限位裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可調(diào)式籽晶頭限位裝置，包括滑動(dòng)機(jī)構(gòu)、限位機(jī)構(gòu)、套環(huán)機(jī)構(gòu)；所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置有滑塊(2)的直線滑軌(1)；所述限位機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)(8)、墊塊(16)和金屬擋片(7)；所述兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)(8)分別在墊塊(16)的兩端；相對(duì)應(yīng)于兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)(8)，所述金屬擋片(7)通過(guò)感應(yīng)柱(5)固定在直線滑軌(1)上；所述套環(huán)機(jī)構(gòu)包括帶孔套環(huán)(12)，所述帶孔套環(huán)(12)內(nèi)設(shè)置有軸承(13)，所述軸承(13)內(nèi)設(shè)置有固定線輪(14)；所述帶孔套環(huán)(12)通過(guò)折彎桿(4)固定在滑塊(2)上。
【專利說(shuō)明】
限位裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及晶體生長(zhǎng)設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是涉及一種全自動(dòng)石英熔化爐中的可調(diào)式籽晶頭限位裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]全自動(dòng)石英熔化爐通過(guò)籽晶夾頭卡住現(xiàn)成的石英棒懸掛在爐體內(nèi)進(jìn)行高溫熔化結(jié)晶，籽晶夾頭一端連接著籽晶繩通過(guò)線輪控制升降?，F(xiàn)有的機(jī)械限位反應(yīng)不靈敏，即便籽晶夾頭達(dá)到預(yù)定上下限位位置還會(huì)運(yùn)動(dòng)一段距離，容易使籽晶夾頭碰到上爐蓋，或者石英棒碰到坩堝誘發(fā)事故，且機(jī)械限位要開(kāi)孔密封容易造成漏點(diǎn)；另外，籽晶腔體采用的對(duì)射式光電開(kāi)關(guān)效果也不理想，因?yàn)榫€輪做直線和旋轉(zhuǎn)復(fù)合運(yùn)動(dòng)，即便光電開(kāi)關(guān)在軸向位置被阻擋產(chǎn)生信號(hào)，但徑向產(chǎn)生的位移過(guò)大，達(dá)不到理想的控制精度。此外，這兩種傳統(tǒng)的限位裝置上下限位位置很難調(diào)節(jié)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型目的是提供一種全自動(dòng)石英熔化爐中的限位裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在上下限位控制精度不夠，限位位置很難調(diào)節(jié)等技術(shù)問(wèn)題。
[0004]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種限位裝置，包括滑動(dòng)機(jī)構(gòu)、限位機(jī)構(gòu)、套環(huán)機(jī)構(gòu)；所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置有滑塊的直線滑軌；所述限位機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)、墊塊和金屬擋片；所述兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)分別在墊塊的兩端，由墊塊形成限位位移；相對(duì)應(yīng)于兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)，所述金屬擋片通過(guò)感應(yīng)柱固定在直線滑軌上；所述套環(huán)機(jī)構(gòu)包括帶孔套環(huán)，所述帶孔套環(huán)內(nèi)設(shè)置有軸承，所述軸承內(nèi)設(shè)置有固定線輪的空間；所述帶孔套環(huán)通過(guò)折彎桿固定在滑塊上。
[0005]作為對(duì)本實(shí)用新型所述的限位裝置的改進(jìn):所述墊塊的兩端分別設(shè)置有螺桿，所述兩個(gè)螺桿上分別設(shè)置有調(diào)節(jié)塊，所述兩個(gè)調(diào)節(jié)塊上分別設(shè)置感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)，所述兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)和墊塊之間分別設(shè)置有彈簧。
[0006]作為對(duì)本實(shí)用新型所述的限位裝置的進(jìn)一步改進(jìn):所述金屬擋片上設(shè)置有長(zhǎng)孔；所述金屬擋片由螺栓I穿過(guò)長(zhǎng)孔后固定在感應(yīng)柱上。
[0007]作為對(duì)本實(shí)用新型所述的限位裝置的進(jìn)一步改進(jìn):所述帶孔套環(huán)通過(guò)過(guò)盈配合與軸承的外圈相互固定，所述軸承的內(nèi)圈通過(guò)過(guò)盈配合的形式設(shè)置有線輪。
[0008]作為對(duì)本實(shí)用新型所述的限位裝置的進(jìn)一步改進(jìn):所述感應(yīng)柱和滑塊之間通過(guò)焊接固定。
[0009]作為對(duì)本實(shí)用新型所述的限位裝置的進(jìn)一步改進(jìn):所述折彎桿的一端插入滑塊后，通過(guò)螺栓II固定在滑塊上；所述帶孔套環(huán)插入折彎桿的另外一端后，通過(guò)螺栓III固定在折彎桿的另外一端上。
[0010]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)具有可以精確的控制上線限位的位置，且可以適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)上下限位位置等特點(diǎn)。線輪帶動(dòng)套環(huán)機(jī)構(gòu)來(lái)控制滑動(dòng)機(jī)構(gòu)的直線運(yùn)動(dòng)，因只傳遞了軸向直線運(yùn)動(dòng)，使得軸向位移的精度顯著提高，感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)對(duì)微量的位移變化反應(yīng)靈敏高，精確控制上下限位的位置。感應(yīng)柱開(kāi)有槽口和金屬擋片可以通過(guò)螺栓調(diào)節(jié)，來(lái)改變上下限位位置，此外也可以通過(guò)螺桿調(diào)節(jié)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)的位置，來(lái)控制上下限位的位置，操作簡(jiǎn)便，容易控制。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是本實(shí)用新型的主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2是本實(shí)用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0013]實(shí)施例1、圖1和圖2給出了一種全自動(dòng)石英熔化爐中的可調(diào)式籽晶限位裝置，主要由滑動(dòng)機(jī)構(gòu)、限位機(jī)構(gòu)、套環(huán)機(jī)構(gòu)等組成。
[0014]滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括直線滑軌I和滑塊2，滑塊2設(shè)置在直線滑軌1，可以沿著直線滑軌I進(jìn)行滑動(dòng)。限位機(jī)構(gòu)包括墊塊16、感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)8和金屬擋片7。墊塊16的左右兩端分別設(shè)置有螺桿9，兩個(gè)螺桿9上分別固定有調(diào)節(jié)塊10，所述兩個(gè)調(diào)節(jié)塊10上分別設(shè)置感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)8，所述兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)8和墊塊16之間分別設(shè)置有彈簧11 ;通過(guò)兩個(gè)螺桿9與墊塊16形成限位的位移，而兩個(gè)螺桿9與墊塊16之間均為螺紋連接，通過(guò)旋轉(zhuǎn)螺桿9就可以調(diào)節(jié)限位位移值的大小。相對(duì)應(yīng)于兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)8設(shè)置金屬擋片7，金屬擋片7通過(guò)感應(yīng)柱5固定在滑塊2上，感應(yīng)柱5與滑塊2之間通過(guò)焊接固定；而金屬擋片7上設(shè)置有長(zhǎng)孔，由螺栓I 6穿過(guò)長(zhǎng)孔后，將金屬擋片7由固定在感應(yīng)柱5上；該金屬擋片7通過(guò)長(zhǎng)孔可以進(jìn)行位置的微調(diào)。套環(huán)機(jī)構(gòu)包括帶孔套環(huán)12，帶孔套環(huán)12內(nèi)設(shè)置軸承13，帶孔套環(huán)12通過(guò)過(guò)盈配合與軸承13的外圈相互固定，而軸承13的內(nèi)圈通過(guò)過(guò)盈配合的形式設(shè)置有線輪14 ;帶孔套環(huán)12通過(guò)折彎桿4與滑塊2相互固定，折彎桿4的一端插入滑塊2，并通過(guò)螺栓II 3固定在滑塊2上；帶孔套環(huán)12插入折彎桿4的另外一端后，通過(guò)螺栓III15固定在折彎桿4的另外一端上。
[0015]在實(shí)際使用的時(shí)候，直線滑軌I固定在籽晶腔體底板上，墊塊16固定在籽晶腔體側(cè)板上，通過(guò)兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)8和金屬擋片7相配合完成限位的功能。
[0016]工作時(shí)的步驟如下:
[0017]1、線輪14與電機(jī)(一般選用步進(jìn)電機(jī))相互連接，通過(guò)電機(jī)帶動(dòng)線輪14做軸向直線和徑向往返運(yùn)動(dòng)；
[0018]2、線輪14軸向的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)軸承13的內(nèi)圈和軸承13的外圈做相對(duì)運(yùn)動(dòng)，而無(wú)法帶動(dòng)帶孔套環(huán)12做相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)；而由于軸承13的外圈與帶孔套環(huán)12之間相互固定，所以線輪14帶動(dòng)帶孔套環(huán)12實(shí)現(xiàn)徑向往返運(yùn)動(dòng)；并通過(guò)折彎桿4帶動(dòng)滑塊2沿著直線滑軌I做出相應(yīng)的徑向往返運(yùn)動(dòng)；
[0019]3、滑塊2通過(guò)感應(yīng)柱5帶動(dòng)金屬擋片7做相應(yīng)的徑向往返運(yùn)動(dòng)，而相應(yīng)的，當(dāng)金屬擋片7靠近感應(yīng)式接近開(kāi)光8的時(shí)候，感應(yīng)式接近開(kāi)光8就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的控制信號(hào)，通過(guò)該控制信號(hào)、兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)光8之間的位移值、線輪14轉(zhuǎn)動(dòng)的速率等值，就能計(jì)算出當(dāng)前上下限位位置；
[0020]因帶空套環(huán)12只傳遞了軸向運(yùn)動(dòng)，使得軸向位移的精度顯著提高，感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)對(duì)微量的位移變化反應(yīng)靈敏高，精確控制上下限位的位置。感應(yīng)柱5上開(kāi)有槽口(長(zhǎng)孔)和金屬擋片7可以通過(guò)螺栓6調(diào)節(jié)，從而改變上下限位位置，而且也可以通過(guò)螺桿9調(diào)節(jié)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)8的位置，從而控制上下限位的位置，操作簡(jiǎn)便，容易控制。
[0021]最后，還需要注意的是，以上列舉的僅是本發(fā)明的一個(gè)具體實(shí)施例。顯然，本發(fā)明不限于以上實(shí)施例，還可以有許多變形。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能從本發(fā)明公開(kāi)的內(nèi)容直接導(dǎo)出或聯(lián)想到的所有變形，均應(yīng)認(rèn)為是本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種限位裝置，包括滑動(dòng)機(jī)構(gòu)、限位機(jī)構(gòu)、套環(huán)機(jī)構(gòu)；其特征是:所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置有滑塊(2)的直線滑軌(1)； 所述限位機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)(8)、墊塊(16)和金屬擋片(7)； 所述兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)(8)分別在墊塊(16)的兩端；相對(duì)應(yīng)于兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)(8)，所述金屬擋片(7)通過(guò)感應(yīng)柱(5)固定在直線滑軌(1)上； 所述套環(huán)機(jī)構(gòu)包括帶孔套環(huán)(12)，所述帶孔套環(huán)(12)內(nèi)設(shè)置有軸承(13)，所述軸承(13)內(nèi)設(shè)置有固定線輪(14);所述帶孔套環(huán)(12)通過(guò)折彎桿(4)固定在滑塊(2)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限位裝置，其特征是:所述墊塊(16)的兩端分別設(shè)置有螺桿(9)，所述兩個(gè)螺桿(9)上分別設(shè)置有調(diào)節(jié)塊(10)，所述兩個(gè)調(diào)節(jié)塊(10)上分別設(shè)置感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)(8)，所述兩個(gè)感應(yīng)式接近開(kāi)關(guān)(8)和墊塊(16)之間分別設(shè)置有彈簧(11)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的限位裝置，其特征是:所述金屬擋片(7)上設(shè)置有長(zhǎng)孔； 所述金屬擋片(7)由螺栓I (6)穿過(guò)長(zhǎng)孔后固定在感應(yīng)柱(5)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的限位裝置，其特征是:所述帶孔套環(huán)(12)通過(guò)過(guò)盈配合與軸承(13)的外圈相互固定，所述軸承(13)的內(nèi)圈通過(guò)過(guò)盈配合的形式設(shè)置線輪(14)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的限位裝置，其特征是:所述感應(yīng)柱(5)和滑塊(2)之間通過(guò)焊接固定。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的限位裝置，其特征是:所述折彎桿(4)的一端插入滑塊(2)后，通過(guò)螺栓II (3)固定在滑塊(2)上； 所述帶孔套環(huán)(12)插入折彎桿(4)的另外一端后，通過(guò)螺栓III (15)固定在折彎桿(4)的另外一端上。
【文檔編號(hào)】C30B35/00GK204138823SQ201420588269
【公開(kāi)日】2015年2月4日 申請(qǐng)日期:2014年10月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月11日
【發(fā)明者】崔東凱, 李保華, 杜防修, 劉浦鋒, 宋洪偉, 陳猛 申請(qǐng)人:上海超硅半導(dǎo)體有限公司