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一種硅片清洗裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):1365465

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本實(shí)用新型涉及硅片加工裝置,特別涉及一種硅片清洗裝置。背景技術(shù)隨著大規(guī)模集成電路的發(fā)展,集成度的不斷提高,線寬的不斷減小,對(duì)硅片的質(zhì)量要求也越來(lái)越高,特別是對(duì)硅拋光片的表面質(zhì)量要求越來(lái)越嚴(yán),而其中,硅片清洗的好壞對(duì)器件性能有嚴(yán)重的影響,處理不當(dāng),可能使硅片報(bào)廢,或者制造出來(lái)的器件性能低劣,穩(wěn)定性差和可靠性很差?,F(xiàn)有技術(shù)中在線切割硅片時(shí),切割的線會(huì)帶有碎屑、粘漿,從而使切割的線退出時(shí)會(huì)刮傷切割好的硅片。更重要的是,現(xiàn)有技術(shù)中硅片的預(yù)清洗皆在硅晶片兩側(cè)用水清洗...
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