專利名稱:單晶硅晶棒的取棒裝置的制作方法
技術領域:
本發(fā)明涉及一種單晶硅晶棒的取棒裝置,屬于單晶硅的生產制造設備技術領域。
背景技術:
單晶硅是具有完整的點陣結構的晶體,是一種良好的半導體材料,目前被廣泛用于半導體器件以及太陽能電池的制造。單晶硅被拉拔成晶棒后,需要將其從單晶爐中取出。目前將單晶硅晶棒取出的方法是由操作人員帶上手套,用鉗子將晶棒夾出。然而這樣的操作方式存在一定危險性,操作人員一旦不慎便會被高溫的晶棒燙傷,并且單晶硅晶棒在被取出的過程中容易碰到單晶爐,導致單晶硅晶棒的質量受到影響。
發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于克服上述不足,提供一種完全可靠,能保證單晶硅質量不受影響的單晶硅晶棒的取棒裝置。本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的:
本發(fā)明單晶硅晶棒的取棒裝置,包括機架和升降桿,所述機架上固定有上下兩塊夾持板,所述升降桿穿過兩塊夾持板上的通孔,所述升降桿底部連有油缸,升降桿的中部固定有鉗子。這種單晶硅晶棒的取棒裝置具有以下優(yōu)點:
這種單晶硅晶棒的取棒裝置將機架放置于單晶爐旁的地面上后,用鉗子夾住單晶硅晶棒的上部,松開兩塊夾持板,并用油缸推動升降桿上升,從而取出單晶硅晶棒。這樣便能方便地將單晶硅晶棒取出,并且可以保證操作人員的完全,同時取出晶棒時不會抖動,使得單晶硅晶棒在被取出的過程中不會碰到單晶爐,從而保證了單晶硅晶棒的質量。
圖1為本發(fā)明單晶硅晶棒的取棒裝置的結構示意圖。圖中:機架1、夾持板2、升降桿3、油缸4、鉗子5。
具體實施例方式參見圖1,本發(fā)明涉及的一種單晶硅晶棒的取棒裝置,包括機架I和升降桿3,所述機架I上固定有上下兩塊夾持板2,所述升降桿3穿過兩塊夾持板2上的通孔,所述升降桿3底部連有油缸4,升降桿3的上部固定有鉗子5。當需要夾起單晶硅晶棒時,將機架I放置于單晶爐旁的地面上,用鉗子5夾住單晶硅晶棒的上部,松開兩塊夾持板2,并用油缸4推動升降桿3上升,從而取出單晶硅晶棒。這樣便能方便地將單晶硅晶棒取出,并且可以保證操作人員的完全,同時取出晶棒時不會抖動,使得單晶硅晶棒在被取出的過程中不會碰到單晶爐,從而保證了單晶硅晶棒的質量。
權利要求
1.一種單晶硅晶棒的取棒裝置,其特征在于:它包括機架(I)和升降桿(3),所述機架(I)上固定有上下兩塊夾持板(2),所述升降桿(3)穿過兩塊夾持板(2)上的通孔,所述升降桿(3)底部連有油缸(4),升降桿(3)的中部固定有鉗子(5)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種單晶硅晶棒的取棒裝置,屬于單晶硅的生產制造設備技術領域,其特征在于它包括機架(1)和升降桿(3),所述機架(1)上固定有上下兩塊夾持板(2),所述升降桿(3)穿過兩塊夾持板(2)上的通孔,所述升降桿(3)底部連有油缸(4),升降桿(3)的中部固定有鉗子(5)。這種單晶硅晶棒的取棒裝置將機架放置于單晶爐旁的地面上后,用鉗子夾住單晶硅晶棒的上部,松開兩塊夾持板,并用油缸推動升降桿上升,從而取出單晶硅晶棒。能方便地將單晶硅晶棒取出,并且可以保證操作人員的完全,同時取出晶棒時不會抖動,使得單晶硅晶棒在被取出的過程中不會碰到單晶爐,從而保證了單晶硅晶棒的質量。
文檔編號C30B29/06GK103184506SQ20111045527
公開日2013年7月3日 申請日期2011年12月31日 優(yōu)先權日2011年12月31日
發(fā)明者湯仁興 申請人:湯仁興