專利名稱：一種具有防眩功能的玻璃基板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種玻璃基板的制造方法，尤其涉及一種具有防眩功能的玻璃基板的制造方法。
背景技術(shù)：
在日常生活中，我們往往有被眩光襲擊的經(jīng)歷，一部分來源于眩光光源，一部分來源于眩光的反射。例如，電腦操作人員時(shí)常為顯示器外面的景物在其表面發(fā)生反射而無法看清顯示內(nèi)容而煩惱。又如，當(dāng)我們駐足于玻璃櫥窗前觀察櫥窗內(nèi)的景物時(shí)，玻璃表面的反光往往使你無法清晰觀察到窗內(nèi)景物。上述這些都是由于玻璃表面的光發(fā)生反射引起的，因?yàn)槠胀úＡЬ哂懈叩姆瓷渎?。為了減少玻璃反射光的影響，對(duì)玻璃表面進(jìn)行無光(減反射)處理顯得尤為重要。防眩玻璃(Ant1-Glare)，亦稱為無反射玻璃或減反射玻璃，廣泛應(yīng)用于電視拼接墻、平板電視、背投電視、液晶顯示器、觸摸屏、工業(yè)儀表及高級(jí)像框等領(lǐng)域。具體來說，防眩玻璃對(duì)它的表面進(jìn)行特殊 處理，把優(yōu)質(zhì)玻璃原片的單面或雙面經(jīng)過覆膜工藝，使其與普通玻璃相比具有較低的反射比，例如，光的反射率由8%降低到1%以下，創(chuàng)造清晰透明的視覺空間。此外，防眩玻璃還可降低環(huán)境光的干擾，提高顯示畫面的可視角度和亮度，減少屏幕反光，讓圖像更清晰、色彩更艷麗、顏色更飽和，從而顯著改善顯示效果，讓觀賞者體驗(yàn)到更佳的視覺享受。以液晶顯示器為例，其主要包括相對(duì)設(shè)置的一彩色濾光片(color filter)基板和一薄膜晶體管陣列基板(thin film transistor array substrate)以及設(shè)置于上述兩基板之間的液晶層(liquid crystal layer)。此外,在彩色濾光片基板一側(cè)還可設(shè)置上偏光片于基板之上，在薄膜晶體管陣列基板一側(cè)還可設(shè)置下偏光片于基板之下，進(jìn)而通過光路的控制來控制液晶分子的配向。在現(xiàn)有技術(shù)中，為了防止彩色濾光片基板中的玻璃出現(xiàn)光反射，一種解決方案是在于將低反射的防眩薄膜粘貼在玻璃的表面，另一種解決方案是在于采用防眩玻璃來取代彩色濾光片基板中的普通玻璃，然而，防眩薄膜或防眩玻璃的價(jià)格十分昂貴，大大加劇了液晶顯示器的防眩成本。有鑒于此，如何設(shè)計(jì)一種具有防眩功能的玻璃基板，使其通過玻璃基板自身的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)來達(dá)到防眩的功效，以有效地改善或消除現(xiàn)有的上述缺陷，是業(yè)內(nèi)相關(guān)技術(shù)人員亟待解決的一項(xiàng)課題。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的液晶顯示器的玻璃基板在防眩處理時(shí)所存在的上述缺陷，本發(fā)明提供了一種新穎的、具有防眩功能的玻璃基板的制造方法。依據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種具有防眩功能的玻璃基板的制造方法，包括以下步驟:提供一玻璃基板，其包括相對(duì)的一第一表面和一第二表面；
涂布一光刻膠于所述玻璃基板的一第一表面；以紫外光通過一預(yù)設(shè)圖案的光罩照射所述第一表面，并進(jìn)行曝光和顯影；于所述第一表面形成多個(gè)間隔分布的曝光區(qū)域；濕蝕刻(wet etch)所述曝光區(qū)域；以及剝離所述第一表面上方剩余的光刻膠，使所述第一表面形成具有防眩功能的多個(gè)微結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，在上述剝離步驟之后，該制造方法還包括:將所述玻璃基板進(jìn)行水平翻轉(zhuǎn)；涂布一黑矩陣層于所述玻璃基板的第二表面；以紫外光通過所述預(yù)設(shè)圖案的光罩照射所述黑矩陣層，并進(jìn)行曝光和顯影；以及形成所述玻璃基板的黑矩陣圖案。更優(yōu)選地，所述黑矩陣層的光阻特性為一負(fù)型光阻。優(yōu)選地，在上述濕蝕刻所述曝光區(qū)域步驟之前，該制造方法還包括:使用氧氣灰化(O2Ash)去除所述曝光區(qū)域底部的光刻膠。優(yōu)選地，所述預(yù)設(shè)圖案的光罩藉由一正型光阻照射所述玻璃基板的第一表面。更優(yōu)選地，所述正型光阻為金屬鉻或金屬鉻的氧化物。優(yōu)選地，所述光罩以半色調(diào)(haft tone)方式形成具有防眩功能的所述多個(gè)微結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述玻璃基板為一電容式觸控面板的玻璃基板。采用本發(fā)明的具有防眩功能的玻璃基板的制造方法，首先涂布一光刻膠于玻璃基板的第一表面，藉由紫外光通過一預(yù)設(shè)圖案的光罩照射該第一表面，從而形成多個(gè)間隔分布的曝光區(qū)域，然后對(duì)該曝光區(qū)域進(jìn)行濕蝕刻，在剝離第一表面上方剩余的光刻膠后，即可在玻璃基板的第一表面上形成具有防眩功能的多個(gè)微結(jié)構(gòu)。相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明無需額外貼附防眩薄膜或設(shè)置防眩玻璃，只需在傳統(tǒng)的黑矩陣制程之前添設(shè)防眩處理工藝，從而藉由玻璃基板自身的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)來達(dá)到防眩的功效，節(jié)約了產(chǎn)品的防眩成本。


讀者在參照附圖閱讀了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
以后，將會(huì)更清楚地了解本發(fā)明的各個(gè)方面。其中，圖1示出現(xiàn)有技術(shù)中的一種具有防眩功能的玻璃基板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2示出依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，具有防眩功能的玻璃基板的制造方法的流程框圖；圖3示出圖2的制造方法所使用的光罩的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4 (a) 圖4 Ce)示出采用圖2中的制造方法的工藝步驟示意圖；以及圖5 (a) 圖5 (C)示出采用圖2中的制造方法形成黑矩陣圖案的工藝步驟示意圖。
具體實(shí)施例方式為了使本申請(qǐng)所揭示的技術(shù)內(nèi)容更加詳盡與完備，可參照附圖以及本發(fā)明的下述各種具體實(shí)施例，附圖中相同的標(biāo)記代表相同或相似的組件。然而，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，下文中所提供的實(shí)施例并非用來限制本發(fā)明所涵蓋的范圍。此外，附圖僅僅用于示意性地加以說明，并未依照其原尺寸進(jìn)行繪制。圖1示出現(xiàn)有技術(shù)中的一種具有防眩功能的玻璃基板的結(jié)構(gòu)示意圖。參照?qǐng)D1，該液晶面板包括一彩色濾光片基板100、一陣列基板102以及設(shè)置于彩色濾光片基板100和陣列基板102之間的液晶層104。此外。在彩色濾光片基板100的上方還設(shè)置一上偏光片(polarizing plate) 106,并且在陣列基板102的下方還設(shè)置一下偏光片108。當(dāng)外部的環(huán)境光從彩色濾光片基板100的上方入射時(shí),利用上偏光片106和下偏光片108的偏振作用，控制液晶層104中的液晶分子的配向，進(jìn)而顯示特定的圖像或畫面。如圖1所示，在現(xiàn)有的彩色濾光片基板100 —側(cè)，為防止環(huán)境光在基板的玻璃表面發(fā)生光反射，將低反射的防眩薄膜Iio粘貼在上偏光片106的上表面，通過防眩薄膜110上的微結(jié)構(gòu)來減少光反射或?qū)崿F(xiàn)無反射。在其它的一些架構(gòu)中，還可采用專門的防眩玻璃來取代彩色濾光片基板的普通玻璃。但是，防眩玻璃的價(jià)格十分昂貴，大大加劇了液晶顯示器的防眩成本。為了解決上述困擾或不足，本發(fā)明提出了一種改進(jìn)的玻璃基板的制造方法，藉由新穎的工藝步驟來實(shí)現(xiàn)防眩功能。圖2示出依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，具有防眩功能的玻璃基板的制造方法的流程框圖。如圖2所示，在該制造方法中，首先提供一玻璃基板，該玻璃基板包括相對(duì)的一第一表面和一第二表面(步驟S101)，例如，該玻璃基板為一電容式觸控面板的玻璃基板。然后涂布一光刻膠(PR，photo resist)于該玻璃基板的一第一表面(步驟S103)。以紫外光(UV)通過一預(yù)設(shè)圖案的光罩照射玻璃基板的第一表面，并進(jìn)行曝光和顯影(步驟S105)。接著，于玻璃基板的第一表面形成多個(gè)間隔分布的曝光區(qū)域并濕蝕刻(wet etch)該曝光區(qū)域(步驟S107和步驟S109)。最后，在步驟Slll中，剝離玻璃基板的第一表面上方剩余的光刻膠，使該第一表面形成具有防眩功能的多個(gè)微結(jié)構(gòu)。在一具體實(shí)施例中，于上述濕蝕刻曝光區(qū)域步驟(S109)之前，該制造方法還包括使用氧氣灰化(O2Ash)去除該曝光區(qū)域底部的光刻膠。在一具體實(shí)施例中，該預(yù)設(shè)圖案的光罩藉由一正型光阻照射玻璃基板的第一表面。例如，該正型光阻為金屬鉻或金屬鉻的氧化物。此外，在制作該光罩的預(yù)設(shè)圖案時(shí)，可通過半色調(diào)(haft tone)方式形成具有防眩功能的所述多個(gè)微結(jié)構(gòu)。圖3示出圖2的制造方法所使用的光罩的結(jié)構(gòu)示意圖。參照?qǐng)D3，光罩Mask包括多個(gè)開口 Cl以及多個(gè)半色調(diào)區(qū)域C2。具體地，開口 Cl分布于任意相鄰的兩個(gè)半色調(diào)區(qū)域C2之間，藉由這些開口 Cl所構(gòu)成的圖案來形成玻璃基板的黑矩陣圖案，并且該黑矩陣圖案位于玻璃基板的一表面。此外，本發(fā)明的制造方法還藉由這些半色調(diào)區(qū)域C2來得到具有防眩功能的多個(gè)微結(jié)構(gòu)，并且該微結(jié)構(gòu)位于玻璃基板的另一表面。亦即，黑矩陣圖案和防眩微結(jié)構(gòu)分別設(shè)置于玻璃基板彼此相對(duì)的兩個(gè)表面上。圖4 Ca) 圖4 Ce)示出采用圖2中的制造方法的工藝步驟示意圖。結(jié)合圖2,首先,提供一玻璃基板200,該玻璃基板200包括相對(duì)的一第一表面和一第二表面。其中，第一表面 為玻璃基板200靠近光刻膠202的一側(cè)，第二表面為玻璃基板200遠(yuǎn)離光刻膠202的一側(cè)。然后，涂布一光刻膠202于該玻璃基板200的該第一表面,如圖4 (a)所示。在圖4 (b)中，以紫外光(UV)通過一預(yù)設(shè)圖案的光罩照射玻璃基板200的第一表面，并進(jìn)行曝光(scan)和顯影(develop),從而在玻璃基板200的第一表面形成多個(gè)間隔分布的曝光區(qū)域P。在曝光和顯影之后，使用氧氣灰化(O2Ash)去除該曝光區(qū)域P底部的光刻膠，如圖4 (C)所示。然后，在圖4 (d)中，通過諸如氫氟酸(HF)濕蝕刻(wet etch)這些曝光區(qū)域P，從而在玻璃基板的第一表面形成具有防眩功能的多個(gè)微結(jié)構(gòu)S。最后，剝離玻璃基板200的第一表面上方剩余的光刻膠202，如圖4 (e)所示。由上述可知，本發(fā)明無需額外貼附防眩薄膜或設(shè)置防眩玻璃，只需藉由玻璃基板自身的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)即可達(dá)到防眩的功效，節(jié)約了廣品的制造成本。圖5 (a) 圖5 (C)示出采用圖2中的制造方法形成黑矩陣圖案的工藝步驟示意圖。參照?qǐng)D5 (a) 圖5 (C)，在通過圖4 (a) 圖4 (e)對(duì)玻璃基板200的第一表面進(jìn)行處理后，將該玻璃基板200進(jìn)行水平翻轉(zhuǎn)，即，玻璃基板的第二表面豎直朝上，玻璃基板的具有防眩微結(jié)構(gòu)的第一表面豎直朝下。然后，涂布一黑矩陣層(black matrix) 204于玻璃基板200的第二表面，如圖5 (a)所示。類似于圖4 (b)，在圖5 (b)中，以紫外光通過預(yù)設(shè)圖案的光罩照射該黑矩陣層204，并進(jìn)行曝光和顯影。應(yīng)當(dāng)指出，在圖5 (b)的曝光步驟中，半色調(diào)區(qū)域C2雖然有部分被曝光，但在后續(xù)的顯影步驟中仍然可以被顯影液清洗掉。在一實(shí)施例中，黑矩陣層的光阻特性為一負(fù)型光阻。在此，對(duì)正型光阻和負(fù)型光阻稍略說明。其中，正型光阻暴露在光線照射的部分易溶于顯影液中，因而藉由正型光阻可保留遮光部分而去除曝光部分，相比之下，負(fù)型光阻被光罩遮蔽的部分，分子間因沒有產(chǎn)生交連作用，將被溶于顯影液中洗去，因而藉由負(fù)型光阻可保留曝光部分而去除遮光部分。最后，形成圖5 (c)所示的玻璃基板的黑矩陣圖案206。采用本發(fā)明的具有防眩功能的玻璃基板的制造方法，首先涂布一光刻膠于玻璃基板的第一表面，藉由紫外光通過一預(yù)設(shè)圖案的光罩照射該第一表面，從而形成多個(gè)間隔分布的曝光區(qū)域，然后對(duì)該曝光區(qū)域進(jìn)行濕蝕刻，在剝離第一表面上方剩余的光刻膠后，即可在玻璃基板的第一表面上形成具有防眩功能的圖案。相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明無需額外貼附防眩薄膜或設(shè)置防眩玻璃，只需在傳統(tǒng)的黑矩陣制程之前添設(shè)防眩處理工藝，從而藉由玻璃基板自身的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)來達(dá)到防眩的功效，節(jié)約了產(chǎn)品的防眩成本。上文中， 參照附圖描述了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
。但是，本領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員能夠理解，在不偏離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作各種變更和替換。這些變更和替換都落在本發(fā)明權(quán)利要求書所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種具有防眩功能(ant1-glare)的玻璃基板的制造方法,其特征在于,該制造方法包括以下步驟: 提供一玻璃基板，其包括相對(duì)的一第一表面和一第二表面； 涂布一光刻膠于所述玻璃基板的一第一表面； 以紫外光通過一預(yù)設(shè)圖案的光罩照射所述第一表面，并進(jìn)行曝光和顯影； 于所述第一表面形成多個(gè)間隔分布的曝光區(qū)域； 濕蝕刻(wet etch)所述曝光區(qū)域；以及 剝離所述第一表面上方剩余的光刻膠，使所述第一表面形成具有防眩功能的多個(gè)微結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的 制造方法，其特征在于，在上述剝離步驟之后，該制造方法還包括: 將所述玻璃基板進(jìn)行水平翻轉(zhuǎn)； 涂布一黑矩陣層于所述玻璃基板的第二表面； 以紫外光通過所述預(yù)設(shè)圖案的光罩照射所述黑矩陣層，并進(jìn)行曝光和顯影；以及 形成所述玻璃基板的黑矩陣圖案。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造方法，其特征在于，所述黑矩陣層的光阻特性為一負(fù)型光阻。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，在上述濕蝕刻所述曝光區(qū)域步驟之前，該制造方法還包括: 使用氧氣灰化(O2Ash)去除所述曝光區(qū)域底部的光刻膠。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)圖案的光罩藉由一正型光阻照射所述玻璃基板的第一表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制造方法，其特征在于，所述正型光阻為金屬鉻或金屬鉻的氧化物。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述光罩以半色調(diào)(hafttone)方式形成具有防眩功能的所述多個(gè)微結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述玻璃基板為一電容式觸控面板的玻璃基板。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種具有防眩功能(anti-glare)的玻璃基板的制造方法，包括提供一玻璃基板，其包括相對(duì)的一第一表面和一第二表面；涂布一光刻膠于所述玻璃基板的一第一表面；以紫外光通過一預(yù)設(shè)圖案的光罩照射所述第一表面，并進(jìn)行曝光和顯影；于所述第一表面形成多個(gè)間隔分布的曝光區(qū)域；濕蝕刻(wet etch)所述曝光區(qū)域；以及剝離所述第一表面上方剩余的光刻膠，使所述第一表面形成具有防眩功能的多個(gè)微結(jié)構(gòu)。相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明無需額外貼附防眩薄膜或設(shè)置防眩玻璃，只需在傳統(tǒng)的黑矩陣制程之前添設(shè)防眩處理工藝，從而藉由玻璃基板自身的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)來達(dá)到防眩的功效，節(jié)約了產(chǎn)品的防眩成本。
文檔編號(hào)C03C15/00GK103193392SQ20131012462
公開日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2013年4月11日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月11日
發(fā)明者陳建宇, 莊文奇 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司