一種分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置及含有此進(jìn)氣裝置的擴(kuò)散爐的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置及含有此進(jìn)氣裝置的擴(kuò)散爐。該分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置包括進(jìn)氣管和石英直管，進(jìn)氣管的出氣端與石英直管的一端相連接，石英直管的管壁開設(shè)有第一小孔，第一小孔為內(nèi)窄外寬的圓錐形。本實(shí)用新型的分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置通過石英直管的第一小孔使工藝化學(xué)氣體均勻的噴淋在硅片上，并提高了氣流的均勻性，保證了硅片方塊電阻的均勻性，減小了廢片的產(chǎn)生，提高了產(chǎn)品的合格率。
【專利說明】一種分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置及含有此進(jìn)氣裝置的擴(kuò)散爐

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散爐【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置及含有此 進(jìn)氣裝置的擴(kuò)散爐。

【背景技術(shù)】
[0002] 擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立 器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。
[0003] 現(xiàn)有使用的擴(kuò)散爐，擴(kuò)散氣體進(jìn)入爐體后垂直于硅片表面流動(dòng)，難以在硅片背面 及硅片間隙內(nèi)均勻分布，嚴(yán)重影響硅片方塊電阻均勻性。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0004] 針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型一方面提供了一種分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置，該 分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置通過石英直管使工藝化學(xué)氣體均勻的噴淋在硅片上，并提高了氣流 的均勻性，保證了硅片方塊電阻的均勻性，減小了廢片的產(chǎn)生，提高了產(chǎn)品的合格率。
[0005] -種分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置，包括進(jìn)氣管和石英直管，進(jìn)氣管的出氣端與石英直 管的一端相連接，石英直管的管壁開設(shè)有第一小孔，第一小孔為內(nèi)窄外寬的圓錐形。
[0006] 優(yōu)選的，第一小孔在石英直管的管壁上均布設(shè)置。
[0007] 本實(shí)用新型另一方面提供了含有上述分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置的擴(kuò)散爐，該擴(kuò)散爐 提高了氣流的均勻性，保證了硅片方塊電阻的均勻性，減小了廢片的產(chǎn)生，提高了產(chǎn)品的合 格率。
[0008] -種含有上述分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置的擴(kuò)散爐，包括爐體，爐體內(nèi)設(shè)有石英舟，石 英舟上放置有硅片，石英直管位于硅片的上方。
[0009] 優(yōu)選的，石英舟中部開設(shè)有盲孔，石英舟上部開設(shè)有第二小孔，第二小孔與盲孔相 通，盲孔的開口處連接有出氣管。
[0010] 優(yōu)選的，爐體內(nèi)設(shè)有連接裝置，連接裝置與石英直管相連接。
[0011] 優(yōu)選的，爐體內(nèi)設(shè)有氣壓傳感器，進(jìn)氣管上設(shè)有進(jìn)氣閥，進(jìn)氣閥上連接有根據(jù)氣壓 傳感器的信號(hào)來調(diào)節(jié)進(jìn)氣閥開度的控制裝置。
[0012] 優(yōu)選的，該擴(kuò)散爐還包括轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，石英直管的另一端穿過所述連接裝置與轉(zhuǎn)動(dòng) 裝置相連接，石英直管在轉(zhuǎn)動(dòng)裝置帶動(dòng)下沿中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0013] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下有益效果：本實(shí)用新型提供的一種分散式 擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置包括進(jìn)氣管和石英直管，進(jìn)氣管的出氣端與石英直管的一端相連接，石英 直管的管壁開設(shè)有第一小孔，第一小孔為內(nèi)窄外寬的圓錐形。本實(shí)用新型的分散式擴(kuò)散爐 進(jìn)氣裝置通過石英直管使工藝化學(xué)氣體充分分散并均勻的噴淋在硅片上，并提高了氣流的 均勻性，保證了硅片方塊電阻的均勻性，減小了廢片的產(chǎn)生，提高了產(chǎn)品的合格率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014] 圖1為現(xiàn)有擴(kuò)散爐的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015] 圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016] 附圖標(biāo)示如下：1_進(jìn)氣管、2-石英直管、3-硅片、4-連接裝置、5-轉(zhuǎn)動(dòng)裝置、6-石 英舟、7-出氣管。

【具體實(shí)施方式】
[0017] 以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述。
[0018] 參見圖1，本實(shí)施例一方面提供的一種分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置，包括進(jìn)氣管1和石 英直管2,進(jìn)氣管1的出氣端與石英直管2的一端相連接，石英直管2的管壁開設(shè)有第一小 孔，第一小孔為內(nèi)窄外寬的圓錐形，第一小孔在石英直管2的管壁上均布設(shè)置。
[0019] 化學(xué)工藝氣體通過石英直管2的第一小孔充分分散進(jìn)入爐體內(nèi)并均勻噴淋在硅 片3上，有效提高爐體內(nèi)氣場的均勻性，第一小孔為內(nèi)窄外寬的圓錐形，有利于化學(xué)工藝氣 體充分到達(dá)硅片3的每個(gè)角落，實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片3全面的噴淋，從而保證了硅片3方塊電阻的均 勻性，從而減小了廢片的產(chǎn)生，提高了產(chǎn)品的合格率，本實(shí)用新型只需將開設(shè)有第一小孔的 石英直管2與現(xiàn)有擴(kuò)散爐的進(jìn)氣管1的出氣端相連，充分利用了現(xiàn)有擴(kuò)散爐，結(jié)構(gòu)簡單、節(jié) 約成本。
[0020] 本實(shí)施例另一方面提供的一種含有上述分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置的擴(kuò)散爐，包括爐 體，爐體內(nèi)設(shè)有石英舟6,石英舟6上放置有硅片3,石英直管2位于硅片3的上方，石英舟6 中部開設(shè)有盲孔，石英舟6上部開設(shè)有第二小孔，第二小孔與盲孔相通，盲孔的開口處連接 有出氣管7,爐體內(nèi)設(shè)有連接裝置4,連接裝置4與石英直管2相連接。
[0021] 化學(xué)工藝氣體通過石英管的第一小孔噴淋位于下面的硅片3上，再通過石英舟6 上的第二小孔，進(jìn)入盲孔和出氣管7,化學(xué)工藝氣體從上至下充分、均勻的對(duì)硅片3進(jìn)行噴 淋，從而更好的保證了硅片3方塊電阻的均勻性，連接裝置4與石英直管2相連接，可以增 強(qiáng)石英直管2的穩(wěn)定性。
[0022] 優(yōu)選的，爐體內(nèi)設(shè)有氣壓傳感器，進(jìn)氣管1上設(shè)有進(jìn)氣閥，進(jìn)氣閥上連接有根據(jù)氣 壓傳感器的信號(hào)來調(diào)節(jié)進(jìn)氣閥開度的控制裝置。本實(shí)施例可通過氣壓傳感器實(shí)現(xiàn)對(duì)爐體 內(nèi)的氣壓實(shí)時(shí)監(jiān)控，并可以通過控制裝置對(duì)爐體內(nèi)氣壓進(jìn)行及時(shí)調(diào)節(jié)，使其氣壓保持穩(wěn)定， 是化學(xué)氣體均勻穩(wěn)定的噴淋在硅片3上，保證了硅片3方塊電阻的均勻性，減小了廢片的產(chǎn) 生，提商了廣品的合格率。
[0023] 優(yōu)選的，該擴(kuò)散爐還包括轉(zhuǎn)動(dòng)裝置5,石英直管2的另一端穿過所述連接裝置4與 轉(zhuǎn)動(dòng)裝置5相連接，石英直管2在轉(zhuǎn)動(dòng)裝置5帶動(dòng)下沿中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0024] 石英直管2在轉(zhuǎn)動(dòng)裝置5帶動(dòng)下沿中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，使化學(xué)工藝氣體通過第一小孔達(dá) 到充分分散，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)氣場的優(yōu)化分布，使化學(xué)工藝氣體更加均勻噴淋在硅片3上。
[0025] 申請(qǐng)人:聲明，本實(shí)用新型通過上述實(shí)施例來說明本實(shí)用新型的詳細(xì)結(jié)構(gòu)和工藝， 但本實(shí)用新型并不局限于上述詳細(xì)結(jié)構(gòu)和工藝，即不意味著本實(shí)用新型必須依賴上述詳細(xì) 結(jié)構(gòu)和工藝才能實(shí)施。所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員應(yīng)該明白，對(duì)本實(shí)用新型的任何改進(jìn)，對(duì)本 實(shí)用新型產(chǎn)品各原料的等效替換及輔助成分的添加、具體方式的選擇等，均落在本實(shí)用新 型的保護(hù)范圍和公開范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置，其特征在于，包括進(jìn)氣管（1)和石英直管（2)，所述進(jìn) 氣管（1)的出氣端與所述石英直管（2)的一端相連接，所述石英直管（2)的管壁開設(shè)有第 一小孔，所述第一小孔為內(nèi)窄外寬的圓錐形。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述第一小孔在所述 石英直管（2)的管壁上均布設(shè)置。
3. -種含有權(quán)利要求1所述的分散式擴(kuò)散爐進(jìn)氣裝置的擴(kuò)散爐，其特征在于，包括爐 體，所述爐體內(nèi)設(shè)有石英舟（6)，所述石英舟（6)上放置有硅片（3)，所述石英直管（2)位于 所述硅片（3)的上方。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的擴(kuò)散爐，其特征在于，所述石英舟（6)中部開設(shè)有盲孔，所述 石英舟（6)上部開設(shè)有第二小孔，所述第二小孔與所述盲孔相通，所述盲孔的開口處連接 有出氣管（7)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的擴(kuò)散爐，其特征在于，所述爐體內(nèi)設(shè)有連接裝置（4)，所述連 接裝置（4)與所述石英直管（2)相連接。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的擴(kuò)散爐，其特征在于，所述爐體內(nèi)設(shè)有氣壓傳感器，所述進(jìn)氣 管（1)上設(shè)有進(jìn)氣閥，所述進(jìn)氣閥上連接有根據(jù)氣壓傳感器的信號(hào)來調(diào)節(jié)進(jìn)氣閥開度的控 制裝置。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的擴(kuò)散爐，其特征在于，還包括轉(zhuǎn)動(dòng)裝置（5)，所述石英直管（2) 的另一端穿過所述連接裝置（4)與轉(zhuǎn)動(dòng)裝置（5)相連接，所述石英直管（2)在所述轉(zhuǎn)動(dòng)裝 置（5)帶動(dòng)下沿中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
【文檔編號(hào)】C30B31/16GK204023004SQ201420381048
【公開日】2014年12月17日 申請(qǐng)日期:2014年7月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月10日
【發(fā)明者】沈少杰 申請(qǐng)人:蘇州矽美仕綠色新能源有限公司