專利名稱：磷擴散爐爐管爐帽的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及半導體分立器件和太陽能電池片的制造領域。
背景技術：
磷擴散是半導體分立器件、集成電路芯片和太陽能電池片制作PN結所必須的一道工藝，目前這道工藝所采用的技術是熱擴散技術。半導體分立器件主要用于制造二極管、三極管、功率器件、IGBT及晶閘管等，該系列產(chǎn)品在國內(nèi)有上百億的銷售額，產(chǎn)能非常龐大。另一方面作為太陽能電池片的用途，硅片運用也非常廣泛，全球70%以上的太陽能電池片是使用硅片作為電池片的。2011年已經(jīng)實現(xiàn)25GW的產(chǎn)能，多晶用量達到18萬噸是半導體用量的6倍，因此太陽能的產(chǎn)量比半導體產(chǎn)量更大。國內(nèi)能夠生產(chǎn)太陽能電池硅片廠家約120多家，而能夠生產(chǎn)半導體分立器件擴散片的廠家也達到幾十家。用于磷擴散的擴散爐每個廠家基本有幾十臺到上百臺，市場需求量很大。目前市場上技術成熟的磷擴散技術主要有三種:1、采用液態(tài)三氯氧磷源擴散；2、采用噴涂磷酸水溶液后鏈式擴散；3、采用磷源紙夾層后鏈式擴散。這三種磷擴散的方法以液態(tài)磷源擴散的方法具有生產(chǎn)效率較高，得到PN結均勻、平整和擴散層表面良好等優(yōu)點，因此運用范圍最廣，生產(chǎn)廠家普遍采用該方法進行大批量生產(chǎn)。磷擴散方法的結構圖如

圖1所示，磷擴散的化學反應方程式如下:
權利要求
1.磷擴散爐爐管爐帽，包括底部封閉的圓筒形石英材質(zhì)帽體，其特征在于:所述帽體底部設有一向外凸出的開口延嘴，所述帽體底部內(nèi)壁焊接有一石英卡環(huán)，所述開口延嘴設置在卡環(huán)底面與帽體底壁之間。
2.根據(jù)權利要求1所述的磷擴散爐爐管爐帽，其特征在于:所述帽體底部外壁焊接有一石英把手。
3.根據(jù)權利要求2所述的磷擴散爐爐管爐帽，其特征在于:所述開口延嘴長度控制在3-5cm,開口延嘴內(nèi)徑控制在0.5-lcm。
4.根據(jù)權利要求3所述的磷擴散爐爐管爐帽，其特征在于:所述卡環(huán)厚度等于帽體底部壁厚。`
全文摘要
本發(fā)明公開了一種磷擴散爐爐管爐帽，包括底部封閉的圓筒形石英材質(zhì)帽體，所述帽體底部設有一向外凸出的開口延嘴，所述帽體底部內(nèi)壁焊接有一石英卡環(huán)，所述開口延嘴設置在卡環(huán)底面與帽體底壁之間。所述帽體底部外壁焊接有一石英把手。本發(fā)明的爐帽套接在爐管開口上，爐帽采用石英材質(zhì)，熱穩(wěn)定性高，石英爐帽底部側(cè)面的開口延嘴正對抽風管進風口用于釋放磷擴散爐的爐管排出的三氯氧磷氣體，帽體底部內(nèi)壁焊接有一石英卡環(huán)，卡環(huán)距底部剛好留有開口延嘴的寬度，爐管口部頂接在卡環(huán)上不至于堵住開口延嘴，在爐帽底部焊接石英的把手方便了操作。
文檔編號C30B31/16GK103103614SQ20131001827
公開日2013年5月15日 申請日期2013年1月17日 優(yōu)先權日2013年1月17日
發(fā)明者陳功 申請人:陳功