專利名稱：坩堝涂布加熱裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型有關(guān)一種加熱裝置，尤指一種能夠使電熱板自動調(diào)整其與加工對象的 接觸狀態(tài)，進(jìn)而使加工對象獲較佳受熱效果的加熱裝置。
背景技術(shù)：
按，于晶圓生長制程中用以盛裝熔融硅原料的坩堝，多屬于熔融硅石或石英的硅 石坩堝，類似的硅石坩堝于盛裝熔融狀態(tài)的硅原料時，其熔融的硅原料因直接與坩堝的硅 石原料接觸而反應(yīng)形成一氧化硅及氧，其中揮發(fā)性的一氧化硅與爐內(nèi)石墨成分反應(yīng)的后形 成碳化硅及一氧化碳，一氧化碳并與熔化硅原料反應(yīng)，形成另外的揮發(fā)性一氧化碳及碳。為避免硅原料受上述氧及碳產(chǎn)物的污染，或與于硅石坩堝中的各種雜質(zhì)(鉬、鐵、 銅、鎳等金屬)反應(yīng)，多會于坩堝的內(nèi)層涂布一保護(hù)層，以隔絕硅原料與坩堝本體直接接 觸，并對坩堝本體表面所逐出的不純物提供了 一種障蔽。目前于坩鍋涂布保護(hù)層前必須先提高坩鍋本身的溫度，以便進(jìn)行后續(xù)涂布保護(hù)層 的作業(yè)，而提高坩鍋溫度的方法有利用加熱燈加熱、利用烤箱烘烤或利用加熱板直接加熱。其中，利用加熱板直接對坩堝本體加熱的裝置如圖1所示，主要在一基座11上設(shè) 有一可被驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的載臺12供放置坩堝20，于載臺12上設(shè)有復(fù)數(shù)個推動板13，所有推動 板13配置呈一包圍狀，并可各別朝向載臺12中心處的坩堝20相對位移，以及在各推動板 13的內(nèi)側(cè)板面設(shè)有至少一供與坩堝20本體接觸的電熱板14。當(dāng)坩堝20確實被固定于載臺12中心處的后，即可各別調(diào)整坩堝20推動板13的 位置，使相對包圍在坩堝20四周的電熱板14皆能與坩堝20本體接觸，以期在所有電熱板 14運作時，能夠達(dá)到使坩堝20均勻受熱的效果；并且，配合驅(qū)動載臺12旋轉(zhuǎn)以增加涂布保 護(hù)層的便利性。然而，上揭圖1所示的加熱裝置當(dāng)中的所有電熱板14直接鎖固在所屬的推動板13 上，因此非常容易受推動板13本身角度偏斜，或是坩堝20放置角度的影響而無法讓同一推 動板13內(nèi)側(cè)的電熱板14皆與坩堝20本體接觸，以致于無法讓坩堝20獲致原本預(yù)期的均 勻受熱效果。再者，其載臺12的旋轉(zhuǎn)采用人力轉(zhuǎn)動的方式操作，于實際操作時相對較容易 成為操作人員的負(fù)擔(dān)。
實用新型內(nèi)容本實用新型所解決的技術(shù)問題即在提供一種能夠使電熱板自動調(diào)整與加工對象 的接觸狀態(tài)，進(jìn)而使加工對象獲致較佳受熱效果的加熱裝置。本實用新型的技術(shù)方案為一種加熱裝置，在一用以放置加工對象的載臺上設(shè)有 至少一可調(diào)整相對位置的推動板，于各推動板的板面上設(shè)有至少一第一電熱板；各第一電 熱板可與所屬的推動板相對位移，以及在各第一電熱板與其所屬的推動板之間襯設(shè)有復(fù)數(shù) 個彈性組件。一種加熱裝置，在一用以放置加工對象的載臺上設(shè)有至少一可調(diào)整相對位置的推動板，于各推動板的板面上設(shè)有至少一第一電熱板；該載臺透過一轉(zhuǎn)軸安裝于一基座上，另 于該基座上設(shè)有一馬達(dá)，以及設(shè)有一用以構(gòu)成馬達(dá)與轉(zhuǎn)軸傳動聯(lián)結(jié)的傳動機構(gòu)。其中，各第一電熱板分別鎖固在一基板上，另有復(fù)數(shù)個導(dǎo)柱連接于各基板與推動 板之間；各導(dǎo)柱的一端固定在基板上，各導(dǎo)柱的另端穿設(shè)于推動板上。該各第一電熱板分別鎖固在一基板上，另有復(fù)數(shù)個導(dǎo)柱連接于各基板與推動板之 間；各導(dǎo)柱的一端利用螺絲穿鎖固定在基板上，各導(dǎo)柱的另端分別透過一螺栓穿設(shè)于推動 板上。該載臺的臺面上設(shè)有至少一第二電熱板供承接加工物件。各第一電熱板分別鎖固在一基板上，另有復(fù)數(shù)個導(dǎo)柱連接于各基板與推動板之 間；各導(dǎo)柱的一端固定在基板上，各導(dǎo)柱的另端穿設(shè)于推動板上；載臺的臺面上設(shè)有至少 一第二電熱板供承接加工物件。該傳動機構(gòu)由分別固設(shè)于轉(zhuǎn)軸及馬達(dá)出力軸上的皮帶輪，以及連接于皮帶輪之間 的皮帶所組成。本實用新型的有益效果為本實用新型的加熱裝置在一用以放置加工對象的載臺 上設(shè)有至少一可調(diào)整相對位置的推動板，于各推動板的板面上設(shè)有至少一可與推動板相對 位移的第一電熱板，以及在各第一電熱板與推動板之間襯設(shè)有復(fù)數(shù)個彈性組件。而當(dāng)推對板朝向加工對象壓貼時，可透過彈性組件的收縮及彈力作用，使各第一 電熱板自動調(diào)整至與加工對象保持最佳的接觸狀態(tài)，進(jìn)而能夠使加工對象獲致最佳的受熱 效果。再者，該載臺的臺面上設(shè)有至少一可與載臺相對位移的第二電熱板供承接加工對 象，以利透過第二電熱板讓加工對象的底部產(chǎn)生受熱效果。上述的載臺可透過一轉(zhuǎn)軸安裝于一基座上，另于基座上設(shè)有一馬達(dá)，以及設(shè)有一 傳動機構(gòu)用以構(gòu)成馬達(dá)與轉(zhuǎn)軸的傳動聯(lián)結(jié)；使當(dāng)馬達(dá)轉(zhuǎn)動時，可透過傳動機構(gòu)帶動轉(zhuǎn)軸及 載臺作任意角度的旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可達(dá)0° 360°并可隨意定位，例如可以正/逆方向旋轉(zhuǎn) 至45°或90°甚至180°或270°定位，以做為最佳調(diào)整角度，以方便載臺上的加工對象執(zhí) 行其它的加工程序，并減輕相關(guān)操作人員的負(fù)擔(dān)。
圖1為一習(xí)用加熱裝置的外觀結(jié)構(gòu)圖。圖2為本實用新型一較佳實施例的正面結(jié)構(gòu)外觀立體圖。圖3為本實用新型一較佳實施例的正面結(jié)構(gòu)圖。圖4為本實用新型第一電熱板與推動板的組裝分解圖。圖5為本實用新型中第一電熱板與推動板的組裝結(jié)構(gòu)剖視圖。圖6為本實用新型中加工對象與推動板的相對位置示意圖。圖7為本實用新型中導(dǎo)柱的動作示意圖。圖8為本實用新型一較佳實施例的背面結(jié)構(gòu)外觀立體圖。圖號說明11基座；12載臺；13推動板；14電熱板；20坩堝；30加工物件；40載臺；41轉(zhuǎn)軸； 50推動板；51基板；52導(dǎo)柱；53螺絲力4螺栓；61第一電熱板；62第二電熱板；70彈性組件；80基座；91馬達(dá)；92傳動機構(gòu)；921皮帶輪；922皮帶。
具體實施方式
如圖2本實用新型一較佳實施例的正面結(jié)構(gòu)外觀立體圖、圖3所示，本實用新型一 較佳實施例的正面結(jié)構(gòu)圖所示，本實用新型的加熱裝置在一用以放置加工對象30的載臺 40上設(shè)有至少一可調(diào)整相對位置的推動板50，于各推動板50的板面上設(shè)有至少一第一電 熱板61 ；其特征在于各第一電熱板61可與所屬的推動板50相對位移，以及在各第一電熱 板61與其所屬的推動板50之間襯設(shè)有復(fù)數(shù)個彈性組件70。請同時配合參照圖4及圖5所示，上述各第一電熱板61分別鎖固在一基板51上， 另有復(fù)數(shù)個導(dǎo)柱52連接于各基板51與推動板50之間；各導(dǎo)柱52的一端可利用螺絲53直 接穿鎖固定在基板51上，各導(dǎo)柱52的另端可分別透過一螺栓M穿設(shè)于推動板50上，以構(gòu) 成基板51與推動板50的連接，并使可基板51連同固定在基板51上的第一電熱板61能夠 與推動板50相對位移(亦即第一電熱板61具浮動效果)，至于各彈性組件70可由套設(shè)于 導(dǎo)柱52上的壓縮彈簧所構(gòu)成。本實用新型的加熱裝置于使用時，即如圖6所示將加工對象30固定在載臺40上， 并配合將推對板50調(diào)整至使其板面上的第一電熱板61能夠與加工對象40接觸的位置。而 在將推對板50持續(xù)朝向加工對象40方向移動的相對位置調(diào)整時，如圖7所示，可透過彈性 組件70的收縮及彈力作用，使各第一電熱板61自動調(diào)整至與加工對象40保持最佳的接觸 狀態(tài)，進(jìn)而能夠使加工對象40獲致最佳的受熱效果。再者，如圖3所示，本實用新型的加熱裝置可進(jìn)一步于該載臺40的臺面上設(shè)有至 少一第二電熱板62供承接加工對象30，以利透過第二電熱板62讓加工對象40的底部產(chǎn)生 受熱效果。請同時配合參照圖2及圖8所示，本實用新型中的載臺40可透過一轉(zhuǎn)軸41安裝 于一基座80上，另于該基座80上設(shè)有一馬達(dá)91，以及設(shè)有一傳動機構(gòu)92用以構(gòu)成馬達(dá)91 與轉(zhuǎn)軸41的傳動聯(lián)結(jié)。上述傳動機構(gòu)92可以由分別固設(shè)于轉(zhuǎn)軸41及馬達(dá)91出力軸上的皮帶輪921，以 及連接于皮帶輪921之間的皮帶所組成；使當(dāng)馬達(dá)91轉(zhuǎn)動時，可透過傳動機構(gòu)92帶動轉(zhuǎn)軸 41及載臺40作360°旋轉(zhuǎn)，以方便載臺40上的加工對象30執(zhí)行其它的加工程序，并減輕 相關(guān)操作人員的負(fù)擔(dān)。藉由上述結(jié)構(gòu)設(shè)計，可獲致一種能夠使電熱板自動調(diào)整與加工對象的接觸狀態(tài)， 進(jìn)而使加工對象獲致較佳受熱效果的加熱裝置，尤適合做為坩堝進(jìn)行保護(hù)層涂布作業(yè)時， 用以提高坩堝溫度的應(yīng)用，不但可以確實讓坩堝本體均勻受熱，更可相對減輕操作人員的 負(fù)擔(dān)。權(quán)利要求1.一種坩堝涂布加熱裝置，在一用以放置加工對象的載臺上設(shè)有至少一可調(diào)整相對位 置的推動板，于各推動板的板面上設(shè)有至少一第一電熱板；其特征在于各第一電熱板可與所屬的推動板相對位移，以及在各第一電熱板與其所屬的推動板之 間襯設(shè)有復(fù)數(shù)個彈性組件。
2.一種坩堝涂布加熱裝置，在一用以放置加工對象的載臺上設(shè)有至少一可調(diào)整相對位 置的推動板，于各推動板的板面上設(shè)有至少一第一電熱板；其特征在于該載臺透過一轉(zhuǎn)軸安裝于一基座上，另于該基座上設(shè)有一馬達(dá)，以及設(shè)有一用以構(gòu)成 馬達(dá)與轉(zhuǎn)軸傳動聯(lián)結(jié)的傳動機構(gòu)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的坩堝涂布加熱裝置，其特征在于，各第一電熱板分別鎖固在 一基板上，另有復(fù)數(shù)個導(dǎo)柱連接于各基板與推動板之間；各導(dǎo)柱的一端固定在基板上，各導(dǎo) 柱的另端穿設(shè)于推動板上。
4.如權(quán)利要求1或2所述的坩堝涂布加熱裝置，其特征在于，該各第一電熱板分別鎖固 在一基板上，另有復(fù)數(shù)個導(dǎo)柱連接于各基板與推動板之間；各導(dǎo)柱的一端利用螺絲穿鎖固 定在基板上，各導(dǎo)柱的另端分別透過一螺栓穿設(shè)于推動板上。
5.如權(quán)利要求1或2所述的坩堝涂布加熱裝置，其特征在于，該載臺的臺面上設(shè)有至少 一第二電熱板供承接加工物件。
6.如權(quán)利要求1或2所述的坩堝涂布加熱裝置，其特征在于，各第一電熱板分別鎖固在 一基板上，另有復(fù)數(shù)個導(dǎo)柱連接于各基板與推動板之間；各導(dǎo)柱的一端固定在基板上，各導(dǎo) 柱的另端穿設(shè)于推動板上；載臺的臺面上設(shè)有至少一第二電熱板供承接加工物件。
7.如權(quán)利要求2所述的坩堝涂布加熱裝置，其特征在于，該傳動機構(gòu)由分別固設(shè)于轉(zhuǎn) 軸及馬達(dá)出力軸上的皮帶輪，以及連接于皮帶輪之間的皮帶所組成。
專利摘要本實用新型坩堝涂布加熱裝置主要提供一種能夠使電熱板自動調(diào)整與加工對象的接觸狀態(tài)，進(jìn)而使加工對象獲致較佳受熱效果的坩堝涂布加熱裝置。所述的坩堝涂布加熱裝置在一用以放置加工對象的載臺上設(shè)有至少一可調(diào)整相對位置的推動板，于各推動板的板面上設(shè)有至少一可與推動板相對位移的第一電熱板，以及在各第一電熱板與推動板之間襯設(shè)有復(fù)數(shù)個彈性組件。而當(dāng)推對板朝向加工對象壓貼時，可透過彈性組件的收縮及彈力作用，使各第一電熱板自動調(diào)整至與加工對象保持最佳的接觸狀態(tài)，進(jìn)而能夠使加工對象獲致最佳的受熱效果。
文檔編號H05B3/00GK201830472SQ201020575099
公開日2011年5月11日 申請日期2010年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月25日
發(fā)明者傅禮勇 申請人:敬聯(lián)機械有限公司