專利名稱：一種用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置。
背景技術(shù)：
擴散爐是集成電路生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一。它的主要用途是對半導(dǎo)體進行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。擴散爐的爐口如處于敞開狀態(tài)，會使得腔內(nèi)具有毒性的氣體容易泄漏到外界環(huán)境中，也將導(dǎo)致爐內(nèi)熱量向外擴散，增加擴散爐的熱量損失，從而導(dǎo)致額外增加擴散爐的加熱功率,并且擴散熱量會對室內(nèi)環(huán)境產(chǎn)生熱輻射。由于連續(xù)式擴散爐在工作過程中，送舟槳要不斷地進出爐管，機械爐門就需頻繁地開合，這樣就會對爐管內(nèi)溫度場和流場造成嚴重干擾，影響均勻性。而且送舟槳停留在爐管中的時間遠長于其完全在爐管外的時間，這樣就導(dǎo)致一般的機械爐門處于閉合的時間很短，幾乎起不到密封隔離作用，使大量反應(yīng)氣體和熱量流失。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明的目的是提供一種用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置。采用多層空氣簾進行密封，隔離爐管內(nèi)外界環(huán)境，使送舟槳即便停留在爐管中也能起到很好的密封效果，由于不存在機械爐門的不斷開合，也不會對爐內(nèi)氣體和溫度產(chǎn)生干擾。為了達到上述 目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
一種用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置，包括氣簾管，風(fēng)箱，氣簾形成導(dǎo)向壁和出風(fēng)口 ；所述氣簾管固定在所述風(fēng)箱的頂部，氣簾管上固定有進風(fēng)口，所述氣簾形成導(dǎo)向壁成漏斗形，所述出風(fēng)口連接于氣簾形成導(dǎo)向壁的下部。所述的氣簾管下部開有0.2mm長的條縫形出風(fēng)口。所述氣簾管的個數(shù)至少為2個。所述氣簾管上進風(fēng)口的個數(shù)至少為2個。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有如下突出的實質(zhì)性特點和顯著的進步:
本發(fā)明采用多層氣簾進行密封，隔離爐管內(nèi)外界環(huán)境，即使送舟槳停留在爐管中也能起到很好的密封效果，由于不存在機械爐門的不斷開合，也不會對爐內(nèi)氣體和溫度產(chǎn)生干擾，保證爐內(nèi)反應(yīng)氣體的純凈度。氣簾管設(shè)有0.2mm長的條縫形出風(fēng)口，出風(fēng)口設(shè)有漏斗狀導(dǎo)向壁，可以縮小氣簾出風(fēng)口的寬度，達到氣簾更強勁和擴散爐使用更節(jié)能的效果，并提高溫控精度，使爐內(nèi)溫度均勻，保證氣場均勻分布，從而極大提高擴散的質(zhì)量。


圖1是用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置示意圖。圖2是用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置氣簾管局部放大圖。
圖3是用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置剖視圖。圖4是用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置氣簾管的條縫形出風(fēng)口示意圖。圖5是用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置氣簾管示意圖。
圖6是用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置氣簾管剖視圖。
具體實施例方式參見圖1-圖6，一種用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置，固定于擴散爐5的出入口端，包括氣簾管1，風(fēng)箱2，氣簾形成導(dǎo)向壁3和出風(fēng)口 4;所述氣簾管I固定在所述風(fēng)箱2的頂部，氣簾管I上固定有進風(fēng)口 6，所述氣簾形成導(dǎo)向壁3成漏斗形，所述出風(fēng)口 4連接于氣簾形成導(dǎo)向壁3的下部。所述的氣簾管I下部開有0.2mm長的條縫形出風(fēng)口 7。所述氣簾管I的個數(shù)至少為2個。所述氣簾管I上進風(fēng)口 6的個數(shù)至少為2個。鼓風(fēng)機鼓出的風(fēng)通過進風(fēng)口 6進入，由氣簾管I中的0.2mm長條縫出風(fēng)口 7射入風(fēng)箱2，同時在出風(fēng)口 4加載負壓，在氣簾形成導(dǎo)向壁3下形成多層氣簾，將爐管與外界環(huán)境隔離密封。
權(quán)利要求
1.一種用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置，其特征在于，包括氣簾管(1)，風(fēng)箱(2)，氣簾形成導(dǎo)向壁(3)和出風(fēng)口(4);所述氣簾管(I)固定在所述風(fēng)箱(2)的頂部，氣簾管(I)上固定有進風(fēng)口(6)，所述氣簾形成導(dǎo)向壁(3)成漏斗形，所述出風(fēng)口(4)連接于氣簾形成導(dǎo)向壁(3)的下部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置，其特征在于，所述的氣簾管(I)下部開有0.2mm長的條縫形出風(fēng)口(7)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置，其特征在于，所述氣簾管(I)的個數(shù)至少為2個。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置，其特征在于，所述氣簾管(I)上進風(fēng)口 (6)的個數(shù)至少為2個。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于連續(xù)式擴散爐的多層氣簾隔離裝置，包括氣簾管，風(fēng)箱，氣簾形成導(dǎo)向壁和出風(fēng)口；所述氣簾管固定在所述風(fēng)箱的頂部，氣簾管上固定有進風(fēng)口，所述氣簾形成導(dǎo)向壁成漏斗形，所述出風(fēng)口連接于氣簾形成導(dǎo)向壁的下部。采用本裝置可以形成多層氣簾隔離屏，從而將連續(xù)通過式擴散爐管與外界常溫常壓環(huán)境隔離，防止爐管內(nèi)具有毒性的氣體外泄到車間環(huán)境影響操作工人身體健康。隔離屏將爐管內(nèi)的熱量外泄降至最小，使得爐管內(nèi)持續(xù)保持高溫。本發(fā)明實現(xiàn)節(jié)能環(huán)保的同時提高溫控精度，使爐內(nèi)溫度、氣場分布均勻，從而極大提高擴散的質(zhì)量。
文檔編號C30B31/16GK103147131SQ201310070088
公開日2013年6月12日 申請日期2013年3月6日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月6日
發(fā)明者陸利新, 張生才, 李桂琴, 陳榮蓮 申請人:上海大學(xué)