專利名稱：一種擴散爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種太陽能電池制造設(shè)備，具體是指一種太陽能硅晶片自動擴散爐。
背景技術(shù)：
目前太陽能電池的制造包含有多個工序，如硅片清洗、制絨等等，在上述的工序中都需要將硅片進行擴散。目前業(yè)內(nèi)在生產(chǎn)中都是通過人工輔助實現(xiàn)石英舟入爐和硅片擴散，無法實現(xiàn)全自動生產(chǎn)。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種可自動將石英舟入爐、把硅片進行擴散的擴散爐。 本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種擴散爐，包括機架，所述的機架由爐門開關(guān)裝置和設(shè)于爐門開關(guān)裝置左右兩側(cè)的左架體和右架體組成，所述的左架體上依次設(shè)置有上下排列的傳送裝置和工控系統(tǒng)裝置，所述的右架體上依次設(shè)置有左右排列的硅片擴散裝置和空氣凈化裝置。其中，所述的爐門開關(guān)裝置由爐門、驅(qū)動爐門上下移動的第一氣缸和驅(qū)動爐門左右移動的第二氣缸組成。進一步，所述的硅片擴散裝置包括擴散爐體、設(shè)于擴散爐體內(nèi)的石英管以及設(shè)于石英管上的充排氣管，擴散爐體外設(shè)有熱偶感應(yīng)線。更進一步，所述的空氣凈化裝置包括與石英管連接的恒溫槽以及與恒溫槽連接的石英瓶。本實用新型的有益效果是通過爐門開關(guān)裝置、硅片擴散裝置和空氣凈化裝置依次實現(xiàn)石英舟的入爐以及硅片的擴散，作為自主研發(fā)的系統(tǒng)，本擴散爐通過獨特的工藝實現(xiàn)硅片的高效擴散。

圖I是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型爐門開關(guān)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型硅片擴散裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實用新型空氣凈化裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步詳細說明。參照圖I至圖4所示，本實用新型公開了一種擴散爐，包括機架，所述的機架由爐門開關(guān)裝置3和設(shè)于爐門開關(guān)裝置3左右兩側(cè)的左架體11和右架體12組成，所述的左架體11上依次設(shè)置有上下排列的傳送裝置2和工控系統(tǒng)裝置6，所述的右架體12上依次設(shè)置有左右排列的硅片擴散裝置4和空氣凈化裝置5 ;其中，傳送裝置2由機械手及碳化硅槳和高溫保護外罩組成，機械手固定碳化硅槳并將石英舟送入爐體內(nèi)擴散，高溫保護外罩可以很好的保護機械手及其它零器件的正常運，所述的爐門開關(guān)裝置3由爐門31、驅(qū)動爐門31上下移動的第一氣缸32和驅(qū)動爐門31左右移動的第二氣缸33組成，爐門開關(guān)裝置3通過兩個氣缸傳動實現(xiàn)爐門開關(guān)，第一氣缸32拉動爐門31上下移動,第二氣缸33拉動爐門31整體左右移動，所述的硅片擴散裝置4包括擴散爐體41、設(shè)于擴散爐體41內(nèi)的石英管42以及設(shè)于石英管42上的充排氣管43，用于將氮氣充入以及廢氣排出，擴散爐體41外設(shè)有熱偶感應(yīng)線44，所述的空氣凈化裝置5包括與石英管42連接的恒溫槽51以及與恒溫槽51連接的石英瓶52，由恒溫槽51將爐體內(nèi)排出到石英瓶52中的廢氣進行冷卻無公害處理。以上所述的僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。·
權(quán)利要求1.一種擴散爐，包括機架，其特征在于所述的機架由爐門開關(guān)裝置(3)和設(shè)于爐門開關(guān)裝置(3)左右兩側(cè)的左架體(11)和右架體(12)組成，所述的左架體(11)上依次設(shè)置有上下排列的傳送裝置(2)和工控系統(tǒng)裝置￠)，所述的右架體(12)上依次設(shè)置有左右排列的硅片擴散裝置(4)和空氣凈化裝置(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的擴散爐，其特征在于，所述的爐門開關(guān)裝置(3)由爐門(31)、驅(qū)動爐門(31)上下移動的第一氣缸(32)和驅(qū)動爐門(31)左右移動的第二氣缸(33)組成。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的擴散爐，其特征在于，所述的硅片擴散裝置(4)包括擴散爐體(41)、設(shè)于擴散爐體(41)內(nèi)的石英管(42)以及設(shè)于石英管(42)上的充排氣管(43)，擴散爐體(41)外設(shè)有熱偶感應(yīng)線(44)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的擴散爐，其特征在于，所述的空氣凈化裝置(5)包括與石英管(42)連接的恒溫槽(51)以及與恒溫槽(51)連接的石英瓶(52)。
專利摘要本實用新型公開了一種擴散爐，包括機架，所述的機架由爐門開關(guān)裝置和設(shè)于爐門開關(guān)裝置左右兩側(cè)的左架體和右架體組成，所述的左架體上依次設(shè)置有上下排列的傳送裝置和工控系統(tǒng)裝置，所述的右架體上依次設(shè)置有左右排列的硅片擴散裝置和空氣凈化裝置；本實用新型通過爐門開關(guān)裝置、硅片擴散裝置和空氣凈化裝置依次實現(xiàn)石英舟的入爐以及硅片的擴散，作為自主研發(fā)的系統(tǒng)，本擴散爐通過獨特的工藝實現(xiàn)硅片的高效擴散。
文檔編號C30B31/06GK202705570SQ201220235938
公開日2013年1月30日 申請日期2012年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月19日
發(fā)明者梁明剛 申請人:東莞市啟天自動化設(shè)備有限公司