專利名稱：一種抽真空裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種光伏產(chǎn)業(yè)中多晶爐工藝所需要的抽真空裝置。
背景技術(shù)：
目前，多晶爐生產(chǎn)工藝中，拉一爐多晶硅，抽真空裝置一般要運行50小時，其中抽真空至彡3Pa后運行約6小時左右，其余44小時的保壓階段壓力維持在約6 X 104Pa。常規(guī)的抽真空裝置，就采用一套羅茨泵油旋片泵真空機組(粗抽泵+羅茨泵組合)，因為二者的壓差相差很大，在抽真空階段，抽真空裝置是全負荷工作，而在占絕大部分時間的保壓階段， 羅茨泵油旋片泵真空機組的能力顯得很富裕，也即利用率低。

實用新型內(nèi)容為了解決常規(guī)設(shè)備技術(shù)中存在的不足，本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種有效節(jié)約電力能源，根據(jù)羅茨 泵油旋片泵真空機組與油旋片真空泵根據(jù)拉晶工藝中不同時間段對真空度的不同要求，可以進行分段使用的裝置。本實用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下一種抽真空裝置，包括羅茨泵油旋片泵真空機組，油旋片真空泵，三個真空閥，真空計，羅茨泵油旋片泵真空機組與第一真空閥的進口經(jīng)過真空管道相連接并且在二者相連接的真空管道上裝有真空計，油旋片真空泵與第二真空閥的進口經(jīng)過真空管道相連接，第一真空閥與第二真空閥的出口經(jīng)過真空管道相連接后與第三真空閥的進口經(jīng)過真空管道相連接，第三真空閥的出口與多晶爐的進口經(jīng)過真空管道相連接。本實用新型的有益效果是在拉晶工藝中，抽真空過程利用羅茨泵油旋片泵真空機組，有效發(fā)揮其強大的抽氣能力；在充氬保壓階段，采用低能耗的油旋片真空泵來實現(xiàn)。 因此本抽真空裝置具有有效節(jié)約電力能源、降低油旋片真空泵的損耗等特點。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實用新型還可以做如下改進。進一步，所述油旋片真空泵與羅茨泵油旋片泵真空機組分別通過一個獨立的真空閥與多晶爐相連接，或者共同通過一個三通閥與多晶爐相連接。進一步，所述羅茨泵油旋片泵真空機組包括羅茨泵和油旋片真空泵。進一步，所述油旋片真空泵的排氣口還連接有油霧過濾器。采用上述進一步方案的有益效果是節(jié)省了獨立真空閥的個數(shù)以及真空管道，控制更加方便簡潔。

圖I為本實用新型一種應(yīng)用于拉晶工藝中的抽真空裝置的結(jié)構(gòu)框圖；附圖中，各標號所代表的部件列表如下I、油旋片真空泵，2、羅茨泵油旋片泵真空機組，3、第二真空閥，4、油霧過濾器，5、多晶爐，6、第一真空閥，7、第三真空閥，8、真空計。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。實施例I如圖I所示，羅茨泵油旋片泵真空機組2與第一真空閥6的進口經(jīng)過真空管道相連接并且二者相連接的管道上還裝有真空計8，油旋片真空泵I與第二真空閥3的進口經(jīng)過真空管道相連接，第一真空閥 6與第二真空閥 3的出口經(jīng)過真空管道相連接后與第三真空閥7的進口經(jīng)過真空管道相連接，第三真空閥7的出口與多晶爐5的進口經(jīng)過真空管道相連接，兩個油旋片真空泵I的排氣口都分別與油霧過濾器4相連接，并且裝置的各個部件間都是經(jīng)過真空管道相連接。 羅茨泵油旋片泵真空機組包括羅茨泵和油旋片真空泵，它的作用是在抽真空階段對真空爐裝置進行抽真空。油旋片真空泵在充氬保壓階段為裝置進行保壓。油旋片真空泵的排氣口上連接有油霧過濾器的作用是過濾從真空泵排氣口排出的油煙，并將從油煙過濾下來的泵油回收到真空泵內(nèi)，以節(jié)約泵油，凈化空氣。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種抽真空裝置，包括羅茨泵油旋片泵真空機組，油旋片真空泵，三個真空閥，真空計，其特征在于羅茨泵油旋片泵真空機組與第一真空閥的進口經(jīng)過真空管道相連接并且在二者相連接的真空管道上裝有真空計，油旋片真空泵與第二真空閥的進口經(jīng)過真空管道相連接，第一真空閥與第二真空閥的出口經(jīng)過真空管道相連接后與第三真空閥的進口經(jīng)過真空管道相連接，第三真空閥的出口與多晶爐的進口經(jīng)過真空管道相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種抽真空裝置，其特征在于所述油旋片真空泵與羅茨泵油旋片泵真空機組分別通過一個獨立的真空閥與多晶爐相連接，或者共同通過一個三通閥與多晶爐相連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種抽真空裝置，其特征在于所述羅茨泵油旋片泵真空機組包括羅茨泵和油旋片真空泵。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的抽真空裝置，其特征在于所述油旋片真空泵的排氣口還連接有油霧過濾器。
專利摘要本實用新型涉及真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種光伏產(chǎn)業(yè)中多晶爐工藝所需要的抽真空裝置。包括羅茨泵油旋片泵真空機組，油旋片真空泵，真空閥，真空計。本實用新型在抽真空過程中利用羅茨泵油旋片泵真空機組對工件或真空箱進行抽真空；在充氬保壓階段，采用低能耗的油旋片真空泵來實現(xiàn)裝置的保壓，具有有效節(jié)約電力能源、降低油旋片真空泵的損耗等特點。
文檔編號C30B35/00GK202465952SQ20112055088
公開日2012年10月3日 申請日期2011年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月26日
發(fā)明者深浦裕治 申請人:寧波愛發(fā)科真空技術(shù)有限公司