技術(shù)編號：8038111
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型有關(guān)一種加熱裝置，尤指一種能夠使電熱板自動調(diào)整其與加工對象的 接觸狀態(tài)，進(jìn)而使加工對象獲較佳受熱效果的加熱裝置。背景技術(shù)按，于晶圓生長制程中用以盛裝熔融硅原料的坩堝，多屬于熔融硅石或石英的硅 石坩堝，類似的硅石坩堝于盛裝熔融狀態(tài)的硅原料時，其熔融的硅原料因直接與坩堝的硅 石原料接觸而反應(yīng)形成一氧化硅及氧，其中揮發(fā)性的一氧化硅與爐內(nèi)石墨成分反應(yīng)的后形 成碳化硅及一氧化碳，一氧化碳并與熔化硅原料反應(yīng)，形成另外的揮發(fā)性一氧化碳及碳。為避免硅原料受上述氧及碳產(chǎn)物的污染，或與于硅石坩堝中的各種雜質(zhì)(鉬、鐵、...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。