技術(shù)編號:8053608
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種單晶硅晶棒的取棒裝置,屬于單晶硅的生產(chǎn)制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)單晶硅是具有完整的點陣結(jié)構(gòu)的晶體,是一種良好的半導體材料,目前被廣泛用于半導體器件以及太陽能電池的制造。單晶硅被拉拔成晶棒后,需要將其從單晶爐中取出。目前將單晶硅晶棒取出的方法是由操作人員帶上手套,用鉗子將晶棒夾出。然而這樣的操作方式存在一定危險性,操作人員一旦不慎便會被高溫的晶棒燙傷,并且單晶硅晶棒在被取出的過程中容易碰到單晶爐,導致單晶硅晶棒的質(zhì)量受到影響。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于克服上述不足,提供一種完全可靠,能保證單晶硅質(zhì)...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。