專(zhuān)利名稱(chēng):基于導(dǎo)模法的多模具晶體生長(zhǎng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及晶體生長(zhǎng)領(lǐng)域,尤其涉及實(shí)現(xiàn)導(dǎo)模法多模具晶體生長(zhǎng)的裝置。
背景技術(shù):
人工晶體材料處于新材料科學(xué)發(fā)展的前沿,功能晶體材料貫穿高技術(shù)的許多領(lǐng)域,已經(jīng)成為微電子、光學(xué)、激光、遙感、通訊、航天、宇航等高科技發(fā)展的重要物質(zhì)基礎(chǔ)。隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展,現(xiàn)代工業(yè)對(duì)藍(lán)寶石窗口材料的需求量愈來(lái)愈大。一直以來(lái)藍(lán)寶石單晶窗口材料都是依賴(lài)傳統(tǒng)的加工工藝。傳統(tǒng)的加工工藝,是將藍(lán)寶石毛坯棒經(jīng)滾圓、切割、研磨得到的,工序多、時(shí)間長(zhǎng)、有效利用率低、加工材料浪費(fèi)嚴(yán)重。而導(dǎo)模法具有一次成型、生長(zhǎng)速度快、節(jié)省原料、減少加工工序的優(yōu)點(diǎn)成為獲得藍(lán)寶石窗口材料一個(gè)非常有 優(yōu)勢(shì)的方法。對(duì)于導(dǎo)模法生長(zhǎng)晶體,模具數(shù)量愈多生長(zhǎng)的晶片數(shù)量就愈多,因此單位時(shí)間內(nèi)生長(zhǎng)的晶體質(zhì)量就越大,而且實(shí)現(xiàn)導(dǎo)模法的多模具同時(shí)生長(zhǎng)還具有節(jié)能降耗的優(yōu)點(diǎn)。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型目的就是為了彌補(bǔ)已有技術(shù)的缺陷,提供一種在單位時(shí)間內(nèi)生長(zhǎng)出多數(shù)量晶體的多模具晶體生長(zhǎng)裝置。本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的—種基于導(dǎo)模法的多模具晶體生長(zhǎng)裝置,包括有坩堝、若干個(gè)模具、保溫罩、籽晶桿和籽晶,所述的若干個(gè)模具成星形均勻排列在所述坩堝內(nèi),各模具之間的夾角大小為360度/模具數(shù)量,模具的中心位置在以坩堝中心為圓心的圓周上,所述的保溫罩罩在坩堝的上方,所述的保溫罩從上到下開(kāi)有與所述的模具數(shù)量和形狀相匹配的貫通孔,在晶體提拉上引時(shí),用于容納晶體,保溫罩外輪廓的中心與星形中心在同一中心線上,所述的籽晶桿上部連接一螺母,下部有數(shù)量與模具相同的凸出部分,每個(gè)凸出部分均安裝一個(gè)籽晶夾頭,每個(gè)籽晶夾頭安裝一個(gè)籽晶,所述的籽晶為直桶形,每個(gè)籽晶通過(guò)保溫罩上的貫通孔對(duì)準(zhǔn)一個(gè)模具。所述的坩堝內(nèi)放2到36個(gè)模具;所述的保溫罩還可以是圓柱形的,內(nèi)部沿圓柱的軸方向開(kāi)有圓柱形通孔,通孔與保溫罩外輪廓為同心圓柱體。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是本實(shí)用新型使用了多個(gè)模具用與晶體的生長(zhǎng),可使在單位時(shí)間內(nèi)生長(zhǎng)的晶體數(shù)量多,質(zhì)量大,具有節(jié)省原料、加工工序少的優(yōu)點(diǎn)。
圖I為模具在坩堝內(nèi)的放置位置示意圖。圖2為星形保溫罩截面圖。圖3為圓柱形保溫罩截面圖。圖4為籽晶桿和籽晶夾頭正視圖。[0014]圖5為籽晶桿和籽晶夾頭的俯視圖。
具體實(shí)施方式
一種基于導(dǎo)模法的多模具晶體生長(zhǎng)裝置,包括有坩堝I、若干個(gè)模具2、保溫罩4、籽晶桿9和籽晶,所述的若干個(gè)模具2成星形均勻排列在所述坩堝I內(nèi),各模具2之間的夾角大小為360度/模具數(shù)量,模具2的中心位置在以坩堝I中心為圓心的圓周3上,所述的保溫罩4罩在坩堝I的上方,所述的保溫罩4從上到下開(kāi)有與所述的模具2數(shù)量和形狀相匹配的貫通孔5,在晶體提拉上引時(shí),用于容納晶體,保溫罩4外輪廓的中心與星形中心在同一中心線上,所述的籽晶桿9上部連接一螺母8,下部有數(shù)量與模具2相同的凸出部分,每個(gè)凸出部分均安裝一個(gè)籽晶夾頭10,每個(gè)籽晶夾頭10安裝一個(gè)籽晶,所述的籽晶為直桶形,每個(gè)籽晶通過(guò)保溫罩4上的貫通孔5對(duì)準(zhǔn)一個(gè)模具2。所述的坩堝I內(nèi)放2到36個(gè)模具2 ;所述的保溫罩4還可以是圓柱形保溫罩6,內(nèi)部沿圓柱的軸方向開(kāi)有圓柱形通孔7,通孔7與保溫罩6外輪廓為同心圓柱體。
權(quán)利要求1.一種基于導(dǎo)模法的多模具晶體生長(zhǎng)裝置,其特征在于包括有坩堝、若干個(gè)模具、保溫罩、籽晶桿和籽晶,所述的若干個(gè)模具成星形均勻排列在所述坩堝內(nèi),模具的中心位置在以坩堝中心為圓心的圓周上,所述的保溫罩罩在坩堝的上方,所述的保溫罩從上到下開(kāi)有與所述的模具數(shù)量和形狀相匹配的貫通孔 ,保溫罩外輪廓的中心與星形中心在同一中心線上,所述的籽晶桿上部連接一螺母,下部有數(shù)量與模具相同的凸出部分,每個(gè)凸出部分均安裝一個(gè)籽晶夾頭,每個(gè)籽晶夾頭安裝一個(gè)籽晶,所述的籽晶為直桶形,每個(gè)籽晶通過(guò)保溫罩上的貫通孔對(duì)準(zhǔn)一個(gè)模具。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于導(dǎo)模法的多模具晶體生長(zhǎng)裝置,其特征在于所述的坩堝內(nèi)放2到36個(gè)模具。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于導(dǎo)模法的多模具晶體生長(zhǎng)裝置,其特征在于所述的保溫罩是圓柱形的,內(nèi)部沿圓柱的軸方向開(kāi)有圓柱形通孔,通孔與保溫罩外輪廓為同心圓柱體。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種基于導(dǎo)模法的多模具晶體生長(zhǎng)裝置,包括有坩堝、若干個(gè)模具、保溫罩、籽晶桿和籽晶,所述的若干個(gè)模具成星形均勻排列在所述坩堝內(nèi),模具的中心位置在以坩堝中心為圓心的圓周上,所述的保溫罩罩在坩堝的上方,所述的保溫罩從上到下開(kāi)有與所述的模具數(shù)量和形狀相匹配的貫通孔,所述的籽晶桿上部連接一螺母,下部有數(shù)量與模具相同的凸出部分,每個(gè)凸出部分均安裝一個(gè)籽晶夾頭,每個(gè)籽晶夾頭安裝一個(gè)籽晶,所述的籽晶為直桶形,每個(gè)籽晶對(duì)準(zhǔn)一個(gè)模具。本實(shí)用新型使用了多個(gè)模具用與晶體的生長(zhǎng),可使在單位時(shí)間內(nèi)生長(zhǎng)的晶體數(shù)量多,質(zhì)量大,具有節(jié)省原料、加工工序少的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C30B29/20GK202786498SQ20122022720
公開(kāi)日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月19日
發(fā)明者王楠, 趙青, 賈建國(guó) 申請(qǐng)人:鴻福晶體科技(安徽)有限公司