技術編號：8098526
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。專利摘要本發(fā)明公開了一種臥式擴散爐的自動送料裝置，通過升降機構操控懸臂下降，可在推拉舟將懸臂及其裝載的晶舟水平送入擴散爐的爐管后，將晶舟卸于爐管內(nèi)的支撐平臺上，使懸臂可退出爐管，只留晶舟單獨接受擴散工藝，從而提高了擴散工藝質(zhì)量和生產(chǎn)效率，并可節(jié)約使用維護成本。專利說明一種臥式擴散爐的自動送料裝置 技術領域 [0001]本發(fā)明涉及一種半導體設備的自動送料系統(tǒng)，更具體地，涉及一種臥式擴散爐的采用懸臂式推拉舟的自動送料裝置。 背景技術 [0002]目前，半導體和太陽能產(chǎn)業(yè)所使用的臥式擴散爐的主要工藝形式是采用“懸...
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