專利名稱：一種用于坩堝噴涂加熱旋轉(zhuǎn)臺(tái)的硅膠墊加熱板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于坩堝噴涂加熱旋轉(zhuǎn)臺(tái)的硅膠墊加熱板。
背景技術(shù)：
太陽(yáng)能鑄錠坩堝裝料前需噴涂氮化硅以隔離石英坩堝與硅液。在噴涂過(guò)程中需加熱石英坩堝，使氮化硅液均勻的吸附在坩堝表面，形成粉狀涂層?，F(xiàn)有的坩堝加熱旋轉(zhuǎn)臺(tái)的每塊側(cè)板都是由兩塊不銹鋼板構(gòu)成，兩塊不銹鋼板把加熱板夾在中間。加熱板的結(jié)構(gòu)是用石棉包裹著加熱元件如加熱絲，加熱絲兩側(cè)再由鋼板壓緊，整個(gè)結(jié)構(gòu)沒有彈性?，F(xiàn)有的坩堝加熱旋轉(zhuǎn)臺(tái)的問(wèn)題是因?yàn)檑釄宓男螤畈灰?guī)則，加熱板沒有彈性，導(dǎo)致各個(gè)加熱板接觸緊固程度不一樣，縫隙過(guò)大的部位溫度就低，容易造成局部溫度過(guò)低，不利于噴涂質(zhì)量的提高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種用于坩堝噴涂加熱旋轉(zhuǎn)臺(tái)的硅膠墊加熱板，克服現(xiàn)有設(shè)備加熱不均勻的問(wèn)題，改善噴涂質(zhì)量。本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種用于坩堝噴涂加熱旋轉(zhuǎn)臺(tái)的硅膠墊加熱板，由多層不同材料組成，最外側(cè)為載體，然后依次是硅膠發(fā)泡板、加熱元件、導(dǎo)熱硅膠布、護(hù)板和導(dǎo)熱硅膠板。載體為不銹鋼板，護(hù)板為鋁板，加熱元件為鎳鉻絲加熱元件。在鋁板和不銹鋼板上切割出多道增加鋁板和不銹鋼板彈性的縫。本發(fā)明的有益效果是該鑄錠坩堝加熱旋轉(zhuǎn)臺(tái)能使坩堝的每個(gè)區(qū)域都達(dá)到最佳的噴涂溫度，提高噴涂質(zhì)量，減少龜裂、起泡、針孔等問(wèn)題的出現(xiàn)，提高多晶硅錠的收益率。


下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明；圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中，6.不銹鋼板，7.硅膠發(fā)泡板，8.鎳鉻絲加熱元件，9.導(dǎo)熱硅膠布，10.鋁板， 11.導(dǎo)熱硅膠板。
具體實(shí)施例方式如圖1所示，一種用于坩堝噴涂加熱旋轉(zhuǎn)臺(tái)的硅膠墊加熱板，由多層不同材料組成，最外側(cè)不銹鋼板6做載體，然后依次是彈性很強(qiáng)的硅膠發(fā)泡板7，既可以增加加熱板的彈性，又可以把熱量阻隔在側(cè)板3的內(nèi)側(cè)；硅膠發(fā)泡板7后是鎳鉻絲加熱元件8 ；鎳鉻絲加熱元件8后是導(dǎo)熱硅膠布9，導(dǎo)熱硅膠布9主要是用來(lái)作絕緣用的；再之后加入一層鋁板10 來(lái)保護(hù)加熱板2的內(nèi)側(cè)；最內(nèi)側(cè)是導(dǎo)熱硅膠板11，直接接觸坩堝，保護(hù)坩堝不被刮壞。鋁板 10與不銹鋼板7會(huì)影響加熱板的彈性，所以在鋁板10和不銹鋼板7上切割間距Imm厚的縫。
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在側(cè)板和底板上裝有若干彈簧，彈簧上再裝本發(fā)明的加熱板，加熱板就可以將坩堝緊緊的包裹住。
權(quán)利要求
1.一種用于坩堝噴涂加熱旋轉(zhuǎn)臺(tái)的硅膠墊加熱板，其特征是其由多層不同材料組成，最外側(cè)為載體，然后依次是硅膠發(fā)泡板(7)、加熱元件、導(dǎo)熱硅膠布(9)、護(hù)板和導(dǎo)熱硅膠板(11)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于坩堝噴涂加熱旋轉(zhuǎn)臺(tái)的硅膠墊加熱板，其特征是所述載體為不銹鋼板(6)，護(hù)板為鋁板(10)，加熱元件為鎳鉻絲加熱元件(8)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于坩堝噴涂加熱旋轉(zhuǎn)臺(tái)的硅膠墊加熱板，其特征是在鋁板(10)和不銹鋼板(6)上切割出多道增加鋁板(10)和不銹鋼板(6)彈性的縫。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于坩堝噴涂加熱旋轉(zhuǎn)臺(tái)的硅膠墊加熱板，其由多層不同材料組成，最外側(cè)為載體，然后依次是硅膠發(fā)泡板、加熱元件、導(dǎo)熱硅膠布、護(hù)板和導(dǎo)熱硅膠板。載體為不銹鋼板，護(hù)板為鋁板，加熱元件為鎳鉻絲加熱元件。在鋁板和不銹鋼板上切割出多道增加鋁板和不銹鋼板彈性的縫。本發(fā)明的有益效果是該鑄錠坩堝加熱旋轉(zhuǎn)臺(tái)能使坩堝的每個(gè)區(qū)域都達(dá)到最佳的噴涂溫度，提高噴涂質(zhì)量，減少龜裂、起泡、針孔等問(wèn)題的出現(xiàn)，提高多晶硅錠的收益率。
文檔編號(hào)H05B3/20GK102310036SQ201110185240
公開日2012年1月11日 申請(qǐng)日期2011年7月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月4日
發(fā)明者應(yīng)建平, 徐志軍, 李洪洪 申請(qǐng)人:常州天合光能有限公司