)，其在與該搬出搬入?yún)^(qū)域相鄰的該加工進(jìn)給單元的一側(cè)的區(qū)域中對(duì)加工前的被加工物進(jìn)行支承；卸載工作臺(tái)，其在與該搬出搬入?yún)^(qū)域相鄰的該加工進(jìn)給單元的另一側(cè)的區(qū)域中對(duì)加工后的被加工物進(jìn)行支承；以及搬送單元，其在該卡盤工作臺(tái)與該裝載工作臺(tái)或該卸載工作臺(tái)之間對(duì)被加工物進(jìn)行搬送。

在本發(fā)明中，優(yōu)選該搬送單元具有：裝載工作臺(tái)移動(dòng)單元，其使該裝載工作臺(tái)在裝載區(qū)域與正上方區(qū)域之間移動(dòng)，其中，該裝載區(qū)域在該加工進(jìn)給單元的一側(cè)與該搬出搬入?yún)^(qū)域相鄰，該正上方區(qū)域位于被定位于該搬出搬入?yún)^(qū)域的該卡盤工作臺(tái)的正上方；卸載工作臺(tái)移動(dòng)單元，其使該卸載工作臺(tái)在卸載區(qū)域與該正上方區(qū)域之間移動(dòng)，其中，該卸載區(qū)域在該加工進(jìn)給單元的另一側(cè)與該搬出搬入?yún)^(qū)域相鄰；以及換載單元，其借助直動(dòng)機(jī)構(gòu)而在鉛直方向上移動(dòng)，并在被定位于該搬出搬入?yún)^(qū)域的該卡盤工作臺(tái)與被定位于該正上方區(qū)域的該裝載工作臺(tái)或該卸載工作臺(tái)之間對(duì)被加工物進(jìn)行搬送。

并且，在本發(fā)明中，優(yōu)選該加工裝置的搬送機(jī)構(gòu)還具有干燥單元，該干燥單元設(shè)置在該卸載工作臺(tái)的移動(dòng)路徑上，并朝向該卸載工作臺(tái)所支承的被加工物的露出面噴射空氣，而將加工時(shí)所附著的加工液從被加工物去除。

本發(fā)明的加工裝置的搬送機(jī)構(gòu)具有：裝載工作臺(tái)，其在與搬出搬入?yún)^(qū)域相鄰的加工進(jìn)給單元的一側(cè)的區(qū)域中對(duì)加工前的被加工物進(jìn)行支承；卸載工作臺(tái)，其在與搬出搬入?yún)^(qū)域相鄰的加工進(jìn)給單元的另一側(cè)的區(qū)域中對(duì)加工后的被加工物進(jìn)行支承；以及搬送單元，其在卡盤工作臺(tái)與裝載工作臺(tái)或卸載工作臺(tái)之間對(duì)被加工物進(jìn)行搬送，該加工裝置的搬送機(jī)構(gòu)對(duì)存在于搬出搬入?yún)^(qū)域的兩側(cè)的剩余區(qū)域進(jìn)行了有效地利用。

因此，能夠在維護(hù)省空間的同時(shí)對(duì)被加工物進(jìn)行自動(dòng)搬送，從而削減了在搬送中所需的成本。即，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供適合于省空間化的加工裝置的搬送機(jī)構(gòu)。

附圖說明

圖1是示意性地示出切削裝置的結(jié)構(gòu)例等的立體圖。

圖2的(a)是示意性地示出被加工物被保持在換載機(jī)構(gòu)上的情形的俯視圖，圖2的(b)是示意性地示出在將環(huán)狀的框架固定在帶的外周部分的情況下將被加工物保持在換載機(jī)構(gòu)上的情形的俯視圖。

圖3的(a)、圖3的(b)、圖3的(c)和圖3(d)是示意性地示出將被加工物搬入到卡盤工作臺(tái)上時(shí)的一系列的步驟的側(cè)視圖(主視圖)。

圖4的(a)、圖4的(b)和圖4(c)是示意性地示出將被加工物從卡盤工作臺(tái)搬出時(shí)的一系列的步驟的側(cè)視圖(主視圖)。

圖5是示意性地示出變形例的搬送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)例的俯視圖。

標(biāo)號(hào)說明

2：切削裝置(加工裝置)；4：基臺(tái)；4a：開口；6：x軸移動(dòng)工作臺(tái)；8：防塵防滴罩；10：卡盤工作臺(tái)；10a：保持面；12：切削單元(加工單元)；14：支承構(gòu)造；16：切削單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)(分度進(jìn)給單元)；18：y軸導(dǎo)軌；20：y軸移動(dòng)板；22：y軸滾珠絲杠；24：y軸脈沖電動(dòng)機(jī)；26：z軸導(dǎo)軌；28：z軸移動(dòng)板；30：z軸滾珠絲杠；32：z軸脈沖電動(dòng)機(jī)；34：切削刀具；36：照相機(jī)；42：裝載工作臺(tái)；42a：保持面；44：卸載工作臺(tái)；44a：保持面；46：裝載工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝載工作臺(tái)移動(dòng)單元、搬送單元)；48：卸載工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(卸載工作臺(tái)移動(dòng)單元、搬送單元)；50：導(dǎo)軌；52：換載機(jī)構(gòu)(換載單元、搬送單元)；54：吸引部；56：噴嘴(干燥單元)；11：被加工物；13：帶；15：框架。

具體實(shí)施方式

參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1是示意性地示出具有本實(shí)施方式的搬送機(jī)構(gòu)的切削裝置的結(jié)構(gòu)例等的圖。另外，雖然在本實(shí)施方式中，說明了對(duì)板狀的被加工物進(jìn)行切削的切削裝置，但本發(fā)明的加工裝置也可以是利用激光光線對(duì)被加工物進(jìn)行加工的激光加工裝置等。

如圖1所示，切削裝置(加工裝置)2具有對(duì)各構(gòu)造進(jìn)行支承的基臺(tái)4。在基臺(tái)4的中央處形成有在x軸方向(前后方向、加工進(jìn)給方向)上較長(zhǎng)的矩形的開口4a。在該開口4a內(nèi)設(shè)置有x軸移動(dòng)工作臺(tái)6、使x軸移動(dòng)工作臺(tái)6在x軸方向上移動(dòng)的x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)(加工進(jìn)給單元)(未圖示)以及罩住x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)的防塵防滴罩8。

在x軸移動(dòng)工作臺(tái)6的上方設(shè)置有對(duì)被加工物11進(jìn)行保持的卡盤工作臺(tái)10。如圖1所示，被加工物11例如是矩形的半導(dǎo)體晶片、封裝基板、陶瓷基板、玻璃基板等，在其下表面?zhèn)日迟N有帶(膜)13。但是，被加工物的形狀、材質(zhì)等并沒有限制。并且，還能夠?qū)h(huán)狀的框架固定在帶13的外周部分。

卡盤工作臺(tái)10通過上述的x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)而與x軸移動(dòng)工作臺(tái)6一起在x軸方向上移動(dòng)。更詳細(xì)地說，卡盤工作臺(tái)10在對(duì)被加工物11進(jìn)行加工的中央的加工區(qū)域與對(duì)被加工物11進(jìn)行搬出搬入的前方的搬出搬入?yún)^(qū)域之間在x軸方向上移動(dòng)。另外，在進(jìn)行被加工物11的加工時(shí)，也在加工區(qū)域內(nèi)在x軸方向上對(duì)卡盤工作臺(tái)10進(jìn)行加工進(jìn)給。

并且，卡盤工作臺(tái)10與電動(dòng)機(jī)等旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源(未圖示)連結(jié)，并繞著與z軸方向(鉛直方向)大概平行的旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)?？ūP工作臺(tái)10的上表面成為對(duì)被加工物11進(jìn)行吸引、保持的保持面10a。該保持面10a通過形成在卡盤工作臺(tái)10的內(nèi)部的吸引路(未圖示)等而與吸引源(未圖示)連接。

在基臺(tái)4的上表面以橫跨開口4a的方式配置有對(duì)兩組切削單元(加工單元)12進(jìn)行支承的門型的支承構(gòu)造14。在支承構(gòu)造14的前表面上部設(shè)置有使各切削單元12在y軸方向(左右方向、分度進(jìn)給方向)和z軸方向上移動(dòng)的兩組切削單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)(分度進(jìn)給單元)16。

各切削單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)16共同具有配置在支承構(gòu)造14的前表面并與y軸方向平行的一對(duì)y軸導(dǎo)軌18。在y軸導(dǎo)軌18上以能夠滑動(dòng)的方式安裝有構(gòu)成各切削單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)16的y軸移動(dòng)板20。

在各y軸移動(dòng)板20的背面?zhèn)?后表面?zhèn)?設(shè)置有螺母部(未圖示)，與y軸導(dǎo)軌18平行的y軸滾珠絲杠22分別與該螺母部螺合。

y軸脈沖電動(dòng)機(jī)24與各y軸滾珠絲杠22的一端部連結(jié)。如果利用y軸脈沖電動(dòng)機(jī)24來(lái)使y軸滾珠絲杠22旋轉(zhuǎn)，則y軸移動(dòng)板20沿著y軸導(dǎo)軌18在y軸方向上移動(dòng)。

在各y軸移動(dòng)板20的正面(前表面)設(shè)置有與z軸方向平行的一對(duì)z軸導(dǎo)軌26。在z軸導(dǎo)軌26上以能夠滑動(dòng)的方式安裝有z軸移動(dòng)板28。

在各z軸移動(dòng)板28的背面?zhèn)?后表面?zhèn)?設(shè)置有螺母部(未圖示)，與z軸導(dǎo)軌26平行的z軸滾珠絲杠30分別與該螺母部螺合。

z軸脈沖電動(dòng)機(jī)32與各z軸滾珠絲杠30的一端部連結(jié)。如果利用z軸脈沖電動(dòng)機(jī)32來(lái)使z軸滾珠絲杠30旋轉(zhuǎn)，則z軸移動(dòng)板28沿著z軸導(dǎo)軌26在z軸方向上移動(dòng)。

在各z軸移動(dòng)板28的下部設(shè)置有切削單元12。該切削單元12具有安裝在作為旋轉(zhuǎn)軸的主軸(未圖示)的一端側(cè)的圓環(huán)狀的切削刀具34。在與切削刀具34相鄰的位置處配置有當(dāng)進(jìn)行被加工物11的切削(加工)時(shí)提供純水等切削液(加工液)的噴嘴。并且，與切削單元12相鄰地設(shè)置有對(duì)被加工物11等進(jìn)行拍攝的照相機(jī)36。

如果利用各切削單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)16來(lái)使y軸移動(dòng)板20在y軸方向上移動(dòng)，則在y軸方向上對(duì)切削單元12和照相機(jī)36進(jìn)行分度進(jìn)給。并且，如果利用各切削單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)16來(lái)使z軸移動(dòng)板28在z軸方向上移動(dòng)，則切削單元12和照相機(jī)36會(huì)升降。

在基臺(tái)4的前方側(cè)配置有構(gòu)成本實(shí)施方式的搬送機(jī)構(gòu)的裝載工作臺(tái)42和卸載工作臺(tái)44。裝載工作臺(tái)42例如被配置在與搬出搬入?yún)^(qū)域相鄰的x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)(開口4a)的一側(cè)的區(qū)域內(nèi)，并對(duì)加工前的被加工物11進(jìn)行支承。

另一方面，卸載工作臺(tái)44例如被配置在與搬出搬入?yún)^(qū)域相鄰的x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)(開口4a)的另一側(cè)的區(qū)域內(nèi)，對(duì)加工后的被加工物11進(jìn)行支承。即，裝載工作臺(tái)42和卸載工作臺(tái)44被配置在從側(cè)方(y軸方向)夾住開口4a的位置處。

在裝載工作臺(tái)42的下方設(shè)置有使裝載工作臺(tái)42移動(dòng)的裝載工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝載工作臺(tái)移動(dòng)單元、搬送單元)46。并且，在卸載工作臺(tái)44的下方設(shè)置有使卸載工作臺(tái)44移動(dòng)的卸載工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(卸載工作臺(tái)移動(dòng)單元、搬送單元)48。

裝載工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)46和卸載工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)48例如共同具有與y軸方向平行的一對(duì)導(dǎo)軌50，利用從氣缸等產(chǎn)生的力來(lái)使裝載工作臺(tái)42和卸載工作臺(tái)44沿著導(dǎo)軌50移動(dòng)。

裝載工作臺(tái)42通過該裝載工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)46而在裝載區(qū)域與正上方區(qū)域之間移動(dòng)，其中，該裝載區(qū)域是在x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)的一側(cè)與搬出搬入?yún)^(qū)域相鄰的區(qū)域，該正上方區(qū)域是位于搬出搬入?yún)^(qū)域的卡盤工作臺(tái)10的正上方的區(qū)域。并且，卸載工作臺(tái)44通過該卸載工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)48而在卸載區(qū)域與正上方區(qū)域之間移動(dòng)，其中，該卸載區(qū)域是在x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)的另一側(cè)與搬出搬入?yún)^(qū)域相鄰的區(qū)域。

裝載工作臺(tái)42和卸載工作臺(tái)44的上表面分別成為對(duì)被加工物11進(jìn)行吸引、保持的保持面42a、44a。保持面42a、44a分別通過形成在裝載工作臺(tái)42和卸載工作臺(tái)44的內(nèi)部的吸引路(未圖示)等而與吸引源(未圖示)連接。

另外，在本實(shí)施方式中，例示了能夠?qū)Ρ患庸の?1進(jìn)行吸引的裝載工作臺(tái)42和卸載工作臺(tái)44，但本發(fā)明的裝載工作臺(tái)和卸載工作臺(tái)只要構(gòu)成為至少能夠?qū)Ρ患庸の?1進(jìn)行支承即可。即，本發(fā)明的裝載工作臺(tái)和卸載工作臺(tái)也可以不對(duì)被加工物11進(jìn)行吸引。

在正上方區(qū)域的更上方設(shè)置有：卡盤工作臺(tái)10，其位于搬出搬入?yún)^(qū)域；以及換載機(jī)構(gòu)(換載單元、搬送單元)52，其位于正上方區(qū)域，在裝載工作臺(tái)42與卸載工作臺(tái)44之間對(duì)被加工物11進(jìn)行搬送而換載。該換載機(jī)構(gòu)52具有對(duì)被加工物11進(jìn)行吸引、保持的(在本實(shí)施方式中為4個(gè))多個(gè)吸引部54，并通過直動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)在鉛直方向上移動(dòng)。各吸引部54通過配管(未圖示)等而與吸引源(未圖示)連接。

在卸載工作臺(tái)44的移動(dòng)路徑的上方配置有噴射空氣的噴嘴(干燥單元)56。當(dāng)對(duì)被加工物11進(jìn)行支承的卸載工作臺(tái)44從正上方區(qū)域移動(dòng)至卸載區(qū)域時(shí)，該噴嘴56朝向被加工物11的上表面(露出面)噴射空氣。由此，使附著在被加工物11上的切削液等干燥而將切削液從被加工物11去除。

圖2的(a)是示意性地示出被加工物11被保持在上述的換載機(jī)構(gòu)52上的情形的俯視圖。如圖2的(a)所示，如果在吸引部54與帶13的上表面接觸了的狀態(tài)下使吸引源的負(fù)壓作用，則帶13被吸引部54吸引。由此，能夠利用換載機(jī)構(gòu)52對(duì)被加工物11進(jìn)行保持。

另外，在將環(huán)狀的框架固定在帶13的外周部分的情況下，該換載機(jī)構(gòu)52也能夠?qū)Ρ患庸の?1進(jìn)行保持。圖2的(b)是示意性地示出在將環(huán)狀的框架固定在帶13的外周部分的情況下將被加工物11保持在換載機(jī)構(gòu)52上的情形的俯視圖。

在該情況下，如果在吸引部54與環(huán)狀的框架15的上表面接觸了的狀態(tài)下使吸引源的負(fù)壓作用，則框架15被吸引部54吸引，其中，該環(huán)狀的框架15的上表面固定于帶13的外周部分。由此，在將環(huán)狀的框架15固定于帶13的外周部分的情況下，也能夠利用換載機(jī)構(gòu)52對(duì)被加工物11進(jìn)行保持。

對(duì)利用本實(shí)施方式的搬送機(jī)構(gòu)來(lái)搬送被加工物11的情形進(jìn)行說明。圖3的(a)、圖3的(b)、圖3的(c)和圖3的(d)是示意性地示出在將被加工物11搬入到卡盤工作臺(tái)10時(shí)的一系列的步驟的側(cè)視圖(主視圖)。

在將被加工物11搬入到卡盤工作臺(tái)10時(shí)，首先，如圖3的(a)所示，將卡盤工作臺(tái)10定位在搬出搬入?yún)^(qū)域，并且將裝載工作臺(tái)42定位在裝載區(qū)域。另外，在本實(shí)施方式中，預(yù)先將卸載工作臺(tái)44定位在卸載區(qū)域，但也可以使卸載工作臺(tái)44不與裝載工作臺(tái)42干涉地移動(dòng)。例如，在該階段，也可以預(yù)先將卸載工作臺(tái)44定位在正上方區(qū)域，之后在使裝載工作臺(tái)42移動(dòng)的時(shí)間點(diǎn)將卸載工作臺(tái)44移動(dòng)至卸載區(qū)域。

在將裝載工作臺(tái)42定位在裝載區(qū)域之后，將被加工物11和帶13載置到裝載工作臺(tái)42上，并使吸引源的負(fù)壓作用于保持面42a。接著，如圖3的(b)所示，在使裝載工作臺(tái)42移動(dòng)至正上方區(qū)域之后，使換載機(jī)構(gòu)52下降并利用吸引部54對(duì)裝載工作臺(tái)42上的帶13進(jìn)行吸引。

在利用吸引部54對(duì)帶13進(jìn)行吸引之后，將作用在裝載工作臺(tái)42的保持面42a上的吸引解除而使換載機(jī)構(gòu)52上升。然后，如圖3的(c)所示，在將裝載工作臺(tái)42移動(dòng)至正上方區(qū)域以外(例如，裝載區(qū)域)之后，使換載機(jī)構(gòu)52下降并使帶13與卡盤工作臺(tái)10的保持面10a接觸。

之后，使吸引源的負(fù)壓作用于卡盤工作臺(tái)10的保持面10a，并且解除由吸引部54進(jìn)行的帶13的吸引而如圖3的(d)所示，使換載機(jī)構(gòu)52上升。能夠通過該一系列的步驟將被加工物11搬入到卡盤工作臺(tái)10上。

圖4的(a)、圖4的(b)和圖4的(c)是示意性地示出在將被加工物11從卡盤工作臺(tái)10搬出時(shí)的一系列的步驟的側(cè)視圖(主視圖)。在將被加工物11從卡盤工作臺(tái)10搬出時(shí)，首先，如圖4的(a)所示，將卡盤工作臺(tái)10定位在搬出搬入?yún)^(qū)域，并且將卸載工作臺(tái)44定位在正上方區(qū)域以外(例如，卸載區(qū)域)。

另外，雖然將裝載工作臺(tái)42定位在正上方區(qū)域以外即可，但在本實(shí)施方式中預(yù)先將裝載工作臺(tái)42定位在裝載區(qū)域。在將卸載工作臺(tái)44定位在正上方區(qū)域以外之后，使換載機(jī)構(gòu)52下降并利用吸引部54對(duì)卡盤工作臺(tái)10上的帶13進(jìn)行吸引。

在利用吸引部54對(duì)帶13進(jìn)行吸引之后，將作用在卡盤工作臺(tái)10的保持面10a上的吸引解除而使換載機(jī)構(gòu)52上升。然后，如圖4的(b)所示，在將卸載工作臺(tái)44移動(dòng)至正上方區(qū)域之后，使換載機(jī)構(gòu)52下降并使帶13與卸載工作臺(tái)44的保持面44a接觸。

之后，使吸引源的負(fù)壓作用于卸載工作臺(tái)44的保持面44a，并且解除由吸引部54進(jìn)行的帶13的吸引而如圖3的(c)所示，在使換載機(jī)構(gòu)52上升之后，將卸載工作臺(tái)44移動(dòng)至卸載區(qū)域。能夠通過該一系列的步驟將被加工物11從卡盤工作臺(tái)10搬出。

如以上所述的那樣，本實(shí)施方式的加工裝置的搬送機(jī)構(gòu)具有：裝載工作臺(tái)42，其在與搬出搬入?yún)^(qū)域相鄰的x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)(加工進(jìn)給單元)的一側(cè)的區(qū)域內(nèi)對(duì)加工前的被加工物11進(jìn)行支承；卸載工作臺(tái)44，其在與搬出搬入?yún)^(qū)域相鄰的x軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)的另一側(cè)的區(qū)域內(nèi)對(duì)加工后的被加工物11進(jìn)行支承；裝載工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(裝載工作臺(tái)移動(dòng)單元、搬送單元)46，其在卡盤工作臺(tái)10與裝載工作臺(tái)42之間對(duì)被加工物進(jìn)行搬送；卸載工作臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(卸載工作臺(tái)移動(dòng)單元、搬送單元)48，其在卡盤工作臺(tái)10與卸載工作臺(tái)44之間對(duì)被加工物進(jìn)行搬送；以及換載機(jī)構(gòu)(換載單元、搬送單元)52，該加工裝置的搬送機(jī)構(gòu)對(duì)存在于搬出搬入?yún)^(qū)域的兩側(cè)的剩余區(qū)域進(jìn)行了有效地利用。

因此，能夠在維護(hù)省空間的同時(shí)對(duì)被加工物11進(jìn)行自動(dòng)搬送。也就是說，能夠減少搬送所需的操作者的人數(shù)而削減了成本。

并且，在本實(shí)施方式的加工裝置的搬送機(jī)構(gòu)中，由于能夠在將被加工物11搬入到卡盤工作臺(tái)10時(shí)預(yù)先將卸載工作臺(tái)44定位在卸載區(qū)域，所以，例如，能夠在比較自由的時(shí)間點(diǎn)將被卸載工作臺(tái)44支承的加工后的被加工物11卸下。

同樣，在本實(shí)施方式的加工裝置的搬送機(jī)構(gòu)中，由于能夠在將被加工物11從卡盤工作臺(tái)10搬出時(shí)預(yù)先將裝載工作臺(tái)42定位在裝載區(qū)域，所以例如，能夠在比較自由的時(shí)間點(diǎn)將加工前的被加工物11載置到裝載工作臺(tái)42上。

也就是說，與通過操作者的手動(dòng)作業(yè)將被加工物11搬出搬入到卡盤工作臺(tái)10的情況等相比，由于能夠在被加工物11的更換作業(yè)上有時(shí)間的余裕，所以能夠防止因搬出搬入的延遲而導(dǎo)致的加工處理的停滯。并且，由于能夠在被加工物11的更換作業(yè)上有時(shí)間的余裕，所以能夠使操作者的人數(shù)進(jìn)一步減少。

進(jìn)而，在本實(shí)施方式的加工裝置的搬送機(jī)構(gòu)中，由于通過裝載工作臺(tái)42或卸載工作臺(tái)44來(lái)對(duì)被加工物11的整個(gè)面進(jìn)行保持的時(shí)間較長(zhǎng)，所以搬送中的被加工物11不容易撓曲。因此，能夠防止因搬送中的撓曲而產(chǎn)生的被加工物11的破損。

另外，本發(fā)明并不僅限于上述實(shí)施方式的記載，能夠?qū)嵤└鞣N變更。例如，在上述實(shí)施方式中，雖然使裝載工作臺(tái)42和卸載工作臺(tái)44在與y軸方向平行的方向上移動(dòng)，但也可以使裝載工作臺(tái)42和卸載工作臺(tái)44在相對(duì)于y軸方向傾斜的方向上移動(dòng)。

圖5是示意性地示出變形例的搬送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)例的俯視圖。例如，在存在妨礙移動(dòng)的障礙物的情況下等，如圖5所示，通過使裝載工作臺(tái)42和卸載工作臺(tái)44在相對(duì)于y軸方向傾斜的方向上移動(dòng)，能夠一邊避開障礙物一邊對(duì)被加工物11進(jìn)行搬送。

并且，雖然在上述實(shí)施方式中，例示了利用吸引源的負(fù)壓來(lái)保持被加工物11的換載機(jī)構(gòu)(換載單元、搬送單元)52，但例如也能夠使用利用磁力來(lái)保持被加工物11或框架15等的換載機(jī)構(gòu)(換載單元、搬送單元)。不過，在該情況下，需要使用由產(chǎn)生磁力的材質(zhì)形成的被加工物11或框架15。

另外，上述實(shí)施方式的構(gòu)造、方法等只要不脫離本發(fā)明的目的的范圍便能夠適當(dāng)變更而實(shí)施。