一種臥式擴(kuò)散爐的自動(dòng)送料裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種臥式擴(kuò)散爐的自動(dòng)送料裝置，通過升降機(jī)構(gòu)操控懸臂下降，可在推拉舟將懸臂及其裝載的晶舟水平送入擴(kuò)散爐的爐管后，將晶舟卸于爐管內(nèi)的支撐平臺(tái)上，使懸臂可退出爐管，只留晶舟單獨(dú)接受擴(kuò)散工藝，從而提高了擴(kuò)散工藝質(zhì)量和生產(chǎn)效率，并可節(jié)約使用維護(hù)成本。
【專利說明】一種臥式擴(kuò)散爐的自動(dòng)送料裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備的自動(dòng)送料系統(tǒng)，更具體地，涉及一種臥式擴(kuò)散爐的采用懸臂式推拉舟的自動(dòng)送料裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，半導(dǎo)體和太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)所使用的臥式擴(kuò)散爐的主要工藝形式是采用“懸臂擴(kuò)散”工藝。請(qǐng)參閱圖1?圖2，圖1?圖2是現(xiàn)有的一種臥式擴(kuò)散爐的自動(dòng)送料系統(tǒng)的工作狀態(tài)示意圖。如圖1所示，現(xiàn)有的臥式擴(kuò)散爐采用懸臂式推拉舟形式進(jìn)行自動(dòng)送料，其自動(dòng)送料系統(tǒng)水平設(shè)置在臥式擴(kuò)散爐爐管24的送料窗口 23外部，主要包括I個(gè)用于送料的推拉舟7，推拉舟7的前端設(shè)有I個(gè)水平懸臂12，推拉舟7下方設(shè)有水平滑軌4。自動(dòng)送料系統(tǒng)在工作時(shí)，先將一組硅片并列垂直裝入晶舟10，再將裝有硅片的晶舟10放在懸臂12上。然后，推拉舟7沿滑軌4向圖示的右側(cè)方向水平移動(dòng)(如圖中箭頭所指)，將懸臂12及其承載的晶舟10送入爐管24進(jìn)行工藝。如圖2所示，工藝時(shí)懸臂12留在爐管24內(nèi)，處于懸停狀態(tài)，與晶舟10及硅片一起接受工藝過程；推拉舟7在爐管24外，并通過送料窗口 23處設(shè)置的工藝門與爐管24隔離。工藝后推拉舟7再將懸臂12和晶舟10—起向左拉出(如圖中箭頭所指)。這種推拉舟能自動(dòng)水平往返運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)硅片的自動(dòng)裝入和卸出。
[0003]在上述現(xiàn)有的臥式擴(kuò)散爐的自動(dòng)送料方式過程中，由于懸臂攜帶晶舟進(jìn)入爐管后，是同晶舟一起停留在爐管內(nèi)接受工藝的(如圖2的狀態(tài)所示)，因此存在以下缺陷:
[0004]1、懸臂阻擋了來自爐管底部的熱能，對(duì)其承載的晶舟中的硅片形成“陰影效應(yīng)”，對(duì)工藝的均勻性將產(chǎn)生一定的不利影響；
[0005]2、在工藝過程中，工藝氣體會(huì)沉積在懸臂上，當(dāng)懸臂在進(jìn)出料的過程中，易產(chǎn)生顆粒等副產(chǎn)物，影響顆粒指標(biāo)的降低，并會(huì)對(duì)凈化工作區(qū)造成二次污染，使得清洗周期變短，且增加了清洗工作量；
[0006]3、由于懸臂長(zhǎng)時(shí)間在高溫爐管中停留，縮短了其使用壽命；
[0007]4、由于工藝氣體會(huì)沉積在懸臂上，因此加大了工藝氣體的注入量，增加了損耗。
[0008]隨著硅片擴(kuò)散阻值的增加、對(duì)其擴(kuò)散均勻性要求的不斷提高，以及工藝副產(chǎn)物對(duì)硅片的二次污染越來越嚴(yán)重，上述現(xiàn)有的懸臂擴(kuò)散方式已經(jīng)不能滿足半導(dǎo)體和太陽(yáng)能行業(yè)發(fā)展的要求。因此，需要對(duì)現(xiàn)有的自動(dòng)送料系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn)，使其能夠更好地完成送料過程，提高擴(kuò)散工藝質(zhì)量。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種新的臥式擴(kuò)散爐的自動(dòng)送料裝置，可在推拉舟將懸臂及其裝載的晶舟水平送入擴(kuò)散爐的爐管后，通過升降機(jī)構(gòu)操控懸臂下降將晶舟卸于爐管內(nèi)的支撐平臺(tái)上，使懸臂可退出爐管，只留晶舟單獨(dú)接受擴(kuò)散工藝，從而提高了擴(kuò)散工藝質(zhì)量。
[0010]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0011]一種臥式擴(kuò)散爐的自動(dòng)送料裝置，設(shè)置在所述擴(kuò)散爐的爐管外，包括推拉舟、推拉舟前端設(shè)有的水平懸臂、推拉舟下方設(shè)有的水平滑軌，所述懸臂用于將其裝載的晶舟送入和送出所述爐管，其特征在于，還包括設(shè)于所述滑軌下方的升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)連接所述滑軌，所述推拉舟通過帶動(dòng)所述懸臂將所述晶舟水平送入所述爐管，所述升降機(jī)構(gòu)通過驅(qū)動(dòng)所述滑軌下降，帶動(dòng)所述懸臂下降，將所述晶舟卸在所述爐管底部設(shè)有的支撐平臺(tái)上后水平退出所述爐管，使所述晶舟單獨(dú)接受擴(kuò)散工藝，并在擴(kuò)散工藝完成后，再次將所述晶舟裝起水平送出所述爐管。
[0012]優(yōu)選地，所述升降機(jī)構(gòu)包括一步進(jìn)電機(jī)，所述步進(jìn)電機(jī)的水平轉(zhuǎn)軸連接渦輪蝸桿升降機(jī)，所述渦輪蝸桿升降機(jī)的蝸桿垂直轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述滑軌，所述滑軌二端分別與垂直固設(shè)的第一支撐架、第二支撐架形成垂直滑動(dòng)連接，所述步進(jìn)電機(jī)固接所述第一支撐架或所述第二支撐架。
[0013]優(yōu)選地，所述渦輪蝸桿升降機(jī)包括第一渦輪蝸桿升降機(jī)、第二渦輪蝸桿升降機(jī)，所述步進(jìn)電機(jī)固接所述第一支撐架，所述第一、第二渦輪蝸桿升降機(jī)分別豎直連接在所述步進(jìn)電機(jī)水平轉(zhuǎn)軸的步進(jìn)電機(jī)近端和遠(yuǎn)端，所述第一、第二渦輪蝸桿升降機(jī)的蝸桿分別垂直轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述滑軌，位于所述步進(jìn)電機(jī)水平轉(zhuǎn)軸遠(yuǎn)端的所述第二渦輪蝸桿升降機(jī)固接所述第二支撐架。
[0014]優(yōu)選地，所述滑軌的底面分設(shè)有支承座，所述第一、第二渦輪蝸桿升降機(jī)的所述蝸桿上端與所述支承座轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
[0015]優(yōu)選地，所述滑軌二端與所述第一、第二支撐架之間通過相垂直配合安裝的導(dǎo)柱和導(dǎo)套形成滑動(dòng)連接。
[0016]優(yōu)選地，所述滑軌二端分設(shè)有所述導(dǎo)套，所述第一、第二支撐架分設(shè)有與所述導(dǎo)套相垂直滑動(dòng)配合的所述導(dǎo)柱，所述滑軌通過所述導(dǎo)套與所述導(dǎo)柱的配合安裝，在所述第一、第二支撐架上垂直滑動(dòng)。
[0017]優(yōu)選地，所述支撐架設(shè)有中空內(nèi)部和連通中空內(nèi)部的開口，所述導(dǎo)柱和導(dǎo)套配合設(shè)于所述中空內(nèi)部，所述導(dǎo)柱與所述支撐架的中空內(nèi)壁固接，所述導(dǎo)套通過所述開口與所述滑軌相固接。
[0018]優(yōu)選地，所述開口的高度用作所述滑軌的垂直升降限位。
[0019]優(yōu)選地，還包括第三支撐架，所述第三支撐架垂直固設(shè)于所述第一、第二支撐架之間，所述第三支撐架設(shè)有軸承孔，所述軸承孔設(shè)有軸承，所述步進(jìn)電機(jī)的所述轉(zhuǎn)軸穿過所述軸承并形成轉(zhuǎn)動(dòng)配合，所述第一、第二、第三支撐架通過第四支撐架相固接。
[0020]優(yōu)選地，所述支撐平臺(tái)為相對(duì)設(shè)于所述爐管底部的若干對(duì)等高的支撐腳，所述支撐腳的高度大于所述懸臂的厚度，所述懸臂在所述推拉舟的帶動(dòng)下，從相對(duì)的所述支撐腳之間穿過，并在所述升降機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下，將所述懸臂裝載的所述晶舟卸下或裝起。
[0021]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明通過升降機(jī)構(gòu)，在推拉舟將懸臂及其裝載的晶舟水平送入擴(kuò)散爐的爐管后，可操控懸臂下降將晶舟卸于爐管底部的支撐平臺(tái)上，使懸臂可退出爐管，只留晶舟單獨(dú)接受擴(kuò)散工藝，避免了懸臂對(duì)擴(kuò)散工藝的影響；升降機(jī)構(gòu)采用步進(jìn)電機(jī)能保證懸臂升降的微小控制；采用二副渦輪蝸桿升降機(jī)實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng)，可合理分配受力；滑軌與支撐架之間通過導(dǎo)柱、導(dǎo)套相滑動(dòng)配合，可保證升降的平穩(wěn)控制；限位開口設(shè)計(jì)可防止誤動(dòng)作時(shí)出現(xiàn)危險(xiǎn)。因此，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0022]1、懸臂可退出爐管不經(jīng)受工藝，消除了其對(duì)擴(kuò)散工藝過程產(chǎn)生的“陰影效應(yīng)”，可使得硅片均勻性提高0.5%。
[0023]2、可避免工藝氣體沉積在懸臂上，因此，在進(jìn)出料的過程中基本上消除了副產(chǎn)物的生成，大大地減少了對(duì)凈化工作區(qū)的二次污染，清洗間隔時(shí)間可提高一倍。
[0024]3、由于懸臂不會(huì)長(zhǎng)時(shí)間在爐管中停留，避開了高溫烘烤的影響，使用壽命可延長(zhǎng)20 ?30%。
[0025]4、節(jié)約了工藝氣體的注入量，注入量可減少10%，因此，工藝氣體的使用量節(jié)約了10%。
[0026]5、尤為明顯的是，以往擴(kuò)散爐石英爐管的清洗周期一般為3個(gè)月，使用本裝置后，爐管的清洗周期可以延長(zhǎng)到4?5個(gè)月，甚至更長(zhǎng)的時(shí)間(根據(jù)硅片的工藝數(shù)據(jù)而定)，因此節(jié)約了使用成本，提高了工藝質(zhì)量。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1?圖2是現(xiàn)有的一種臥式擴(kuò)散爐的自動(dòng)送料系統(tǒng)的工作狀態(tài)示意圖；
[0028]圖3是本發(fā)明一種臥式擴(kuò)散爐的自動(dòng)送料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖4?圖6是本發(fā)明一種臥式擴(kuò)散爐的自動(dòng)送料裝置的工作狀態(tài)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0030]下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0031]需要說明的是，在下述的【具體實(shí)施方式】中，在詳述本發(fā)明的實(shí)施方式時(shí)，為了清楚地表示本發(fā)明的結(jié)構(gòu)以便于說明，特對(duì)附圖中的結(jié)構(gòu)不依照一般比例繪圖，并進(jìn)行了局部放大、變形及簡(jiǎn)化處理，因此，應(yīng)避免以此作為對(duì)本發(fā)明的限定來加以理解。
[0032]在下述【具體實(shí)施方式】中，先請(qǐng)參閱圖3，圖3是本發(fā)明一種臥式擴(kuò)散爐的自動(dòng)送料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，本發(fā)明的自動(dòng)送料裝置，與圖1所示的現(xiàn)有的一種臥式擴(kuò)散爐的自動(dòng)送料系統(tǒng)同樣設(shè)置，安裝在擴(kuò)散爐爐管24的送料窗口 23外部(本圖示省略了位于自動(dòng)送料裝置右側(cè)的爐管部分)，包括推拉舟7、推拉舟7前端設(shè)有水平懸臂12、懸臂12上承載有晶舟10、推拉舟7下方朝向所述送料窗口(即位于圖示右側(cè)方向)設(shè)有水平滑軌4以及滑軌4下方連接設(shè)置的升降機(jī)構(gòu)。
[0033]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3。所述升降機(jī)構(gòu)包括一步進(jìn)電機(jī)21，所述步進(jìn)電機(jī)21的水平轉(zhuǎn)軸16連接渦輪蝸桿升降機(jī)20。渦輪蝸桿升降機(jī)的數(shù)量可設(shè)置I個(gè)或2個(gè)，作為一可選實(shí)施例，渦輪蝸桿升降機(jī)可為一臺(tái)，可設(shè)置在滑軌中部附近位置與步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸連接，在此情況下，步進(jìn)電機(jī)的水平轉(zhuǎn)軸遠(yuǎn)端將直接活動(dòng)連接第二支撐架。如設(shè)置2個(gè)實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng)，可合理分配受力，屬于公知常識(shí)。作為本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施例，采用按圖示位置設(shè)置2個(gè)渦輪蝸桿升降機(jī)，即第一渦輪蝸桿升降機(jī)20、第二渦輪蝸桿升降機(jī)20’。其中，所述步進(jìn)電機(jī)21通過水平轉(zhuǎn)軸16分別與所述第一渦輪蝸桿升降機(jī)20、第二渦輪蝸桿升降機(jī)20’的渦輪連接(屬于公知技術(shù)，本例不作展開說明)，所述第一輪蝸桿升降機(jī)20豎直連接在所述步進(jìn)電機(jī)21水平轉(zhuǎn)軸16的靠近步進(jìn)電機(jī)側(cè)的近端，所述第二渦輪蝸桿升降機(jī)20’豎直連接在所述步進(jìn)電機(jī)21水平轉(zhuǎn)軸16的遠(yuǎn)離步進(jìn)電機(jī)側(cè)的遠(yuǎn)端。由于所述第一渦輪蝸桿升降機(jī)20、第二渦輪蝸桿升降機(jī)20’之間的跨度較大，實(shí)際安裝時(shí)，采用了 2副聯(lián)軸器15將所述第一渦輪蝸桿升降機(jī)20、第二渦輪蝸桿升降機(jī)20’的渦輪桿連接在一起，并與步進(jìn)電機(jī)21自身的轉(zhuǎn)軸共同構(gòu)成了水平轉(zhuǎn)軸16。
[0034]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3。所述第一、第二渦輪蝸桿升降機(jī)20、20’的蝸桿19的上端分別垂直轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述滑軌4的下端，作為本發(fā)明的一種實(shí)現(xiàn)形式，所述滑軌4的底面對(duì)應(yīng)部位設(shè)有2個(gè)下端帶有軸孔的支承座18，所述第一、第二渦輪蝸桿升降機(jī)20、20’的所述蝸桿19的上端可插入支承座18的軸孔與所述支承座18形成轉(zhuǎn)動(dòng)連接。當(dāng)啟動(dòng)步進(jìn)電機(jī)21時(shí)，轉(zhuǎn)軸16的水平轉(zhuǎn)動(dòng)力矩傳遞至渦輪蝸桿升降機(jī)20、20’的渦輪，渦輪轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)蝸桿19沿垂直方向轉(zhuǎn)動(dòng)上升或下降，可將所述滑軌4頂起或降落，帶動(dòng)所述滑軌4上推拉舟7前端連接的懸臂12的垂直升降。
[0035]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3。在所述滑軌4的二端側(cè)分別垂直固設(shè)有第一支撐架6、第二支撐架13，所述滑軌4的二端分別與所述第一支撐架6、第二支撐架13形成可沿垂直方向滑動(dòng)的滑動(dòng)連接，所述第一支撐架6、第二支撐架13的一個(gè)作用是支撐所述滑軌4。所述滑軌4的二端與所述第一、第二支撐架6、13之間通過相配合安裝的導(dǎo)柱和導(dǎo)套形成滑動(dòng)連接。作為優(yōu)選的具體連接方式，在所述第一、第二支撐架6、13分別對(duì)應(yīng)設(shè)有中空內(nèi)部25 (局部圖示了在第一支撐架6開設(shè)的I個(gè)中空內(nèi)部25)和連通中空內(nèi)部25的豎直條形開口 5，所述導(dǎo)柱2和導(dǎo)套3配合設(shè)于所述中空內(nèi)部25，其中，所述導(dǎo)柱2通過其下端部I與所述支撐架6、13的中空內(nèi)部25的內(nèi)壁固接，所述導(dǎo)套3套設(shè)在所述導(dǎo)柱2外周形成可垂直滑動(dòng)的間隙配合，并在所述導(dǎo)套3的外壁通過連接件穿過所述開口 5與所述滑軌4的二端分別相固接。如果將相配合的導(dǎo)柱、導(dǎo)套設(shè)于所述支撐架6、13的外部也是可以的，但設(shè)于所述支撐架6、13的內(nèi)部可節(jié)約空間。
[0036]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3。作為優(yōu)選，所述開口 5可用作所述滑軌4的垂直升降限位，開口5的高度距離決定了滑軌4也就是推拉舟7及懸臂12的垂直升降區(qū)間。限位開口的設(shè)計(jì)可防止誤動(dòng)作時(shí)出現(xiàn)危險(xiǎn)。
[0037]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3。所述步進(jìn)電機(jī)21通過其底面固定安裝的支架22與所述第一支撐架6固定安裝連接，所述第一渦輪蝸桿升降機(jī)20的底面也固定安裝在支架22上，所述第二渦輪蝸桿升降機(jī)20’的底面固定安裝在支架14上，支架14與所述第二支撐架13固定安裝連接。這樣，整個(gè)升降機(jī)構(gòu)就得到了固定及支撐。
[0038]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3。優(yōu)選地，由于所述第一渦輪蝸桿升降機(jī)20、第二渦輪蝸桿升降機(jī)20’之間的跨度較大，為避免轉(zhuǎn)軸16發(fā)生彎曲變形，需要對(duì)轉(zhuǎn)軸進(jìn)行支撐。方法是在所述第一、第二支撐架6、13之間垂直增設(shè)第三支撐架9，并在所述第三支撐架9對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)軸高度位置加工一軸承孔，在所述軸承孔內(nèi)安裝有軸承17，例如可采用滾珠軸承形式，將所述轉(zhuǎn)軸16穿過所述軸承17形成轉(zhuǎn)動(dòng)配合，可起到很好的支撐和轉(zhuǎn)動(dòng)配合效果。
[0039]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3。由于整個(gè)自動(dòng)送料裝置具有相當(dāng)?shù)闹亓?，為了形成更穩(wěn)固的結(jié)構(gòu)，優(yōu)選地，可將所述第一、第二、第三支撐架6、9、13通過與其固定連接的水平第四支撐架8穩(wěn)固地安裝在一起形成一框架結(jié)構(gòu)的支撐機(jī)構(gòu)。
[0040]最后，請(qǐng)參閱圖4?圖6，圖4?圖6是本發(fā)明一種臥式擴(kuò)散爐的自動(dòng)送料裝置的工作狀態(tài)示意圖。如圖4所示，本發(fā)明的自動(dòng)送料裝置在工作時(shí)，于擴(kuò)散工藝之前，先將一組硅片(圖示省略)并列垂直裝入晶舟10，再將裝有硅片的晶舟10放在懸臂12上，懸臂12從晶舟10底部中間將晶舟10叉起。然后，推拉舟7沿滑軌4向圖示的右側(cè)方向水平移動(dòng)(如圖中箭頭所指)，將懸臂12上裝載的晶舟10送入爐管24準(zhǔn)備進(jìn)行擴(kuò)散工藝。在爐管24內(nèi)對(duì)應(yīng)晶舟10的工藝位置處的底部?jī)?nèi)壁上安裝有支撐平臺(tái)11，所述支撐平臺(tái)11為相對(duì)設(shè)置的若干對(duì)等高的支撐腳，例如圖示里外相對(duì)設(shè)置的2對(duì)支撐腳。所述支撐腳的高度大于所述懸臂12的厚度，每對(duì)支撐腳的間距大于懸臂12的寬度。
[0041]接著，如圖5所示，在晶舟10的水平工藝位置到位后(即位于支撐平臺(tái)11的支撐腳正上方)，推拉舟7停止水平移動(dòng)，懸臂12在爐管24內(nèi)處于懸停狀態(tài)，推拉舟7位于爐管24外。此時(shí)，晶舟10及懸臂12的底面與支撐平臺(tái)11的支撐腳頂部保持有一定距離。
[0042]然后，如圖6所示，升降機(jī)構(gòu)執(zhí)行下降動(dòng)作，即啟動(dòng)圖3中的步進(jìn)電機(jī)21轉(zhuǎn)動(dòng)(促使蝸桿19下降的電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)方向)，轉(zhuǎn)軸16的水平轉(zhuǎn)動(dòng)力矩傳遞至渦輪蝸桿升降機(jī)20、20’的渦輪，渦輪轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)蝸桿19沿垂直方向轉(zhuǎn)動(dòng)下降，促使所述滑軌4降落，帶動(dòng)所述滑軌4上推拉舟7前端連接的懸臂12的垂直下降(如圖6中垂直方向的箭頭所指)。當(dāng)懸臂12下降至晶舟10的底面接觸到支撐平臺(tái)11的支撐腳時(shí)，可控制懸臂緩慢繼續(xù)下降，直至懸臂12與晶舟10的底面脫離為止。此時(shí)，晶舟10即被卸于支撐平臺(tái)11的支撐腳之上，升降機(jī)構(gòu)執(zhí)行停止下降動(dòng)作，推拉舟7向左側(cè)水平移動(dòng)，將懸臂12向左從相對(duì)設(shè)置的2對(duì)支撐腳之間的空隙抽出，拉出爐管24(如圖中水平箭頭所指)。之后，關(guān)閉工藝門，只留晶舟10在爐管24內(nèi)，并開始進(jìn)行工藝，晶舟10內(nèi)裝有的硅片即可均勻地接受工藝，基本不會(huì)發(fā)生“陰影效應(yīng)”和受到顆粒副產(chǎn)物的影響。
[0043]工藝結(jié)束后，按上述的反向動(dòng)作，懸臂12先水平進(jìn)入爐管24內(nèi)，并從支撐平臺(tái)11的支撐腳之間穿過，然后，升降機(jī)構(gòu)執(zhí)行上升動(dòng)作，將懸臂12升起并將晶舟10從支撐平臺(tái)11的支撐腳上托起，再將晶舟10通過懸臂12從爐管24內(nèi)再拉出，完成整個(gè)工藝過程。支撐架6、13設(shè)有的限位開口 5，可防止誤動(dòng)作時(shí)懸臂12過度下降撞擊到支撐平臺(tái)11的支撐腳，防止?fàn)t管24底部受撞擊而出現(xiàn)損壞的危險(xiǎn)。
[0044]綜上所述，本發(fā)明的自動(dòng)送料裝置通過推拉舟沿滑軌水平移動(dòng)，可將懸臂上裝載的晶舟水平送入和送出爐管；并可通過升降機(jī)構(gòu)的升降，帶動(dòng)懸臂的升降，將晶舟在所述爐管內(nèi)利用支撐平臺(tái)載起和卸下，使懸臂在進(jìn)行擴(kuò)散工藝時(shí)可離開爐管，只留晶舟單獨(dú)接受工藝，避免了懸臂停留在爐管內(nèi)而對(duì)擴(kuò)散工藝的結(jié)果造成不利影響。
[0045]以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種臥式擴(kuò)散爐的自動(dòng)送料裝置，設(shè)置在所述擴(kuò)散爐的爐管外，包括推拉舟、推拉舟前端設(shè)有的水平懸臂、推拉舟下方設(shè)有的水平滑軌，所述懸臂用于將其裝載的晶舟送入和送出所述爐管，其特征在于，還包括設(shè)于所述滑軌下方的升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)連接所述滑軌，所述推拉舟通過帶動(dòng)所述懸臂將所述晶舟水平送入所述爐管，所述升降機(jī)構(gòu)通過驅(qū)動(dòng)所述滑軌下降，帶動(dòng)所述懸臂下降，將所述晶舟卸在所述爐管底部設(shè)有的支撐平臺(tái)上后水平退出所述爐管，使所述晶舟單獨(dú)接受擴(kuò)散工藝，并在擴(kuò)散工藝完成后，再次將所述晶舟裝起水平送出所述爐管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)包括一步進(jìn)電機(jī)，所述步進(jìn)電機(jī)的水平轉(zhuǎn)軸連接渦輪蝸桿升降機(jī)，所述渦輪蝸桿升降機(jī)的蝸桿垂直轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述滑軌，所述滑軌二端分別與垂直固設(shè)的第一支撐架、第二支撐架形成垂直滑動(dòng)連接，所述步進(jìn)電機(jī)固接所述第一支撐架或所述第二支撐架。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述渦輪蝸桿升降機(jī)包括第一渦輪蝸桿升降機(jī)、第二渦輪蝸桿升降機(jī)，所述步進(jìn)電機(jī)固接所述第一支撐架，所述第一、第二渦輪蝸桿升降機(jī)分別豎直連接在所述步進(jìn)電機(jī)水平轉(zhuǎn)軸的步進(jìn)電機(jī)近端和遠(yuǎn)端，所述第一、第二渦輪蝸桿升降機(jī)的蝸桿分別垂直轉(zhuǎn)動(dòng)連接所述滑軌，位于所述步進(jìn)電機(jī)水平轉(zhuǎn)軸遠(yuǎn)端的所述第二渦輪蝸桿升降機(jī)固接所述第二支撐架。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述滑軌的底面分設(shè)有支承座，所述第一、第二渦輪蝸桿升降機(jī)的所述蝸桿上端與所述支承座轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述滑軌二端與所述第一、第二支撐架之間通過相垂直配合安裝的導(dǎo)柱和導(dǎo)套形成滑動(dòng)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述滑軌二端分設(shè)有所述導(dǎo)套，所述第一、第二支撐架分設(shè)有與所述導(dǎo)套相垂直滑動(dòng)配合的所述導(dǎo)柱，所述滑軌通過所述導(dǎo)套與所述導(dǎo)柱的配合安裝，在所述第一、第二支撐架上垂直滑動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述支撐架設(shè)有中空內(nèi)部和連通中空內(nèi)部的開口，所述導(dǎo)柱和導(dǎo)套配合設(shè)于所述中空內(nèi)部，所述導(dǎo)柱與所述支撐架的中空內(nèi)壁固接，所述導(dǎo)套通過所述開口與所述滑軌相固接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述開口的高度用作所述滑軌的垂直升降限位。
9.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的自動(dòng)送料裝置，其特征在于，還包括第三支撐架，所述第三支撐架垂直固設(shè)于所述第一、第二支撐架之間，所述第三支撐架設(shè)有軸承孔，所述軸承孔設(shè)有軸承，所述步進(jìn)電機(jī)的所述轉(zhuǎn)軸穿過所述軸承并形成轉(zhuǎn)動(dòng)配合，所述第一、第二、第三支撐架通過第四支撐架相固接。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)送料裝置，其特征在于，所述支撐平臺(tái)為相對(duì)設(shè)于所述爐管底部的若干對(duì)等高的支撐腳，所述支撐腳的高度大于所述懸臂的厚度，所述懸臂在所述推拉舟的帶動(dòng)下，從相對(duì)的所述支撐腳之間水平穿過，并在所述升降機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下，將所述懸臂裝載的所述晶舟卸下或裝起。
【文檔編號(hào)】C30B31/00GK104328502SQ201410637488
【公開日】2015年2月4日 申請(qǐng)日期:2014年11月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月6日
【發(fā)明者】郝曉明, 桂曉波, 肖東輝 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司