一種砷化鎵基多晶無(wú)液封合成裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明一種砷化鎵基多晶無(wú)液封合成裝置提供一種包括合成爐體和位于所述合成爐體內(nèi)的石墨系統(tǒng)，石墨系統(tǒng)包括保溫單元、加熱單元和合成單元，所述保溫單元包括石墨保溫罩和石墨保溫桶，所述加熱單元包括電極、加熱器和外圍溫控電路，所述合成單元、以及所述加熱單元中的電極和加熱器位于所述保溫單元的內(nèi)部，所述加熱單元中的加熱器和電極位于所述合成單元外圍中下部，所述合成單元包括石墨坩堝蓋、石墨坩堝和氮化硼坩堝，其特征在于，所述石墨系統(tǒng)還包括使所述合成單元升降轉(zhuǎn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)單元，所述運(yùn)動(dòng)單元與所述合成單元、所述合成爐體相連接；所述石墨坩堝和所述石墨坩堝蓋在連接處設(shè)計(jì)有互相嚙合的臺(tái)階形狀。
【專利說(shuō)明】一種砷化鎵基多晶無(wú)液封合成裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種砷化鎵基多晶的無(wú)液封接合成裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]近年以來(lái)，隨著電子設(shè)備的迅速發(fā)展，越來(lái)越多半導(dǎo)體材料應(yīng)用在光電器件中，例如砷化鎵基多晶等半導(dǎo)體材料，而砷化鎵基多晶等半導(dǎo)體材料在自然界中沒(méi)有，需要人工合成來(lái)獲得，但是目前現(xiàn)有的砷化鎵基多晶的合成工藝存在著眾多缺陷和不便，并且其合成工藝流程復(fù)雜，合成的砷化鎵基多晶的結(jié)晶性不好并且成品率較低。因此，尋找一種能夠避免以上缺陷的無(wú)液封接合成裝置成為目前最為迫切的需要。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明提供一種砷化鎵基多晶無(wú)液封合成裝置，包括合成爐體和位于所述合成爐體內(nèi)的石墨系統(tǒng)，石墨系統(tǒng)包括保溫單元、加熱單元和合成單元，所述保溫單元包括石墨保溫罩和石墨保溫桶，所述加熱單元包括電極、加熱器和外圍溫控電路，所述合成單元、以及所述加熱單元中的電極和加熱器位于所述保溫單元的內(nèi)部，所述加熱單元中的加熱器和電極位于所述合成單元外圍中下部，所述合成單元包括石墨坩堝蓋、石墨坩堝和氮化硼坩堝，其特征在于，所述石墨系統(tǒng)還包括使所述合成單元升降轉(zhuǎn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)單元，所述運(yùn)動(dòng)單元與所述合成單元、所述合成爐體相連接；所述石墨坩堝和所述石墨坩堝蓋在連接處設(shè)計(jì)有互相嚙合的臺(tái)階形狀。

【具體實(shí)施方式】
[0004]下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。應(yīng)理解，這些實(shí)施例僅用于說(shuō)明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本發(fā)明講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明作各種改動(dòng)或修改，這些等價(jià)形式同樣落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求書(shū)所限定的范圍。
[0005]該砷化鎵基多晶無(wú)液封合成裝置，包括合成爐體和位于所述合成爐體內(nèi)的石墨系統(tǒng)，石墨系統(tǒng)包括保溫單元、加熱單元和合成單元，所述保溫單元包括石墨保溫罩和石墨保溫桶，所述加熱單元包括電極、加熱器和外圍溫控電路，所述合成單元、以及所述加熱單元中的電極和加熱器位于所述保溫單元的內(nèi)部，所述加熱單元中的加熱器和電極位于所述合成單元外圍中下部，所述合成單元包括石墨坩堝蓋、石墨坩堝和氮化硼坩堝，其特征在于，所述石墨系統(tǒng)還包括使所述合成單元升降轉(zhuǎn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)單元，所述運(yùn)動(dòng)單元與所述合成單元、所述合成爐體相連接；所述石墨坩堝和所述石墨坩堝蓋在連接處設(shè)計(jì)有互相嚙合的臺(tái)階形狀。
【權(quán)利要求】
1.一種砷化鎵基多晶無(wú)液封合成裝置，包括合成爐體和位于所述合成爐體內(nèi)的石墨系統(tǒng)，石墨系統(tǒng)包括保溫單元、加熱單元和合成單元，所述保溫單元包括石墨保溫罩和石墨保溫桶，所述加熱單元包括電極、加熱器和外圍溫控電路，所述合成單元、以及所述加熱單元中的電極和加熱器位于所述保溫單元的內(nèi)部，所述加熱單元中的加熱器和電極位于所述合成單元外圍中下部，所述合成單元包括石墨坩堝蓋、石墨坩堝和氮化硼坩堝，其特征在于，所述石墨系統(tǒng)還包括使所述合成單元升降轉(zhuǎn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)單元，所述運(yùn)動(dòng)單元與所述合成單元、所述合成爐體相連接；所述石墨坩堝和所述石墨坩堝蓋在連接處設(shè)計(jì)有互相嚙合的臺(tái)階形狀。
【文檔編號(hào)】C30B29/42GK104328499SQ201410521834
【公開(kāi)日】2015年2月4日 申請(qǐng)日期:2014年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月30日
【發(fā)明者】劉振宇, 方清平 申請(qǐng)人:青島康和食品有限公司