本發(fā)明涉及一種轉(zhuǎn)印薄膜及其制造方法、層疊體的制造方法、靜電電容型輸入裝置的制造方法及圖像顯示裝置的制造方法。

背景技術(shù)：

在移動(dòng)電話、汽車導(dǎo)航、個(gè)人計(jì)算機(jī)、售票機(jī)、銀行終端等電子設(shè)備中，近年來，在液晶裝置等的表面配置有平板型輸入裝置，可以一邊參考在液晶裝置的圖像顯示區(qū)域顯示的指令圖像，一邊用手指或觸控筆等接觸顯示有該指令圖像的部位，從而進(jìn)行對(duì)應(yīng)于指令圖像的信息輸入。

這種輸入裝置(觸摸面板)中有電阻膜型及靜電電容型等。然而，電阻膜型輸入裝置為薄膜和玻璃的兩片結(jié)構(gòu)，且為按壓薄膜而使之短路的結(jié)構(gòu)，因此具有動(dòng)作溫度范圍窄和容易老化的缺陷。

與此相對(duì)，靜電電容型輸入裝置具有可以僅在一張基板上形成透光性導(dǎo)電膜的優(yōu)點(diǎn)。這種靜電電容型輸入裝置中有如下類型的靜電電容型輸入裝置，例如使電極圖案在彼此交叉的方向上延伸，當(dāng)手指等接觸時(shí)，檢測(cè)出電極之間的靜電電容發(fā)生變化，從而檢測(cè)輸入位置(例如參考專利文獻(xiàn)1～3)。

當(dāng)使用這些靜電電容型輸入裝置時(shí)，例如在從映射光源時(shí)的正反射附近稍微離開的位置，存在透明電極圖案明顯、美觀性差等可見性的問題。與此相對(duì)，在專利文獻(xiàn)1中記載有，在基板上形成ITO(氧化銦錫，Indium Tin Oxide)圖案，且僅在ITO圖案的上側(cè)交替地層疊包含SiO₂等低折射率介電材料的層和包含Nb₂O₅等高折射率介電材料的層，由此通過基于這些各層的光干渉效應(yīng)，透明電極圖案隱形化，成為中性色調(diào)。

在專利文獻(xiàn)2中記載有，在基板上形成ITO圖案之前，僅在ITO圖案的下側(cè)層疊SiO₂等低折射率層和Nb₂O₅等高折射率層之后形成ITO圖案，從而能夠防止顯現(xiàn)透明電極圖案形狀。

在專利文獻(xiàn)3中記載有，在基板上形成ITO圖案之前，僅在ITO圖案的下側(cè)層疊SiO₂等低折射率層和Nb₂O₅等高折射率層之后形成ITO圖案，從而能夠使透明電極圖案和圖案彼此的交叉部不明顯。

作為記載于這些文獻(xiàn)中的透明絕緣層、透明保護(hù)膜等透明膜的形成方法,已知有各種方法。在此，在液晶或有機(jī)EL(電致發(fā)光，Electro-Luminescence)顯示器上具備靜電電容型觸摸面板的智能手機(jī)或平板PC(個(gè)人計(jì)算機(jī)，Personal Computer)中，開發(fā)并發(fā)表有在前面板(直接用手指接觸的面)中使用了以Corning Incorporated的Gorilla玻璃為代表的強(qiáng)化玻璃的產(chǎn)品。并且，已上市有在前面板的一部分形成有用于設(shè)置壓敏(不是靜電電容變化，而是按壓式機(jī)械機(jī)構(gòu))開關(guān)的開口部的產(chǎn)品。這些強(qiáng)化玻璃強(qiáng)度高且難以加工，因此為了形成開口部，通常，在強(qiáng)化處理之前形成開口部之后，進(jìn)行強(qiáng)化處理。

在專利文獻(xiàn)4、5中，作為透明絕緣層和透明保護(hù)膜的形成方法，僅記載有在使用有機(jī)材料的情況下進(jìn)行涂布的方法。

從表面粗糙度的觀點(diǎn)考慮，在專利文獻(xiàn)6中記載有：以將表面粗糙度為0.01～2μm的微細(xì)凹凸進(jìn)行轉(zhuǎn)印的用途而使用的感光性元件，且其結(jié)構(gòu)為包含支撐薄膜(A)、厚度為20μm以下的感光性樹脂組合物層(B)及保護(hù)薄膜(C)，且上述保護(hù)薄膜(C)的與感光性樹脂組合物層接觸的面的Ra為0.05～0.5μm的感光性元件在光納米壓印中是有效的。

在專利文獻(xiàn)7中記載有：從層疊時(shí)氣泡的混入(層壓泡)的觀點(diǎn)考慮，保護(hù)薄膜的與感光性組合物層接觸的面的算術(shù)平均粗糙度(Ra)計(jì)優(yōu)選為0.5μm以上。

在專利文獻(xiàn)8中記載有：為了防止來源于魚眼的氣孔，與感光性樹脂組合物層接觸的面的保護(hù)薄膜的表面粗糙度Ra為0.15μm以下、Rmax為1.5μm以下，不與感光性樹脂組合物層接觸的面的Ra為0.1～0.8μm、Rmax為1～5μm，且保護(hù)薄膜中所包含的直徑為80μm以上的魚眼的個(gè)數(shù)為5個(gè)/m²以下的感光性元件是有效的。

以往技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2010-86684號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2010-152809號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本特開2010-257492號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)4：國際公開第2010-061744號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)5：日本特開2010-061425號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)6：日本專利第5257648號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)7：日本專利第3522127號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)8：日本專利第3406544號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的技術(shù)課題

如上所述，若欲在具有開口部的經(jīng)過強(qiáng)化處理后的基板上，通過專利文獻(xiàn)4和5中所記載的涂布法，并使用專利文獻(xiàn)3和4中所記載的材料來形成透明絕緣層和透明保護(hù)膜，則產(chǎn)生從開口部泄漏或溢出抗蝕劑成分，導(dǎo)致需要去除所溢出部分的工序，存在生產(chǎn)率顯著下降的問題。

另外，在專利文獻(xiàn)6～8中，不易抑制層疊時(shí)氣泡的混入(層壓泡)。

如上所述，關(guān)于為了解決可看見透明電極圖案的問題而使用轉(zhuǎn)印材料來進(jìn)行改善的方法，更詳細(xì)而言，關(guān)于將用于改善ITO圖案可見性的折射率調(diào)整層及外涂層以不存在層疊時(shí)氣泡的混入(層壓泡)等缺陷的方式在透明電極圖案上統(tǒng)一形成圖案的轉(zhuǎn)印材料以及使用轉(zhuǎn)印材料的制造方法，并沒有任何公開。

與此相對(duì)，本發(fā)明人等經(jīng)過對(duì)這些專利文獻(xiàn)1～3中所記載的層結(jié)構(gòu)、專利文獻(xiàn)6～8中所記載的支撐體上具有第一感光層及第二感光層的感光性轉(zhuǎn)印片進(jìn)行研究的結(jié)果，可看見透明電極圖案，獲知可看見透明電極圖案的問題仍然未能夠完全解決。

通常使用的靜電電容型輸入裝置在圖像顯示區(qū)域的周圍設(shè)置有框部。因此，在使用轉(zhuǎn)印薄膜來形成折射率調(diào)整層的情況下，通過在圖像顯示區(qū)域上層疊折射率調(diào)整層而解決可看見透明電極圖案的問題，同時(shí)對(duì)框部要求容易成型為所希望的圖案形狀，以免層疊折射率調(diào)整層。作為形成所希望的圖案的方法，可以考慮配合靜電電容型輸入裝置的框部的形狀來切斷轉(zhuǎn)印薄膜的形狀的方法(沖切法和半切法)。然而，從進(jìn)一步提高生產(chǎn)率的觀點(diǎn)考慮，期待形成圖案形成性良好的層疊體，該層疊體在從轉(zhuǎn)印薄膜將折射率調(diào)整層轉(zhuǎn)印到透明電極圖案上之后，通過光刻法能夠以所希望的圖案進(jìn)行顯影。

并且，從生產(chǎn)率的觀點(diǎn)考慮，若以對(duì)薄膜傳感器方式有效的卷對(duì)卷方式連續(xù)進(jìn)行高速層壓，則在專利文獻(xiàn)7～9中所記載的表面粗糙度的范圍內(nèi)，仍產(chǎn)生層疊時(shí)氣泡的混入(層壓泡)。另外，也會(huì)導(dǎo)致由層壓泡引起的濕熱試驗(yàn)的惡化。

本發(fā)明要解決的課題在于提供一種轉(zhuǎn)印薄膜，該轉(zhuǎn)印薄膜在轉(zhuǎn)印中抑制層疊時(shí)氣泡的混入，并能夠形成也可以充分地承受濕熱試驗(yàn)的層疊體。另外，本發(fā)明的課題在于提供上述轉(zhuǎn)印薄膜的制造方法、使用上述轉(zhuǎn)印薄膜的層疊體的制造方法、靜電電容型輸入裝置的制造方法及圖像顯示裝置的制造方法。

用于解決技術(shù)課題的手段

本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)在使臨時(shí)支撐體、樹脂層、覆蓋膜以該層結(jié)構(gòu)層疊而成的轉(zhuǎn)印薄膜中，通過將剝離了覆蓋膜時(shí)的、與樹脂層接觸的面的表面粗糙度控制為特定范圍，能夠以無層壓泡的方式從轉(zhuǎn)印薄膜轉(zhuǎn)印樹脂層，還能夠形成也可以充分地承受濕熱試驗(yàn)的層疊體。

本發(fā)明的上述課題是通過以下＜1＞、＜9＞或＜10＞所述的方式而得到解決。以下，一同記載作為優(yōu)選實(shí)施方式的＜2＞～＜8＞及＜11＞～＜13＞。

＜1＞一種轉(zhuǎn)印薄膜，其特征在于，將臨時(shí)支撐體、樹脂層、覆蓋膜以該層結(jié)構(gòu)而包含，當(dāng)從樹脂層剝離了上述覆蓋膜時(shí)，上述覆蓋膜的與樹脂層接觸的面的依照J(rèn)IS-B0601-2001的表面粗糙度SRz為130nm以下，且SRa為8nm以下。

＜2＞根據(jù)＜1＞所述的轉(zhuǎn)印薄膜，其中，上述樹脂層為透明樹脂層，上述樹脂層在波長400～780nm處的透射率為80％以上。

＜3＞根據(jù)＜2＞所述的轉(zhuǎn)印薄膜，其中，上述透明樹脂層包括第一透明樹脂層和第二透明樹脂層，上述覆蓋膜所接觸的面為第二透明樹脂層。

＜4＞根據(jù)＜1＞～＜3＞中任一個(gè)所述的轉(zhuǎn)印薄膜，其中，上述覆蓋膜的材質(zhì)為聚酯。

＜5＞根據(jù)＜1＞～＜4＞中任一個(gè)所述的轉(zhuǎn)印薄膜，其中，上述覆蓋膜的厚度為10～50μm。

＜6＞根據(jù)＜1＞～＜5＞中任一個(gè)所述的轉(zhuǎn)印薄膜，其中，上述樹脂層至少包含粘合劑。

＜7＞根據(jù)＜1＞～＜6＞中任一個(gè)所述的轉(zhuǎn)印薄膜，其中，上述樹脂層的干燥膜厚為1～15μm。

＜8＞根據(jù)＜1＞～＜7＞中任一個(gè)所述的轉(zhuǎn)印薄膜，其中，上述樹脂層含有折射率為1.55以上的粒子。

＜9＞一種轉(zhuǎn)印薄膜的制造方法，其特征在于，依次包括：在臨時(shí)支撐體上層疊樹脂層的工序；及在上述樹脂層上層疊覆蓋膜的工序，當(dāng)從樹脂層剝離了上述覆蓋膜時(shí)，上述覆蓋膜的與樹脂層接觸的面的依照J(rèn)IS-B0601-2001的表面粗糙度SRz為130nm以下，且SRa為8nm以下。

＜10＞一種轉(zhuǎn)印薄膜的制造方法，其特征在于，依次包括：在臨時(shí)支撐體上層疊第一透明樹脂層的工序；在上述第一透明樹脂層上層疊第二透明樹脂層的工序；及在上述第二透明樹脂層上層疊覆蓋膜的工序，當(dāng)從具有上述第一透明樹脂層和上述第二透明樹脂層的透明樹脂層剝離了上述覆蓋膜時(shí)，上述覆蓋膜的與上述透明樹脂層接觸的面的依照J(rèn)IS-B0601-2001的表面粗糙度SRz為130nm以下，且SRa為8nm以下。

＜11＞一種層疊體的制造方法，包括如下工序：在位于基材上的透明電極圖案上，層疊＜1＞～＜8＞中任一個(gè)所述的轉(zhuǎn)印薄膜的樹脂層。

＜12＞一種靜電電容型輸入裝置的制造方法，包括如下工序：在透明電極圖案上，層疊＜1＞～＜8＞中任一個(gè)所述的轉(zhuǎn)印薄膜的樹脂層。

＜13＞一種圖像顯示裝置的制造方法，包括如下工序：在透明電極圖案上，層疊＜1＞～＜8＞中任一個(gè)所述的轉(zhuǎn)印薄膜的樹脂層。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明能夠提供一種轉(zhuǎn)印薄膜，該轉(zhuǎn)印薄膜在轉(zhuǎn)印中抑制層疊時(shí)氣泡的混入，且能夠形成也可以充分地承受濕熱試驗(yàn)的層疊體。另外，根據(jù)本發(fā)明能夠提供上述轉(zhuǎn)印薄膜的制造方法、使用上述轉(zhuǎn)印薄膜的層疊體的制造方法、靜電電容型輸入裝置的制造方法及圖像顯示裝置的制造方法。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的結(jié)構(gòu)的一例的剖面概略圖。

圖2是表示本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的結(jié)構(gòu)的另一例的剖面概略圖。

圖3是表示本發(fā)明中的前面板的一例的說明圖。

圖4是表示本發(fā)明中的透明電極圖案與非圖案區(qū)域的關(guān)系的一例的說明圖。

圖5是表示形成有開口部的強(qiáng)化處理玻璃的一例的俯視圖。

圖6是表示形成有掩模層的前面板的一例的俯視圖。

圖7是表示形成有第一透明電極圖案的前面板的一例的俯視圖。

圖8是表示形成有第一透明電極圖案及第二透明電極圖案的前面板的一例的俯視圖。

圖9是表示形成有與第一透明電極圖案及第二透明電極圖案不導(dǎo)的同電性要件的前面板的一例的俯視圖。

圖10是表示金屬納米線剖面的說明圖。

圖11是表示透明電極圖案的端部的錐形形狀的一例的說明圖。

圖12是表示本發(fā)明的透明層疊體的結(jié)構(gòu)的一例的剖面概略圖。

圖13是表示本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的結(jié)構(gòu)的一例的剖面概略圖。

圖14是表示本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的結(jié)構(gòu)的另一例的俯視圖，表示包含被圖案曝光、未被第一透明樹脂層覆蓋的卷繞配線的終端部(末端部分)的方式。

圖15是表示在靜電電容型輸入裝置的透明電極圖案上，通過層壓而層疊具有第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜，并通過曝光等進(jìn)行固化之前的狀態(tài)的一例的概略圖。

圖16是表示第一透明樹脂層和第二透明樹脂層被固化的所希望的圖案的一例的概略圖。

圖17是表示使用紙管從轉(zhuǎn)印材料剝離覆蓋膜的方法的一例的概略圖。

具體實(shí)施方式

以下，關(guān)于本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜及其制造方法、層疊體及其制造方法、靜電電容型輸入裝置以及圖像顯示裝置進(jìn)行說明。以下所記載的構(gòu)成要件的說明是根據(jù)本發(fā)明的代表性實(shí)施方式和具體例而完成的，但本發(fā)明并不限定于那些實(shí)施方式和具體例。

另外，在本說明書中用“～”表示的數(shù)值范圍是指將記載于“～”前后的數(shù)值作為下限值及上限值而包括的范圍。

在本說明書中的基團(tuán)(原子團(tuán))的表述中，未記載取代及無取代的表述包含不具有取代基的基團(tuán)(原子團(tuán))，并且包含具有取代基的基團(tuán)(原子團(tuán))。例如“烷基”不僅包含不具有取代基的烷基(無取代烷基)，也包含具有取代基的烷基(取代烷基)。

并且，本說明書中的化學(xué)結(jié)構(gòu)式也有由省略了氫原子的簡略結(jié)構(gòu)式記載的情況。

另外，在本說明書中，“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯，“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸，“(甲基)丙烯?！北硎颈＜凹谆！?/p>

并且，在本發(fā)明中，“質(zhì)量％”和“重量％”的含義相同，“質(zhì)量份”和“重量份”的含義相同。

另外，“層壓泡”是指從轉(zhuǎn)印薄膜去除覆蓋膜，且將樹脂層層疊于目標(biāo)物體時(shí)所產(chǎn)生的氣泡的混入。

并且，在本發(fā)明中，更優(yōu)選組合優(yōu)選方式。

在本發(fā)明中，聚合物成分中的重均分子量及數(shù)均分子量是將四氫呋喃(THF)作為溶劑的情況下通過凝膠滲透色譜法(GPC)測(cè)定的聚苯乙烯換算的重均分子量。

1.轉(zhuǎn)印薄膜及其制造方法

本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的特征在于，將臨時(shí)支撐體、樹脂層、覆蓋膜以該層結(jié)構(gòu)而包含，當(dāng)從樹脂層剝離了上述覆蓋膜時(shí)，上述覆蓋膜的與樹脂層接觸的面的依照J(rèn)IS-B0601-2001的表面粗糙度SRz為130nm以下，且SRa為8nm以下。

通過設(shè)為這種結(jié)構(gòu)，抑制了層疊時(shí)氣泡的混入(層壓泡)，并能夠形成在濕熱試驗(yàn)之后也不存在問題的層疊體。

優(yōu)選在上述轉(zhuǎn)印薄膜中，樹脂層為透明樹脂層，且樹脂層在波長400～780nm處的透射率為80％以上，更優(yōu)選透明樹脂層為具有第一透明樹脂層和第二透明樹脂層的透明樹脂層，進(jìn)一步優(yōu)選在上述轉(zhuǎn)印薄膜中，透明樹脂層包括第一透明樹脂層和第二透明樹脂層，且與覆蓋膜接觸的面為第二透明樹脂層。

通過設(shè)為這種結(jié)構(gòu)，層壓泡得到抑制，濕熱試驗(yàn)之后也不存在問題，除此以外，通過減小透明電極圖案(優(yōu)選ITO)與第二透明樹脂層(折射率調(diào)整層)的折射率差、以及折射率調(diào)整層(第二透明樹脂層)與第一透明樹脂層的折射率差來降低光反射，從而不易看見透明電極圖案，能夠進(jìn)一步改善透明電極圖案可見性。

并且，優(yōu)選第一透明樹脂層及第二透明樹脂層(折射率調(diào)整層)中的任一方為顯示水溶性的層，另一方為顯示非水溶性的層，由此在層疊第一透明樹脂層之后，即使不使第一透明樹脂層固化而層疊第二透明樹脂層(折射率調(diào)整層)，層分級(jí)也變得良好，能夠以上述機(jī)理來改善透明電極圖案可見性，并且從轉(zhuǎn)印薄膜將第二透明樹脂層(折射率調(diào)整層)及第一透明樹脂層轉(zhuǎn)印到透明電極圖案上之后，通過光刻法能夠以所希望的圖案進(jìn)行顯影。另外，若第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的層分級(jí)較差，則根據(jù)上述機(jī)理的折射率調(diào)整的效果容易變得不充分，透明電極圖案可見性的改善容易變得不充分。

另外，本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中優(yōu)選層分級(jí)良好。并且，本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中優(yōu)選裂紋良好(不易產(chǎn)生裂紋)。并且，本發(fā)明的層疊體中優(yōu)選卷褶皺良好(不易產(chǎn)生卷褶皺)。

以下，關(guān)于本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的優(yōu)選方式進(jìn)行說明。另外，以下說明中，以樹脂層為透明樹脂層的情況為中心進(jìn)行說明，但本發(fā)明并不限定于此，樹脂層可以是含有作為掩模層而使用的著色劑的光固化性樹脂層，并且，也可以是用于形成導(dǎo)電性要件的導(dǎo)電性光固化性樹脂層，并無特別的限定。

另外，本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜作為靜電電容型輸入裝置的透明絕緣層用或透明保護(hù)層用轉(zhuǎn)印薄膜可以適當(dāng)?shù)厥褂?。更詳?xì)而言，本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜作為用于在透明電極圖案上通過光刻方式形成折射率調(diào)整層及外涂層(透明保護(hù)層)的層疊圖案的轉(zhuǎn)印薄膜而能夠優(yōu)選使用。

(覆蓋膜)

＜從樹脂層剝離后的覆蓋膜的表面粗糙度(SRz及SRa)＞

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，如上所述，從樹脂層剝離了覆蓋膜時(shí)，覆蓋膜的與樹脂層接觸的面的依照J(rèn)IS-B0601-2001的表面粗糙度SRz(SRzJIS)為130nm以下，且SRa為8nm以下。

若SRz及SRa在上述范圍內(nèi)，則能夠進(jìn)行高速的層壓，可以抑制在加熱輥部產(chǎn)生層壓泡和褶皺，可以得到無缺陷的良好的圖案。

優(yōu)選SRz為110nm以下，且SRa為8nm以下，更優(yōu)選SRz為80nm以下，且SRa為8nm以下。

作為SRz的下限值并無特別的限制，但根據(jù)搬送條件，從耐刮傷性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為2nm以上，更優(yōu)選為3nm以上。

作為SRa值的下限值并無特別的限制，但根據(jù)搬送條件，從耐刮傷性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為0.5nm以上，更優(yōu)選為1.0nm以上。

上述表面粗糙度(SRz及SRa)在優(yōu)選范圍內(nèi)時(shí)，能夠進(jìn)行高速的層壓，并可以進(jìn)一步抑制在加熱輥部產(chǎn)生層壓泡和褶皺，可以得到無缺陷的良好的圖案。

在此，Rz及Ra是由一條直線來進(jìn)行測(cè)定的，相對(duì)于此，在此所述SRz及SRa是將直線進(jìn)行排列并在測(cè)定面上測(cè)定表面粗糙度的。SRa用微米(μm)表示將粗糙度曲線從中心線折回，并以長度L除以根據(jù)其粗糙度曲線和中心線得到的面積的值。

另一方面，SRz在從剖面曲線僅抽取基準(zhǔn)長度的部分中，用微米(μm)表示從最高至第5個(gè)頂點(diǎn)高度的平均值與最深至第5個(gè)谷底高度的平均值的差值。在JIS中用μm來表示該測(cè)定結(jié)果，但在表面粗糙度較小的區(qū)域，通長多使用nm，在本發(fā)明中用nm來表示。

在表面粗糙度(SRzJIS及SRa)的測(cè)定中，能夠使用觸針式表面粗糙度計(jì)。

從樹脂層優(yōu)從選透明樹脂層剝離了覆蓋膜時(shí)，為了將覆蓋膜的與樹脂層接觸的面的SRz及SRa設(shè)在上述范圍內(nèi)，覆蓋膜的與樹脂層接觸的面的依照J(rèn)IS-B0601-2001的表面粗糙度SRz雖然也取決于樹脂層的特性，但優(yōu)選為125nm以下，更優(yōu)選為105nm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為75nm以下。并且，SRa優(yōu)選為8nm以下，更優(yōu)選為7.5nm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為7nm以下。

并且，作為覆蓋膜的與樹脂層接觸的面的SRz的下限值并無特別的限制，優(yōu)選為1nm以上，更優(yōu)選為1.5nm以上，進(jìn)一步優(yōu)選為2nm以上。

另外，作為覆蓋膜的與樹脂層接觸的面的SRa的下限值并無特別的限制，優(yōu)選為0.5nm以上，更優(yōu)選為0.7nm以上，進(jìn)一步優(yōu)選為1nm以上。

＜覆蓋膜的其它特性＞

本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中所使用的覆蓋膜優(yōu)選具有適當(dāng)?shù)挠捕?，以防止由樹脂層的影響引起的上述SRz及SRa的變化。

具體而言，覆蓋膜的硬度以鉛筆硬度計(jì)優(yōu)選為B～9H，更優(yōu)選為H～9H。

上述鉛筆硬度能夠通過JISK5600-5-4中所記載的方法來進(jìn)行測(cè)定。

并且，本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中所使用的覆蓋膜優(yōu)選尺寸穩(wěn)定性高，以防止上述SRz及SRa的經(jīng)時(shí)變化。

具體而言，以100℃進(jìn)行30分鐘的熱處理之后，通過測(cè)定百分之幾的長度發(fā)生變化而能夠計(jì)算覆蓋膜的尺寸穩(wěn)定性。

＜覆蓋膜的剝離方法＞

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，如上所述，作為測(cè)定表面粗糙度的覆蓋膜的剝離方法，為了不使樹脂層的一部分脫落，優(yōu)選以一定曲率、一定速度進(jìn)行剝離。圖17中示出本發(fā)明的覆蓋膜的剝離例子。

作為具體例，抽出一部分卷狀轉(zhuǎn)印薄膜，切斷成片狀，將端部切斷成一條直線。接著，在平滑的玻璃板上，以覆蓋膜側(cè)朝上的方式放置轉(zhuǎn)印薄膜30。將片材角部的覆蓋膜稍微進(jìn)行剝離，用膠帶將剝離覆蓋膜后的轉(zhuǎn)印材料的角部固定于玻璃板，用膠帶將覆蓋膜的角部固定于直徑為3cm的紙管35。一邊將覆蓋膜卷繞于紙管35，一邊以1cm/秒的速度，對(duì)片材以45度的角度進(jìn)行剝離。通過以一定曲率及一定速度進(jìn)行剝離而能夠以樹脂層不脫離的方式進(jìn)行剝離。

＜覆蓋膜＞

作為覆蓋膜，優(yōu)選使用具有撓性，在加壓的情況下或者在加壓及加熱的情況下不產(chǎn)生顯著的變形、收縮或拉伸的材料。厚度優(yōu)選在10～50μm的范圍，從易處理性、通用性等方面考慮，更優(yōu)選為11～45μm的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為12～40μm的范圍。

并且，覆蓋膜可以是透明的，也可以含有染料硅、氧化鋁溶膠、鉻鹽及鋯鹽等。作為這種覆蓋膜的例子，能夠適當(dāng)?shù)厥褂萌毡咎亻_2006-259138號(hào)公報(bào)的0083～0087及0093段中所記載的覆蓋膜，具體而言，可以舉出聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜等聚烯烴薄膜、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜等聚酯薄膜、三乙酸纖維素薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚碳酸酯薄膜等，其中，優(yōu)選聚酯薄膜，更優(yōu)選聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜，進(jìn)一步優(yōu)選雙軸拉伸聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜。

(臨時(shí)支撐體)

本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜具有臨時(shí)支撐體。

臨時(shí)支撐體是指在將轉(zhuǎn)印薄膜所具有的樹脂層進(jìn)行轉(zhuǎn)印之后被剝離的支撐體。

作為臨時(shí)支撐體，優(yōu)選使用具有撓性且在加壓情況下或者在加壓及加熱的情況下不產(chǎn)生顯著變形、收縮或拉伸的材料。作為這種臨時(shí)支撐體的例子，可以舉出聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜等聚酯薄膜、三乙酸纖維素薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚碳酸酯薄膜等，其中，優(yōu)選聚酯薄膜，更優(yōu)選聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜，進(jìn)一步優(yōu)選雙軸拉伸聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜。

對(duì)臨時(shí)支撐體的厚度并無特別的限制，優(yōu)選為5～200μm的范圍，從易處理性、通用性等觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選為10～50μm的范圍。

并且，臨時(shí)支撐體可以是透明的，也可以含有氧化硅、氧化鋁溶膠、鉻鹽及鋯鹽等。

并且，可以通過日本特開2005-221726號(hào)公報(bào)中所記載的方法等，對(duì)臨時(shí)支撐體賦予導(dǎo)電性。

(樹脂層)

本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜為將臨時(shí)支撐體、樹脂層、覆蓋膜以該層結(jié)構(gòu)而包含的轉(zhuǎn)印薄膜，優(yōu)選樹脂層為透明樹脂層，更優(yōu)選透明樹脂層功能分離為第一透明樹脂層和第二透明樹脂層而層疊。進(jìn)一步優(yōu)選具有與第一透明樹脂層相鄰配置的第二透明樹脂層，第二透明樹脂層的折射率比第一透明樹脂層的折射率高，第二透明樹脂層的折射率為1.60以上。

并且，上述覆蓋膜所接觸的面優(yōu)選為第二透明樹脂層。

樹脂層可以是熱固化性，也可以是光固化性，也可以是熱固化性且光固化性。其中，從轉(zhuǎn)印后通過進(jìn)行熱固化而能夠賦予膜的可靠性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選樹脂層至少為熱固化性樹脂層，從轉(zhuǎn)印后通過進(jìn)行光固化而容易進(jìn)行制膜，且制膜后通過進(jìn)行熱固化而能夠賦予膜的可靠性的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選為熱固化性樹脂層且光固化性樹脂層。

另外，在本說明書中，為了便于說明，在將本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的樹脂層進(jìn)行轉(zhuǎn)印，并將這些層進(jìn)行光固化之后這些層失去光固化性的情況下，與這些層是否具有熱固化性無關(guān)，而分別繼續(xù)稱作樹脂層。另外，也有對(duì)這些層進(jìn)行光固化之后進(jìn)行熱固化的情況，該情況下，也與這些層是否具有固化性無關(guān)，而分別繼續(xù)稱作樹脂層。同樣，在將本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的樹脂層轉(zhuǎn)印到透明電極圖案上，并將這些層進(jìn)行熱固化之后這些層失去了熱固化性的情況下，與這些層是否具有光固化性無關(guān)，而分別繼續(xù)稱作樹脂層。

另外，在本發(fā)明中，優(yōu)選樹脂層為透明樹脂層。

在本發(fā)明中，“透明樹脂層”是指在透射率為90％以上的基材上轉(zhuǎn)印樹脂層而形成層疊體的情況下，該層疊體的透射率為80％以上。作為上述透射率，能夠使用在400～780nm的波長范圍內(nèi)以1nm的間距測(cè)定的值的算術(shù)平均值。

并且，以1nm的間距測(cè)定透射率的情況下，將400～450nm中的測(cè)定值的最小值稱為“400～450nm范圍的透射率”，將450～780nm中的測(cè)定值的最小值稱為“450～780nm范圍的透射率”，優(yōu)選400～450nm范圍的透射率及450～780nm范圍的透射率均為80％以上，更優(yōu)選400～450nm范圍的透射率為90％以上且450～780nm范圍的透射率為95％以上，進(jìn)一步優(yōu)選400～450nm范圍的透射率為95％以上且450～780nm范圍的透射率為97％以上。

另外，關(guān)于上述透光率，在轉(zhuǎn)印薄膜的透明樹脂層具有光固化性及/或熱固化性的情況下固化后的透光率也同樣地必須保持透明性。在光固化的情況下，如上所述，在以玻璃基板與透明樹脂層接觸的方式進(jìn)行轉(zhuǎn)印之后，進(jìn)行整面曝光，并剝離臨時(shí)支撐體。接著，進(jìn)行顯影及水洗，用氣刀去除剩余的水分并進(jìn)行干燥。對(duì)所得到的帶透明樹脂層的玻璃基板，同樣用分光光度計(jì)來測(cè)定透射率。在用氣刀進(jìn)行去除并干燥之后，也可以實(shí)施后曝光。另外，在熱固化性且光固化性的情況下，最后進(jìn)行烘干，并以同樣的方式進(jìn)行測(cè)定。

在熱固化的情況下，如上所述，以玻璃基板與透明樹脂層接觸的方式進(jìn)行轉(zhuǎn)印之后，剝離臨時(shí)支撐體并進(jìn)行烘干。對(duì)所得到的帶透明樹脂層的玻璃基板，同樣用分光光度計(jì)來測(cè)定透射率。優(yōu)選固化前的透明樹脂層的透明性及固化后的透明樹脂層的透明性均高，優(yōu)選固化前的透明樹脂層的透射率以及固化后的透明樹脂層的透射率均高。

本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜可以是負(fù)型材料，也可以是正型材料。

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜為負(fù)型材料的情況下，優(yōu)選在樹脂層及透明樹脂層中包含金屬氧化物粒子、粘合劑樹脂(優(yōu)選堿溶性樹脂)、聚合性化合物、聚合引發(fā)劑或聚合引發(fā)體系。另外，可以使用添加劑等，但并不限定于此。

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，優(yōu)選第一透明樹脂層及第二透明樹脂層分別獨(dú)立地包含粘合劑、聚合性化合物及光聚合引發(fā)劑。

作為控制透明樹脂層的折射率的方法并無特別的限制，能夠單獨(dú)使用所希望的折射率的透明樹脂膜，或者使用添加了金屬粒子、金屬氧化物粒子等粒子的透明樹脂膜，并且，能夠使用金屬鹽和高分子的復(fù)合體。

＜粒子＞

樹脂層優(yōu)選透明樹脂層以調(diào)節(jié)折射率和透光性為目的優(yōu)選含有粒子，更優(yōu)選含有金屬氧化物粒子。并且，在透明樹脂層具有第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的情況下，尤其優(yōu)選第二透明樹脂層含有粒子，更優(yōu)選含有金屬氧化物粒子。金屬氧化物粒子透明性高且具有透光性，因此可以得到高折射率且透明性優(yōu)異的轉(zhuǎn)印薄膜。

關(guān)于金屬氧化物粒子，與包含從透明樹脂層去除該粒子的材料的組合物的折射率相比，優(yōu)選金屬氧化物粒子的折射率更高。

具體而言，在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，透明樹脂層(透明樹脂層具有第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的情況下，為第二透明樹脂層)更優(yōu)選含有具有400～750nm波長的光中的折射率為1.50以上的粒子，進(jìn)一步優(yōu)選含有折射率為1.55以上的粒子，尤其優(yōu)選含有折射率為1.70以上的粒子，最優(yōu)選含有1.90以上的粒子。

在此，具有400～750nm波長的光中的折射率為1.50以上是指，具有上述范圍的波長的光中的平均折射率為1.50以上，并不要求具有上述范圍波長的所有光中的折射率為1.50以上。并且，平均折射率是對(duì)具有上述范圍波長的各光的折射率的測(cè)定值的總和除以測(cè)定點(diǎn)的個(gè)數(shù)的值。

另外，金屬氧化物粒子的金屬中也包含B、Si、Ge、As、Sb、Te等半金屬。

作為透光性且折射率較高的金屬氧化物粒子，優(yōu)選為包含Be、Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、La、Ce、Gd、Tb、Dy、Yb、Lu、Ti、Zr、Hf、Nb、Mo、W、Zn、B、Al、Si、Ge、Sn、Pb、Sb、Bi、Te等原子的氧化物粒子，更優(yōu)選氧化鈦粒子、鈦復(fù)合氧化物粒子、氧化鋅粒子、氧化鋯粒子、氧化鈮粒子、銦/錫氧化物粒子、或者銻/錫氧化物粒子，尤其優(yōu)選氧化鋯粒子或氧化鈮粒子。這些金屬氧化物粒子為了賦予分散穩(wěn)定性而可以用有機(jī)材料來對(duì)表面進(jìn)行處理。

從透明樹脂層的透明性的觀點(diǎn)考慮，金屬氧化物粒子的平均一次粒徑優(yōu)選為1～200nm，更優(yōu)選為3～80nm。在此，粒子的平均一次粒徑是指通過電子顯微鏡來測(cè)定任意200個(gè)粒子的粒徑的算術(shù)平均。并且粒子的形狀為非球形的情況下，將粒子的外徑中的最大直徑設(shè)為粒徑。

并且，金屬氧化物粒子可以單獨(dú)使用一種，也可以并用兩種以上。

透明樹脂層中的金屬氧化物粒子的含量，只要考慮對(duì)通過透明樹脂層而得到的光學(xué)部件要求的折射率、透光性等來適當(dāng)?shù)貨Q定即可，但相對(duì)于透明樹脂層的總固體成分優(yōu)選設(shè)為5～80質(zhì)量％，從改善本發(fā)明的層疊體的基板密合性的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選設(shè)為10～75質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)為10～73質(zhì)量％。并且，在透明樹脂層具有第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的情況下，相對(duì)于第一透明樹脂層及第二透明樹脂層，優(yōu)選以上述范圍包含金屬氧化物。

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，從將折射率控制在上述范圍內(nèi)的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選透明樹脂層(具有第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的情況下，為第一透明樹脂層及第二透明樹脂層)含有氧化鋯粒子、氧化鈮粒子及氧化鈦粒子中的至少一種，更優(yōu)選含有氧化鋯粒子及氧化鈮粒子中的至少一種。

＜溶劑＞

在樹脂層為顯示非水溶性的層的情況下，能夠使用通常的有機(jī)溶劑。在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，顯示非水溶性的層優(yōu)選通過涂布包含有機(jī)溶劑的涂布液而形成。作為用于溶解非水溶性粘合劑的有機(jī)溶劑的例子，能夠舉出甲乙酮、丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、環(huán)己酮、甲基異丁基酮、乳酸乙酯、乳酸甲酯及己內(nèi)酰胺等。

樹脂層為顯示水溶性的層的情況下，優(yōu)選溶劑為水或者碳原子數(shù)為1至3的低級(jí)醇與水的混合溶劑。本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，顯示水溶性的層優(yōu)選通過涂布水或者碳原子數(shù)為1至3的低級(jí)醇與水的混合溶劑而形成，更優(yōu)選通過涂布包含水/碳原子數(shù)為1～3的醇含有率以質(zhì)量比計(jì)為35/65～100/0的水或者混合溶劑的涂布液而形成。水/碳原子數(shù)為1～3的醇含有率以質(zhì)量比計(jì)更優(yōu)選38/62～98/2的范圍，從改善本發(fā)明的層疊體的著色的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選39/61～97/3，從改善本發(fā)明的層疊體的基板密合性的觀點(diǎn)考慮，尤其優(yōu)選40/60～95/5，最優(yōu)選40/60～85/15。

優(yōu)選水、水及甲醇的混合溶劑、水及乙醇的混合溶劑，從干燥及涂布性的觀點(diǎn)考慮，尤其優(yōu)選水及甲醇的混合溶劑。

在本發(fā)明中，樹脂層為透明樹脂層，在透明樹脂層具有第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的情況下，優(yōu)選第一透明樹脂層為顯示非水溶性的層，第二透明樹脂層為顯示水溶性的層。

尤其，在形成第二透明樹脂層時(shí)，在使用水及甲醇的混合溶劑的情況下，水/甲醇的質(zhì)量比(質(zhì)量％比率)優(yōu)選為35/65～100/0，更優(yōu)選38/62～98/2的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選40/60～97/3，尤其優(yōu)選40/60～95/5，最優(yōu)選40/60～85/15。若甲醇比該水/碳原子數(shù)為1～3的醇含有率以質(zhì)量比計(jì)40/60的范圍少，則第一透明樹脂層的溶解得到抑制，并且白濁得到抑制，因此優(yōu)選。

通過控制在上述范圍內(nèi)，不與第一透明樹脂層進(jìn)行層混合而能夠?qū)崿F(xiàn)涂布和迅速的干燥。

＜粘合劑＞

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，使用于樹脂層中的粘合劑能夠使用公知的粘合劑。

作為使用于樹脂層優(yōu)選使用于透明樹脂層中，且對(duì)水或者碳原子數(shù)為1至3的低級(jí)醇與水的混合溶劑具有溶解性的粘合劑，只要不違背本發(fā)明的宗旨就無特別的限制，能夠從公知的粘合劑中適當(dāng)?shù)剡x擇。

例如可以舉出日本特開昭46-2121號(hào)公報(bào)和日本特公昭56-40824號(hào)公報(bào)中記載的聚乙烯醚/馬來酸酐共聚物、羧烷基纖維素的水溶性鹽、水溶性纖維素醚類、羧烷基淀粉的水溶性鹽、聚乙烯醇、水溶性聚乙烯醇縮丁醛或水溶性聚乙烯醇縮醛等聚乙烯醇衍生物、聚乙烯吡咯烷酮、各種聚丙烯酰胺類、各種水溶性聚酰胺、聚丙烯酸的水溶性鹽等具有羧基的聚合物的中和物、具有磺酸基的聚合物的中和物、明膠、環(huán)氧乙烷共聚物、包括各種淀粉及其類似物的組的水溶性鹽、苯乙烯/馬來酸的共聚物、馬來酸酯樹脂、磷酸聚合物等。

在這些聚合物中，顯示水溶性的層中所包含的粘合劑優(yōu)選為聚乙烯吡咯烷酮、各種聚丙烯酰胺類、各種水溶性聚酰胺、聚丙烯酸的水溶性鹽、具有羧基的聚合物的中和物、具有磺酸基的聚合物的中和物、明膠、環(huán)氧乙烷共聚物，更優(yōu)選為聚乙烯吡咯烷酮、各種聚丙烯酰胺類、各種水溶性聚酰胺、聚丙烯酸的水溶性鹽等具有羧基的聚合物的銨中和物。

作為使用于樹脂層優(yōu)選使用于透明樹脂層中且對(duì)有機(jī)溶劑具有溶解性的樹脂(也稱為粘合劑、聚合物。)，只要不違背本發(fā)明的宗旨就無特別的限制，能夠從公知的樹脂中適當(dāng)?shù)剡x擇，優(yōu)選為堿溶性樹脂，作為上述堿溶性樹脂，能夠使用日本特開2011-95716號(hào)公報(bào)的0025段、日本特開2010-237589號(hào)公報(bào)的0033～0052段中所記載的聚合物。

透明樹脂層具有第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的情況下，從防止金屬配線的腐蝕的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選第一透明樹脂層中所含有的聚合物的羥基值為40mgKOH/g以下。

關(guān)于第二透明樹脂層，將第二透明樹脂層設(shè)為極薄的情況下，幾乎沒有由聚合物的羥基值引起的不良影響。

并且，樹脂層優(yōu)選透明樹脂層可以包含聚合物乳膠。在此所說的聚合物乳膠是不溶于水的聚合物微粒分散于水的乳膠。關(guān)于聚合物乳膠，例如記載于室井宗一著“高分子乳膠的化學(xué)”(高分子刊行會(huì)發(fā)行(1973年))。

作為能夠使用的聚合物粒子，優(yōu)選為包括丙烯酸類、乙酸乙烯酯類、橡膠類(例如苯乙烯-丁二烯類、氯丁二烯類)、烯烴類、聚酯類、聚氨酯類、聚苯乙烯類等聚合物及它們的共聚物的聚合物粒子。

優(yōu)選使構(gòu)成聚合物粒子的聚合物鏈彼此之間的鍵合力增強(qiáng)。作為使聚合物鏈彼此之間的鍵合力增強(qiáng)的方法，可以舉出利用基于氫鍵的相互作用的方法和生成共價(jià)鍵的方法。

作為賦予氫鍵力的方法，優(yōu)選在聚合物鏈上將具有極性基團(tuán)的單體進(jìn)行共聚或者接枝聚合而導(dǎo)入。作為極性基團(tuán)，可以舉出羧基(丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、富馬酸、馬來酸、巴豆酸、部分酯化馬來酸等中所含有。)、伯氨基、仲氨基及叔氨基、銨鹽基、磺酸基(苯乙烯磺酸等中所含有。)等，尤其優(yōu)選羧基、磺酸基。具有這些極性基團(tuán)的單體的共聚比的優(yōu)選范圍相對(duì)于聚合物100質(zhì)量％為5～35質(zhì)量％，更優(yōu)選為5～20質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選在15～20質(zhì)量％的范圍內(nèi)。

另一方面，作為生成共價(jià)鍵的方法，可以舉出使環(huán)氧化合物、封閉型異氰酸酯、異氰酸酯、乙烯基砜化合物、醛化合物、羥甲基化合物、羧酸酐等與羥基、羧基、伯氨基、仲氨基、乙酰乙?；?、磺酸基等進(jìn)行反應(yīng)的方法。在利用這些反應(yīng)的聚合物中，優(yōu)選通過多元醇類和聚異氰酸酯化合物的反應(yīng)而得到的聚氨酯衍生物，更優(yōu)選并用多元胺來作為擴(kuò)鏈劑，尤其優(yōu)選進(jìn)一步對(duì)聚合物鏈導(dǎo)入上述極性基團(tuán)而設(shè)為離聚物型。

聚合物的重均分子量優(yōu)選為1萬以上，更優(yōu)選為2萬～10萬。作為適合于本發(fā)明的聚合物，可以舉出乙烯與甲基丙烯酸的共聚物即乙烯離聚物、聚氨酯離聚物。

能夠使用于本發(fā)明的聚合物乳膠可以通過乳化聚合而得到，也可以是通過乳化而得到。關(guān)于這些聚合物乳膠的制備方法，例如記載于“乳液/乳膠手冊(cè)”(乳液/乳膠手冊(cè)編輯委員會(huì)編輯，TAISEISHA LTD.發(fā)行(1975年))。

作為能夠使用于本發(fā)明的聚合物乳膠，能夠舉出例如將聚乙烯離聚物的水性分散體(商品名稱：CHEMIPEARL S120，Mitsui Chemicals,Inc.制造，固體成分27％；商品名稱：CHEMIPEARL S100，Mitsui Chemicals,Inc.制造，固體成分27％；商品名稱：

CHEMIPEARL S111，Mitsui Chemicals,Inc.制造，固體成分27％；商品名稱：

CHEMIPEARL S200，Mitsui Chemicals,Inc.制造，固體成分27％；商品名稱：

CHEMIPEARL S300，Mitsui Chemicals,Inc.制造，固體成分35％；商品名稱：

CHEMIPEARL S650，Mitsui Chemicals,Inc.制造，固體成分27％；商品名稱：

CHEMIPEARL S75N，Mitsui Chemicals,Inc.制造，固體成分24％)、聚醚類聚氨酯的水性分散體(商品名稱：HYDRAN WLS-201，DIC CORPORATION制造，固體成分35％，Tg-50℃；商品名稱：HYDRAN WLS-202，DIC CORPORATION制造，固體成分35％，Tg-50℃；商品名稱：HYDRAN WLS-221，DIC CORPORATION制造，固體成分35％，Tg-30℃；商品名稱：HYDRAN WLS-210，DIC CORPORATION制造，固體成分35％，Tg-15℃；商品名稱：HYDRAN WLS-213，DIC CORPORATION制造，固體成分35％，Tg-15℃；商品名稱：HYDRAN WLI-602，DIC CORPORATION制造，固體成分39.5％，Tg-50℃；商品名稱：HYDRAN WLI-611，DIC CORPORATION制造，固體成分39.5％，Tg-15℃)、丙烯酸烷基酯共聚物銨(商品名稱：JURYMER AT-210，TOAGOSEI CO.,LTD.制造)、丙烯酸烷基酯共聚物銨(商品名稱：JURYMER ET-410，TOAGOSEI CO.,LTD.制造)、丙烯酸烷基酯共聚物銨(商品名稱：JURYMER AT-510，TOAGOSEI CO.,LTD.制造)、聚丙烯酸(商品名稱：JURYMER AC-10L，TOAGOSEI CO.,LTD.制造)進(jìn)行氨中和并乳化的物質(zhì)。

＜聚合性化合物＞

作為顯示出水溶性的層或顯示出非水溶性的層中所使用的聚合性化合物，能夠使用日本專利第4098550號(hào)的0023～0024段中所記載的聚合性化合物和具有酸基的單體的銨鹽。其中，能夠優(yōu)選使用季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇環(huán)氧乙烷(EO)加成物的四丙烯酸酯、具有酸基的單體的銨鹽。這些聚合性化合物可以單獨(dú)使用，也可以組合多個(gè)進(jìn)行使用。在使用季戊四醇四丙烯酸酯和季戊四醇三丙烯酸酯的混合物的情況下，季戊四醇三丙烯酸酯的比率以質(zhì)量比計(jì)優(yōu)選為0～80％，更優(yōu)選為10～60％。

在本發(fā)明中，作為聚合性化合物，具體而言，能夠舉出由下述結(jié)構(gòu)式1表示的水溶性聚合性化合物、季戊四醇四丙烯酸酯混合物(NK酯A-TMMT，Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造，作為雜質(zhì)而含有三丙烯酸酯10％)、季戊四醇四丙烯酸酯和三丙烯酸酯的混合物(NK酯A-TMM3LM-N，Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造，三丙烯酸酯37％)、季戊四醇四丙烯酸酯和三丙烯酸酯的混合物(NK酯A-TMM-3L，Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造，三丙烯酸酯55％)、季戊四醇四丙烯酸酯和三丙烯酸酯的混合物(NK酯A-TMM3，Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造，三丙烯酸酯57％)、季戊四醇環(huán)氧乙烷(EO)加成物的四丙烯酸酯(KAYARAD RP-1040，Nippon Kayaku Co.,Ltd.制造)、作為羧酸改性的單體的ARONIX M-520(TOAGOSEI CO.,LTD.制造)和TO2349(TOAGOSEI CO.,LTD.制造)的銨中和物以及磷酸單體(JPA-514，JOHOKU CHEMICAL CO.,LTD.制造)等。

作為在顯示出水溶性的層中所使用的聚合性化合物，其中，從改善本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的皺縮網(wǎng)紋的觀點(diǎn)考慮，除了由下述結(jié)構(gòu)式1表示的水溶性聚合性化合物以外，并用碳原子數(shù)為1至4的低級(jí)醇來作為溶劑，由此也能夠優(yōu)選使用季戊四醇四丙烯酸酯混合物(NK酯A-TMMT，Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造)、季戊四醇四丙烯酸酯和三丙烯酸酯的混合物(NK酯A-TMM3LM-N，Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造，三丙烯酸酯37％)、季戊四醇四丙烯酸酯和三丙烯酸酯的混合物(NK酯A-TMM-3L，Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造，三丙烯酸酯55％)、作為羧酸改性的單體的ARONIX M-520(TOAGOSEI CO.,LTD.制造)和TO2349(TOAGOSEI CO.,LTD.制造)的銨中和物以及磷酸單體(JPA-514、JOHOKU CHEMICAL CO.,LTD.制造)等。

[化學(xué)式1]

作為在顯示出其它水溶性的層中使用的聚合性化合物，且作為對(duì)水或者碳原子數(shù)為1至3的低級(jí)醇與水的混合溶劑具有溶解性的聚合性化合物，能夠使用具有羥基的單體、分子內(nèi)具有環(huán)氧乙烷和聚環(huán)氧丙烷及磷酸基的單體。

另一方面，作為在顯示出非水溶性的層中使用的聚合性化合物，可以舉出三環(huán)癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三((甲基)丙烯酰氧基丙基)醚、三((甲基)丙烯酰氧基乙基)異氰脲酸酯、三((甲基)丙烯酰氧基乙基)氰脲酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、在三羥甲基丙烷和甘油、雙酚等多官能醇中，使環(huán)氧乙烷和環(huán)氧丙烷進(jìn)行加成反應(yīng)之后進(jìn)行(甲基)丙烯酸酯化的聚合性化合物、日本特公昭48-41708號(hào)、日本特公昭50-6034號(hào)、日本特開昭51-37193號(hào)等各公報(bào)中所記載的氨基甲酸酯丙烯酸酯類；日本特開昭48-64183號(hào)、日本特公昭49-43191號(hào)、日本特公昭52-30490號(hào)等各公報(bào)中記載的聚酯丙烯酸酯類；環(huán)氧樹脂和(甲基)丙烯酸的反應(yīng)產(chǎn)物即環(huán)氧丙烯酸酯類等多官能丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯等。其中，能夠優(yōu)選使用三環(huán)癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與季戊四醇四丙烯酸酯的混合物(NK酯A-TMMT，Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造)、季戊四醇環(huán)氧乙烷(EO)加成物的四丙烯酸酯(KAYARAD RP-1040，Nippon Kayaku Co.,Ltd.制造)。這些可以單獨(dú)使用一種，也可以并用兩種以上。

＜光聚合引發(fā)劑＞

作為對(duì)水或者碳原子數(shù)為1至3的低級(jí)醇與水的混合溶劑具有溶解性的光聚合引發(fā)劑，能夠使用IRGACURE2959(BASF公司制造)和下述結(jié)構(gòu)式3的引發(fā)劑。

[化學(xué)式2]

另一方面，作為在顯示出非水溶性的層中使用的光聚合引發(fā)劑或聚合引發(fā)體系，能夠使用日本特開2011-95716號(hào)公報(bào)的0031～0042段中所記載的光聚合引發(fā)劑。例如除了1,2-辛二酮,1-[4-苯硫基)-,2-(O-苯甲酰肟)](商品名稱：IRGACUREOXE-01，BASF公司制造)以外，能夠優(yōu)選使用乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?；?-9H-咔唑-3-基]-,1-(0-乙酰肟)(商品名稱：IRGACUREOXE-02,BASF公司制造)、2-(二甲氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-嗎啉基)苯基]-1-丁酮(商品名稱：IRGACURE379EG，BASF公司制造)、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-嗎啉代丙烷-1-酮(商品名稱：IRGACURE907，BASF公司制造)、2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙?；?-芐基]苯基}-2-甲基-丙烷-1-酮(商品名稱：IRGACURE127、BASF公司制造)、2-芐基-2-二甲氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮-1(商品名稱：IRGACURE369，BASF公司制造)、2-羥基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮(商品名稱：IRGACURE1173，BASF公司制造)、1-羥基-環(huán)己基-苯基-酮(商品名稱：IRGACURE184，BASF公司制造)、2，2-二甲氧基-1,2-二苯乙烷-1-酮(商品名稱：IRGACURE651，BASF公司制造)、肟酯類的商品名稱：Lunar6(DKSH JAPAN K.K.制造)等。

除了對(duì)水或者碳原子數(shù)為1至3的低級(jí)醇與水的混合溶劑具有溶解性的粘合劑等以外，作為使用于樹脂膜中的樹脂(也稱作粘合劑、聚合物。)和其它添加劑，只要不違背本發(fā)明的宗旨，則并無特別的限制。

另外，樹脂層中可以使用添加劑。作為上述添加劑，可以舉出例如日本專利第4502784號(hào)公報(bào)的0017段、日本特開2009-237362號(hào)公報(bào)的0060～0071段中所記載的表面活性劑、日本專利第4502784號(hào)公報(bào)的0018段中所記載的熱聚合抑制劑、及日本特開2000-310706號(hào)公報(bào)的0058～0071段中所記載的其它添加劑。

以上，以本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜為負(fù)型材料的情況為中心進(jìn)行了說明，但本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜也可以是正型材料。在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜為正型材料的情況下，樹脂層中可以使用例如日本特開2005-221726號(hào)公報(bào)中所記載的材料等，但并不限定于此。

＜透明樹脂層＞

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，優(yōu)選樹脂層為透明樹脂層，在透明樹脂層為單層(一層)且膜厚方向均勻的情況下，透明樹脂層的折射率優(yōu)選為1.50～1.60，更優(yōu)選為1.51～1.59，進(jìn)一步優(yōu)選為1.52～1.57。通過設(shè)為上述折射率范圍而可以改善透明電極的可見性。

并且，為了設(shè)為上述折射率范圍，透明樹脂層優(yōu)選含有上述粒子，更優(yōu)選含有折射率為1.55以上的粒子。

透明樹脂層的干燥膜厚優(yōu)選為1μm以上，更優(yōu)選為1～15μm，進(jìn)一步優(yōu)選為2～12μm，尤其優(yōu)選為3～10μm。

并且，更優(yōu)選如下制作的透明樹脂層：透明樹脂層在厚度方向上折射率連續(xù)地不同，與覆蓋膜接觸的面的折射率較高，與臨時(shí)支撐體接觸的面的折射率較低。使第二透明樹脂層用涂布液滲入到第一透明樹脂層，能夠由使用于第一透明樹脂層中的粘合劑的酸值及第二透明樹脂層用涂布液的pH來進(jìn)行控制。

＜轉(zhuǎn)印薄膜中的折射率及干燥膜厚的測(cè)定方法＞

在透明樹脂層為單層(一層)且膜厚方向均勻的情況下，透明樹脂層的折射率能夠使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000(OTSUKA ELECTRONICS Co.,LTD制造)如下求出。并且，以下測(cè)定是在25℃的條件下進(jìn)行的。

(1)準(zhǔn)備臨時(shí)支撐體，將其切割為縱橫邊的長度10cm×10cm。制作出通過透明粘接膠帶(OCA膠帶(OpticallyClearAdhesiveTape)8171CL：3M Company制造)使黑色聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)材料與所切割的臨時(shí)支撐體的一表面接觸的層疊體(第一層疊體)。使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000來評(píng)價(jià)第一層疊體的反射光譜(波長：430～800nm)，求出各波長中的臨時(shí)支撐體的折射率n₀。

(2)準(zhǔn)備僅將透明樹脂層形成于臨時(shí)支撐體上的樣品，將其切割為縱橫邊的長度10cm×10cm。制作出通過透明粘接膠帶(OCA膠帶8171CL：3M Company制造)使黑色PET材料與所切割的樣品的臨時(shí)支撐體面接觸的層疊體(第二層疊體)。使用透射電子顯微鏡(TEM)對(duì)第二層疊體進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析。在10點(diǎn)測(cè)定第一透明樹脂層的干燥膜厚而求出平均值，求出第一透明樹脂層的干燥膜厚的平均值的第1估計(jì)值T₁(I)。使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000來評(píng)價(jià)第二層疊體的反射光譜(波長：430～800nm)。求出各波長中的透明樹脂層的折射率n₁及透明樹脂層的干燥膜厚的平均值的第2估計(jì)值T₁(II)。此時(shí)，由于考慮第一透明樹脂層與臨時(shí)支撐體的界面的反射，因此在將由上述(1)求出的折射率n₀值和第1估計(jì)值T₁(I)代入到計(jì)算公式的狀態(tài)下，從第二層疊體的反射光譜，通過模擬計(jì)算進(jìn)行擬合而求出折射率n₁及第2估計(jì)值T₁(II)。

＜第一透明樹脂層的結(jié)構(gòu)＞

本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜優(yōu)選具有第一透明樹脂層和第二透明樹脂層作為透明樹脂層，上述第一透明樹脂層的折射率優(yōu)選為1.50～1.53，更優(yōu)選為1.50～1.52，進(jìn)一步優(yōu)選為1.51～1.52。

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，從使用第一透明樹脂層來形成靜電電容型輸入裝置的透明保護(hù)層時(shí)發(fā)揮充分的表面保護(hù)功能的觀點(diǎn)考慮，第一透明樹脂層的干燥膜厚優(yōu)選為1μm以上，更優(yōu)選為1～15μm，進(jìn)一步優(yōu)選為2～12μm，尤其優(yōu)選為3～10μm。

若干燥膜厚在上述范圍內(nèi)，則能夠提供能夠抑制層壓泡的產(chǎn)生，并可以形成在濕熱試驗(yàn)之后也不存在問題的層疊體的轉(zhuǎn)印薄膜，并可以抑制轉(zhuǎn)印薄膜的卷褶皺和裂紋，因此優(yōu)選。

并且，第一透明樹脂層為具有固化性的樹脂，優(yōu)選固化前為一定程度柔軟的膜。尤其優(yōu)選包含選自基于維卡(Vicat)法(具體而言，根據(jù)美國材料試驗(yàn)法ASTMD1235的聚合物軟化點(diǎn)測(cè)定法)的軟化點(diǎn)為80℃以下的有機(jī)高分子物質(zhì)的至少一種方式。

作為第一透明樹脂層的材料，能夠不受特別限制地使用任意的聚合物成分和任意的聚合性化合物成分，但從作為靜電電容型輸入裝置的透明保護(hù)膜而使用的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選固化后的表面硬度、耐熱性較高的材料，在第一透明樹脂層及第二透明樹脂層中所包含的堿溶性樹脂和聚合性化合物中，也可以優(yōu)選使用公知的感光性硅氧烷樹脂材料、丙烯酸樹脂材料等。

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，優(yōu)選第一透明樹脂層包含聚合性化合物及光聚合引發(fā)劑，由此能夠容易形成第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的圖案。

在第一透明樹脂層中，相對(duì)于第一透明樹脂層的固體成分，光聚合引發(fā)劑優(yōu)選包含1質(zhì)量％以上，更優(yōu)選包含2質(zhì)量％以上。在第一透明樹脂層中，相對(duì)于第一透明樹脂層的固體成分，光聚合引發(fā)劑優(yōu)選包含10質(zhì)量％以下，從改善本發(fā)明的層疊體的圖案形成性、著色性、基板密合性的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選包含5質(zhì)量％以下。

第一透明樹脂層可以包含或不包含金屬氧化物粒子。為了將第一透明樹脂層的折射率控制為上述范圍，根據(jù)所使用的聚合物和聚合性化合物的種類，能夠以任意的比例包含金屬氧化物粒子。在第一透明樹脂層中，相對(duì)于第一透明樹脂層的固體成分，金屬氧化物粒子優(yōu)選包含0～35質(zhì)量％，更優(yōu)選包含0～10質(zhì)量％，尤其優(yōu)選不包含。

＜轉(zhuǎn)印薄膜中的折射率及干燥膜厚的測(cè)定方法＞

在本發(fā)明中，在透明樹脂層包含第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的情況下，第一透明樹脂層的折射率、第一透明樹脂層的干燥膜厚及后述第二透明樹脂層的折射率能夠使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000(OTSUKA ELECTRONICS Co.,LTD.制造)如下求出。并且，以下測(cè)定是在25℃的條件下進(jìn)行的。

(1)準(zhǔn)備臨時(shí)支撐體，將其切割為縱橫邊的長度10cm×10cm。制作出通過透明粘接膠帶(OCA膠帶(OpticallyClearAdhesiveTape)8171CL：3M Company制造)使黑色聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)材料與所切割的臨時(shí)支撐體的一表面接觸的層疊體(第一層疊體)。使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000來評(píng)價(jià)第一層疊體的反射光譜(波長：430～800nm)，求出各波長中的臨時(shí)支撐體的折射率n₀。

(2)準(zhǔn)備僅將第一透明樹脂層形成于臨時(shí)支撐體上的樣品，將其切割為縱橫邊的長度10cm×10cm。制作出通過透明粘接膠帶(OCA膠帶8171CL：3M Company制造)使黑色PET材料與所切割的樣品的臨時(shí)支撐體面接觸的層疊體(第二層疊體)。使用透射電子顯微鏡(TEM)對(duì)第二層疊體進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析。在10點(diǎn)測(cè)定第一透明樹脂層的干燥膜厚而求出平均值，求出第一透明樹脂層的干燥膜厚的平均值的第1估計(jì)值T₁(I)。使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000來評(píng)價(jià)第二層疊體的反射光譜(波長：430～800nm)。求出各波長中的第一透明樹脂層的折射率n₁及第一透明樹脂層的干燥膜厚的平均值的第2估計(jì)值T₁(II)。此時(shí)，由于考慮第一透明樹脂層與臨時(shí)支撐體的界面的反射，因此在將由上述(1)求出的折射率n₀值和第1估計(jì)值T₁(I)代入到計(jì)算公式的狀態(tài)下，從第二層疊體的反射光譜，通過模擬計(jì)算進(jìn)行擬合而求出折射率n₁及第2估計(jì)值T₁(II)。

(3)準(zhǔn)備在臨時(shí)支撐體上形成有第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的轉(zhuǎn)印薄膜，將其切割為縱橫邊的長度10cm×10cm(在具有保護(hù)薄膜的情況下，將其進(jìn)行剝離)。制作出通過透明粘接膠帶(OCA膠帶8171CL：3M Company制造)使黑色PET材料與所切割的轉(zhuǎn)印薄膜的臨時(shí)支撐體面接觸的樣品片(第三層疊體)。使用透射電子顯微鏡(TEM)對(duì)樣品片進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析，在10點(diǎn)測(cè)定第一透明樹脂層的干燥膜厚而求出平均值，求出第二透明樹脂層的干燥膜厚的平均值的估計(jì)值T₂(I)。關(guān)于樣品片，使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000，在測(cè)定點(diǎn)：直徑以0.2mm間隔，在任意方向的直線上評(píng)價(jià)200點(diǎn)的測(cè)定點(diǎn)(即4cm長度)的反射光譜。在與所述直線方向正交的方向上，對(duì)每隔1cm、5列、共計(jì)1,000點(diǎn)重復(fù)進(jìn)行所述評(píng)價(jià)。此時(shí)，由于考慮第一透明樹脂層與臨時(shí)支撐體的界面、以及第二透明樹脂層與第一透明樹脂層的界面的反射，因此在將由上述(1)求出的折射率n₀、由上述(2)求出的折射率n₁及第2估計(jì)值T₁(II)、以及第1估計(jì)值T₁(I)代入到計(jì)算公式的狀態(tài)下，從第三層疊體的反射光譜，通過模擬計(jì)算進(jìn)行擬合而求出第二透明樹脂層的折射率n₁和1,000點(diǎn)的測(cè)定點(diǎn)上的第二透明樹脂層及第一透明樹脂層的干燥膜厚。另外，計(jì)算第二透明樹脂層及第一透明樹脂層的干燥膜厚的平均值、最大值、最小值及標(biāo)準(zhǔn)偏差，從而求出n₁、n₂、T₁、T₂、σ₂及H₂。n₂表示第二透明樹脂層的折射率，n₁表示第一透明樹脂層的折射率，T₂表示第二透明樹脂層的平均干燥膜厚，T₁表示第一透明樹脂層的平均干燥膜厚，σ₂表示第二透明樹脂層的干燥膜厚的標(biāo)準(zhǔn)偏差，H₂表示第二透明樹脂層的干燥膜厚的最大值與最小值之差。

關(guān)于第二透明樹脂層的干燥膜厚及第一透明樹脂層的干燥膜厚，將通過TEM進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析而得到的估計(jì)值輸入到反射分光膜厚計(jì)，從而能夠提高模擬的擬合精度。

另外，在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜具有后述第三透明樹脂層的情況下，準(zhǔn)備在臨時(shí)支撐體上形成有第一透明樹脂層、第二透明樹脂層及第三透明樹脂層的轉(zhuǎn)印薄膜，通過進(jìn)行與上述相同的計(jì)算而可以算出第三透明樹脂層的干燥膜厚及折射率。

＜第二透明樹脂層的結(jié)構(gòu)＞

本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜優(yōu)選具有第一透明樹脂層和第二透明樹脂層，與上述第一透明樹脂層相鄰配置的第二透明樹脂層的折射率優(yōu)選比第一透明樹脂層的折射率高，更優(yōu)選折射率為1.60以上。

將第一透明樹脂層的折射率設(shè)為n₁、將第二透明樹脂層的折射率設(shè)為n₂的情況下，n₂-n₁的值優(yōu)選為0.03～0.30，更優(yōu)選為0.05～0.20。

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，第二透明樹脂層的折射率優(yōu)選為1.60以上。

另一方面，作為第二透明樹脂層的折射率的上限值并無特別的限制，但實(shí)際應(yīng)用上優(yōu)選為1.78以下，也可以為1.74以下。

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，第二透明樹脂層的干燥膜厚優(yōu)選為500nm以下，更優(yōu)選為110nm以下。第二透明樹脂層的厚度進(jìn)一步優(yōu)選為55～100nm，尤其優(yōu)選為60～100nm，最優(yōu)選為70～100nm。

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，從通過固化而提高膜的強(qiáng)度等的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選第二透明樹脂層包含聚合性化合物。作為第二透明樹脂層的材料，優(yōu)選使用公知的感光性硅氧烷樹脂材料、丙烯酸樹脂材料等。

并且，第二透明樹脂層可以包含或不包含金屬氧化物粒子，但從將第二透明樹脂層的折射率控制為上述范圍的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選包含金屬氧化物粒子。第二透明樹脂層根據(jù)所使用的聚合物和聚合性化合物的種類，能夠以任意的比例包含金屬氧化物粒子，但相對(duì)于第二透明樹脂層的固體成分，優(yōu)選包含金屬氧化物粒子40～95質(zhì)量％，更優(yōu)選包含55～95質(zhì)量％，從改善本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的裂紋的觀點(diǎn)考慮，進(jìn)一步優(yōu)選包含62～90質(zhì)量％，從進(jìn)一步改善本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的裂紋、且改善本發(fā)明的層疊體的基板密合性的觀點(diǎn)考慮，尤其優(yōu)選包含62～75質(zhì)量％，最優(yōu)選包含62～73質(zhì)量％。

＜第三透明樹脂層＞

本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜可以在上述第二透明樹脂層上還設(shè)置第三透明樹脂層。

在第二透明樹脂層為水溶性的情況下，第三透明樹脂層優(yōu)選為非水溶性，在第二透明樹脂層為非水溶性的情況下，第三透明樹脂層優(yōu)選為水溶性。

第三透明樹脂層的折射率優(yōu)選為1.60以上。

另一方面，作為第三透明樹脂層的折射率的上限值并無特別的限制，但實(shí)際應(yīng)用上優(yōu)選為1.78以下，更優(yōu)選為1.74以下。

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，第三透明樹脂層的干燥膜厚優(yōu)選為500nm以下，更優(yōu)選為110nm以下。第三透明樹脂層的厚度進(jìn)一步優(yōu)選為55～100nm，尤其優(yōu)選為60～100nm，最優(yōu)選為70～100nm。

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中，從通過固化而提高膜的強(qiáng)度等的觀點(diǎn)考慮，第三透明樹脂層優(yōu)選包含聚合性化合物。

第三透明樹脂層可以包含或不包含金屬氧化物粒子，但從將第三透明樹脂層的折射率控制為上述范圍的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選包含金屬氧化物粒子。第三透明樹脂層根據(jù)所使用的聚合物和聚合性化合物的種類，能夠以任意的比例包含金屬氧化物粒子，但相對(duì)于第三透明樹脂層的固體成分，優(yōu)選包含金屬氧化物粒子40～95質(zhì)量％，更優(yōu)選包含55～95質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選包含82～90質(zhì)量％。

(熱塑性樹脂層)

本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜可以在臨時(shí)支撐體與樹脂層(優(yōu)選透明樹脂層)之間設(shè)置熱塑性樹脂層。通過使用具有熱塑性樹脂層的轉(zhuǎn)印薄膜，在圖像顯示裝置中不易產(chǎn)生圖像不均等，能夠得到優(yōu)異的顯示特性。

熱塑性樹脂層優(yōu)選為堿溶性。熱塑性樹脂層發(fā)揮作為緩沖材料的作用，以便能夠吸收基底表面的凹凸(也包括由已形成的圖像等產(chǎn)生的凹凸等。)，優(yōu)選具有根據(jù)對(duì)象表面的凹凸可以變形的性質(zhì)。

熱塑性樹脂層優(yōu)選將日本特開平5-72724號(hào)公報(bào)中所記載的有機(jī)高分子物質(zhì)作為成分而包含的方式，尤其優(yōu)選包含選自基于維卡(Vicat)法(具體而言，根據(jù)美國材料試驗(yàn)法ASTMD1235的聚合物軟化點(diǎn)測(cè)定法)的軟化點(diǎn)為80℃以下的有機(jī)高分子物質(zhì)的至少一種方式。

具體而言，可以舉出聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴、乙烯和乙酸乙烯酯或其皂化物等的共聚物、乙烯和丙烯酸酯或其皂化物的共聚物、聚氯乙烯或氯乙烯和乙酸乙烯酯或其皂化物等的共聚物、聚偏二氯乙烯、偏二氯乙烯共聚物、聚苯乙烯、苯乙烯和(甲基)丙烯酸酯或其皂化物等的共聚物、聚乙烯基甲苯、乙烯基甲苯和(甲基)丙烯酸酯或其皂化物等的共聚物、聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸丁酯和乙酸乙烯酯等的共聚物、乙酸乙烯酯共聚物、尼龍、共聚尼龍、N-烷氧基甲基化尼龍、N-二甲氨基化尼龍等聚酰胺樹脂等有機(jī)高分子。

熱塑性樹脂層的層厚優(yōu)選為3～30μm。若熱塑性樹脂層的層厚為3μm以上，則層壓時(shí)的追隨性優(yōu)異，并且對(duì)基底表面的凹凸的吸收能力優(yōu)異。若層厚為30μm以下，則在臨時(shí)支撐體上形成熱塑性樹脂層時(shí)容易進(jìn)行干燥(去除溶劑)，并且熱塑性樹脂層的顯影所需的時(shí)間較短，工藝適性優(yōu)異。作為熱塑性樹脂層的層厚，更優(yōu)選為4～25μm，進(jìn)一步優(yōu)選為5～20μm。

熱塑性樹脂層能夠通過涂布包含熱塑性有機(jī)高分子的制備液等而形成，并能夠使用溶劑來制備在進(jìn)行涂布等時(shí)所使用的制備液。作為溶劑，只要可以溶解構(gòu)成熱塑性樹脂層的高分子成分就無特別的限制，可以舉出例如甲乙酮、環(huán)己酮、丙二醇單甲醚乙酸酯(MMPGAc)、正丙醇及2-丙醇等。

＜熱塑性樹脂層及光固化性樹脂層的粘度＞

優(yōu)選熱塑性樹脂層在100℃下測(cè)定的粘度在1,000～10,000Pa·sec的區(qū)域，透明樹脂層在100℃下測(cè)定的粘度在2,000～50,000Pa·sec的區(qū)域。

(中間層)

本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜也能夠在上述熱塑性樹脂層與上述樹脂層之間設(shè)置中間層。作為中間層，在日本特開平5-72724號(hào)公報(bào)中作為“分離層”而記載。

圖13中示出本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的優(yōu)選結(jié)構(gòu)的一例。圖13是臨時(shí)支撐體26、第一透明樹脂層7、第二透明樹脂層12及覆蓋膜29以該層結(jié)構(gòu)彼此相鄰層疊而成的本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜30的概略圖。

(轉(zhuǎn)印薄膜的制造方法)

本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜能夠以日本特開2006-259138號(hào)公報(bào)的0094～0098段中所記載的感光性轉(zhuǎn)印材料的制作方法為基準(zhǔn)進(jìn)行制作。其中，本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜優(yōu)選通過以下本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的制造方法來制造。

即，本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的制造方法優(yōu)選依次包括在臨時(shí)支撐體上層疊樹脂層的工序和在上述樹脂層上層疊覆蓋膜的工序，在從樹脂層剝離了上述覆蓋膜時(shí)，上述覆蓋膜的與樹脂層接觸的面的依照J(rèn)IS-B0601-2001的表面粗糙度SRz為130nm以下，且SRa為8nm以下。上述樹脂層優(yōu)選為透明樹脂層。

在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的制造方法中，在上述臨時(shí)支撐體上層疊樹脂層的工序優(yōu)選包括：在臨時(shí)支撐體上形成第一透明樹脂層的工序；及在第一透明樹脂層上直接形成第二透明樹脂層的工序，并且，優(yōu)選第一透明樹脂層及第二透明樹脂層中的任一方通過涂布包含水/碳原子數(shù)為1～3的醇含有率以質(zhì)量比計(jì)為35/65～100/0的水或混合溶劑的涂布液而形成，而另一方通過涂布包含有機(jī)溶劑的涂布液而形成。優(yōu)選第二透明樹脂層的折射率比第一透明樹脂層的折射率高，第二透明樹脂層的折射率優(yōu)選為1.60以上。

根據(jù)這種結(jié)構(gòu)使第一透明樹脂層與第二透明樹脂層的界面清楚，從而能夠進(jìn)一步改善透明電極圖案的可見性。并且，第一透明樹脂層及第二透明樹脂層中的任一方通過涂布包含水/碳原子數(shù)為1～3的醇含有率以質(zhì)量比計(jì)為35/65～100/0的水或混合溶劑的涂布液而形成，而另一方通過涂布包含有機(jī)溶劑的涂布液而形成，由此，在層疊第一透明樹脂層之后，即使不使其固化而層疊第二透明樹脂層，層分級(jí)也變得良好，從而能夠改善透明電極圖案可見性，并且從轉(zhuǎn)印薄膜將折射率調(diào)整層(即，第一透明樹脂層及第二透明樹脂層)轉(zhuǎn)印到透明電極圖案上之后，通過光刻法能夠以所希望的圖案進(jìn)行顯影，因此優(yōu)選。

本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的制造方法優(yōu)選包括在上述臨時(shí)支撐體上形成樹脂層之前進(jìn)一步形成熱塑性樹脂層的工序。

本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的制造方法在形成上述熱塑性樹脂層的工序之后，優(yōu)選包括在熱塑性樹脂層與樹脂層之間形成中間層的工序。具體而言，在形成具有中間層的轉(zhuǎn)印薄膜的情況下，在臨時(shí)支撐體上，涂布將熱塑性有機(jī)高分子和添加劑進(jìn)行溶解的溶解液(熱塑性樹脂層用涂布液)，并使其干燥而設(shè)置熱塑性樹脂層之后，在該熱塑性樹脂層上涂布通過在不溶解熱塑性樹脂層的溶劑中添加樹脂或添加劑而制備的制備液(中間層用涂布液)，并使其干燥而層疊中間層，該中間層上還涂布通過使用不溶解中間層的溶劑而制備的樹脂層用涂布液，并使其干燥而層疊樹脂層，由此能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行制作。

2.層疊體及其制造方法

本發(fā)明中的層疊體具有基材、位于上述基材上的觸摸面板用電極(以下，也稱作“透明電極圖案”。)及配置于上述觸摸面板用電極上的樹脂層。

上述觸摸面板用電極和上述樹脂層優(yōu)選直接接觸。

本發(fā)明的層疊體的制造方法包括在位于基材上的透明電極圖案上層疊本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的樹脂層的工序。本發(fā)明的層疊體優(yōu)選為透明層疊體，上述透明層疊體的制造方法包括在透明電極圖案上層疊本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的透明樹脂層的工序。

另外，在上述工序中，優(yōu)選本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的透明樹脂層和上述透明電極圖案以接觸的方式進(jìn)行層疊。

透明層疊體是指至少一部分為透明的層疊體，優(yōu)選包含后述透明電極圖案的一部分區(qū)域?yàn)橥该鳌盈B體透明是指層疊體的透射率成為80％以上。上述透射率能夠使用在400～780nm的波長范圍以1nm的間距進(jìn)行測(cè)定的值。

并且，以1nm的間距測(cè)定透射率的情況下的、將400～450nm中的測(cè)定值的最小值稱作“400～450nm范圍的透射率”，將450～780nm中的測(cè)定值的最小值稱作“450～780nm范圍的透射率”，優(yōu)選400～450nm范圍的透射率及450～780nm范圍的透射率均為80％以上，更優(yōu)選400～450nm范圍的透射率為90％以上，且450～780nm范圍的透射率為95％以上，進(jìn)一步優(yōu)選400～450nm范圍的透射率為95％以上，且450～780nm范圍的透射率為97％以上。

根據(jù)上述方式，能夠降低上述透明電極圖案的可見性。

并且，本發(fā)明的層疊體通過上述本發(fā)明的層疊體的制造方法而得到，具有透明電極圖案和樹脂層。

另外，本發(fā)明的層疊體通過上述本發(fā)明的層疊體的制造方法而得到，具有透明電極圖案和與上述透明電極圖案相鄰配置的透明樹脂層。通過設(shè)為這種結(jié)構(gòu)能夠解決可看見透明電極圖案的問題。

另外，本發(fā)明的層疊體優(yōu)選具有透明電極圖案、與該透明電極圖案相鄰配置的第二透明樹脂層、與該第二透明樹脂層相鄰配置的第一透明樹脂層，并且，優(yōu)選上述第二透明樹脂層的折射率比上述第一透明樹脂層的折射率高，更優(yōu)選第二透明樹脂層的折射率為1.60以上。

另外，優(yōu)選本發(fā)明的層疊體的著色良好，即，不帶有黃色。并且，優(yōu)選本發(fā)明的層疊體的基板密合性良好。

以下，以本發(fā)明的層疊體為透明層疊體的情況為中心進(jìn)行了陳述，但本發(fā)明并不限定于此。

(透明層疊體的結(jié)構(gòu))

在本發(fā)明的透明層疊體中，從進(jìn)一步改善透明電極圖案的可見性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選在上述透明電極圖案的形成有透明樹脂層的一側(cè)的相反側(cè)，還具有折射率為1.60～1.78且膜厚為55～110nm的透明膜。另外，在本說明書中，在無特別說明而記載為“透明膜”的情況下，是指上述“折射率為1.60～1.78且膜厚為55～110nm的透明膜”。

在本發(fā)明的透明層疊體中，在折射率為1.60～1.78且膜厚為55～110nm的透明膜的形成有透明電極圖案的一側(cè)的相反側(cè)優(yōu)選還具有透明基板。

上述透明基板優(yōu)選為透明薄膜基板。該情況下，上述透明膜優(yōu)選配置于上述透明電極圖案與上述透明薄膜基板之間。

并且，在本發(fā)明的層疊體中，上述透明電極圖案優(yōu)選為形成于透明薄膜基板上的透明電極圖案。

圖12中示出本發(fā)明的透明層疊體結(jié)構(gòu)的一例。

圖12中，透明層疊體13具有透明基板1、折射率為1.60～1.78且膜厚為55～110nm的透明膜11，面內(nèi)還具有透明電極圖案4、第二透明樹脂層12及第一透明樹脂層7以該層結(jié)構(gòu)層疊的區(qū)域21。并且，圖12中示出透明層疊體除了包含上述區(qū)域以外，還包含透明基板1、透明膜11及透明樹脂層以該層結(jié)構(gòu)層疊的區(qū)域(在圖12的結(jié)構(gòu)中，第二透明樹脂層12和第一透明樹脂層7以該層結(jié)構(gòu)層疊的區(qū)域22(即，未形成有透明電極圖案的非圖案區(qū)域22))。

換言之，帶透明電極圖案的基板在面內(nèi)方向上包含透明基板1、透明膜11、透明電極圖案4、第二透明樹脂層12及第一透明樹脂層7以該層結(jié)構(gòu)層疊的區(qū)域21。

面內(nèi)方向是指相對(duì)于與透明層疊體的透明基板平行的面大致平行的方向。從而，面內(nèi)包含透明電極圖案4、第二透明樹脂層12及第一透明樹脂層7的區(qū)域以該層結(jié)構(gòu)層疊的區(qū)域是指，在透明電極圖案4、第二透明樹脂層12及第一透明樹脂層7以該層結(jié)構(gòu)層疊的區(qū)域的、與透明層疊體的透明基板平行的面上的正投影存在于與透明層疊體的透明基板平行的面內(nèi)。

在此，將本發(fā)明的透明層疊體使用于后述靜電電容型輸入裝置的情況下，有時(shí)透明電極圖案在行方向和列方向大致正交的兩個(gè)方向上分別作為第一透明電極圖案及第二透明電極圖案而被設(shè)置(例如參考圖4)。例如在圖4的結(jié)構(gòu)中，本發(fā)明的透明層疊體中的透明電極圖案可以是第二透明電極圖案4，也可以是第一透明電極圖案3的焊盤部分3a。換言之，在以下本發(fā)明的透明層疊體的說明中，有時(shí)以“4”為代表而表示透明電極圖案的符號(hào)，但本發(fā)明的透明層疊體中的透明電極圖案并不限定于使用為本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置中的第二透明電極圖案4，例如也可以作為第一透明電極圖案3的焊盤部分3a而使用。

本發(fā)明的透明層疊體優(yōu)選包括未形成有透明電極圖案的非圖案區(qū)域。在本說明書中，非圖案區(qū)域是指未形成有透明電極圖案4的區(qū)域。

圖12中示出本發(fā)明的透明層疊體包含非圖案區(qū)域22的方式。

本發(fā)明的透明層疊體在未形成有透明電極圖案的非圖案區(qū)域22的至少一部分，優(yōu)選在面內(nèi)包含透明基板、透明膜及透明樹脂層以該層結(jié)構(gòu)層疊的區(qū)域。并且，透明樹脂層具有第一透明樹脂層及第二透明樹脂層，在非圖案區(qū)域的至少一部分，優(yōu)選在面內(nèi)包含透明基板、透明膜及第二透明樹脂層以該層結(jié)構(gòu)層疊的區(qū)域。

本發(fā)明的透明層疊體在透明基板、透明膜及透明樹脂層以該層結(jié)構(gòu)層疊的區(qū)域中，優(yōu)選透明膜及透明樹脂層彼此相鄰。并且，在透明樹脂層具有第一透明樹脂層和第二透明樹脂層的情況下，優(yōu)選透明膜及第二透明樹脂層彼此相鄰。

然而，在非圖案區(qū)域22的其它區(qū)域，只要不違背本發(fā)明的主旨，就可以將其它部件配置于任意的位置上，例如在將本發(fā)明的透明層疊體使用于后述靜電電容型輸入裝置的情況下，能夠?qū)盈B圖1中的掩模層2、絕緣層5、導(dǎo)電性要件6等。

在本發(fā)明的透明層疊體中，優(yōu)選透明基板及透明膜彼此相鄰。

圖12中示出在透明基板1上相鄰地層疊有透明膜11的方式。

然而，只要不違背本發(fā)明的主旨，也可以在透明基板及透明膜之間層疊有第三透明膜。例如在透明基板及透明膜之間也優(yōu)選包含折射率為1.50～1.52的第三透明膜(圖12中未圖示)。

在本發(fā)明的透明層疊體中，透明膜的厚度優(yōu)選為55～110nm，更優(yōu)選為60～110nm，進(jìn)一步優(yōu)選為70～90nm。

在此，透明膜可以是單層結(jié)構(gòu)，也可以是兩層以上的層疊結(jié)構(gòu)。在透明膜為兩層以上的層疊結(jié)構(gòu)的情況下，透明膜的膜厚是指總層的合計(jì)膜厚。

在本發(fā)明的透明層疊體中，優(yōu)選透明膜及透明電極圖案彼此相鄰。

圖12中示出在透明膜11的一部分區(qū)域上相鄰層疊有透明電極圖案4的方式。

如圖12所示，透明電極圖案4的端部的形狀并無特別的限制，可以具有錐形形狀，例如可以具有透明基板側(cè)的一面比透明基板的相反側(cè)的一面更寬的錐形形狀。

在此，透明電極圖案的端部呈錐形形狀時(shí)的透明電極圖案的端部的角度(以下也稱作錐角)優(yōu)選為30°以下，更優(yōu)選為0.1～15°，進(jìn)一步優(yōu)選為0.5～5°。

作為本說明書中的錐角的測(cè)定方法，例示出如下方法：拍攝透明電極圖案端部的顯微鏡照片，使其顯微鏡照片的錐形部分近似于三角形，通過直接測(cè)定錐角而求出。

圖11中示出透明電極圖案的端部呈錐形形狀的情況的一例。圖11中的近似于錐形部分的三角形的底面為800nm，高度(與底面大致平行的上底部分的膜厚)為40nm，此時(shí)的錐角α為3°。將近似于錐形部分的三角形的底面優(yōu)選為10～3,000nm，更優(yōu)選為100～1,500nm，進(jìn)一步優(yōu)選為300～1,000nm。

另外，近似于錐形部分的三角形的高度的優(yōu)選范圍與透明電極圖案的膜厚的優(yōu)選范圍相同。

本發(fā)明的透明層疊體優(yōu)選包含透明電極圖案及透明樹脂層彼此相鄰的區(qū)域。

圖12中示出如下方式：在透明電極圖案、第二透明樹脂層及第一透明樹脂層以該層結(jié)構(gòu)層疊的區(qū)域21中，透明電極圖案、第二透明樹脂層及第一透明樹脂層彼此相鄰。

并且，在本發(fā)明的透明層疊體中，優(yōu)選通過透明膜及透明樹脂層連續(xù)地直接或經(jīng)由其它層而包覆透明電極圖案及未形成有透明電極圖案的非圖案區(qū)域22這兩者。

在此，“連續(xù)”是指透明膜及透明樹脂層不是圖案膜，而是連續(xù)膜。即，從不易看見透明電極圖案的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選透明膜及第二透明樹脂層不具有開口部。

并且，與通過透明膜及透明樹脂層并經(jīng)由其它層來包覆透明電極圖案及非圖案區(qū)域22相比，優(yōu)選直接包覆。作為經(jīng)由其它層包覆時(shí)的“其它層”，能夠舉出后述本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置中所包含的絕緣層5，或者如后述本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置那樣包括兩層以上的透明電極圖案的情況下，能夠舉出第二層的透明電極圖案等。

圖12中示出層疊有第二透明樹脂層12的方式。第二透明樹脂層12橫跨透明膜11上未層疊有透明電極圖案4的區(qū)域和層疊有透明電極圖案4的區(qū)域上而層疊。即，第二透明樹脂層12與透明膜11相鄰，另外，第二透明樹脂層12也與透明電極圖案4相鄰。

并且，在透明電極圖案4的端部呈錐形形狀的情況下，優(yōu)選沿錐形形狀(以與錐角相同的傾斜度)層疊有第二透明樹脂層12。

圖12中示出在第二透明樹脂層12的形成有透明電極圖案的表面的相反側(cè)的表面上層疊有第一透明樹脂層7的方式。

＜透明層疊體的材料＞

〔基材〕

本發(fā)明中的層疊體包含基材。

作為上述基材，優(yōu)選透明基板。

作為上述透明基板，能夠使用透明的樹脂基板和玻璃基板。從生產(chǎn)率的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選折射率為1.50～1.66的樹脂基板。樹脂基板可以以卷狀的方式連續(xù)地對(duì)轉(zhuǎn)印薄膜進(jìn)行層壓、曝光、顯影、水洗、干燥及烘干等處理。優(yōu)選聚酰亞胺、聚碳酸酯、聚醚砜、聚酯，從成本、透明性及強(qiáng)度的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選聚酰亞胺及聚酯。

另一方面，從耐熱性的觀點(diǎn)考慮，透明基板優(yōu)選為折射率為1.50～1.55的玻璃基板。透明基板的折射率更優(yōu)選為1.50～1.52。

透明基板由透明的樹脂基板和玻璃基板等透光性基板構(gòu)成，作為玻璃的例子，能夠使用以Corning Incorporated的Gorilla玻璃為代表的強(qiáng)化玻璃等。并且，作為透明基板，能夠優(yōu)選使用在日本特開2010-86684號(hào)公報(bào)、日本特開2010-152809號(hào)公報(bào)及日本特開2010-257492號(hào)公報(bào)中使用的材料。

〔透明電極圖案〕

透明電極圖案的折射率優(yōu)選為1.75～2.10。

透明電極圖案的材料并無特別的限制，能夠使用公知的材料。例如能夠用ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)等透光性導(dǎo)電性金屬氧化膜來進(jìn)行制作。作為這種金屬膜，可以舉出ITO膜；Al、Zn、Cu、Fe、Ni、Cr、Mo等金屬膜；SiO₂等金屬氧化膜等。此時(shí)，各要件的膜厚能夠設(shè)為10～200nm。并且通過燒成將非晶形ITO膜設(shè)為多晶ITO膜，從而也能夠降低電阻。并且所述第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4及后述導(dǎo)電性要件6能夠利用具有使用了后述導(dǎo)電性纖維的光固化性樹脂層的感光性薄膜來制造。另外，在通過ITO等形成導(dǎo)電性圖案等的情況下，能夠參考日本專利第4506785號(hào)公報(bào)的0014～0016段等。其中，透明電極圖案優(yōu)選為ITO膜。

在本發(fā)明的透明層疊體中，尤其優(yōu)選透明電極圖案為折射率為1.75～2.10的ITO膜。

〔透明樹脂層〕

本發(fā)明的透明層疊體中所包含的透明樹脂層的優(yōu)選范圍與本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中的透明樹脂層的優(yōu)選范圍相同。

＜層疊體中的折射率及干燥膜厚測(cè)定方法＞

在透明樹脂層為單層(一層)且膜厚方向均勻的情況下，透明樹脂層的折射率能夠使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000(OTSUKA ELECTRONICS Co.,LTD制造)并通過與轉(zhuǎn)印薄膜中的折射率的測(cè)定相同的方法來進(jìn)行。

具體而言，能夠由下述方法來進(jìn)行。

(1)關(guān)于透明層疊體，對(duì)依次層疊有透明基板、透明膜、透明電極圖案的樣品、依次層疊有透明基板、透明膜、透明電極圖案及透明樹脂層的樣品等，預(yù)先測(cè)定各層的折射率和各層的干燥膜厚的估計(jì)值。

(2)在透明層疊體中，關(guān)于透明基板/透明膜/透明電極圖案/透明樹脂層4層結(jié)構(gòu)的部分，切割為縱橫邊的長度10cm×10cm。通過透明粘接膠帶(OCA膠帶8171CL：3M Company制造)，使黑色PET材料與所切割的透明層疊體接觸，制作出樣品片。使用透射電子顯微鏡(TEM)對(duì)樣品片進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析，求出各層的干燥膜厚的估計(jì)值。關(guān)于樣品片，使用FE-3000(OTSUKA ELECTRONICS Co.,LTD制造)，在測(cè)定點(diǎn)：直徑以0.2mm的間隔，在任意方向的直線上評(píng)價(jià)100點(diǎn)的測(cè)定點(diǎn)上的反射光譜。此時(shí)，由于考慮透明樹脂層與透明電極圖案的界面，因此在將透明樹脂層、透明基板、透明膜及透明電極圖案的折射率及透明樹脂層的干燥膜厚的平均值的估計(jì)值代入到計(jì)算公式的狀態(tài)下，從透明基板/透明膜/透明電極圖案/透明樹脂層4層結(jié)構(gòu)部分的反射光譜，通過模擬計(jì)算進(jìn)行擬合而求出透明樹脂層的折射率和100點(diǎn)的測(cè)定點(diǎn)上的透明樹脂層的膜厚。在本說明書中，將任意方向設(shè)為與樣品片的一邊平行的方向，將100點(diǎn)的測(cè)定點(diǎn)(即，2cm長度)設(shè)為從樣品片的一邊的中心均等地隔開1cm的范圍。

在使用不透明基材的情況下，預(yù)先制作通過透明粘接膠帶將黑色PET材料貼附于基材背面的樣品片，并使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000來評(píng)價(jià)基材和黑色PET材料的層疊體的反射光譜(波長：430～800nm)，求出各波長中的折射率n、干燥膜厚T及消光系數(shù)k。當(dāng)進(jìn)行五層結(jié)構(gòu)樣品的模擬計(jì)算時(shí)，作為基材的特性而代入所述折射率n、干燥膜厚T、消光系數(shù)k，由此通過擬合而能夠求出透明樹脂層的折射率、干燥膜厚。

在透明樹脂層為兩層且膜厚方向均勻的情況下，關(guān)于所得到的透明層疊體中的n₁、n₂、T₂、σ₁及H₁，能夠通過每一層重復(fù)進(jìn)行與轉(zhuǎn)印薄膜中的n₁、n₂、T₂、σ₁及H₁的計(jì)算相同的方法，并使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000(OTSUKA ELECTRONICS Co.,LTD制造)而求出。以下示出其概要。并且，以下測(cè)定是在25℃的條件下進(jìn)行的。

在使用透明基板作為基材的情況下，能夠如下述測(cè)定折射率。透明的基材是指基材的透射率成為80％以上的基材。上述透射率在400～780nm的波長范圍內(nèi)能夠使用以1nm的間距測(cè)定的值的最小值。并且，將基材的透射率小于80％的基材稱作不透明基材。

(1)關(guān)于透明層疊體，對(duì)依次層疊有透明基板、透明膜、透明電極圖案的樣品、以及依次層疊有透明基板、透明膜、透明電極圖案及第二透明樹脂層的樣品等，預(yù)先測(cè)定各層的折射率和各層的干燥膜厚的估計(jì)值。

(2)在透明層疊體中，關(guān)于透明基板/透明膜/透明電極圖案/第二透明樹脂層/第一透明樹脂層五層結(jié)構(gòu)部分，切割為縱橫邊的長度10cm×10cm。通過透明粘接膠帶(OCA膠帶8171CL：3M Company制造)，使黑色PET材料與所切割的透明層疊體接觸，制作出樣品片。使用透射電子顯微鏡(TEM)，對(duì)樣品片進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析，求出各層的干燥膜厚的估計(jì)值。關(guān)于樣品片，使用FE-3000(OTSUKA ELECTRONICS Co.,LTD制造)，在測(cè)定點(diǎn)：直徑以0.2mm的間隔，在任意方向的直線上評(píng)價(jià)100點(diǎn)的測(cè)定點(diǎn)上的反射光譜。此時(shí)，由于考慮第二透明樹脂層與透明電極圖案的界面、以及第一透明樹脂層與第二透明樹脂層的界面，因此在將第二透明樹脂層、透明基板、透明膜及透明電極圖案的折射率及第一透明樹脂層的干燥膜厚的平均值的估計(jì)值、以及第二透明樹脂層的干燥膜厚的平均值的估計(jì)值代入到計(jì)算公式的狀態(tài)下，從透明基板/透明膜/透明電極圖案/第二透明樹脂層/第一透明樹脂層五層結(jié)構(gòu)部分的反射光譜，通過模擬計(jì)算進(jìn)行擬合而求出第一透明樹脂層的折射率n₁、第二透明樹脂層的折射率n₂、100點(diǎn)的測(cè)定點(diǎn)上的第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的干燥膜厚。另外，算出第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的干燥膜厚的平均值、最大值、最小值及標(biāo)準(zhǔn)偏差，從而算出n₁、n₂、T₁、T₂、σ₁及H₁。在本說明書中，將任意方向設(shè)為與樣品片的一邊平行的方向，將100點(diǎn)的測(cè)定點(diǎn)(即，2cm長度)設(shè)為從樣品片的一邊的中心均等地隔開1cm的范圍。

在使用不透明基材的情況下，預(yù)先制作通過透明粘接膠帶將黑色PET材料貼附于基材背面的樣品片，并使用反射分光膜厚計(jì)FE-3000來評(píng)價(jià)基材和黑色PET材料的層疊體的反射光譜(波長：430～800nm)，求出各波長中的折射率n、干燥膜厚T及消光系數(shù)k。當(dāng)進(jìn)行五層結(jié)構(gòu)樣品的模擬計(jì)算時(shí)，作為基材特性而代入所述折射率n、干燥膜厚T、消光系數(shù)k，由此通過擬合而能夠求出第一透明樹脂層和第二透明樹脂層的折射率、干燥膜厚。

〔透明膜〕

在本發(fā)明的透明層疊體中，透明膜的折射率優(yōu)選為1.60～1.78，更優(yōu)選為1.65～1.74。在此，透明膜可以是單層結(jié)構(gòu)，也可以是兩層以上的層疊結(jié)構(gòu)。在透明膜為兩層以上的層疊結(jié)構(gòu)的情況下，透明膜的折射率是指總層的折射率。

透明膜的材料不受特別的限制。

透明膜的材料的優(yōu)選范圍和折射率等物理性質(zhì)的優(yōu)選范圍與第二透明樹脂層的那些優(yōu)選范圍相同。

在本發(fā)明的透明層疊體中，從光學(xué)均質(zhì)性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選透明膜和第二透明樹脂層由相同的材料構(gòu)成。

在本發(fā)明的透明層疊體中，透明膜優(yōu)選為透明樹脂膜。

作為使用于透明樹脂膜中的金屬氧化物粒子、樹脂(粘合劑)、其它添加劑，只要不違背本發(fā)明的主旨，就無特別的限制，能夠優(yōu)選使用在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中的第二透明樹脂層中所使用的樹脂及其它添加劑。

在本發(fā)明的透明層疊體中，透明膜也可以是無機(jī)膜。作為使用于無機(jī)膜中的材料，能夠優(yōu)選使用在本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中的第二透明樹脂層中使用的材料。

〔第三透明膜〕

從接近于透明基板的折射率且改善透明電極圖案的可見性的觀點(diǎn)考慮，第三透明膜的折射率優(yōu)選為1.50～1.55，更優(yōu)選為1.50～1.52。

＜透明層疊體的制造方法＞

本發(fā)明的透明層疊體的制造方法的特征在于包括如下工序：在透明電極圖案上，層疊本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的透明樹脂層。

并且，本發(fā)明的透明層疊體的制造方法優(yōu)選包括如下工序：在透明電極圖案上，將本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的第二透明樹脂層及第一透明樹脂層以該層結(jié)構(gòu)進(jìn)行層疊。

根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠一并轉(zhuǎn)印透明層疊體的第二透明樹脂層及第一透明樹脂層，并且能夠容易且以高生產(chǎn)率制造不存在可看見透明電極圖案的問題的透明層疊體。

另外，本發(fā)明的透明層疊體的制造方法中的第二透明樹脂層直接或經(jīng)由其它層被制膜于透明電極圖案上，在非圖案區(qū)域中被制膜于透明膜上。

＜透明基板的表面處理＞

并且，為了提高后述轉(zhuǎn)印工序中基于層壓的各層的密合性，能夠預(yù)先對(duì)透明基板(前面板)的非接觸面實(shí)施表面處理。作為表面處理，優(yōu)選實(shí)施使用了硅烷化合物的表面處理(硅烷偶聯(lián)處理)。作為硅烷偶聯(lián)劑，優(yōu)選為具有與感光性樹脂相互作用的官能團(tuán)的硅烷偶聯(lián)劑。例如將硅烷偶聯(lián)液(N-β-氨基乙基-γ-氨基丙基三甲氧基硅烷0.3質(zhì)量％水溶液，商品名稱：KBM603、Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.制造)，通過噴淋而噴附20秒鐘，進(jìn)行純水噴淋清洗。之后，通過加熱而使其反應(yīng)?？梢允褂眉訜岵郏ㄟ^層壓機(jī)的基板預(yù)熱也能夠促進(jìn)反應(yīng)。

＜透明電極圖案的制膜＞

透明電極圖案能夠利用后述本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的說明中的第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4及其它導(dǎo)電性要件6的形成方法等，在透明基板上或者在折射率為1.60～1.78且膜厚為55～110nm的透明膜上進(jìn)行制膜，優(yōu)選使用感光性薄膜的方法。

＜透明樹脂層的制膜＞

形成透明樹脂層的方法，可以舉出具有如下工序的方法：覆蓋膜去除工序，從本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜去除覆蓋膜；轉(zhuǎn)印工序，將去除覆蓋膜的本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的上述透明樹脂層轉(zhuǎn)印到透明電極圖案上；曝光工序，將轉(zhuǎn)印到透明電極圖案上的上述透明樹脂層進(jìn)行曝光；及顯影工序，將被曝光的透明樹脂層進(jìn)行顯影。

〔轉(zhuǎn)印工序〕

轉(zhuǎn)印工序?yàn)閷⑷コ采w膜的本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的透明樹脂層轉(zhuǎn)印到透明電極圖案上的工序。

此時(shí)，優(yōu)選如下方法，該方法包括將本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的透明樹脂層層壓于透明電極圖案之后去除臨時(shí)支撐體的工序。

透明樹脂層對(duì)基材表面的轉(zhuǎn)印(貼合)，是通過將透明樹脂層重疊于透明電極圖案表面并進(jìn)行加壓、加熱而進(jìn)行的。貼合時(shí)能夠使用層壓機(jī)、真空層壓機(jī)及可進(jìn)一步提高生產(chǎn)率的自動(dòng)切割層壓機(jī)等公知的層壓機(jī)。

〔曝光工序、顯影工序及其它工序〕

作為曝光工序、顯影工序及其它工序的例子，將日本特開2006-23696號(hào)公報(bào)的0035～0051段中記載的方法也能夠適當(dāng)?shù)厥褂糜诒景l(fā)明中。

曝光工序?yàn)閷⑥D(zhuǎn)印到透明電極圖案上的透明樹脂層進(jìn)行曝光的工序。

具體而言，可以舉出如下方法：在形成于透明電極圖案上的透明樹脂層的上方配置規(guī)定的掩模，之后，通過該掩模及臨時(shí)支撐體，從掩模上方對(duì)透明樹脂層進(jìn)行曝光。

在此，作為曝光的光源，只要是能夠照射可以固化透明樹脂層的波長區(qū)域的光(例如365nm、405nm等)的光源，則能夠適當(dāng)?shù)剡x定而使用。具體而言，可以舉出超高壓汞燈、高壓汞燈、金屬鹵化物燈等。作為曝光量，優(yōu)選為5～200mJ/cm²左右，更優(yōu)選為10～100mJ/cm²左右。

顯影工序是將被曝光的光固化性樹脂層即透明樹脂層進(jìn)行顯影的工序。

在本發(fā)明中，顯影工序是通過顯影液將被圖案曝光的透明樹脂層進(jìn)行圖案顯影的狹義含義的顯影工序。

能夠使用顯影液來進(jìn)行顯影。作為顯影液并無特別的限制，能夠使用在日本特開平5-72724號(hào)公報(bào)中記載的顯影液等公知的顯影液。另外，顯影液優(yōu)選為光固化性樹脂層進(jìn)行溶解型顯影行為的顯影液，例如優(yōu)選以0.05～5mol/L的濃度含有pKa＝7～13的化合物的顯影液。另一方面，透明樹脂層本身不形成圖案時(shí)的顯影液，例如優(yōu)選以0.05～5mol/L的濃度含有pKa＝7～13的化合物的顯影液。

在顯影液中還可以少量添加與水具有混和性的有機(jī)溶劑。作為與水具有混和性的有機(jī)溶劑，可以舉出甲醇、乙醇、2-丙醇、1-丙醇、丁醇、二丙酮醇、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單正丁基醚、苯甲醇、丙酮、甲乙酮、環(huán)己酮、ε-己內(nèi)酯、γ-丁內(nèi)酯、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、六甲基膦酰胺、乳酸乙酯、乳酸甲酯、ε-己內(nèi)酰胺、N-甲基吡咯烷酮等。有機(jī)溶劑的濃度優(yōu)選為0.1質(zhì)量％～30質(zhì)量％。

并且，在顯影液中還能夠添加公知的表面活性劑。表面活性劑的濃度優(yōu)選為0.01質(zhì)量％～10質(zhì)量％。

作為顯影方式，可以是旋覆浸沒式顯影、噴淋顯影、噴淋/旋涂顯影、浸漬顯影等中的任一種。在此，若對(duì)上述噴淋顯影進(jìn)行說明，則通過噴淋對(duì)曝光后的透明樹脂層噴附顯影液而能夠去除未固化部分。另外，在設(shè)置有熱塑性樹脂層或中間層的情況下，優(yōu)選在顯影之前通過噴淋等噴附光固化性樹脂層的溶解性較低的堿性溶液，去除熱塑性樹脂層、中間層等。并且，優(yōu)選在顯影之后，通過噴淋而噴附清洗劑等，一邊用刷子等擦拭，一邊去除顯影殘?jiān)?。顯影液的液體溫度優(yōu)選為20℃～40℃，并且顯影液的pH優(yōu)選為8～13。

靜電電容型輸入裝置的制造方法可以具有后曝光工序、后烘干工序等其它工序。在透明樹脂層為熱固化性透明樹脂層的情況下，優(yōu)選進(jìn)行后烘干工序。

另外，可以在剝離臨時(shí)支撐體之后進(jìn)行圖案化曝光或整面曝光，也可以在剝離臨時(shí)支撐體之前進(jìn)行曝光，之后，剝離臨時(shí)支撐體?？梢允墙?jīng)由掩模的曝光，也可以是使用激光等的數(shù)字曝光。

＜透明膜的制膜＞

本發(fā)明的透明層疊體在透明電極圖案的形成有透明樹脂層的一側(cè)的相反側(cè)還具有折射率為1.60～1.78且膜厚為55～110nm的透明膜的情況下，透明膜在透明電極圖案上直接或經(jīng)由第三透明膜等其它層而進(jìn)行制膜。

作為透明膜的制膜方法并無特別的限制，但優(yōu)選通過轉(zhuǎn)印或?yàn)R射而進(jìn)行制膜。

其中，在本發(fā)明的透明層疊體中，優(yōu)選透明膜通過將形成于臨時(shí)支撐體上的透明固化性樹脂膜轉(zhuǎn)印到透明基板上而進(jìn)行制膜，更優(yōu)選在轉(zhuǎn)印之后進(jìn)行固化而進(jìn)行制膜。作為轉(zhuǎn)印及固化的方法，可以舉出如下方法：使用后述本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的說明中的感光性薄膜，以與本發(fā)明的透明層疊體的制造方法中的轉(zhuǎn)印透明樹脂層的方法相同的方式進(jìn)行轉(zhuǎn)印、曝光、顯影及其它工序。該情況下，優(yōu)選通過使金屬氧化物粒子分散于感光性薄膜中的光固化性樹脂層而將透明膜的折射率調(diào)整為上述范圍內(nèi)。

另一方面，在透明膜為無機(jī)膜的情況下，優(yōu)選通過濺射而形成。即，在本發(fā)明的透明層疊體中，也優(yōu)選透明膜通過濺射而形成。

作為濺射方法，能夠優(yōu)選使用在日本特開2010-86684號(hào)公報(bào)、日本特開2010-152809號(hào)公報(bào)及日本特開2010-257492號(hào)公報(bào)中使用的方法。

＜第三透明膜的制膜＞

第三透明膜的制膜方法與在透明基板上制作折射率為1.60～1.78且膜厚為55～110nm的透明膜的方法相同。

＜透明層疊體的制造方法＞

本發(fā)明的透明層疊體的制造方法包括在透明電極圖案上層疊本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的透明樹脂層的工序。

并且，在本發(fā)明中，在透明樹脂層具有第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的情況下，本發(fā)明的透明層疊體的制造方法優(yōu)選包括如下工序：在透明電極圖案上，將本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的第二透明樹脂層及第一透明樹脂層以該層結(jié)構(gòu)進(jìn)行層疊。

在透明樹脂層具有第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的情況下，本發(fā)明的透明層疊體的制造方法優(yōu)選包括將第一透明樹脂層及第二透明樹脂層同時(shí)進(jìn)行固化的工序，更優(yōu)選包括同時(shí)進(jìn)行圖案固化的工序。本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜優(yōu)選在層疊了第一透明樹脂層之后層疊第二透明樹脂層，而無需使第一透明樹脂層固化。從如此得到的本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜轉(zhuǎn)印的第一透明樹脂層及第二透明樹脂層能夠同時(shí)進(jìn)行固化。由此，從本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜，將第一透明樹脂層及第二透明樹脂層轉(zhuǎn)印到透明電極圖案上之后，通過光刻法能夠以所希望的圖案進(jìn)行顯影。

本發(fā)明的透明層疊體的制造方法更優(yōu)選在將第一透明樹脂層及第二透明樹脂層同時(shí)進(jìn)行固化的工序之后，包括將第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的未固化部分(在光固化的情況下，僅為未曝光部分或者僅為曝光部分)進(jìn)行顯影而去除的工序。

3.靜電電容型輸入裝置

本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的特征在于，使用本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜制作而成，或者具有本發(fā)明的透明層疊體。

本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置優(yōu)選從本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜將透明樹脂層轉(zhuǎn)印到靜電電容型輸入裝置的透明電極圖案上來制作而成。

本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置在透明樹脂層具有第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的情況下，優(yōu)選將從本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜轉(zhuǎn)印的第一透明樹脂層及第二透明樹脂層同時(shí)固化而成，更優(yōu)選將第一透明樹脂層及第二透明樹脂層同時(shí)進(jìn)行圖案固化而成。另外，在將從本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜轉(zhuǎn)印的第一透明樹脂層及第二透明樹脂層同時(shí)進(jìn)行固化時(shí)，優(yōu)選從本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜不剝離臨時(shí)支撐體。

本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置更優(yōu)選將從本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜轉(zhuǎn)印且進(jìn)行圖案固化而成的透明樹脂層的未固化部分進(jìn)行顯影并去除而成。另外，在將從本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜轉(zhuǎn)印的透明樹脂層進(jìn)行固化之后，在進(jìn)行顯影之前，優(yōu)選從本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜剝離臨時(shí)支撐體。本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置在卷繞配線的終端部需要與形成于聚酰亞胺薄膜上的柔性配線連接，因此優(yōu)選不被透明樹脂層包覆。

圖14中示出該方式。圖14示出包含透明電極圖案的卷繞配線(其它導(dǎo)電性要件6)和卷繞配線的終端部31的以下結(jié)構(gòu)的靜電電容型輸入裝置。

卷繞配線的終端部31上的透明樹脂層成為未固化部(未曝光部)，因此通過顯影而被去除，露出卷繞配線的終端部31。

圖15及圖16中示出具體的曝光、顯影的方式。圖15表示將具有透明樹脂層的本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜30通過層壓而層疊于靜電電容型輸入裝置的透明電極圖案上，并通過曝光等進(jìn)行固化之前的狀態(tài)。在利用光刻法的情況下，即通過曝光進(jìn)行固化的情況下，使用掩模來進(jìn)行圖案曝光及未曝光部的顯影，從而能夠得到圖16所示形狀的透明樹脂層的固化部(曝光部)33。具體而言，在圖16中，可以得到被去除作為透明樹脂層的未固化部而與卷繞配線的終端部對(duì)應(yīng)的開口部34、以及具有在靜電電容型輸入裝置的框部輪廓的外側(cè)突出的第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的端部的、用于避免包覆卷繞配線的終端部(引出配線部)的透明樹脂層的固化部(所希望的圖案)。

由此，能夠?qū)⒃诰埘啺繁∧ど现谱鞯娜嵝耘渚€直接連接于卷繞配線的終端部31，從而可以將傳感器的信號(hào)發(fā)送到電路。

本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置優(yōu)選具有透明電極圖案和與該透明電極圖案相鄰配置的透明樹脂層，更優(yōu)選具有與透明電極圖案相鄰配置的第二透明樹脂層和與該第二透明樹脂層相鄰配置的第一透明樹脂層，進(jìn)一步優(yōu)選具有第二透明樹脂層的折射率比第一透明樹脂層的折射率高、且第二透明樹脂層的折射率為1.60以上的透明層疊體。

以下，對(duì)本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的優(yōu)選方式的詳細(xì)內(nèi)容進(jìn)行說明。

本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置具有前面板(相當(dāng)于本發(fā)明的透明層疊體中的透明基板)和在前面板的非接觸面?zhèn)戎辽倬哂邢率鲆?3)～(5)、(7)及(8)，優(yōu)選具有本發(fā)明的透明層疊體。

多個(gè)第一透明電極圖案(3)，由多個(gè)焊盤部分經(jīng)由連接部分在第一方向上延伸形成；

多個(gè)第二電極圖案(4)，與第一透明電極圖案電絕緣，并包括在與第一方向交叉的方向上延伸形成的多個(gè)焊盤部分；

絕緣層(5)，將第一透明電極圖案與第二電極圖案進(jìn)行電絕緣；

第二透明樹脂層(7)，以包覆上述要件(3)～(5)的全部或一部分的方式形成；

第一透明樹脂層(8)，以包覆要件(7)的方式相鄰地形成。

在此，第二透明樹脂層(7)相當(dāng)于本發(fā)明的透明層疊體中的第二透明樹脂層。并且，第一透明樹脂層(8)相當(dāng)于本發(fā)明的透明層疊體中的第一透明樹脂層。另外，第一透明樹脂層優(yōu)選為通常公知的靜電電容型輸入裝置中的所謂的透明保護(hù)層。

在本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置中，上述第二電極圖案(4)可以是透明電極圖案，也可以不是透明電極圖案，但優(yōu)選為透明電極圖案。

本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置還可以具有與第一透明電極圖案及第二透明電極圖案中的至少一方電連接的、與第一透明電極圖案及第二電極圖案不同的導(dǎo)電性要件(6)。

在此，在第二電極圖案(4)不是透明電極圖案且不具有其它導(dǎo)電性要件(6)的情況下，第一透明電極圖案(3)相當(dāng)于本發(fā)明的透明層疊體中的透明電極圖案。

在第二電極圖案(4)為透明電極圖案且不具有其它導(dǎo)電性要件(6)的情況下，第一透明電極圖案(3)及第二電極圖案(4)中的至少一個(gè)相當(dāng)于本發(fā)明的透明層疊體中的透明電極圖案。

在第二電極圖案(4)不是透明電極圖案且具有其它導(dǎo)電性要件(6)的情況下，第一透明電極圖案(3)及其它導(dǎo)電性要件(6)中的至少一個(gè)相當(dāng)于本發(fā)明的透明層疊體中的透明電極圖案。

在第二電極圖案(4)為透明電極圖案且具有其它導(dǎo)電性要件(6)的情況下，第一透明電極圖案(3)、第二電極圖案(4)及其它導(dǎo)電性要件(6)中的至少一個(gè)相當(dāng)于本發(fā)明的透明層疊體中的透明電極圖案。

本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置優(yōu)選在第一透明電極圖案(3)與前面板之間、第二電極圖案(4)與前面板之間、或者其它導(dǎo)電性要件(6)與前面板之間還具有透明膜(2)。在此，從進(jìn)一步改善透明電極圖案的可見性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選透明膜(2)相當(dāng)于本發(fā)明的透明層疊體中的折射率為1.60～1.78且膜厚為55～110nm的透明膜。

本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置根據(jù)需要優(yōu)選還具有掩模層及/或裝飾層(1)。為了避免從接觸側(cè)可看見透明電極圖案的卷繞配線，或者為了進(jìn)行裝飾，掩模層作為黑色框緣而被設(shè)置于用手指或觸控筆等觸碰的區(qū)域的周圍。裝飾層為了進(jìn)行裝飾而作為框緣設(shè)置于用手指或觸控筆等觸碰的區(qū)域的周圍，例如優(yōu)選設(shè)置白色裝飾層。

上述掩模層及/或裝飾層(1)優(yōu)選存在于透明膜(2)與前面板之間、第一透明電極圖案(3)與前面板之間、第二透明電極圖案(4)與前面板之間、或者其它導(dǎo)電性要件(6)與前面板之間。掩模層及/或裝飾層(1)更優(yōu)選相鄰設(shè)置于前面板。

本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置即使在包含這種各種部件的情況下，也通過包含與透明電極圖案相鄰配置的透明樹脂層，優(yōu)選包含第二透明樹脂層和與第二透明樹脂層相鄰配置的第一透明樹脂層，從而能夠使透明電極圖案不明顯，并能夠改善透明電極圖案的可見性的問題。另外，如上所述，通過使用折射率為1.60～1.78且膜厚為55～110nm的透明膜和第二透明樹脂層來夾持透明電極圖案的結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)一步改善透明電極圖案的可見性的問題。

(靜電電容型輸入裝置的結(jié)構(gòu))

首先，關(guān)于本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的優(yōu)選結(jié)構(gòu)，配合構(gòu)成裝置的各部件的制造方法進(jìn)行說明。圖1是表示本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的優(yōu)選結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖1中示出靜電電容型輸入裝置10由透明基板(前面板)1、掩模層2、折射率為1.60～1.78且膜厚為55～110nm的透明膜11、第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4、絕緣層5、導(dǎo)電性要件6、第二透明樹脂層12及第一透明樹脂層7構(gòu)成的方式。

并且，表示后述圖4中的X-X1剖面的圖2也同樣，是表示本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的優(yōu)選結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖2中示出靜電電容型輸入裝置10由透明基板(前面板)1、折射率為1.60～1.78且膜厚為55～110nm的透明膜11、第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4、第二透明樹脂層12及第一透明樹脂層7構(gòu)成的方式。

透明基板(前面板)1能夠使用作為本發(fā)明的透明層疊體中的透明電極圖案的材料而舉例的材料。并且，在圖1中，將前面板1的設(shè)置有各要件的一側(cè)稱作非接觸面?zhèn)取Ｔ诒景l(fā)明的靜電電容型輸入裝置10中，使手指等接觸于前面板1的接觸面(非接觸面的相反的面)而進(jìn)行輸入。

并且，在前面板1的非接觸面上設(shè)置有掩模層2。掩模層2為在觸摸面板前面板的非接觸面?zhèn)刃纬傻娘@示區(qū)域周圍的框緣狀圖案，是為了避免看見卷繞配線等而形成的。

如圖3所示，在本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置10中，以包覆前面板1的一部分區(qū)域(圖3中為輸入面以外的區(qū)域)的方式設(shè)置有掩模層2。另外，在前面板1上，如圖3所示能夠在局部設(shè)置開口部8。在開口部8能夠設(shè)置按壓式機(jī)械開關(guān)。

在前面板1的接觸面上形成有：多個(gè)第一透明電極圖案3，由多個(gè)焊盤部分經(jīng)由連接部分在第一方向上延伸形成；多個(gè)第二透明電極圖案4，與第一透明電極圖案3電絕緣，并包括在與第一方向交叉的方向上延伸形成的多個(gè)焊盤部分；絕緣層5，將第一透明電極圖案3和第二透明電極圖案4進(jìn)行電絕緣。第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4及后述導(dǎo)電性要件6能夠使用作為本發(fā)明的透明層疊體中的透明電極圖案的材料而舉例的材料，優(yōu)選為ITO膜。

并且，第一透明電極圖案3及第二透明電極圖案4中的至少一方能夠橫跨前面板1的非接觸面及掩模層2的與前面板1相反側(cè)的一面這兩個(gè)區(qū)域而設(shè)置。圖1中示出第二透明電極圖案橫跨前面板1的非接觸面及掩模層2的與前面板1相反側(cè)的一面這兩個(gè)區(qū)域而設(shè)置的圖。

如此，即使橫跨需要一定厚度的掩模層和前面板背面層壓感光性薄膜的情況下，通過使用具有后述特定的層結(jié)構(gòu)的感光性薄膜，即使不使用真空層壓機(jī)等昂貴的設(shè)備，也可以以簡單的工序進(jìn)行在掩模部分邊界不產(chǎn)生氣泡的層壓。

利用圖4對(duì)第一透明電極圖案3及第二透明電極圖案4進(jìn)行說明。圖4是表示本發(fā)明中的第一透明電極圖案及第二透明電極圖案的一例的說明圖。如圖4所示，第一透明電極圖案3通過焊盤部分3a經(jīng)由連接部分3b在第一方向上延伸而形成。并且，第二透明電極圖案4通過絕緣層5而與第一透明電極圖案3電絕緣，由在與第一方向交叉的方向(圖4中的第二方向)上延伸形成的多個(gè)焊盤部分構(gòu)成。在此，在形成第一透明電極圖案3的情況下，可以將焊盤部分3a和連接部分3b制作成一體，也可以僅制作連接部分3b，并將焊盤部分3a和第二透明電極圖案4制作(圖案化)成一體。在將焊盤部分3a和第二透明電極圖案4制作(圖案化)成一體的情況下，如圖4所示，以連接部分3b的一部分與焊盤部分3a的一部分被連結(jié)且第一透明電極圖案3與第二透明電極圖案4通過絕緣層5被電絕緣的方式形成各層。

并且，圖4中的未形成有第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4、后述導(dǎo)電性要件6的區(qū)域，相當(dāng)于本發(fā)明的透明層疊體中的非圖案區(qū)域22。

在圖1中，在掩模層2的與前面板1相反側(cè)的一面?zhèn)仍O(shè)置有導(dǎo)電性要件6。導(dǎo)電性要件6與第一透明電極圖案3及第二透明電極圖案4中的至少一方電連接，且為與第一透明電極圖案3及第二透明電極圖案4不同的要件。

圖1中示出導(dǎo)電性要件6連接于第二透明電極圖案4的圖。

并且，在圖1中，以包覆各構(gòu)成要件整體的方式設(shè)置有第一透明樹脂層7。第一透明樹脂層7也可以以僅包覆各構(gòu)成要件的一部分的方式構(gòu)成。絕緣層5和第一透明樹脂層7可以是相同的材料，也可以是不同的材料。作為構(gòu)成絕緣層5的材料，能夠優(yōu)選使用作為本發(fā)明的透明層疊體中的第一透明樹脂層或第二透明樹脂層的材料例舉的材料。

(靜電電容型輸入裝置的制造方法)

作為在制造本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置的過程中形成的方式例子，能夠舉出圖5～9的方式。圖5是表示形成有開口部8的強(qiáng)化處理玻璃11的一例的俯視圖。圖6是表示形成有掩模層2的前面板的一例的俯視圖。圖7是表示形成有第一透明電極圖案3的前面板的一例的俯視圖。圖8是表示形成有第一透明電極圖案3和第二透明電極圖案4的前面板的一例的俯視圖。圖9是表示形成有與第一透明電極圖案及第二透明電極圖案不同的導(dǎo)電性要件6的前面板的一例的俯視圖。這些是表示將以下說明進(jìn)行具體化的例子的圖，本發(fā)明的范圍并不會(huì)被這些附圖限定地解釋。

在靜電電容型輸入裝置的制造方法中，在形成第二透明樹脂層12及第一透明樹脂層7的情況下，能夠使用本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜，通過在任意地形成有各要件的前面板1的表面轉(zhuǎn)印第二透明樹脂層及第一透明樹脂層而形成。

在靜電電容型輸入裝置的制造方法中，優(yōu)選掩模層2、第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4、絕緣層5、導(dǎo)電性要件6中的至少一個(gè)要件使用將臨時(shí)支撐體和透明樹脂層以該層結(jié)構(gòu)具有的轉(zhuǎn)印薄膜而形成。

若使用本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜或后述感光性薄膜來形成各要件，則在具有開口部的基板(前面板)上也不會(huì)從開口部分泄漏抗蝕劑成分，尤其在需要將遮光圖案形成至前面板的邊界線正上方為止的掩模層上，抗蝕劑成分不會(huì)從玻璃端溢出(泄漏)，因此不會(huì)污染前面板背面?zhèn)?，而能夠以簡單的工序制造薄層化及輕量化的觸摸面板。

在使用感光性薄膜來形成使用掩模層、絕緣層、導(dǎo)電性光固化性樹脂層時(shí)的第一透明電極圖案、第二透明電極圖案及導(dǎo)電性要件等永久材料的情況下，感光性薄膜在層壓于基板之后，根據(jù)需要曝光成圖案樣式，在負(fù)型材料的情況下，將非曝光部分進(jìn)行顯影處理而去除，在正型材料的情況下，將曝光部分進(jìn)行顯影處理而去除，從而能夠獲得圖案。顯影時(shí)可以分別用不同的顯影液將熱塑性樹脂層和光固化性樹脂層進(jìn)行顯影而去除，也可以用相同的顯影液進(jìn)行去除。根據(jù)需要，可以組合刷子、高壓噴射器等公知的顯影設(shè)備。在顯影之后，根據(jù)需要也可以進(jìn)行后曝光、后烘干。

(感光性薄膜)

關(guān)于制造本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置時(shí)優(yōu)選使用的本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜以外的感光性薄膜進(jìn)行說明。感光性薄膜具有臨時(shí)支撐體和光固化性樹脂層，優(yōu)選在臨時(shí)支撐體與光固化性樹脂層之間具有熱塑性樹脂層。若使用具有熱塑性樹脂層的感光性薄膜來形成掩模層等，則在轉(zhuǎn)印光固化性樹脂層而形成的要件中不易產(chǎn)生氣泡，在圖像顯示裝置中不易產(chǎn)生圖像不均等，能夠獲得優(yōu)異的顯示特性。

感光性薄膜可以是負(fù)型材料，也可以是正型材料。

＜光固化性樹脂層以外的層、制作方法＞

作為感光性薄膜中的臨時(shí)支撐體、覆蓋膜、熱塑性樹脂層，能夠使用與本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中所使用的相同的臨時(shí)支撐體、覆蓋膜、熱塑性樹脂層。并且，作為感光性薄膜的制作方法，能夠使用與本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的制作方法相同的方法。

＜光固化性樹脂層＞

感光性薄膜可以根據(jù)其用途對(duì)光固化性樹脂層添加添加物。即，在形成掩模層時(shí)使用感光性薄膜的情況下，使光固化性樹脂層中含有著色劑。并且，在感光性薄膜具有導(dǎo)電性光固化性樹脂層的情況下，光固化性樹脂層中含有導(dǎo)電性纖維等。

在感光性薄膜為負(fù)型材料的情況下，光固化性樹脂層中優(yōu)選含有堿溶性樹脂、聚合性化合物及聚合引發(fā)劑或聚合引發(fā)體系。還可以使用導(dǎo)電性纖維、著色劑、其它添加劑等，但并不限定于此。

＜?jí)A溶性樹脂、聚合性化合物、聚合引發(fā)劑或聚合引發(fā)體系＞

作為包含于感光性薄膜中的堿溶性樹脂、聚合性化合物、聚合引發(fā)劑或聚合引發(fā)體系，能夠使用與本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中所使用的相同的堿溶性樹脂、聚合性化合物、聚合引發(fā)劑或聚合引發(fā)體系。

＜導(dǎo)電性纖維(用作導(dǎo)電性光固化性樹脂層的情況)＞

在形成透明電極圖案或其它導(dǎo)電性要件時(shí)使用層疊有導(dǎo)電性光固化性樹脂層的感光性薄膜的情況下，能夠?qū)⒁韵聦?dǎo)電性纖維等使用于光固化性樹脂層。

作為導(dǎo)電性纖維的結(jié)構(gòu)并無特別的限制，能夠根據(jù)目的適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行選擇，但優(yōu)選為實(shí)心結(jié)構(gòu)及中空結(jié)構(gòu)中的任意的結(jié)構(gòu)。

在此，有時(shí)將實(shí)心結(jié)構(gòu)的纖維稱作“線”，將中空結(jié)構(gòu)的纖維稱作“管”。并且，有時(shí)將平均短軸長度為1nm～1,000nm且平均長軸長度為1μm～100μm的導(dǎo)電性纖維稱作“納米線”。

并且，有時(shí)將平均短軸長度為1nm～1,000nm、平均長軸長度為0.1μm～1,000μm且具有中空結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電性纖維稱作“納米管”。

作為導(dǎo)電性纖維的材料，只要具有導(dǎo)電性，則無特別的限制，能夠根據(jù)目的適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行選擇，但優(yōu)選金屬及碳中的至少任一種，其中，導(dǎo)電性纖維尤其優(yōu)選金屬納米線、金屬納米管及碳納米管中的至少任一種。

并且，作為導(dǎo)電性纖維，也能夠優(yōu)選使用日本特開2014-191445號(hào)公報(bào)中所記載的網(wǎng)格圖案、日本特開2014-191441號(hào)公報(bào)中所記載的由銀細(xì)線形成的網(wǎng)格。

作為金屬納米線的材料并無特別的限制，例如優(yōu)選選自包括長周期表(IUPAC1991)的第4周期、第5周期及第6周期的組中的至少一種金屬，更優(yōu)選選自第2族～第14族的至少一種金屬，進(jìn)一步優(yōu)選選自包括第2族、第8族、第9族、第10族、第11族、第12族、第13族及第14族的組中的至少一種金屬，尤其優(yōu)選作為主要成分而包含。

作為金屬可以舉出例如銅、銀、金、鉑金、鈀、鎳、錫、鈷、銠、銥、鐵、釕、鋨、錳、鉬、鎢、鈮、鉭、鈦、鉍、銻、鉛及它們的合金等。其中，從導(dǎo)電性優(yōu)異的方面考慮，優(yōu)選主要含有銀，或者優(yōu)選含有銀和銀以外金屬的合金。

主要含有銀是指在金屬納米線中含有銀50質(zhì)量％以上，優(yōu)選含有90質(zhì)量％以上。

作為以與銀的合金而使用的金屬，可以舉出鉑金、鋨、鈀及銥等。這些可以單獨(dú)使用一種，也可以并用兩種以上。

金屬納米線的形狀并無特別的限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行選擇，例如能夠呈圓柱狀、長方體狀、剖面呈多邊形的柱狀等任意的形狀，但在需要較高的透明性的用途中，優(yōu)選為圓柱狀、剖面的多邊形的角呈圓角的剖面形狀。

在基材上涂布金屬納米線水分散液，并通過透射電子顯微鏡(TEM)來觀察剖面，從而能夠檢查金屬納米線的剖面形狀。

金屬納米線剖面的角部是指將剖面的各邊延長，與從相鄰的邊垂下的垂線相交的點(diǎn)的周邊部。并且“剖面的各邊”設(shè)為將這些相鄰的角部與角部連結(jié)的直線。該情況下，將相對(duì)于“剖面的各邊”的合計(jì)長度的“剖面的外周長度”的比例設(shè)為銳度。例如在如圖10所示的金屬納米線剖面中，能夠以用實(shí)線表示的剖面的外周長度與用虛線表示的五邊形的外周長度之間的比例來表示銳度。將該銳度為75％以下的剖面形狀定義為圓角的剖面形狀。銳度優(yōu)選為60％以下，更優(yōu)選為50％以下。若上述銳度為75％以下，則抑制電子局限于角部，且抑制等離子體激源吸收，因此可抑制透明性變差。并且，抑制圖案邊緣部的直線性下降，不易產(chǎn)生振動(dòng)。銳度的下限并無特別限定，優(yōu)選為30％，更優(yōu)選為40％以上。

作為金屬納米線的平均短軸長度(有時(shí)稱作“平均短軸直徑”、“平均直徑”。)，優(yōu)選為150nm以下，更優(yōu)選為1nm～40nm，進(jìn)一步優(yōu)選為10nm～40nm，尤其優(yōu)選為15nm～35nm。

若平均短軸長度為1nm以上，則抗氧化性優(yōu)異，可得到較高的耐久性。并且，若150nm以下，則由金屬納米線引起的散射得到抑制，可獲得較高的透明性。

利用透射電子顯微鏡(TEM；JEOL Ltd.制造，JEM-2000FX)觀察300個(gè)金屬納米線，由其平均值求出金屬納米線的平均短軸長度。

另外，關(guān)于金屬納米線的短軸為在非圓形情況下的短軸長度，將最長的作為短軸長度。

金屬納米線的平均長軸長度(有時(shí)稱作“平均長度”。)優(yōu)選為1μm～40μm，更優(yōu)選為3μm～35μm，進(jìn)一步優(yōu)選為5μm～30μm。

若平均長軸長度為1μm以上，則形成稠密的網(wǎng)絡(luò)，可獲得充分的導(dǎo)電性。并且，若為40μm以下，則可抑制制造時(shí)的纏繞，可抑制在制造工序中產(chǎn)生凝聚物。

例如利用透射電子顯微鏡(TEM；JEOL Ltd.制造，JEM-2000FX)觀察300個(gè)金屬納米線，由其平均值求出金屬納米線的平均長軸長度。另外，在金屬納米線彎曲的情況下，將其考慮為呈弧形的圓，將由其半徑及曲率算出的值設(shè)為長軸長度。

從涂布液的穩(wěn)定性、涂布時(shí)的干燥、形成圖案時(shí)的顯影時(shí)間等工藝適性的觀點(diǎn)考慮，導(dǎo)電性光固化性樹脂層的層厚優(yōu)選為0.1～20μm，更優(yōu)選為0.5～18μm，進(jìn)一步優(yōu)選為1～15μm。

從導(dǎo)電性和涂布液的穩(wěn)定性的觀點(diǎn)考慮，導(dǎo)電性纖維相對(duì)于導(dǎo)電性光固化性樹脂層的總固體成分的含量優(yōu)選為0.01～50質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.05～30質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為0.1～20質(zhì)量％。

＜著色劑(用作掩模層的情況)＞

并且，在將感光性薄膜用作掩模層的情況下，能夠?qū)⒅珓┦褂糜诠夤袒詷渲瑢又?。作為本發(fā)明中所使用的著色劑，能夠適當(dāng)?shù)厥褂霉闹珓?有機(jī)顏料、無機(jī)顏料、染料等)。另外，在本發(fā)明中，除了黑色著色劑以外，還能夠使用紅色、藍(lán)色、綠色等顏料的混合物等。

將光固化性樹脂層用作黑色掩模層的情況下，從光學(xué)濃度的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選含有黑色著色劑。作為黑色著色劑，可以舉出例如炭黑、鈦黑、氧化鐵、氧化鈦、黑鉛等，其中，優(yōu)選炭黑。

將光固化性樹脂層用作白色掩模層的情況下，能夠使用日本特開2005-7765公報(bào)的0015、0114段中所記載的白色顏料。為了用作其它顏色掩模層，也可以混合日本專利第4546276號(hào)公報(bào)的0183～0185段等中所記載的顏料或染料進(jìn)行使用。具體而言，能夠適當(dāng)?shù)厥褂萌毡咎亻_2005-17716號(hào)公報(bào)的0038～0054段中所記載的顏料及染料、日本特開2004-361447號(hào)公報(bào)的0068～0072段中所記載的顏料、日本特開2005-17521號(hào)公報(bào)的0080～0088段中所記載的著色劑等。

著色劑(優(yōu)選為顏料，更優(yōu)選為炭黑)優(yōu)選作為分散液而使用。通過將預(yù)先混合著色劑和顏料分散劑而得到的組合物添加到后述有機(jī)溶劑(或媒介物)中使其分散，從而能夠制備所述分散液。上述媒介物是指涂料處于液態(tài)態(tài)時(shí)使顏料分散的介質(zhì)部分，包含呈液態(tài)且與顏料結(jié)合而形成涂膜的成分(粘合劑)和將其溶解稀釋的成分(有機(jī)溶劑)。

使顏料分散時(shí)所使用的分散機(jī)并無特別的限制，可以舉出例如在朝倉邦造著、“顏料辭典”、第一版、朝倉書店、2000年、438項(xiàng)中記載的捏合機(jī)、輥磨機(jī)、磨碎機(jī)、超級(jí)研磨機(jī)、溶解器、均質(zhì)混合器、砂磨機(jī)及珠磨機(jī)等公知的分散機(jī)。

另外，通過該文獻(xiàn)310頁中所記載的機(jī)械磨碎，可以利用摩擦力進(jìn)行微粉碎。

從分散穩(wěn)定性的觀點(diǎn)考慮，上述著色劑優(yōu)選為數(shù)均粒徑為0.001μm～0.1μm的著色劑，更優(yōu)選為0.01μm～0.08μm的著色劑。另外，在此所謂“粒徑”是指將粒子的電子顯微鏡照片圖像設(shè)為相同面積的圓時(shí)的直徑，并且“數(shù)均粒徑”是指求出多個(gè)粒子的上述粒徑，其中任意選擇的100個(gè)粒徑的平均值。

從與其它層的厚度差的觀點(diǎn)考慮，含有著色劑的光固化性樹脂層的層厚優(yōu)選為0.5～10μm，更優(yōu)選為0.8～5μm，進(jìn)一步優(yōu)選為1～3μm。

著色感光性樹脂組合物的固體成分中的著色劑的含有率并無特別的限制，但從充分地縮短顯影時(shí)間的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為15～70質(zhì)量％，更優(yōu)選為20～60質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為25～50質(zhì)量％。

在本說明書中所說的總固體成分是指從著色感光性樹脂組合物中去除溶劑等的不揮發(fā)成分的總質(zhì)量。

另外，在使用感光性薄膜而形成絕緣層的情況下，從維持絕緣性的觀點(diǎn)考慮，光固化性樹脂層的層厚優(yōu)選為0.1～5μm，更優(yōu)選為0.3～3μm，進(jìn)一步優(yōu)選為0.5～2μm。

＜其它添加劑＞

另外，上述光固化性樹脂層也可以使用其它添加劑。作為添加劑，能夠使用與本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中所使用的相同的添加劑。

并且，作為通過涂布而制造感光性薄膜時(shí)的溶劑，能夠使用與本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜中所使用的相同的溶劑。

以上，以感光性薄膜為負(fù)型材料的情況為中心進(jìn)行了說明，但感光性薄膜也可以是正型材料。在感光性薄膜為正型材料的情況下，光固化性樹脂層中可使用例如日本特開2005-221726號(hào)公報(bào)中所記載的材料等，但并不限定于此。

(基于感光性薄膜的掩模層、絕緣層的形成)

通過使用上述感光性薄膜將光固化性樹脂層轉(zhuǎn)印到前面板1等而能夠形成掩模層2、絕緣層5。例如在形成黑色掩模層2的情況下，能夠使用具有黑色光固化性樹脂層作為光固化性樹脂層的感光性薄膜，通過將黑色光固化性樹脂層轉(zhuǎn)印到前面板1的表面而形成。在形成絕緣層5的情況下，能夠使用具有絕緣性光固化性樹脂層作為光固化性樹脂層的感光性薄膜，通過將光固化性樹脂層轉(zhuǎn)印到形成有第一透明電極圖案的前面板1的表面而形成。

另外，在形成需要遮光性的掩模層2時(shí)，使用具有在光固化性樹脂層與臨時(shí)支撐體之間具有熱塑性樹脂層的特定的層結(jié)構(gòu)的感光性薄膜，從而防止在感光性薄膜層壓時(shí)產(chǎn)生氣泡，并能夠形成無漏光的高品質(zhì)的掩模層2等。

(基于感光性薄膜的第一透明電極圖案、第二透明電極圖案及其它導(dǎo)電性要件的形成)

第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4及其它導(dǎo)電性要件6能夠利用蝕刻處理或具有導(dǎo)電性光固化性樹脂層的感光性薄膜，或者將感光性薄膜作為剝離材料進(jìn)行使用而形成。

＜蝕刻處理＞

在通過蝕刻處理而形成第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4及其它導(dǎo)電性要件6的情況下，首先，在形成有掩模層2等的前面板1的非接觸面上，通過濺射而形成ITO等透明電極層。接著，在透明電極層上，使用具有蝕刻用光固化性樹脂層而作為光固化性樹脂層的感光性薄膜，通過曝光/顯影而形成蝕刻圖案。之后，對(duì)透明電極層進(jìn)行蝕刻而將透明電極圖案化，并去除蝕刻圖案，由此能夠形成第一透明電極圖案3等。

在將感光性薄膜用作蝕刻抗蝕劑(蝕刻圖案)的情況下，也能夠以與所述方法相同的方式獲得抗蝕劑圖案。至于蝕刻，能夠通過日本特開2010-152155公報(bào)的0048～0054段等中所記載的公知方法而適用蝕刻、抗蝕劑剝離。

例如作為蝕刻方法可以舉出通常進(jìn)行的浸漬于蝕刻液中的濕式蝕刻法。至于濕式蝕刻中所使用的蝕刻液，配合蝕刻對(duì)象而適當(dāng)?shù)剡x擇酸性類型的蝕刻液或堿性類型的蝕刻液即可。作為酸性類型的蝕刻液，可以例示出鹽酸、硫酸、氟酸、磷酸等單獨(dú)酸性成分的水溶液，酸性成分和三氯化鐵、氟化銨、高錳酸鉀等鹽的混合水溶液等。酸性成分可以使用組合多個(gè)酸性成分的酸性成分。并且，作為堿性類型的蝕刻液，可以例示出氫氧化鈉、氫氧化鉀、氨、有機(jī)胺、四甲基氫氧化銨之類的有機(jī)胺的鹽等單獨(dú)堿性成分的水溶液，堿性成分和高錳酸鉀等鹽的混合水溶液等。堿性成分可以使用組合多個(gè)堿性成分的堿性成分。

蝕刻液的溫度并無特別限定，但優(yōu)選45℃以下。在本發(fā)明中作為蝕刻掩模(蝕刻圖案)而使用的樹脂圖案是通過使用上述光固化性樹脂層而形成的，因此對(duì)這種溫度區(qū)域中的酸性及堿性的蝕刻液發(fā)揮尤其優(yōu)異的耐性。從而，在蝕刻工序中防止樹脂圖案被剝離，并選擇性地蝕刻不存在樹脂圖案的部分。

在蝕刻之后，為了防止生產(chǎn)線的汚染，根據(jù)需要，也可以進(jìn)行清洗工序/干燥工序。關(guān)于清洗工序，例如在常溫下由純水經(jīng)10～300秒鐘對(duì)基材進(jìn)行清洗，關(guān)于干燥工序，使用鼓風(fēng)來將鼓風(fēng)壓(0.1～5kg/cm²左右)適當(dāng)?shù)卣{(diào)整而進(jìn)行即可。

接著，作為樹脂圖案的剝離方法并無特別限定，例如可以舉出在30～80℃，優(yōu)選在50～80℃下將基材經(jīng)5～30分鐘浸漬于攪拌中的剝離液的方法。在本發(fā)明中，作為蝕刻掩模而使用的樹脂圖案，如上所述，在45℃以下顯示出優(yōu)異的耐化學(xué)性，若藥液溫度成為50℃以上，則顯示出通過堿性剝離液而溶脹的性質(zhì)。根據(jù)這種性質(zhì)，若使用50～80℃的剝離液進(jìn)行剝離工序，則具有工序時(shí)間縮短且樹脂圖案的剝離殘?jiān)鼫p少的優(yōu)點(diǎn)。即，通過在蝕刻工序與剝離工序之間設(shè)置藥液溫度差，在本發(fā)明中作為蝕刻掩模而使用的樹脂圖案在蝕刻工序中發(fā)揮良好的耐化學(xué)性，另一方面，在剝離工序中顯示出良好的剝離性，從而能夠均滿足耐化學(xué)性和剝離性這相反的兩種特性。

作為剝離液，可以舉出例如將氫氧化鈉、氫氧化鉀等無機(jī)堿性成分、叔胺、季銨鹽等有機(jī)堿性成分溶解于水、二甲基亞砜、N-甲基吡咯烷酮或它們的混合溶液中的剝離液。也可以使用上述剝離液，并通過噴霧法、噴淋法、旋覆浸沒式(paddle)法等進(jìn)行剝離。

(具有導(dǎo)電性光固化性樹脂層的感光性薄膜)

使用具有導(dǎo)電性光固化性樹脂層的感光性薄膜而形成第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4及其它導(dǎo)電性要件6的情況下，能夠通過將所述導(dǎo)電性光固化性樹脂層轉(zhuǎn)印到前面板1的表面而形成。

若使用具有導(dǎo)電性光固化性樹脂層的感光性薄膜來形成第一透明電極圖案3等，則在具有開口部的基板(前面板)上也不會(huì)從開口部分泄漏抗蝕劑成分，且不會(huì)污染基板背面?zhèn)?，而能夠以簡單的工序制造具有薄?輕量化的優(yōu)點(diǎn)的觸摸面板。

另外，在形成第一透明電極圖案3等時(shí)，使用具有在導(dǎo)電性光固化性樹脂層與臨時(shí)支撐體之間具有熱塑性樹脂層的特定的層結(jié)構(gòu)的感光性薄膜，由此防止在感光性薄膜層壓時(shí)產(chǎn)生氣泡，并能夠形成導(dǎo)電性優(yōu)異且電阻小的第一透明電極圖案3、第二透明電極圖案4及其它導(dǎo)電性要件6。

(感光性薄膜作為剝離材料的使用)

并且，將感光性薄膜用作剝離材料，從而也能夠形成第一透明電極層、第二透明電極層及其它導(dǎo)電性部件。

該情況下，在使用感光性薄膜進(jìn)行圖案化之后，且在基材整面形成透明導(dǎo)電層之后，對(duì)所堆積的每一個(gè)透明導(dǎo)電層進(jìn)行光固化性樹脂層的溶解和去除，從而能夠獲得所希望的透明導(dǎo)電層圖案(剝離法)。

4.圖像顯示裝置

本發(fā)明的圖像顯示裝置的特征在于將本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置作為構(gòu)成要件而具備。

本發(fā)明的靜電電容型輸入裝置及將該靜電電容型輸入裝置作為構(gòu)成要件而具備的圖像顯示裝置，能夠適用“最新觸摸面板或技術(shù)”(2009年7月6日發(fā)行，Techno Times Co.,Ltd.)、三谷雄二監(jiān)修、“觸摸面板的技術(shù)和開發(fā)”、(CMC出版，2004，12)、FPD International 2009Forum T-11講座教材、Cypress Semiconductor Corporation應(yīng)用筆記AN2292等中公開的結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的圖像顯示裝置的制造方法的特征在于包括層疊本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的樹脂層的工序。

作為層疊上述本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的樹脂層的工序，與本發(fā)明的層疊體的制造方法中的、在位于基材上的透明電極圖案上層疊本發(fā)明的轉(zhuǎn)印薄膜的樹脂層的工序的含義相同，優(yōu)選方式也相同。

并且，本發(fā)明的圖像顯示裝置的制造方法也可以包括本發(fā)明的層疊體的制造方法所能夠包括的工序。

實(shí)施例

以下，舉出實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步具體的說明。以下實(shí)施例中示出的材料、使用量、比例、處理內(nèi)容、處理順序等，只要不脫離本發(fā)明的主旨就能夠適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行變更。從而，本發(fā)明的范圍并不限定于以下所示的具體例。另外，若無特別說明，“份”、“％”為質(zhì)量基準(zhǔn)。

(實(shí)施例1)

＜具備透明樹脂層的轉(zhuǎn)印薄膜I1的制作＞

〔第一透明樹脂層的形成〕

在厚度為16μm的雙軸拉伸聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜(臨時(shí)支撐體)上，使用狹縫狀噴嘴來制備下述配方OC1進(jìn)行涂布，在以100℃干燥2分鐘之后，進(jìn)而，以120℃干燥1分鐘，從而形成第一透明樹脂層。

-第一透明樹脂層用涂布液：配方OC1-

·三環(huán)癸烷二甲醇二丙烯酸酯(A-DCP、Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造)：8.31質(zhì)量份

·氨基甲酸酯丙烯酸酯U-15HA(Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造)：2.52質(zhì)量份

·聚合物溶液1(下述結(jié)構(gòu)式P-25；甲基丙烯酸環(huán)己酯(a)/甲基丙烯酸甲酯(b)/甲基丙烯酸共聚物(c)的甲基丙烯酸縮水甘油酯加成物(d)(組成(mol％)：a/b/c/d＝46/2/20/32、重均分子量：35,000、酸值66mgKOH/g)的1-甲氧基-2-丙醇(40％)、1-甲氧基-2-丙基乙酸酯(40％)溶液(固體成分：45％))：9.60質(zhì)量份

·光自由基聚合引發(fā)劑：1,2-辛二酮,1-[4-苯硫基)-,2-(O-苯甲酰肟)](商品名稱：IRGACUREOXE-01、BASF公司制造)：0.61質(zhì)量份

·表面活性劑(商品名稱：MEGAFAC F-784F、DIC CORPORATION制造)：0.03質(zhì)量份

·甲乙酮：37.87質(zhì)量份

·1-甲氧基-2-丙基乙酸酯(DAICEL CHEMICAL INDUSTRIES,LTD.制造)：41.06質(zhì)量份

配方OC1的詳細(xì)內(nèi)容配合后述T1的詳細(xì)內(nèi)容而示于下述表1中。另外，表中，“-”是指未含有相應(yīng)的成分。

[表1]

[化學(xué)式3]

在上述聚合物溶液1中使用的結(jié)構(gòu)式P-25的聚合物按照日本特開2008-146018號(hào)公報(bào)的0106段的方法而合成。

〔第二透明樹脂層的形成〕

接著，在第一透明樹脂層上，將由下述配方IM1構(gòu)成的第二透明樹脂層用涂布液調(diào)整為下述表2～5所記載的所希望的干燥膜厚而進(jìn)行涂布，以80℃干燥1分鐘之后，進(jìn)而，以110℃干燥1分鐘，從而形成第二透明樹脂層。

-第二透明樹脂層用涂布液：配方IM1-

·氧化鋯(ZrO₂)分散液(商品名稱：NanoUseOZ-S30M；NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES,LTD.制造，無機(jī)粒子30.5質(zhì)量％，有機(jī)酸2.8質(zhì)量％，甲醇：66.7質(zhì)量％)：4.71質(zhì)量份

·氨水：3.92質(zhì)量份

·甲基丙烯酸/甲基丙烯酸烯丙酯的共聚樹脂(Mw：25,000、組成比(摩爾比)＝23.5/76.5，不揮發(fā)成分99.8％)：0.33質(zhì)量份

·結(jié)構(gòu)式1的聚合性化合物：0.3質(zhì)量份

·水溶性光聚合引發(fā)劑(IRGACURE2959、BASF Japan Ltd.制造)：0.03質(zhì)量份

·離子交換水：30.7質(zhì)量份

·甲醇：60.0質(zhì)量份

[化學(xué)式4]

上述IM1中的氧化鋯分散液中所使用的ZrO₂是折射率為2.2且平均粒徑為12nm的粒子。

＜覆蓋膜的壓接＞

如此，在臨時(shí)支撐體上，在設(shè)置成為下述表中的干燥膜厚的第一透明樹脂層及第二透明樹脂層之后，最后，作為覆蓋膜將厚度為16μm的Toray Industries,Inc.制LUMIRROR#16QS62的平滑面(聚酯薄膜；剝離后的表面粗糙度SRz＝69nm、剝離后的SRa＝5.5nm)進(jìn)行了壓接。

由此，制作出臨時(shí)支撐體、第一透明樹脂層、第二透明樹脂層及覆蓋膜成為一體的轉(zhuǎn)印薄膜。將所得到的轉(zhuǎn)印薄膜設(shè)為實(shí)施例1的轉(zhuǎn)印薄膜I1。

(覆蓋膜的表面粗糙度SRz及SRa的評(píng)價(jià))

＜?jí)航忧暗母采w膜的表面粗糙度SRz及SRa的評(píng)價(jià)＞

通過上述方法而壓接覆蓋膜之前，通過下述方法而測(cè)定了覆蓋膜的與樹脂層壓接的面的表面粗糙度。

使用微細(xì)形狀測(cè)定器ET-350K(Kosaka Laboratory Ltd.制造)，在下述條件下測(cè)定壓接前的覆蓋膜的表面粗糙度SRz及SRa，以JIS-B-0601-2001為基準(zhǔn)，使用下述三維分析軟件來計(jì)算SRz及SRa的值。

測(cè)定結(jié)果記載于表2中的“壓接前的表面粗糙度”一欄。

·三維分析軟件：TDA-22(Kosaka Laboratory Ltd.制造)

·觸針壓力：0.04mN

·測(cè)定長度：0.5mm

·輸送速度：0.1mm/s

·行距：5μm

·行數(shù)：40個(gè)

·高度倍率：×50,000

·測(cè)定方向：MD方向

＜?jí)航忧暗母采w膜的尺寸穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)＞

通過上述方法而壓接覆蓋膜之前，通過下述方法而測(cè)定覆蓋膜的尺寸穩(wěn)定性。

將覆蓋膜以100℃經(jīng)30分鐘進(jìn)行熱處理之后和進(jìn)行熱處理之前，測(cè)定了機(jī)械方向(MD)及垂直方向(TD)的寬度分別變化幾個(gè)％。

測(cè)定結(jié)果記載于表2中的“尺寸穩(wěn)定性”一欄中。表中的單位設(shè)為％，在MD(％)一欄中記載機(jī)械方向的測(cè)定結(jié)果，在TD(％)一欄中記載垂直方向的測(cè)定結(jié)果。

＜覆蓋膜的剝離方法＞

將轉(zhuǎn)印薄膜I1切割為A4紙狀，在平滑的玻璃板上，使覆蓋膜一側(cè)朝上而放置轉(zhuǎn)印薄膜I1。稍微剝離轉(zhuǎn)印薄膜I1的角部的覆蓋膜，用膠帶將露出第二透明樹脂層的部分(部分剝離覆蓋膜之后的轉(zhuǎn)印薄膜I1的角部)固定于玻璃板，用膠帶將覆蓋膜的角部固定于直徑為3cm的紙管。一邊將覆蓋膜卷繞于紙管上，一邊以1cm/秒的速度，以相對(duì)于玻璃板為45度的角度進(jìn)行了剝離。

＜剝離后的覆蓋膜的表面粗糙度SRz及SRa的評(píng)價(jià)＞

剝離后的覆蓋膜的表面粗糙度SRz及SRa則以與壓接前的覆蓋膜的表面粗糙度SRz及SRa相同的方式進(jìn)行了測(cè)定。以下，將剝離后的覆蓋膜的表面粗糙度SRz及SRa也稱作“剝離后的SRz及SRa”。測(cè)定結(jié)果記載于表2中的“剝離后的表面粗糙度”一欄。

(轉(zhuǎn)印薄膜的評(píng)價(jià))

＜卷褶皺的評(píng)價(jià)＞

在上述臨時(shí)支撐體上，將使透明樹脂層(第一透明樹脂層和第二透明樹脂層兩層)及覆蓋膜以該層結(jié)構(gòu)進(jìn)行層疊而制作的轉(zhuǎn)印薄膜I1，一邊分割為45cm的寬度，一邊以11.5kg/m的拉力在直徑為3英尺(1英尺為2.54cm)的ABS制卷芯上卷繞100m。以目測(cè)的方式對(duì)所卷繞的轉(zhuǎn)印薄膜I1的表面進(jìn)行了觀察。優(yōu)選為A、B或C，更優(yōu)選為A或B，尤其優(yōu)選為A。

〔評(píng)價(jià)基準(zhǔn)〕

A：整面均勻地卷繞，在轉(zhuǎn)印的透明樹脂層(第一透明樹脂層和第二透明樹脂層兩層)上沒有問題，為極其良好的狀態(tài)。

B：卷入到臨時(shí)支撐體和覆蓋膜中的空氣層以縱條紋狀被觀察到，但通過靜置24小時(shí)而消失，整面成為均勻的狀態(tài)，在轉(zhuǎn)印的透明樹脂層(第一透明樹脂層和第二透明樹脂層兩層)上沒有問題，為良好的狀態(tài)。

C：即使靜置24小時(shí)，卷入到臨時(shí)支撐體和覆蓋膜中的空氣層以縱條紋狀被看到，在透明樹脂層(第一透明樹脂層和第二透明樹脂層兩層)上沒有問題，為普通的狀態(tài)。

D：中央部卷入有褶皺，即使靜置24小時(shí)，也殘留有褶皺，在轉(zhuǎn)印的透明樹脂層(第一透明樹脂層和第二透明樹脂層兩層)上也殘留有褶皺的痕跡，為較差的狀態(tài)。

E：整面卷入有褶皺，即使靜置24小時(shí)，在整面也殘留有褶皺，在轉(zhuǎn)印的透明樹脂層(第一透明樹脂層和第二透明樹脂層兩層)上也殘留有褶皺的痕跡，為非常差的狀態(tài)。

將所得到的結(jié)果記載于表2中。

＜裂紋的評(píng)價(jià)＞

在上述臨時(shí)支撐體上，將使透明樹脂層(第一透明樹脂層和第二透明樹脂層兩層)及覆蓋膜以該層結(jié)構(gòu)層疊而制作的轉(zhuǎn)印薄膜I1，以臨時(shí)支撐體一側(cè)成為內(nèi)側(cè)的方式卷繞于直徑不同的桿上并折彎，利用光學(xué)顯微鏡來觀察該部位而進(jìn)行了評(píng)價(jià)。優(yōu)選為A、B或C，更優(yōu)選為A或B，進(jìn)一步優(yōu)選為A。

〔評(píng)價(jià)基準(zhǔn)〕

A：即使卷繞于2mmΦ的桿并折彎，也沒有裂紋。

B：即使卷繞于3mmΦ的桿并折彎，也沒有裂紋。

C：即使卷繞于4mmΦ的桿并折彎，也沒有裂紋。

D：即使卷繞于5mmΦ的桿并折彎，也沒有裂紋。

E：在制作出轉(zhuǎn)印薄膜的時(shí)刻，稍微進(jìn)入龜裂狀的裂紋。

將所得到的結(jié)果記載于下述表2中。

＜在臨時(shí)支撐體上形成的固化前的透明樹脂層的透明性評(píng)價(jià)＞

在剝離轉(zhuǎn)印薄膜I1的覆蓋膜之后，以玻璃基板與透明樹脂層接觸的方式進(jìn)行了層壓(基材溫度：25℃，橡膠輥溫度：100℃，線壓：100N/cm，搬送速度：1.0m/分鐘。在剝離臨時(shí)支撐體之后，對(duì)所得到的帶透明樹脂層的玻璃基板，用分光光度計(jì)(SHIMADZU CORPORATION.制造：

UV-VISIBLERECORDINGSPECTROPHOTOMETERUV-2100型)在400～780nm的范圍內(nèi)測(cè)定了透射率。此時(shí)，參考試料則使用了預(yù)先切斷一部分的玻璃基板。透射率以1nm的間距進(jìn)行測(cè)定，將400～450nm中的測(cè)定值的最小值設(shè)為“400～450nm范圍的透射率”，將450～780nm中的測(cè)定值的最小值設(shè)為“450～780nm范圍的透射率”。優(yōu)選為A、B或C，更優(yōu)選為A或B，尤其優(yōu)選為A。

〔評(píng)價(jià)基準(zhǔn)〕

A：400～450nm范圍的透射率為95％以上且450～780nm范圍的透射率為97％以上，透明性極好。

B：400～450nm范圍的透射率為90％以上且小于95％，并且450～780nm范圍的透射率為95％以上且小于97％，透明性良好。

C：400～450nm范圍的透射率為80％以上且小于90％，并且450～780nm范圍的透射率為80％以上且小于95％，透明性一般。

D：400～450nm或450～780nm范圍的透射率小于80％，透明性較差。

所得到的結(jié)果記載于表2中。

(透明層疊體的制作)

利用上述所得到的實(shí)施例1的轉(zhuǎn)印薄膜I1，通過以下方法制作出透明層疊體。

＜1.透明膜的形成＞

在折射率為1.51的玻璃制透明基板(玻璃基板)上，由以下方法制作出使用了上述表1中示出的T1的折射率為1.60且膜厚為80nm的透明膜。

〔轉(zhuǎn)印材料的制作〕

在厚度為75μm的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜(臨時(shí)支撐體)上，使用狹縫狀噴嘴來涂布由下述配方H1構(gòu)成的熱塑性樹脂層用涂布液，使其干燥而形成了熱塑性樹脂層。接著，在熱塑性樹脂層上，涂布由下述配方P1構(gòu)成的中間層用涂布液，使其干燥而形成了中間層。

另外，涂布透明固化性組合物用涂布液(透明樹脂層形成用組合物)T1，使其干燥而形成了透明樹脂層。由此，在臨時(shí)支撐體上設(shè)置了干燥膜厚為15.1μm的熱塑性樹脂層、干燥膜厚為1.6μm的中間層、干燥膜厚為80nm的透明樹脂層。最后，在透明樹脂層上壓接了覆蓋膜(厚度12μm、聚丙烯薄膜)。由此，制作出臨時(shí)支撐體、熱塑性樹脂層、中間層(阻氧膜)、透明樹脂層及覆蓋膜成為一體的轉(zhuǎn)印材料。

-熱塑性樹脂層用涂布液：配方H1-

·甲醇：11.1質(zhì)量份

·丙二醇單甲醚乙酸酯：6.36質(zhì)量份

·甲乙酮：52.4質(zhì)量份

·甲基丙烯酸甲酯/2-乙基己基丙烯酸酯/甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸共聚物(共聚合組成比(摩爾比)＝55/11.7/4.5/28.8，重均分子量＝10萬，Tg(玻璃化轉(zhuǎn)變溫度)≈70℃)：5.83質(zhì)量份

·苯乙烯/丙烯酸共聚物(共聚合組成比(摩爾比)＝63/37，重均分子量＝1萬，Tg≈100℃)：13.6質(zhì)量份

·單體1(商品名稱：BPE-500，Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造)：9.1質(zhì)量份

·氟類聚合物：0.54質(zhì)量份

上述氟類聚合物為C₆F₁₃CH₂CH₂OCOCH＝CH₂ 40份，H(OCH(CH₃)CH₂)₇OCOCH＝CH₂ 55份，H(OCHCH₂)₇OCOCH＝CH₂5份的共聚物，重均分子量為3萬，甲乙酮30質(zhì)量％的溶液(商品名稱：MEGAFAC F780F，DIC Corporation制造)

-中間層用涂布液：配方P1-

·聚乙烯醇：32.2質(zhì)量份

(商品名稱：PVA205，KURARAY CO.,LTD制造，皂化度＝88％，聚合度550)

·聚乙烯吡咯烷酮：14.9質(zhì)量份

(商品名稱：K-30、ISP Japan Ltd.制造)

·蒸餾水：524質(zhì)量份

·甲醇：429質(zhì)量份

〔透明膜的形成〕

使用剝離了覆蓋膜的轉(zhuǎn)印材料，在玻璃制透明基板上，將透明樹脂層與熱塑性樹脂及中間層及PET臨時(shí)支撐體一同進(jìn)行轉(zhuǎn)印之后，剝離了PET臨時(shí)支撐體。接著，使用具有超高壓汞燈的接近式曝光機(jī)(Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co.,Ltd.制造)，從熱塑性樹脂層一側(cè)，以i射線、40mJ/cm²進(jìn)行了整面曝光。接著，將三乙醇胺類顯影液(用純水將含有三乙醇胺30質(zhì)量％，商品名稱：T-PD2(FUJIFILM Corporation制造)稀釋為10倍(以1份T-PD2和9份純水的比例混合)的溶液)，以30℃且60秒鐘、扁平噴嘴壓力0.04MPa來進(jìn)行噴淋顯影，去除了熱塑性樹脂和中間層。接著，對(duì)該玻璃制透明基板的上表面(透明樹脂層一側(cè))噴吹空氣而進(jìn)行除液之后，通過噴淋將純水噴附10秒鐘，進(jìn)行純水噴淋清洗，吹出空氣而減少玻璃制透明基板上的液體滯留。接著，在230℃下經(jīng)60分鐘對(duì)玻璃制透明基板進(jìn)行加熱處理(后烘干)，使透明樹脂層加熱固化而設(shè)為透明膜，得到在玻璃制透明基板上層疊有透明膜的基板。

＜2.透明電極圖案的形成＞

將在上述所獲得的玻璃制透明基板上層疊有透明膜的基板導(dǎo)入到真空腔室內(nèi)，使用SnO₂含有率為10質(zhì)量％的ITO靶(銦:錫＝95:5(摩爾比))進(jìn)行DC磁控濺射(條件：基材的溫度為250℃、氬氣壓力為0.13Pa、氧氣壓力為0.01Pa)，從而形成厚度為40nm、折射率為1.82的ITO薄膜，獲得形成有透明電極層的薄膜。ITO薄膜的表面電阻為80Ω/□。

＜蝕刻用感光性薄膜E1的制作＞

在厚度為75μm的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜(臨時(shí)支撐體)上，使用狹縫狀噴嘴來涂布由上述配方H1構(gòu)成的熱塑性樹脂層用涂布液，使其干燥而形成了熱塑性樹脂層。接著，將由上述配方P1構(gòu)成的中間層用涂布液涂布于熱塑性樹脂層上，使其干燥而形成了中間層。

另外，涂布蝕刻用光固化性樹脂層用涂布液：配方E1，使其干燥而形成了蝕刻用光固化性樹脂層。如此在臨時(shí)支撐體上得到包括干燥膜厚為15.1μm的熱塑性樹脂層、干燥膜厚為1.6μm的中間層、膜厚為2.0μm的蝕刻用光固化性樹脂層的層疊體，最后，將覆蓋膜(厚度為12μm的聚丙烯薄膜)壓接于蝕刻用光固化性樹脂層上。如此制作出臨時(shí)支撐體、熱塑性樹脂層、中間層(阻氧膜)及蝕刻用光固化性樹脂層成為一體的轉(zhuǎn)印材料。

〔蝕刻用光固化性樹脂層用涂布液：配方E1〕

·甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸共聚物(共聚物組成(質(zhì)量％)：31/40/29、重均分子量60,000、酸值163mgKOH/g)：16質(zhì)量份

·單體1(商品名稱：BPE-500、Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造)：5.6質(zhì)量份

·六亞甲基二異氰酸酯的四氧化乙烯甲基丙烯酸酯0.5摩爾加成物：7質(zhì)量份

·作為分子中具有一個(gè)聚合性基團(tuán)的化合物的環(huán)己烷二甲醇單丙烯酸酯：2.8質(zhì)量份

·2-氯-N-丁基吖啶酮：0.42質(zhì)量份

·2,2-雙(鄰氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯(lián)咪唑：2.17質(zhì)量份

·孔雀綠草酸鹽：0.02質(zhì)量份

·無色結(jié)晶紫：0.26質(zhì)量份

·吩噻嗪：0.013質(zhì)量份

·表面活性劑(商品名稱：MEGAFAC F-780F、DIC Corporation制造)：0.03質(zhì)量份

·甲乙酮：40質(zhì)量份

·1-甲氧基-2-丙醇：20質(zhì)量份

另外，蝕刻用光固化性樹脂層用涂布液:配方E1的去除溶劑后的100℃的粘度為2,500Pa·sec。

＜透明電極圖案的形成＞

將形成有透明電極層的前面板進(jìn)行清洗，并將去除了覆蓋膜的蝕刻用感光性薄膜E1進(jìn)行了層壓(基材溫度：130℃、橡膠輥溫度120℃、線壓100N/cm、搬送速度2.2m/分鐘)。在剝離臨時(shí)支撐體之后，將曝光掩模(具有透明電極圖案的石英曝光掩模)面與蝕刻用光固化性樹脂層之間的距離設(shè)定為200μm，以曝光量50mJ/cm²(i射線)進(jìn)行了圖案曝光。

接著，使用三乙醇胺類顯影液(用純水將含有三乙醇胺30質(zhì)量％、商品名稱：T-PD2(FUJIFILM Corporation制造)稀釋為10倍的溶液)在25℃下進(jìn)行了100秒鐘的顯影處理，使用含有表面活性劑的清洗液(用純水將商品名稱：T-SD3(FUJIFILM Corporation制造)稀釋為10倍的溶液)在33℃下進(jìn)行了20秒鐘的清洗處理。用旋轉(zhuǎn)刷來擦拭經(jīng)過清洗處理后的前面板，進(jìn)而，從超高壓清洗噴嘴噴射超純水，從而去除了殘?jiān)?。接著，進(jìn)行130℃、30分鐘的后烘干處理，從而得到形成有透明電極層和蝕刻用光固化性樹脂層圖案的前面板。

將形成有透明電極層和蝕刻用光固化性樹脂層圖案的前面板浸漬于放入ITO蝕刻液(鹽酸、氯化鉀水溶液、液溫30℃)的蝕刻槽中進(jìn)行100秒鐘的處理(蝕刻處理)，將未被蝕刻用光固化性樹脂層包覆的露出區(qū)域的透明電極層進(jìn)行溶解和去除，得到附有蝕刻用光固化性樹脂層圖案的帶透明電極層圖案的前面板。

接著，將附有蝕刻用光固化性樹脂層圖案的帶透明電極層圖案的前面板浸漬于放入抗蝕劑剝離液(N-甲基-2-吡咯烷酮、一乙醇胺、表面活性劑(商品名稱：SURFYNOL465、Air Products and Chemicals,Inc.制造)、液溫45℃)的抗蝕劑剝離槽中進(jìn)行200秒鐘的處理(剝離處理)，去除蝕刻用光固化性樹脂層，得到在玻璃制透明基板上形成有透明膜及透明電極圖案的基板。

通過Pt涂敷(20nm厚度)，對(duì)透明電極圖案的端部賦予導(dǎo)電性以及進(jìn)行表面保護(hù)之后，使用FEI制Nova200型FIB/SEM復(fù)合機(jī)進(jìn)行了透明電極圖案端部的形狀觀察(二次電子圖像，加速電壓20kV)。

所形成的ITO圖案呈如圖11的錐形形狀，錐角為α＝3°。

＜3.第一透明樹脂層和第二透明樹脂層的形成＞

在上述所得到的玻璃制透明基板上形成有透明膜及透明電極圖案的基板上，將去除覆蓋膜的實(shí)施例1的轉(zhuǎn)印薄膜I1進(jìn)行了層壓(橡膠輥溫度100℃，線壓0.6Pa，搬送速度4.0m/分鐘)。以下述基準(zhǔn)評(píng)價(jià)層壓泡的結(jié)果，未卷入有層壓泡而不存在問題。

將曝光掩模(具有外涂層形成用圖案的石英曝光掩模)面與臨時(shí)支撐體之間的距離設(shè)定為125μm，通過臨時(shí)支撐體以曝光量100mJ/cm²(i射線)進(jìn)行了圖案曝光。在剝離了臨時(shí)支撐體之后，用純堿1％的水溶液在33℃下經(jīng)40秒鐘進(jìn)行了清洗處理。用旋轉(zhuǎn)刷來擦拭清洗處理后的前面板，進(jìn)而，從超高壓清洗噴嘴噴射超純水，由此去除了殘?jiān)?。接著，噴吹空氣而去除基材上的水分，進(jìn)行145℃且30分鐘的后烘干處理，從而制作出透明膜、透明電極圖案、第二透明樹脂層及第一透明樹脂層以該層結(jié)構(gòu)在玻璃制透明基板上連續(xù)的透明層疊體。

由此，得到透明膜、透明電極圖案、第二透明樹脂層及第一透明樹脂層以該層結(jié)構(gòu)層疊于玻璃制透明基板上的透明層疊體。將所得到的透明層疊體設(shè)為實(shí)施例1的透明層疊體。

通過上述測(cè)定方法來測(cè)定第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的干燥膜厚(厚度、μm)及折射率，將結(jié)果記載于表2中。另外，表2中記載有透明層疊體中的第一透明樹脂層及第二透明樹脂層的干燥膜厚及折射率。

(透明層疊體的評(píng)價(jià))

＜層壓泡的評(píng)價(jià)＞

將層壓了透明樹脂層(第一透明樹脂層和第二透明樹脂層兩層)的上述基板，通過目測(cè)及光學(xué)顯微鏡進(jìn)行觀察，并如下進(jìn)行了評(píng)價(jià)。實(shí)用等級(jí)為A、B或C，優(yōu)選為A或B，更優(yōu)選為A。

〔評(píng)價(jià)基準(zhǔn)〕

A：在基材上完全看不到層壓泡，目測(cè)的平面性也沒有問題，為極好的等級(jí)。

B：除了透明電極圖案以外的基材上稍微看到層壓泡，但在顯影、后烘干處理中消失，因此沒有問題，為良好的等級(jí)。

C：在透明電極圖案的邊緣部分稍微觀察到層壓泡，但在顯影、后烘干處理中消失，因此沒有問題，為普通的等級(jí)。

D：在透明電極圖案的邊緣部分觀察到層壓泡，但在顯影、后烘干處理中未消失，為較差的等級(jí)。

E：在基材整面觀測(cè)到層壓泡，在顯影、后烘干處理中未消失，為極差的等級(jí)。

所得到的結(jié)果記載于表2中。

＜濕熱試驗(yàn)＞

將所得到的透明層疊體，在85℃、相對(duì)濕度為85％的恒溫恒濕槽中放置了72小時(shí)。通過目測(cè)及光學(xué)顯微鏡觀察試驗(yàn)前后的基材上的透明膜、透明電極圖案、透明樹脂層(第二透明樹脂層和第一透明樹脂層兩層)的膜面，進(jìn)而，測(cè)定透明電極圖案的電阻值，如下進(jìn)行了評(píng)價(jià)。實(shí)用等級(jí)為A、B或C，優(yōu)選為A或B，更優(yōu)選為A。另外，透明電極圖案的電阻值的上升率通過下述式而計(jì)算。

透明電極圖案的電阻值的上升(％)＝(放置72小時(shí)后的透明電極圖案的電阻值/放置72小時(shí)前的透明電極圖案的電阻值-1)×100

〔評(píng)價(jià)基準(zhǔn)〕

A：在試驗(yàn)前后，在基材上的透明膜、透明電極圖案、透明樹脂層(第二透明樹脂層和第一透明樹脂層兩層)的膜面未看見任何變化。透明電極圖案的電阻值的上升率小于1％。

B：在試驗(yàn)后，在基材上的透明膜、透明電極圖案、透明樹脂層(第二透明樹脂層和第一透明樹脂層兩層)的膜面未看見變化，但透明電極圖案的電阻值的上升率為1％以上且小于2％。

C：在試驗(yàn)后，在透明樹脂層(第二透明樹脂層和第一透明樹脂層兩層)的膜面未看見變化，但透明電極圖案的邊緣部的色澤有變化，透明電極圖案的電阻值的上升率為2％以上且小于4％。

D：在試驗(yàn)后，透明樹脂層(第二透明樹脂層和第一透明樹脂層兩層)的膜面稍微白濁化。在透明電極圖案中觀察到點(diǎn)狀的腐蝕，透明電極圖案的電阻值的上升率為5％以上且小于20％。

E：在試驗(yàn)前后，透明樹脂層(第二透明樹脂層和第一透明樹脂層兩層)的膜面的狀態(tài)大幅變化而白濁化。因透明電極圖案的腐蝕而觀察到斷線，有的無法測(cè)定透明電極圖案的電阻值的上升率。

將所得到的結(jié)果記載于下述表2中。

＜形成于透明層疊體的固化后的透明樹脂層的透明性評(píng)價(jià)＞

如上所述，以玻璃基板與透明樹脂層接觸的方式進(jìn)行了層壓(基材溫度：25℃、橡膠輥溫度：100℃、線壓：100N/cm、搬送速度：1.0m/分鐘)。在剝離臨時(shí)支撐體之后，以曝光量100mJ/cm²(i射線)進(jìn)行整面曝光，并剝離了臨時(shí)支撐體。接著，在以33℃進(jìn)行保溫的1％的純堿水溶液中經(jīng)40秒鐘進(jìn)行顯影，接著，用純水進(jìn)行水洗，用氣刀去除了剩余水分。然后，以145℃經(jīng)30分鐘進(jìn)行了烘干。對(duì)所得到的帶透明樹脂層的玻璃基板，用分光光度計(jì)(SHIMADZU CORPORATION.制造：UV-VISIBLERECORDINGSPECTROPHOTOMETER UV-2100型)在400～780nm的范圍內(nèi)測(cè)定了透射率。此時(shí)，參考試料為預(yù)先切斷一部分的玻璃基板。透射率以1nm的間距進(jìn)行測(cè)定，將400～450nm中的測(cè)定值的最小值設(shè)為“400～450nm范圍的透射率”，將450～780nm中的測(cè)定值的最小值設(shè)為“450～780nm范圍的透射率”。優(yōu)選為A、B或C，更優(yōu)選為A或B，尤其優(yōu)選為A。

〔評(píng)價(jià)基準(zhǔn)〕

A：400～450nm范圍的透射率為95％以上，并且450～780nm范圍的透射率為97％以上，透明性極好。

B：400～450nm范圍的透射率為90％以上且小于95％，并且450～780nm范圍的透射率為95％以上且小于97％，透明性良好。

C：400～450nm范圍的透射率為80％以上且小于90％，并且450～780nm范圍的透射率為80％以上且小于95％，透明性普通。

D：400～450nm或450～780nm范圍的透射率小于80％，透明性較差。

所得到的結(jié)果記載于表2中。

(靜電電容型輸入裝置的制造)

使用在實(shí)施例1及后述實(shí)施例2～43中制造的轉(zhuǎn)印薄膜制造出靜電電容型輸入裝置。

＜掩模層的形成＞

〔掩模層形成用感光性薄膜K1的制作〕

在厚度為75μm的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜(臨時(shí)支撐體)上，使用狹縫狀噴嘴來涂布由上述配方H1構(gòu)成的熱塑性樹脂層用涂布液，使其干燥而形成了熱塑性樹脂層。接著，在熱塑性樹脂層上，涂布由上述配方P1構(gòu)成的中間層用涂布液，使其干燥而形成了中間層。進(jìn)而，涂布由下述配方K1構(gòu)成的黑色光固化性樹脂層用涂布液，使其干燥而形成了黑色光固化性樹脂層。如此在臨時(shí)支撐體上設(shè)置干燥膜厚為15.1μm的熱塑性樹脂層、干燥膜厚為1.6μm的中間層、光學(xué)濃度為4.0且膜厚為2.2μm的黑色光固化性樹脂層，最后，將覆蓋膜(厚度為12μm的聚丙烯薄膜)進(jìn)行了壓接。由此制作出臨時(shí)支撐體、熱塑性樹脂層、中間層(阻氧膜)、黑色光固化性樹脂層成為一體的轉(zhuǎn)印材料，將樣品名稱設(shè)為掩模層形成用感光性薄膜K1。

-黑色光固化性樹脂層用涂布液：配方K1-

·K顏料分散物1：31.2質(zhì)量份

·R顏料分散物1(下述組成)：3.3質(zhì)量份

·MMPGAc(丙二醇單甲醚乙酸酯，DAICEL CHEMICAL INDUSTRIES,LTD.制造)：6.2質(zhì)量份

·甲乙酮(Tonen Chemical Corporation.制造)：34.0質(zhì)量份

·環(huán)己酮(KANTO DENKA KOGYO CO.,LTD.制造)：8.5質(zhì)量份

·粘合劑2(甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸＝78/22(摩爾比)的無規(guī)共聚物、重均分子量3.8萬)：10.8質(zhì)量份

·吩噻嗪(Tokyo Chemical Industry Co.,Ltd.制造)：0.01質(zhì)量份

·DPHA(二季戊四醇六丙烯酸酯，Nippon Kayaku Co.,Ltd.制造)的丙二醇單甲醚乙酸酯溶液(76質(zhì)量％)：5.5質(zhì)量份

·2,4-雙(三氯甲基)-6-[4’-(N,N-雙(乙氧基羰基甲基)氨基-3’-溴苯基]均三嗪：0.4質(zhì)量份

·表面活性劑(商品名稱：MEGAFAC F-780F、DIC CORPORATION制)：0.1質(zhì)量份

另外，由上述配方K1構(gòu)成的黑色光固化性樹脂層用涂布液的去除溶劑后的100℃的粘度為10,000Pa·sec。

-K顏料分散物1的組成-

·炭黑(商品名稱：Nipex35，Degussa AG制造)：13.1質(zhì)量％

·下述分散劑1：0.65質(zhì)量％

·粘合劑1(甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸＝72/28(摩爾比)的無規(guī)共聚物、重均分子量3.7萬)：6.72質(zhì)量％

·丙二醇單甲醚乙酸酯：79.53質(zhì)量％

[化學(xué)式5]

-R顏料分散物1的組成-

·顏料(C.I.顏料紅177)：18質(zhì)量％

·粘合劑1(甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸＝72/28(摩爾比)的無規(guī)共聚物、重均分子量3.7萬)：12質(zhì)量％

·丙二醇單甲醚乙酸酯：70質(zhì)量％

＜掩模層的形成＞

接著，對(duì)形成有開口部(15mmΦ)的強(qiáng)化處理玻璃(300mm×400mm×0.7mm)，將調(diào)整為25℃的玻璃清洗劑液，通過噴淋經(jīng)20秒鐘一邊進(jìn)行噴附，一邊用具有尼龍毛的旋轉(zhuǎn)刷進(jìn)行清洗，在進(jìn)行純水噴淋清洗之后，將硅烷偶聯(lián)液(N-β(氨基乙基)γ-氨基丙基三甲氧基硅烷0.3質(zhì)量％水溶液，商品名稱：KBM603，Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.制造)，通過噴淋噴附20秒鐘，進(jìn)行了純水噴淋清洗。用基材預(yù)熱裝置對(duì)該基材以140℃經(jīng)2分鐘進(jìn)行了加熱。

在所得到的硅烷偶聯(lián)處理玻璃基材上，從上述所得到的掩模層形成用感光性薄膜K1去除覆蓋膜，以去除后露出的黑色光固化性樹脂層的表面與硅烷偶聯(lián)處理玻璃基材的表面接觸的方式進(jìn)行重合，使用層壓機(jī)(Hitachi Industries Co.,Ltd.制造(LamicII型))，在以140℃進(jìn)行加熱的基材上，以橡膠輥溫度130℃、線壓100N/cm、搬送速度2.2m/分鐘進(jìn)行了層壓。接著，在與熱塑性樹脂層的界面剝離聚對(duì)苯二甲酸乙二酯的臨時(shí)支撐體，去除了臨時(shí)支撐體。在剝離臨時(shí)支撐體之后，用具有超高壓汞燈的接近式曝光機(jī)(Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co.,Ltd.制造)，在基材和曝光掩模(具有框緣圖案的石英曝光掩模)垂直立起的狀態(tài)下，將曝光掩模面與黑色光固化性樹脂層之間的距離設(shè)定為200μm，并以曝光量70mJ/cm²(i射線)進(jìn)行了圖案曝光。

接著，使用三乙醇胺類顯影液(用純水將含有三乙醇胺30質(zhì)量％、商品名稱：T-PD2(FUJIFILM Corporation制造)稀釋為10倍的溶液)，在33℃下經(jīng)60秒鐘以扁平噴嘴壓力0.1MPa進(jìn)行噴淋顯影，去除了熱塑性樹脂層和中間層。接著，對(duì)該玻璃基材的上表面噴吹空氣而進(jìn)行除液之后，通過噴淋而噴附純水10秒鐘，進(jìn)行純水噴淋清洗，通過噴吹空氣而減少了基材上的液體滯留。

然后，使用碳酸鈉/碳酸氫鈉類顯影液(用純水將商品名稱：T-CD1(FUJIFILM Corporation制造)稀釋為5倍的溶液)，在32℃下將噴淋壓力設(shè)定為0.1MPa進(jìn)行顯影45秒鐘，用純水進(jìn)行了清洗。

接著，使用含有表面活性劑的清洗液(用純水將商品名稱：T-SD3(FUJIFILM Corporation制造)稀釋為10倍的溶液)，在33℃下經(jīng)20秒鐘在圓錐型噴嘴壓力0.1MPa下通過噴淋進(jìn)行噴附，進(jìn)而，由具有柔軟的尼龍毛的旋轉(zhuǎn)刷來擦拭所形成的圖案圖像而進(jìn)行了殘?jiān)コ?。另外，用超高壓清洗噴嘴?.8MPa的壓力噴射超純水而去除了殘?jiān)?/p>

接著，在空氣中，以曝光量1,300mJ/cm²進(jìn)行后曝光，進(jìn)而，進(jìn)行240℃且80分鐘的后烘干處理，得到形成有光學(xué)濃度為4.0且膜厚為2.0μm的掩模層的前面板。

(透明膜)

對(duì)形成有掩模層的前面板，以與上述層疊體的形成中的在透明基板上制作透明膜相同的方式制作透明膜。

＜第一透明電極圖案的形成＞

〔透明電極層的形成〕

將形成有掩模層及透明膜的前面板導(dǎo)入到真空腔室內(nèi)，并使用SnO₂含有率為10質(zhì)量％的ITO靶(銦:錫＝95:5(摩爾比))進(jìn)行DC磁控濺射(條件：基材的溫度為250℃、氬氣壓力為0.13Pa、氧氣壓力為0.01Pa)，從而形成厚度為40nm的ITO薄膜，得到形成有透明電極層的前面板。ITO薄膜的表面電阻為80Ω/□。

〔蝕刻用感光性薄膜E1的制作〕

在掩模層形成用感光性薄膜K1的制作中，除了將黑色光固化性樹脂層用涂布液代替為由下述配方E1構(gòu)成的蝕刻用光固化性樹脂層用涂布液以外，以與掩模層形成用感光性薄膜K1的制作相同的方式得到蝕刻用感光性薄膜E1(蝕刻用光固化性樹脂層的膜厚為2.0μm。)。

-蝕刻用光固化性樹脂層用涂布液：配方E1-

·甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸共聚物(共聚物組成(質(zhì)量％)：31/40/29、重均分子量60,000、酸值163mgKOH/g)：16質(zhì)量份

·單體1(商品名稱：BPE-500、Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造)：5.6質(zhì)量份

·六亞甲基二異氰酸酯的四氧化乙烯甲基丙烯酸酯0.5摩爾加成物：7質(zhì)量份

·作為分子中具有一個(gè)聚合性基團(tuán)的化合物的環(huán)己烷二甲醇單丙烯酸酯：2.8質(zhì)量份

·2-氯-N-丁基吖啶酮：0.42質(zhì)量份

·2,2-雙(鄰氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯(lián)咪唑：2.17質(zhì)量份

·孔雀綠草酸鹽：0.02質(zhì)量份

·無色結(jié)晶紫：0.26質(zhì)量份

·吩噻嗪：0.013質(zhì)量份

·表面活性劑(商品名稱：MEGAFAC F-780F、DIC Corporation制造)：0.03質(zhì)量份

·甲乙酮：40質(zhì)量份

·1-甲氧基-2-丙醇：20質(zhì)量份

另外，由上述配方E1構(gòu)成的蝕刻用光固化性樹脂層用涂布液的去除溶劑之后的100℃的粘度為2,500Pa·sec。

〔第一透明電極圖案的形成〕

以與掩膜層的形成相同的方式，將形成有掩膜層、透明膜及透明電極層的前面板進(jìn)行清洗，接著，將去除覆蓋膜的蝕刻用感光性薄膜E1進(jìn)行了層壓(基材溫度：130℃、橡膠輥溫度120℃、線壓100N/cm、搬送速度2.2m/分鐘)。在剝離臨時(shí)支撐體之后，將曝光掩模(具有透明電極圖案的石英曝光掩模)面與蝕刻用光固化性樹脂層之間的距離設(shè)定為200μm，以曝光量50mJ/cm²(i射線)進(jìn)行了圖案曝光。

接著，使用三乙醇胺類顯影液(用純水將含有三乙醇胺30質(zhì)量％、商品名稱：T-PD2(FUJIFILM Corporation制造)稀釋為10倍的溶液)在25℃下進(jìn)行了100秒鐘的顯影處理，并使用含有表面活性劑的清洗液(用純水將商品名稱：T-SD3

(FUJIFILM Corporation制造)稀釋為10倍的溶液)在33℃下進(jìn)行了20秒鐘的清洗處理。用旋轉(zhuǎn)刷來擦拭清洗處理后的前面板，進(jìn)而，通過從超高壓清洗噴嘴噴射超純水而去除了殘?jiān)?。接著，進(jìn)行130℃、30分鐘的后烘干處理，得到形成有透明電極層和蝕刻用光固化性樹脂層圖案的前面板。

將形成有透明電極層和蝕刻用光固化性樹脂層圖案的前面板浸漬于放入ITO蝕刻液(鹽酸、氯化鉀水溶液、液溫30℃)的蝕刻槽中進(jìn)行100秒鐘的處理(蝕刻處理)，將未被蝕刻用光固化性樹脂層包覆的露出區(qū)域的透明電極層溶解和去除，得到附有蝕刻用光固化性樹脂層圖案的帶透明電極層圖案的前面板。

接著，將附有蝕刻用光固化性樹脂層圖案的帶透明電極層圖案的前面板浸漬于放入抗蝕劑剝離液(N-甲基-2-吡咯烷酮，一乙醇胺，表面活性劑(商品名稱：SURFYNOL465、Air Products and Chemicals,Inc.制造)，液溫45℃)的抗蝕劑剝離槽中進(jìn)行200秒鐘的處理，去除蝕刻用光固化性樹脂層，得到形成有掩膜層、透明膜及第一透明電極圖案的前面板。

＜絕緣層的形成＞

〔絕緣層形成用感光性薄膜W1的制作〕

在掩模層形成用感光性薄膜K1的制作中，除了將黑色光固化性樹脂層用涂布液代替為由下述配方W1構(gòu)成的絕緣層用涂布液以外，以與掩模層形成用感光性薄膜K1的制作相同的方式得到絕緣層形成用感光性薄膜W1(絕緣層的膜厚為1.4μm)。

-絕緣層用涂布液：配方W1-

·粘合劑3(甲基丙烯酸環(huán)己酯(a)/甲基丙烯酸甲酯(b)/甲基丙烯酸共聚物(c)的甲基丙烯酸縮水甘油酯加成物(d)(組成(質(zhì)量％)：a/b/c/d＝46/1/10/43、重均分子量：36,000、酸值66mgKOH/g)的1-甲氧基-2-丙醇、甲乙酮溶液(固體成分：45％))：12.5質(zhì)量份

·DPHA(二季戊四醇六丙烯酸酯，Nippon Kayaku Co.,Ltd.制造)的丙二醇單甲醚乙酸酯溶液(76質(zhì)量％)：1.4質(zhì)量份

·氨基甲酸酯類單體(商品名稱：NKOLIGO UA-32P，Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造：不揮發(fā)成分75％，丙二醇單甲醚乙酸酯：25％)：0.68質(zhì)量份

·三季戊四醇八丙烯酸酯(商品名稱：V#802，OSAKA ORGANIC CHEMICAL INDUSTRY LTD.制造)：1.8質(zhì)量份

·二乙基噻噸酮：0.17質(zhì)量份

·2-(二甲氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-嗎啉基)苯基]-1-丁酮(商品名稱：Irgacure379，BASF公司制造)：0.17質(zhì)量份

·分散劑(商品名稱：SOLSPERSE 20000，Avecia Inc.制造)：0.19質(zhì)量份

·表面活性劑(商品名稱：MEGAFAC F-780F，DIC CORPORATION制造)：0.05質(zhì)量份

·甲乙酮：23.3質(zhì)量份

·MMPGAc(丙二醇單甲醚乙酸酯、DAICEL CHEMICAL INDUSTRIES,LTD.制造)：59.8質(zhì)量份

另外，由上述配方W1構(gòu)成的絕緣層形成用涂布液的去除溶劑后的100℃的粘度為4,000Pa·sec。

以與掩膜層的形成相同的方式，將形成有掩膜層、透明膜及第一透明電極圖案的前面板進(jìn)行清洗，并進(jìn)行硅烷偶聯(lián)處理，接著，將去除覆蓋膜的絕緣層形成用感光性薄膜W1進(jìn)行了層壓(基材溫度：100℃、橡膠輥溫度120℃、線壓100N/cm、搬送速度2.3m/分鐘)。在剝離臨時(shí)支撐體之后，將曝光掩模(具有絕緣層用圖案的石英曝光掩模)面與絕緣層之間的距離設(shè)定為100μm，以曝光量30mJ/cm²(i射線)進(jìn)行了圖案曝光。

接著，使用三乙醇胺類顯影液(用純水將含有三乙醇胺30質(zhì)量％、商品名稱：T-PD2(FUJIFILM Corporation制造)稀釋為10倍的溶液)在33℃下進(jìn)行了60秒鐘的顯影處理，進(jìn)而，使用碳酸鈉/碳酸氫鈉類顯影液(用純水將商品名稱：T-CD1(FUJIFILM Corporation制造)稀釋為5倍的溶液)在25℃下進(jìn)行了50秒鐘的顯影處理之后，使用含有表面活性劑的清洗液(用純水將商品名稱：T-SD3(FUJIFILM Corporation制造)稀釋為10倍的溶液)在33℃下進(jìn)行了20秒鐘的清洗處理。用旋轉(zhuǎn)刷來擦拭清洗處理后的前面板，進(jìn)而，從超高壓清洗噴嘴噴射超純水而去除了殘?jiān)?。接著，進(jìn)行230℃、60分鐘的后烘干處理，得到形成有掩模層、透明膜、第一透明電極圖案、絕緣層圖案的前面板。

＜第二透明電極圖案的形成＞

〔透明電極層的形成〕

以與第一透明電極圖案的形成相同的方式，對(duì)形成有掩模層、透明膜、第一透明電極圖案、絕緣層圖案的前面板進(jìn)行DC磁控濺射處理，(條件：基材的溫度50℃、氬氣壓力0.13Pa、氧氣壓力0.01Pa)，形成厚度為80nm的ITO薄膜，得到形成有透明電極層的前面板。ITO薄膜的表面電阻為110Ω/□。

以與第一透明電極圖案的形成相同的方式，使用蝕刻用感光性薄膜E1而得到形成有掩模層、透明膜、第一透明電極圖案、絕緣層圖案、透明電極層、蝕刻用光固化性樹脂層圖案的前面板(后烘干處理；130℃、30分鐘)。

另外，以與第一透明電極圖案的形成相同的方式進(jìn)行蝕刻(30℃、50秒鐘)，接著，去除蝕刻用光固化性樹脂層(45℃、200秒鐘)，由此得到形成有掩模層、透明膜、第一透明電極圖案、絕緣層圖案、第二透明電極圖案的前面板。

＜與第一透明電極圖案及第二透明電極圖案不同的導(dǎo)電性要件的形成＞

以與第一透明電極圖案及第二透明電極圖案的形成相同的方式，對(duì)形成有掩模層、透明膜、第一透明電極圖案、絕緣層圖案、第二透明電極圖案的前面板進(jìn)行DC磁控濺射處理，得到形成有厚度為200nm的鋁(Al)薄膜的前面板。

以與第一透明電極圖案及第二透明電極圖案的形成相同的方式，使用蝕刻用感光性薄膜E1而得到形成有掩模層、透明膜、第一透明電極圖案、絕緣層圖案、第二透明電極圖案、蝕刻用光固化性樹脂層圖案的前面板(后烘干處理；130℃、30分鐘)。

另外，以與第一透明電極圖案的形成相同的方式進(jìn)行蝕刻(30℃、50秒鐘)，接著，去除蝕刻用光固化性樹脂層(45℃、200秒鐘)，由此得到形成有掩模層、透明膜、第一透明電極圖案、絕緣層圖案、第二透明電極圖案、與第一透明電極圖案及第二透明電極圖案不同的導(dǎo)電性要件的前面板。

＜第一透明樹脂層和第二透明樹脂層＞

在上述透明層疊體的制造中，代替在玻璃制透明基板上形成有透明膜、透明電極圖案的基板，而使用形成有掩模層、透明膜、第一透明電極圖案、絕緣層圖案、第二透明電極圖案、與第一透明電極圖案及第二透明電極圖案不同的導(dǎo)電性要件的前面板，除此以外，以與上述各實(shí)施例的透明層疊體的制造相同的方式，從各實(shí)施例的轉(zhuǎn)印薄膜轉(zhuǎn)印第一透明樹脂層和第二透明樹脂層而進(jìn)行制膜，從而得到在玻璃制透明基板上掩模層、透明膜、第一透明電極圖案、絕緣層圖案、第二透明電極圖案、與第一透明電極圖案及第二透明電極圖案不同的導(dǎo)電性要件、第二透明樹脂層和第一透明樹脂層以該層結(jié)構(gòu)形成的各實(shí)施例的靜電電容型輸入裝置(前面板)。另外，第二透明樹脂層和第一透明樹脂層被進(jìn)行圖案曝光及顯影而被圖案化，以免在形成有掩模層的部分及卷繞配線的終端部的上方形成。

(圖像顯示裝置(觸摸面板)的制作)

以日本特開2009-47936號(hào)公報(bào)中記載的方法制造的液晶顯示元件上，貼合預(yù)先制造的各實(shí)施例的靜電電容型輸入裝置(前面板)，并以公知方法制作出將靜電電容型輸入裝置作為構(gòu)成要件而具備的各實(shí)施例的圖像顯示裝置。

＜前面板及圖像顯示裝置的評(píng)價(jià)＞

各實(shí)施例的靜電電容型輸入裝置及圖像顯示裝置中不存在可看見透明電極圖案的問題。

在上述各工序中，形成有掩模層、透明膜、第一透明電極圖案、絕緣層圖案、第二透明電極圖案、與第一透明電極圖案及第二透明電極圖案不同的導(dǎo)電性要件、第二透明樹脂層和第一透明樹脂層的前面板，在開口部及背面(非接觸面)上沒有污垢，容易清洗且不存在弄臟其它部件的問題。

并且，掩模層上不存在針孔，遮光性優(yōu)異。

而且，第一透明電極圖案、第二透明電極圖案及與這些透明電極圖案不同的導(dǎo)電性要件的各自的導(dǎo)電性上不存在問題，另一方面，第一透明電極圖案與第二透明電極圖案之間具有絕緣性。

另外，在第一透明樹脂層上不存在氣泡等缺陷，可以得到顯示特性優(yōu)異的圖像顯示裝置。

(實(shí)施例2～4)

代替在實(shí)施例1中剝離后的覆蓋膜的表面粗糙度SRz為69nm且SRa為5.5nm的覆蓋膜，而分別替換為表2所記載的剝離后的SRz為51nm且SRa為4.9nm(實(shí)施例2)的覆蓋膜，剝離后的SRz為110nm且SRa為4.7nm(實(shí)施例3)的覆蓋膜，剝離后的SRz為120nm且SRa為6.7nm(實(shí)施例4)的覆蓋膜，除此以外，以與實(shí)施例1相同的方式進(jìn)行了評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表2中。另外，表2～表5中，“壓接前的表面粗糙度”一欄為空欄的實(shí)施例或比較例表示的是未進(jìn)行壓接前的表面粗糙度的測(cè)定。

隨著SRz變大，層壓泡及濕熱試驗(yàn)的評(píng)價(jià)結(jié)果稍微變差，但是為沒有問題的等級(jí)。其它性能也沒有變化，同樣為沒有問題的等級(jí)。

(實(shí)施例5及6)

代替在實(shí)施例1中剝離后的覆蓋膜的厚度為16μm、剝離后的表面粗糙度SRz為69nm、SRa為5.5nm的覆蓋膜，而分別替換為表2所記載的剝離后的厚度為25μm、剝離后的SRz為66nm、SRa為5.0nm(實(shí)施例5)的覆蓋膜，剝離后的厚度為38μm、剝離后的SRz為62nm、SRa為5.5nm(實(shí)施例6)的覆蓋膜，除此以外，以與實(shí)施例1相同的方式進(jìn)行了評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表2中。在使用剝離后的厚度為38μm、剝離后的SRz為62nm、SRa為5.5nm(實(shí)施例6)的覆蓋膜的情況下，濕熱試驗(yàn)的評(píng)價(jià)結(jié)果稍微變差，但是為沒有問題的等級(jí)。其它性能也沒有變化，同樣是沒有問題的等級(jí)。

(實(shí)施例7及8)

代替在實(shí)施例1中剝離后的覆蓋膜的厚度為16μm、剝離后的表面粗糙度SRz為69nm、SRa為5.5nm的覆蓋膜，而分別替換為表2所記載的剝離后的厚度為16μm、剝離后的SRz為4nm、SRa為0.36nm(實(shí)施例7)的覆蓋膜，剝離后的厚度為50μm、剝離后的SRz為5nm、SRa為2.0nm(實(shí)施例8)的覆蓋膜，除此以外，以與實(shí)施例1相同的方式進(jìn)行了評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表2中。由于剝離后的SRz降低到4nm，因此在將覆蓋膜層疊于第二透明樹脂層時(shí)，卷褶皺的評(píng)價(jià)結(jié)果有稍微變差的傾向，雖然濕熱試驗(yàn)的評(píng)價(jià)結(jié)果稍微變差，但是為沒有問題的等級(jí)。其它性能也沒有變化，同樣是沒有問題的等級(jí)。

(比較例1～8)

代替在實(shí)施例1中剝離后的覆蓋膜的表面粗糙度SRz為69nm、SRa為5.5nm的覆蓋膜，而分別替換為表2所記載的剝離后的SRz為150nm、SRa為6.9nm(比較例1)的覆蓋膜，剝離后的SRz為200nm、SRa為16.0nm(比較例2)的覆蓋膜，剝離后的SRz為300nm、SRa為50nm(比較例3)的覆蓋膜，剝離后的SRz為461nm、SRa為21.3nm(比較例4)的覆蓋膜，剝離后的SRz為460nm、SRa為7.3nm(比較例5)覆蓋膜，剝離后的SRz為570nm、SRa為8.4nm(比較例6)覆蓋膜，剝離后的SRz為550nm、SRa為82nm(比較例7)覆蓋膜，剝離后的SRz為1,000nm、SRa為30nm(比較例8)的覆蓋膜，除此以外，以與實(shí)施例1相同的方式進(jìn)行了評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表2中。隨著SRz從150nm變大而層壓泡的評(píng)價(jià)結(jié)果變差，若SRz為200nm以上，則完全是實(shí)際應(yīng)用上存在問題的水準(zhǔn)。濕熱試驗(yàn)的評(píng)價(jià)結(jié)果同樣也變差，SRz為150nm以上完全是實(shí)際應(yīng)用上存在問題的水準(zhǔn)。

(實(shí)施例9)

在實(shí)施例1的蝕刻用感光性薄膜E1的制作中，將蝕刻用光固化性樹脂層用涂布液E1代替為第二透明樹脂層用涂布液IM1，并在80℃下干燥1分鐘之后，進(jìn)而，在110℃下干燥了1分鐘，覆蓋膜則使用Toray Industries,Inc.制造的LUMIRROR#16QS62的平滑面而得到具備第二透明樹脂層的轉(zhuǎn)印薄膜G1(第二透明樹脂層的干燥膜厚為85nm，折射率為1.65。)。

并且，在具備透明樹脂層的轉(zhuǎn)印薄膜I1的制作中，除了未進(jìn)行“第二透明樹脂層的形成”以外，以與實(shí)施例1相同的方式得到具備透明樹脂層的轉(zhuǎn)印薄膜J1。

在形成有實(shí)施例1的掩模層、透明膜、第一透明電極圖案、絕緣層圖案、第二透明電極圖案、與第一透明電極圖案及第二透明電極圖案不同的導(dǎo)電性要件的前面板上，層壓了具備去除了覆蓋膜的第二透明樹脂層的轉(zhuǎn)印薄膜G1。在與蝕刻用感光性薄膜E1相同的條件下進(jìn)行顯影水洗之后，以145℃烘干了25分鐘。另外，烘干后的第二透明樹脂層的干燥膜厚為85nm，折射率為1.65。

在室溫中進(jìn)行冷卻之后，代替使用具備透明樹脂層(第一透明樹脂層及第二透明樹脂層)的轉(zhuǎn)印薄膜I1，而使用具備透明樹脂層(相當(dāng)于實(shí)施例1的第一透明樹脂層)的轉(zhuǎn)印薄膜J1，除此以外，以相同的方式進(jìn)行了圖像顯示裝置(觸摸面板)的制作。以與實(shí)施例1相同的方式評(píng)價(jià)層壓泡、濕熱試驗(yàn)、卷褶皺及裂紋的結(jié)果，得到與實(shí)施例1相同的結(jié)果。評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表3中。

(實(shí)施例10～16)

代替實(shí)施例9中所使用的轉(zhuǎn)印薄膜J1的覆蓋膜，而變更為表3所示的覆蓋膜，除此以外，以與實(shí)施例9相同的方式進(jìn)行實(shí)施例10～16并進(jìn)行了評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表3中。在實(shí)施例12中，層壓泡的評(píng)價(jià)結(jié)果相對(duì)于B(實(shí)施例4)降低為C，但是為實(shí)用等級(jí)，其它結(jié)果也是相同的等級(jí)。關(guān)于剝離后的表面粗糙度SRz為10nm以下的實(shí)施例15及16，卷褶皺的評(píng)價(jià)結(jié)果較差，但是為實(shí)用等級(jí)。其它實(shí)施例得到與實(shí)施例1相同的結(jié)果。

(實(shí)施例17)

在實(shí)施例3中，除了將第一透明樹脂層的干燥膜厚從5μm變更為8μm以外，以與實(shí)施例3相同的方式進(jìn)行，并進(jìn)行了評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表3中的層壓泡及濕熱試驗(yàn)的評(píng)價(jià)結(jié)果分別從B優(yōu)化為A。裂紋從B劣化為C，但是為實(shí)用等級(jí)，卷褶皺未發(fā)生變化。

(比較例9～16)

代替在實(shí)施例9中剝離后的覆蓋膜的表面粗糙度SRz為69nm、SRa為5.5nm的覆蓋膜，而分別替換為表3所記載的剝離后的SRz為158nm、SRa為7.2nm(比較例9的)的覆蓋膜，剝離后的SRz為210nm、SRa為16.9nm(比較例10)的覆蓋膜，剝離后的SRz為314nm、SRa為53nm(比較例11)的覆蓋膜，剝離后的SRz為465nm、SRa為22.5nm(比較例12)的覆蓋膜，剝離后的SRz為460nm、SRa為8.1nm(比較例13)的覆蓋膜，SRz為600nm、SRa為8.8nm(比較例14)的覆蓋膜，剝離后的SRz為580nm、SRa為87nm(比較例15)的覆蓋膜，剝離后的SRz為1,060nm、SRa為33nm(比較例16)的覆蓋膜，除此以外，以與實(shí)施例1相同的方式進(jìn)行了評(píng)價(jià)。隨著評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表3中的SRz從150nm變大，層壓泡的評(píng)價(jià)結(jié)果變差，若SRz為200nm以上，則完全是實(shí)用上存在問題的水準(zhǔn)。濕熱試驗(yàn)的評(píng)價(jià)結(jié)果同樣也變差，若SRz為150nm以上，則完全是實(shí)用上存在問題的水準(zhǔn)。

(實(shí)施例18～20)

代替在實(shí)施例1中剝離后的覆蓋膜的厚度為16μm、剝離后的表面粗糙度SRz為69nm、SRa為5.5nm的覆蓋膜，而分別替換為表4所記載的剝離后的厚度為38μm、剝離后的SRz為5.1nm、SRa為2.2nm(實(shí)施例18)的覆蓋膜，剝離后的厚度為50μm、剝離后的SRz為5.3nm、SRa為2.3nm(實(shí)施例19)的覆蓋膜，剝離后的厚度為75μm、剝離后的SRz為5.2nm、SRa為2.2nm(實(shí)施例20)的覆蓋膜，除此以外，以與實(shí)施例1相同的方式進(jìn)行了評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表4中。隨著覆蓋膜的厚度變厚，層壓泡及濕熱試驗(yàn)的評(píng)價(jià)結(jié)果有稍微變差的傾向，但是為沒有問題的等級(jí)。其它性能也沒有變化，同樣是沒有問題的等級(jí)。

(實(shí)施例21～23)

代替在實(shí)施例19中剝離后的覆蓋膜的厚度為50μm、剝離后的表面粗糙度SRz為5.3nm、SRa為2.3nm的聚酯制覆蓋膜，而替換為剝離后的厚度為50μm、剝離后的SRz為9.9nm、SRa為0.4nm的聚醚砜制覆蓋膜(實(shí)施例21)、剝離后的厚度為50μm、剝離后的SRz為9.8nm、SRa為0.4nm的聚碳酸酯制覆蓋膜(實(shí)施例22)、剝離后的厚度為50μm、剝離后的SRz為10.9nm、SRa為0.64nm的聚萘二甲酸乙二酯制覆蓋膜(實(shí)施例23)，除此以外，以與實(shí)施例19相同的方式進(jìn)行了評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表4中。若為聚醚砜制覆蓋膜、聚碳酸酯制覆蓋膜、聚萘二甲酸乙二酯制覆蓋膜，則層壓泡的評(píng)價(jià)結(jié)果有稍微變差的傾向，但是為沒有問題的等級(jí)。其它性能也沒有變化，同樣是沒有問題的等級(jí)。

(實(shí)施例24～30)

代替在實(shí)施例1中第一透明樹脂層的膜厚5μm，而分別變更為4.8μm(實(shí)施例24)、2.0μm(實(shí)施例25)、1.0μm(實(shí)施例26)、8.0μm(實(shí)施例27)、10μm(實(shí)施例28)、15μm(實(shí)施例29))、18μm(實(shí)施例30)，除此以外，以與實(shí)施例1相同的方式進(jìn)行，并進(jìn)行了評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表4中。隨著膜厚變薄，層壓泡及濕熱試驗(yàn)的評(píng)價(jià)結(jié)果降低，裂紋和卷褶皺的評(píng)價(jià)結(jié)果得到優(yōu)化。相反，隨著膜厚變厚，裂紋和卷褶皺的評(píng)價(jià)結(jié)果降低，層壓泡及濕熱試驗(yàn)的評(píng)價(jià)結(jié)果得到優(yōu)化。上述范圍內(nèi)的膜厚是性能上沒有問題的等級(jí)。

(實(shí)施例31～36)

將實(shí)施例9中所使用的轉(zhuǎn)印薄膜J1的覆蓋膜變更為表5中記載的實(shí)施例18～23所示的覆蓋膜，除此以外，以與實(shí)施例9相同的方式進(jìn)行實(shí)施例31～36，并進(jìn)行了評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表5中。剝離的覆蓋膜的表面粗糙度如表5所記載分別稍微降低，但是性能為與實(shí)施例18～23相同的結(jié)果，其為實(shí)用等級(jí)。

(實(shí)施例37～43)

代替實(shí)施例9中所使用的轉(zhuǎn)印薄膜J1的第一透明樹脂層的膜厚為5μm，而分別變更為4.8μm(實(shí)施例37)、2.0μm(實(shí)施例38)、1.0μm(實(shí)施例39)、8.0μm(實(shí)施例40)、10μm(實(shí)施例41)、15μm(實(shí)施例42)、18μm(實(shí)施例43)，除此以外，以與實(shí)施例1相同的方式進(jìn)行并進(jìn)行了評(píng)價(jià)。隨著膜厚變薄，層壓泡及濕熱試驗(yàn)的評(píng)價(jià)結(jié)果降低，裂紋和卷褶皺的評(píng)價(jià)結(jié)果得到優(yōu)化。相反，隨著膜厚變厚，裂紋和卷褶皺的評(píng)價(jià)結(jié)果降低，層壓泡及濕熱試驗(yàn)的評(píng)價(jià)結(jié)果得到優(yōu)化。上述范圍內(nèi)的膜厚是性能上沒有問題的等級(jí)。

在上述實(shí)施例1～43中使用的覆蓋膜中，未記載制造商的覆蓋膜的詳細(xì)內(nèi)容如下所述。

·添加粒子聚酯的雙軸拉伸薄膜(實(shí)施例3、11、17)

作為使用于A層的聚酯A，將含有平均粒徑為0.05μm的δ-氧化鋁粒子0.7重量％、平均粒徑為1.1μm的碳酸鈣粒子0.04重量％的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(固有粘度0.63dl/g，羧基末端基團(tuán)量38當(dāng)量/噸)，作為使用于B層的聚酯B，將含有平均粒徑為0.05μm的δ-氧化鋁粒子0.1重量％的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(固有粘度0.64dl/g，羧基末端基團(tuán)量38當(dāng)量/噸)，分別以水分率20ppm進(jìn)行真空干燥之后，分別供給到不同的擠出機(jī)，以280℃進(jìn)行熔融，以成為A層/B層這兩層的方式使聚合物合流之后，從T字型金屬口呈片狀擠出，使其在表面溫度為25℃的冷卻滾筒內(nèi)通過靜電粘附法而冷卻固化。將如此得到的層疊未拉伸薄膜加熱到90℃之后，在長邊方向上，在105℃下拉伸3.6倍，接著，加熱到108℃且在寬度方向上拉伸4.0倍。將該薄膜導(dǎo)入到220℃的熱風(fēng)中，在進(jìn)行3秒鐘的張力熱處理之后，在相同的氣氛溫度內(nèi)，在橫方向上實(shí)施原來的薄膜寬度的5％的松弛并進(jìn)行冷卻，由此得到被雙軸拉伸的層疊聚酯薄膜。該薄膜的厚度為A層為2.0μm且B層為14μm的共計(jì)16μm。作為覆蓋膜而使用B面。

·添加粒子聚酯的雙軸拉伸薄膜A(比較例1、9)

作為聚酯B而使用了含有平均粒徑為0.05μm的δ-氧化鋁粒子0.1重量％、平均粒徑為1.1μm的碳酸鈣粒子0.0016重量％的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(固有粘度0.64dl/g，羧基末端基團(tuán)量38當(dāng)量/噸)，除此以外，以與實(shí)施例3中所使用的添加粒子聚酯的雙軸拉伸薄膜相同的方式制造被雙軸拉伸的層疊聚酯薄膜，最終得到A層為1.0μm且B層為15μm的共計(jì)16μm的薄膜。作為覆蓋膜而使用了B面。

·聚酯的雙軸拉伸16μm薄膜(實(shí)施例7、15)

進(jìn)行雙軸拉伸，以240℃進(jìn)行10分鐘的熱固定之后，將制備成寬度為1,610mm、厚度為16μm的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜用作臨時(shí)支撐體，在其單面涂布下述背面涂布液1，以130℃干燥2分鐘，形成了厚度為0.08μm的背面涂布層。將與背面涂布層的相反一側(cè)的面作為未涂布面而使用。

詳細(xì)內(nèi)容與在日本特開2008-009030號(hào)公報(bào)中所記載的實(shí)施例1中使用的薄膜相同。

〔背面涂布液1〕

丙烯酸樹脂水分散液(JURYMER ET-410，數(shù)均分子量為9,700，重均分子量為17,000，固體成分濃度為30％，TOAGOSEI CO.,LTD.制造)：30.9質(zhì)量份

碳二亞胺交聯(lián)劑水溶液(CARBODILITE V-02-L2，固體成分濃度為40％；Nisshinbo Holdings Inc.制造)：6.4質(zhì)量份

添加劑1(SN38F：ISHIHARA SANGYO KAISHA,LTD.制SnO₂微粒(固體成分17％))：54.5部

表面活性劑(NAROACTY acty HN-100，Sanyo Chemical Industries,Ltd.制造)：0.73質(zhì)量份

表面活性劑(Sandet BL、固體成分濃度43％，Sanyo Chemical Industries,Ltd.制造)：1.44質(zhì)量份

蒸餾水：以總量成為1,000質(zhì)量份的方式進(jìn)行添加

·聚酯的雙軸拉伸38μm薄膜(實(shí)施例18、31)

調(diào)整拉伸度，并將厚度設(shè)為38μm，除此以外，以與上述聚酯的雙軸拉伸16μm薄膜相同的方式進(jìn)行制作。

·聚酯的雙軸拉伸50μm薄膜(實(shí)施例19、32)

通過調(diào)整拉伸度而將厚度設(shè)為50μm，除此以外，以與上述聚酯的雙軸拉伸16μm薄膜相同的方式進(jìn)行制作。

·聚酯的雙軸拉伸75μm薄膜(實(shí)施例20、33)

通過調(diào)整拉伸度而將厚度設(shè)為75μm，除此以外，以與上述聚酯的雙軸拉伸16μm薄膜相同的方式進(jìn)行制作。

·聚醚砜的雙軸拉伸50μm薄膜(實(shí)施例21、34)

相對(duì)于1,3-二氧戊環(huán)40重量份，將芳香族聚醚砜(AMOCO公司制“Udel P-1700”、ηsp/c＝0.41dl/g)10質(zhì)量份，在室溫下一邊攪拌，一邊分3次進(jìn)行添加的結(jié)果，得到了透明且粘稠的濃液。該濃液的30℃下的溶液粘度為4.6×10²cps。使用1.0μm孔徑的過濾器將該濃液進(jìn)行過濾，并去除懸浮物，在室溫下且在密閉狀態(tài)下放置24小時(shí)。其結(jié)果，在該濃液中未發(fā)現(xiàn)任何變化，未確認(rèn)到白濁化或膠凝化現(xiàn)象。利用刮板法使所得到的溶液在玻璃基板上流延之后，以30℃經(jīng)20分鐘、以50℃經(jīng)20分鐘、以80℃經(jīng)20分鐘、進(jìn)而以100℃經(jīng)20分鐘進(jìn)行干燥，并從基板剝離薄膜，得到厚度為50μm的薄膜。所得到的薄膜中不存在發(fā)泡、橘皮皺、波動(dòng)現(xiàn)象而均勻。

·聚碳酸酯的雙軸拉伸50μm薄膜(實(shí)施例22、35)

將由BisA/BCF＝50/50(摩爾比)構(gòu)成的平均分子量37,000的共聚聚碳酸酯樹脂，以成為20質(zhì)量％的方式溶解于二氯甲烷。

而且，使該溶液在玻璃基板上流延。接著，在干燥爐中干燥至殘留溶劑濃度成為13質(zhì)量％，并從玻璃基板上進(jìn)行了剝離。而且，將所得到的聚碳酸酯薄膜，在溫度180℃的干燥爐中，以盡量在縱橫拉力上不產(chǎn)生差異的方式且以可保持薄膜的最小限度的拉力，一邊保持平衡，一邊干燥至該薄膜中的殘留溶劑濃度成為0.1質(zhì)量％，從而得到厚度為50μm的薄膜。

符號(hào)說明

1-透明基板(前面板)，2-掩模層，3-透明電極圖案(第一透明電極圖案)，3a-焊盤部分，3b-連接部分，4-透明電極圖案(第二透明電極圖案)，5-絕緣層，6-其它導(dǎo)電性要件，7-第一透明樹脂層(優(yōu)選具有外涂層或透明保護(hù)層的功能)，8-開口部，10-靜電電容型輸入裝置，11-透明膜，12-第二透明樹脂層(折射率調(diào)整層?？梢跃哂型该鹘^緣層的功能)，13-透明層疊體，21-透明電極圖案、第二透明樹脂層及第一透明樹脂層以該層結(jié)構(gòu)層疊的區(qū)域，22-非圖案區(qū)域，α-錐角，26-臨時(shí)支撐體，29-覆蓋膜，30-轉(zhuǎn)印薄膜，31-卷繞配線的終端部，30-轉(zhuǎn)印薄膜，33-第一透明樹脂層和第二透明樹脂層的固化部，34-與卷繞配線的末端部對(duì)應(yīng)的開口部(第一透明樹脂層和第二透明樹脂層的未固化部)，35-紙管，36-透明樹脂層或第二透明樹脂層。