專利名稱：一種硅片清洗裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及硅片加工裝置，特別涉及一種硅片清洗裝置。
背景技術：
隨著大規(guī)模集成電路的發(fā)展，集成度的不斷提高，線寬的不斷減小，對硅片的質(zhì)量要求也越來越高，特別是對硅拋光片的表面質(zhì)量要求越來越嚴，而其中，硅片清洗的好壞對器件性能有嚴重的影響，處理不當，可能使硅片報廢，或者制造出來的器件性能低劣，穩(wěn)定性差和可靠性很差?，F(xiàn)有技術中在線切割硅片時，切割的線會帶有碎屑、粘漿，從而使切割的線退出時會刮傷切割好的硅片。更重要的是，現(xiàn)有技術中硅片的預清洗皆在硅晶片兩側用水清洗，清理完之后，硅片表面仍留有大量漿液，清洗不干凈，工作效率低，用水量大。

實用新型內(nèi)容根據(jù)現(xiàn)有技術中所存在的不足，本實用新型的主要目的是:提供一種清洗干凈，工作效率高和耗水量少的硅片清洗裝置。根據(jù)現(xiàn)有技術中所存在的不足，本實用新型的另一目的是:提供一種硅片在線切割時，清洗掉切割的線上面的碎屑、粘漿，使切割的線退出時不會刮傷切割好的硅片的硅片
清洗裝置。為解決上述技術問題，本實用新型采用以下技術方案:一種硅片清洗裝置，其包括托盤和裝載板，所述裝載板用于粘接在所述托盤和硅棒之間，所述托盤分布有托盤管道；所述裝載板包括第一表面，所述第一表面安裝有所述托盤，所述第一表面設有凹槽，所述凹槽沿著硅棒的中心軸方向延伸；所述凹槽與所述托盤管道相連通。進一步的，所述裝載板凹槽開在所述第一表面的中間部分；所述托盤管道包括有第一端和第二端，所述托盤管道第一端與所述裝載板凹槽相連通，所述托盤管道第二端貫通到所述托盤外表面用于安裝水管接口。優(yōu)選的，所述裝載板上的凹槽橫截面為V形、方形、半橢圓形以及半圓形。優(yōu)選的，所述凹槽兩端為封閉端，所述凹槽長度大于所述硅棒沿著中心軸方向的長度。 優(yōu)選的，所述凹槽兩端封閉端由粘膠封堵而成。優(yōu)選的，所述托盤管道第一端中間位置與所述裝載板中間位置相互重合粘接在一起。優(yōu)選的，所述托盤管道第一端橫截面為方形槽、半橢圓形槽以及半圓形槽，所述托盤管道第二端橫截面為圓。優(yōu)選的，所述裝載板為玻璃。本實用新型與現(xiàn)有技術相比，通過在裝載板上開槽讓托盤的水沖淋切割好的硅片，同時在硅片兩端也放置噴淋裝置，使得硅片相鄰兩片之間的漿液能夠完全清洗干凈，而且，這種裝置也可應用于線切割工作時，通過對切割的線沖淋從而使切割的線退出時不會刮傷切割好的硅片。本實用新型與現(xiàn)有技術相比，由于本實用新型在裝載板開槽沖淋硅片，因此相比現(xiàn)有技術會將硅片沖洗得更干凈，工作效率更高和耗水量更少，并且，該裝置不僅可以應用于預清洗過程中，也可應用于線切割過程中，達到一種結構多用的功能，減少加工成本，方便操作。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1是本實施例一種硅片清洗裝置的示意圖；圖2是圖1中托盤仰視圖；圖3是圖1中裝載板俯視圖；圖4是圖3中沿I1-1I方向的剖視圖。
具體實施方式
為了使本實用新型所要解決的技術問題、技術方案及有益效果更加清楚明白，以下結合實施例及附圖，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此部分所描述的具體實施例僅可用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。請一并參閱圖1至圖3，本實施例公開了一種硅片清洗裝置100，其包括噴淋裝置30、托盤10和與托盤10粘接在一起的裝載板20，所述噴淋裝置30置于硅棒40兩側。托盤10開有管道11。該管道11兩端分別為第一端和第二端，所述管道11第一端設有儲水槽11a，所述管道11第二端設有孔道lib。本實施方式中，所述儲水槽I Ia為托盤10底面的中間切割出的所述儲水槽I Ia,所述儲水槽Ila橫截面是四方形的，儲水槽Ila相對設有連通部和連接部。當然，在其他實施方式中，儲水槽Ila橫截面也可以為半橢圓形槽以及半圓形槽。所述孔道Ilb在托盤10的外表面的一個側面的中間位置鉆孔形成，該孔道Ilb相對設有外端口和內(nèi)端口，孔道Ilb外端口用于連接水管接口來輸送水，孔道Ilb內(nèi)端口與儲水槽Ila連接部連接在一起且形成進水通道。在本實施例中，孔道Ilb的直徑小于儲水槽Ila的口徑，當然，在其它實施例中，所述孔道Ilb和儲水槽Ila的尺寸大小可以相同或孔道Ilb的直徑大于儲水槽Ila的口徑。為了將托盤儲水槽Ila的水引至裝載板20里以便沖硅棒40之間的粘漿，該裝載板20開有一長條狀的凹槽23。本實施方式中，所述裝載板20相對設有與托盤10粘接在一起的第一表面21和與硅棒40粘接在一起的第二表面22。該裝載板在第一表面21中間部分開有一長條狀的凹槽23，其長度方向沿著硅棒40中心軸方向延伸，該凹槽23與托盤儲水槽Ila連通部相互連通。本實施例中，為了讓儲水槽Ila的水的水流集中，增強一定的沖擊力，所述儲水槽Ila的口徑小于所述凹槽23的長度，所述儲水槽Ila僅蓋住所述凹槽23的中間的部分。如圖4所示，在本實施例中，為了讓水壓更加集中，該凹槽23橫截面為V形。事實上，該凹槽23的橫截面可以為其他形狀，如橢圓形，圓形。為了減少不必要的浪費，裝載板20上的凹槽23兩端為封閉的。當然，在其他實施方式中，該凹槽23兩端也可以貫通裝載板20。為了更進一步減少加工量，在本實施例中，在裝載板20上加工出貫通裝載板20兩端的凹槽23，接著使用粘膠將凹槽23的兩開放端封堵住形成封閉端。在本實施例中，由于托盤10底面與裝載板20是用粘膠粘接在一起的，為了方便操作，這里也使用了粘膠將該凹槽23兩封閉端封堵住，但不排除其它材料將凹槽23開放端堵住，只要是使凹槽23開放端形成封閉端的都在其保護范圍內(nèi)。在本實施例中，該裝載板20為玻璃，但不排斥其他材料，如石墨，樹脂。本實用新型可以不僅可以應用于硅棒40的預清洗過程中，也可以應用于硅棒40的線切割過程中。本實施例用于硅棒40的線切割的工作過程為，將硅棒40用線切割到裝載板20的凹槽23處，使凹槽23臨近裝載板20第二表面22的一端形成縫隙，此時切割的線上粘有碎屑和粘漿，將水管與孔道Ilb第一端連接在一起，打開水泵，使水流從孔道Ilb流經(jīng)儲水槽11a，再從儲水槽Ila流入裝載板20第一表面21上的凹槽23，最后水流從凹槽23的縫隙噴淋下去，同時，開啟兩側的噴淋裝置30，一同清洗切割線，使其退出時不帶有碎屑和粘漿，從而不會刮傷切割好的娃棒40。本實施例用于硅棒40的預清洗的工作過程為，預清洗在線切割之后，故線切割時先切到裝載板20上的凹槽23臨近裝載板20第二表面22的一端形成縫隙，打開水泵，使水流從孔道Ilb流經(jīng)儲水槽11a，再從儲水槽IIa流入裝載板20第一表面21上的凹槽23，最后水流從凹槽23的縫隙噴淋下去，同時，開啟兩側的噴淋裝置30，一同清洗切割好的硅棒40，使切割好的硅棒40之間的粘液被完全清洗掉。本實用新型與現(xiàn)有技術相比，通過在裝載板20上開槽23讓托盤10的水沖淋切割好的硅棒40，同時在硅棒40兩端也放置噴淋裝置30，使得硅棒40相鄰兩片之間的漿液能夠完全清洗干凈，而且，這種裝置也可應用于線切割工作時，通過對切割的線沖淋從而使切割的線退出時不會刮傷切割好的硅棒40。本實用新型與現(xiàn)有技術相比，由于本實用新型在裝載板20開凹槽23沖淋硅棒40，因此相比現(xiàn)有技術會將硅棒40沖洗得更干凈，工作效率更高和耗水量更少，并且，該裝置不僅可以應用于預清洗過程中，也可應用于線切割過程中，達到一種結構多用的功能，減少加工成本，方便操作。以上所述是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也視為本實用新型的保護范圍。
權利要求1.一種硅片清洗裝置，其包括托盤和裝載板，所述裝載板用于粘接在所述托盤和硅棒之間，其特征在于，所述托盤分布有托盤管道；所述裝載板包括第一表面，所述第一表面安裝有所述托盤，所述第一表面設有凹槽，所述凹槽沿著硅棒的中心軸方向延伸；所述凹槽與所述托盤管道相連通。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于:所述裝載板凹槽開在所述第一表面的中間部分；所述托盤管道包括有第一端和第二端，所述托盤管道第一端與所述裝載板凹槽相連通，所述托盤管道第二端貫通到所述托盤外表面用于安裝水管接口。
3.根據(jù)權利要求2所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于:所述裝載板上的凹槽橫截面為V形、方形、半橢圓形以及半圓形。
4.根據(jù)權利要求3所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于:所述凹槽兩端為封閉端，所述凹槽長度大于所述硅棒沿著中心軸方向的長度。
5.根據(jù)權利要求4所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于:所述凹槽兩端封閉端由粘膠封堵而成。
6.根據(jù)權利要求5所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于:所述托盤管道第一端中間位置與所述裝載板中間位置相互重合粘接在一起。
7.根據(jù)權利要求6所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于:所述托盤管道第一端橫截面為方形槽、半橢圓形槽以及半圓形槽，所述托盤管道第二端橫截面為圓。
8.根據(jù)權利要求1到7之間任意一項所述的一種硅片清洗裝置，其特征在于:所述裝載板為玻璃。
專利摘要本實用新型公開了一種硅片清洗裝置,其包括托盤和裝載板，所述裝載板用于粘接在所述托盤和硅棒之間，所述托盤分布有托盤管道；所述裝載板包括第一表面，所述第一表面安裝有所述托盤，所述第一表面設有凹槽，所述凹槽沿著硅棒的中心軸方向延伸；所述凹槽與所述托盤管道相連通。由于本實用新型在裝載板開凹槽沖淋硅片，因此相比現(xiàn)有技術會將硅片沖洗得更干凈，工作效率更高和耗水量更少，并且，該裝置不僅可以應用于預清洗過程中，也可應用于線切割過程中，達到一種結構多用的功能，減少加工成本，方便操作。
文檔編號B08B3/02GK203044409SQ201320038588
公開日2013年7月10日 申請日期2013年1月24日 優(yōu)先權日2013年1月24日
發(fā)明者張濤, 毛偉, 張存新, 王平軍, 劉華, 彭之健, 豐福生, 郭雄 申請人:江西賽維Ldk太陽能高科技有限公司