技術(shù)編號：8097341
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利摘要本發(fā)明一種砷化鎵基多晶無液封合成裝置提供一種包括合成爐體和位于所述合成爐體內(nèi)的石墨系統(tǒng)，石墨系統(tǒng)包括保溫單元、加熱單元和合成單元，所述保溫單元包括石墨保溫罩和石墨保溫桶，所述加熱單元包括電極、加熱器和外圍溫控電路，所述合成單元、以及所述加熱單元中的電極和加熱器位于所述保溫單元的內(nèi)部，所述加熱單元中的加熱器和電極位于所述合成單元外圍中下部，所述合成單元包括石墨坩堝蓋、石墨坩堝和氮化硼坩堝，其特征在于，所述石墨系統(tǒng)還包括使所述合成單元升降轉(zhuǎn)動的運動單元，所述運動單元與所述合成單元、所述合成爐體相連接；所述石墨坩...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。