專利名稱：一種硅片清洗用雙層石英槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種硅片清洗用雙層石英槽。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體行業(yè)中，硅片的清洗通常在石英槽中進(jìn)行。石英槽一般包括石英槽體和設(shè)置在石英槽體內(nèi)的熱電偶保護(hù)管，石英槽體的底部開設(shè)有排液口，該石英槽將清洗后廢液從排液口排出，然而清洗一般需要HF酸、H2A等酸性溶液進(jìn)行清洗，在清洗過程中生成一些產(chǎn)物沉淀在石英槽的底部，這樣需要經(jīng)常清洗石英槽的內(nèi)部，同時(shí)在清洗過程中易出現(xiàn)向石英槽內(nèi)添加某種特殊的清洗液，由于該石英槽容積有限，只能從廢液排液口排出，難以實(shí)現(xiàn)清洗液的自動(dòng)循環(huán)流動(dòng)，造成資源的浪費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種硅片清洗用雙層石英槽，實(shí)現(xiàn)清洗液體自動(dòng)循環(huán)流動(dòng)。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案
一種硅片清洗用雙層石英槽，包括槽體和設(shè)置在槽體內(nèi)的電熱偶護(hù)管，所述槽體包括在底部具有廢液排出口的石英內(nèi)槽體、位于石英內(nèi)槽體外周且與石英內(nèi)槽體外壁之間構(gòu)成液體通道的石英外槽體，所述石英外槽體的下部設(shè)有出液口，石英槽還包括一端連接在石英外槽體的出液口處的石英回流管以及與石英回流管的另一端部相連通用于將石英回流管中的液體輸入至石英內(nèi)槽體中的輸送裝置。優(yōu)選地，所述石英回流管與外槽體之間螺紋連接。根據(jù)本發(fā)明的進(jìn)一步實(shí)施方案所述輸送裝置包括一端部插入外槽體設(shè)置的第一進(jìn)液管、連接在第一進(jìn)液管的另一端部與石英回流管之間的過濾增壓器以及位于內(nèi)槽體內(nèi)且與第一進(jìn)液管連通的第二進(jìn)液管。優(yōu)選地，第二進(jìn)液管安裝在內(nèi)槽體的底部，其上布滿了大小一致的出液孔使得液體能夠均勻地流至所述內(nèi)槽體中。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)具體方面， 所述的第二進(jìn)液管有2根，2根第二進(jìn)液管分別位于所述內(nèi)槽體的兩相對(duì)側(cè)，且均沿著所述槽體的長(zhǎng)度方向延伸，2根的第二進(jìn)液管的伸出所述內(nèi)槽體的端部分別與一水平設(shè)置的連接管連接，所述連接管在中部連接第一進(jìn)液管的位于外槽體內(nèi)的端部。優(yōu)選地，所述的第一進(jìn)液管與外槽體的側(cè)壁之間螺紋連接；第二進(jìn)液管與內(nèi)槽體的側(cè)壁之間螺紋連接。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選方面，所述內(nèi)槽體的底傾斜設(shè)置，廢液排出口位于內(nèi)槽體較低的一側(cè)，在所述廢液排出口位置連接有廢液排放管。將底傾斜設(shè)置，便于雜質(zhì)沉淀滑動(dòng)至廢液排出口的位置，從而通過廢液排放管排出。根據(jù)本發(fā)明的又一優(yōu)選方面，所述內(nèi)槽體在槽口位置呈齒形，如此，內(nèi)槽體中的液體可以很均勻地溢出而進(jìn)入到內(nèi)槽體與外槽體之間的液體通道中。根據(jù)本發(fā)明的又一優(yōu)選方面，所述的外槽體的底也是傾斜設(shè)置的，出液口即開設(shè)在所述的外槽體(2)的底部。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)具體方面，所述內(nèi)槽體的內(nèi)壁上設(shè)有護(hù)欄，電熱偶護(hù)管插設(shè)在所述護(hù)欄內(nèi)。本發(fā)明的石英雙層槽的工作過程如下在內(nèi)槽體中注滿清洗液，并使得清洗液通過內(nèi)槽體的槽口溢出至液體通道中，進(jìn)入液體通道中的液體經(jīng)回流管和輸送裝置又返回到內(nèi)槽體中，實(shí)現(xiàn)清洗液的循環(huán)清洗。當(dāng)石英雙層槽工作一段時(shí)間后，可通過位于內(nèi)槽體的底部的廢液排放口將沉淀在底部的雜質(zhì)隨同廢液一起排放掉。由于采用以上技術(shù)方案的實(shí)施，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下優(yōu)點(diǎn)
本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了清洗液體自動(dòng)循環(huán)流動(dòng)，在避免資源浪費(fèi)的同時(shí)，提高了清洗硅片的速度和效果，降低了勞動(dòng)力。


下面結(jié)合附圖和具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說明。圖1為根據(jù)本發(fā)明的雙層石英槽的主視示意圖； 圖2為圖1的右視示意圖3為圖1的俯視示意其中1、內(nèi)槽體；10、內(nèi)槽體的底；11、廢液排放管；12、護(hù)欄；2、外槽體；20、外槽體的底；3、液體通道；4、回流管；5、第一進(jìn)液管；6、過濾增壓器；7、第二進(jìn)液管；70、出液孔；8、
連接管。
具體實(shí)施例方式如圖1至圖3所示，按照本實(shí)施例的硅片清洗用雙層石英槽包括槽體、設(shè)置在槽體內(nèi)的電熱偶護(hù)管以及輸送裝置。槽體包括在底部具有廢液排出口的石英內(nèi)槽體1、位于石英內(nèi)槽體1外周且與石英內(nèi)槽體1外壁之間構(gòu)成液體通道3的石英外槽體2，所述石英外槽體2的下部設(shè)有出液口，石英槽還包括一端螺紋連接在石英外槽體2的出液口處的石英回流管4。內(nèi)槽體1的底10傾斜設(shè)置，廢液排出口位于內(nèi)槽體1較低的一側(cè)，在廢液排出口位置連接有廢液排放管11。將底傾斜設(shè)置，便于雜質(zhì)沉淀滑動(dòng)至廢液排出口的位置，從而通過廢液排放管11排出。另外，內(nèi)槽體1在槽口位置呈齒形，如此，內(nèi)槽體1中的液體可以很均勻地溢出而進(jìn)入到內(nèi)槽體1與外槽體2之間的液體通道3中。外槽體2的底20也是傾斜設(shè)置的，出液口即開設(shè)在外槽體2的底部。內(nèi)槽體1的內(nèi)壁上設(shè)有護(hù)欄12，用于插設(shè)電熱偶護(hù)管。所述輸送裝置包括一端部插入外槽體2設(shè)置的第一進(jìn)液管5、連接在第一進(jìn)液管5 的另一端部與石英回流管4之間的過濾增壓器6以及位于內(nèi)槽體1內(nèi)且與第一進(jìn)液管5連通的第二進(jìn)液管7。第二進(jìn)液管7安裝在內(nèi)槽體1的底部，其上布滿了大小一致的出液孔 70使得液體能夠均勻地流至所述內(nèi)槽體中。本例中，第二進(jìn)液管7有2根，2根第二進(jìn)液管7分別位于所述內(nèi)槽體1的兩相對(duì)側(cè)，且均沿著所述槽體的長(zhǎng)度方向延伸，2根第二進(jìn)液管7的伸出內(nèi)槽體1的端部分別與一水平設(shè)置的連接管8連接，該連接管8在中部連接第一進(jìn)液管5的位于外槽體2內(nèi)的端部。其中，第一進(jìn)液管5與外槽體2的側(cè)壁之間螺紋連接；第二進(jìn)液管7與內(nèi)槽體1的側(cè)壁之間螺紋連接。采用螺紋連接，密封性較好。
本發(fā)明的石英雙層槽的工作過程如下在內(nèi)槽體中注滿清洗液，并使得清洗液通過內(nèi)槽體的槽口溢出至液體通道中，進(jìn)入液體通道中的液體經(jīng)回流管和輸送裝置又返回到內(nèi)槽體中，實(shí)現(xiàn)清洗液的循環(huán)清洗。當(dāng)石英雙層槽工作一段時(shí)間后，可通過位于內(nèi)槽體的底部的廢液排放口將沉淀在底部的雜質(zhì)隨同廢液一起排放掉。綜上，本實(shí)施例的雙層石英槽能夠?qū)崿F(xiàn)清洗液的自動(dòng)循環(huán)流動(dòng)，提高了清洗速度和清洗的效果，節(jié)省了勞動(dòng)力，而且廢液沉淀的排放，槽自身的清洗容易。以上對(duì)本發(fā)明做了詳盡的描述，其目的在于讓熟悉此領(lǐng)域技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并加以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡根據(jù)本發(fā)明的精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種硅片清洗用雙層石英槽，包括槽體和設(shè)置在槽體內(nèi)的電熱偶護(hù)管，其特征在于所述槽體包括在底部具有廢液排出口的石英內(nèi)槽體(1)、位于所述石英內(nèi)槽體(1)外周且與所述石英內(nèi)槽體(1)外壁之間構(gòu)成液體通道(3)的石英外槽體(2)，所述石英外槽體 (2 )的下部設(shè)有出液口，所述石英槽還包括一端連接在所述石英外槽體(2 )的出液口處的石英回流管(4)以及與所述石英回流管(4)的另一端部相連通用于將石英回流管(4)中的液體輸入至所述石英內(nèi)槽體(1)中的輸送裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1或所述的硅片清洗用雙層石英槽，其特征在于所述石英回流管 (4)與所述的外槽體(2)之間螺紋連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗用雙層石英槽，其特征在于所述輸送裝置包括一端部插入所述外槽體(2)設(shè)置的第一進(jìn)液管(5)、連接在所述的第一進(jìn)液管(5)的另一端部與所述石英回流管(4)之間的過濾增壓器(6)以及位于所述內(nèi)槽體(1)內(nèi)且與所述第一進(jìn)液管(5)連通的第二進(jìn)液管(J)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片清洗用雙層石英槽，其特征在于所述第二進(jìn)液管(7) 安裝在所述內(nèi)槽體(1)的底部，其上布滿了大小一致的出液孔(70)使得液體能夠均勻地流至所述內(nèi)槽體(1)中。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片清洗用雙層石英槽，其特征在于所述的第二進(jìn)液管 (7)有2根，2根所述的第二進(jìn)液管(7)分別位于所述內(nèi)槽體(1)的兩相對(duì)側(cè)，且均沿著所述槽體(1)的長(zhǎng)度方向延伸，2根所述的第二進(jìn)液管(7)的伸出所述內(nèi)槽體(1)的端部分別與一水平設(shè)置的連接管(8)連接，所述連接管(8)在中部連接所述的第一進(jìn)液管(5)的位于所述外槽體(2)內(nèi)的端部。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或4或5所述的硅片清洗用雙層石英槽，其特征在于所述的第一進(jìn)液管(5)與所述外槽體(2)的側(cè)壁之間螺紋連接，所述第二進(jìn)液管()與所述內(nèi)槽體(1) 的側(cè)壁之間螺紋連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗用雙層石英槽，其特征在于所述內(nèi)槽體(1)的底 (10)傾斜設(shè)置，所述的廢液排出口位于所述的內(nèi)槽體(1)較低的一側(cè)，在所述廢液排出口位置連接有廢液排放管(11)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗用雙層石英槽，其特征在于所述內(nèi)槽體(1)在槽口位置呈齒形。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗用雙層石英槽，其特征在于所述的外槽體(2)的底(20)傾斜設(shè)置，所述的出液口開設(shè)在所述的外槽體(2)的底部。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗用雙層石英槽，其特征在于所述內(nèi)槽體(1)的內(nèi)壁上設(shè)有護(hù)欄(12)，所述的電熱偶護(hù)管插設(shè)在所述護(hù)欄(12)內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種硅片清洗用雙層石英槽，包括槽體和設(shè)置在槽體內(nèi)的電熱偶護(hù)管，所述槽體包括在底部具有廢液排出口的石英內(nèi)槽體、位于石英內(nèi)槽體外周且與石英內(nèi)槽體外壁之間構(gòu)成液體通道的石英外槽體，所述石英外槽體的下部設(shè)有出液口，石英槽還包括一端連接在石英外槽體的出液口處的石英回流管以及與石英回流管的另一端部相連通用于將石英回流管中的液體輸入至石英內(nèi)槽體中的輸送裝置。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了清洗液體自動(dòng)循環(huán)流動(dòng)，在避免資源浪費(fèi)的同時(shí)，提高了清洗硅片的速度和效果，降低了勞動(dòng)力。
文檔編號(hào)B08B3/04GK102254793SQ20111019857
公開日2011年11月23日 申請(qǐng)日期2011年7月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月15日
發(fā)明者沈法松 申請(qǐng)人:蘇州凱西石英電子有限公司