專利名稱：一種等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及 等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接設(shè)備及工藝，具體說是一種等長晶圓 棒或等長方晶錠的拼接裝置及方法。所述拼接裝置用于將太陽能用硅單晶等徑超短圓棒 拼接成等長晶圓棒，或?qū)⑻柲苡谜骄匦味嗑Ч璩惕T錠拼接成等長方晶錠。所述硅單 晶等徑超短圓棒可以是太陽能用直徑6寸或8寸的硅單晶等徑超短圓棒，所述正方矩形多 晶硅超短鑄錠可以是經(jīng)過切割整理出的125*125或156*156正方矩形多晶硅超短鑄錠。拼 接后的等長晶圓棒或等長方晶錠的長度為320mm或410mm。
背景技術(shù)：
本發(fā)明中，太陽能用硅單晶等徑超短圓棒亦稱為等徑短圓棒，太陽能用正方矩形 多晶硅超短鑄錠亦稱為等邊方錠。其中，等徑短圓棒只能和等徑短圓棒拼接，等邊方錠只能 和等邊方錠拼接，前者拼接后成為等長晶圓棒，后者拼接后成為等長方晶錠。通常對等徑短圓棒(或等邊方錠)拼接，是人工自然對接的，步驟如下1、在第一個等徑短圓棒(或等邊方錠)的上端抹上粘接劑，將第二個等徑短圓棒 (或等邊方錠)放在已經(jīng)抹上粘接劑的端面上，將第一、第二兩個等徑短圓棒外表面的四個 結(jié)晶對稱棱線對齊(拼接等邊方錠時，將第一、第二等邊方錠四角對齊)，固化8小時；2、在第二個等徑短圓棒(或等邊方錠)的上端抹上粘接劑，將第三個等徑短圓棒 (或等邊方錠)放在已經(jīng)抹上粘接劑的端面上，將第二、第三兩個等徑短圓棒外表面的四個 結(jié)晶對稱棱線對齊(拼接等邊方錠時，將第二、第三等邊方錠四角對齊)，固化8小時；3、在第三個等徑短圓棒(或等邊方錠)的上端抹上粘接劑，將第四個等徑短圓棒 (或等邊方錠)放在已經(jīng)抹上粘接劑的端面上，將第三、第四兩個等徑短圓棒外表面的四個 結(jié)晶對稱棱線對齊(拼接等邊方錠時，將第三、第四等邊方錠四角對齊)，固化8小時。經(jīng)過步驟1 3才算完成多達四個等徑短圓棒(或等邊方錠)的粘結(jié)，耗時24小 時以上。由上述可知，現(xiàn)有技術(shù)方案的缺點很明顯首先就是耗時多，工作效率低，操作失誤率高；第二就是拼接成的等長晶圓棒或等長方晶錠的同心度差，從而引起晶向偏離度大 于3 4度，第三是多達四個等徑短圓棒(或等邊方錠)拼接，四個結(jié)晶對稱棱線(方錠四角) 不容易都對得很齊；不易標準化和規(guī)?；a(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本發(fā)明的目的在于提供一種等長晶圓棒或等長方晶 錠的拼接裝置及方法，拼接時間短，拼接好的等長晶圓棒或等長方晶錠的同心度好，四個結(jié) 晶對稱棱線或方錠四角容易對齊，易于標準化和規(guī)模化生產(chǎn)。為達到以上目的，本發(fā)明采取的技術(shù)方案是
一種等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置，其特征在于，包括拼接機構(gòu)及配套的 吸拿工具，所述拼接機構(gòu)包括一圓柱形的承載對中桶3，其桶體的外表面十字對稱的設(shè)有四列縱向定位線，所述 縱向定位線由若干從上至下等間隔排列的定位螺絲4組成，

相鄰的兩個縱向定位線之間的桶體上設(shè)有同心度測試開口 5，承載對中桶3開口朝上，桶底6底面居中設(shè)有一個轉(zhuǎn)軸7，轉(zhuǎn)軸7穿裝在盒式方臺14正中的通孔內(nèi)，且轉(zhuǎn)軸7與盒式方臺14保持絕對垂直，盒式方臺14上表面設(shè)有固定轉(zhuǎn)軸7的軸承上密封蓋9，轉(zhuǎn)軸7位于盒式方臺14內(nèi)腔中的軸身上從上至下依次套裝有7008C/P4a軸承10、 7008C/P4b軸承11、軸承護套12，軸承護套12的下表面與臺下壓緊軸承蓋13的上表面抵接，臺下壓緊軸承蓋13和軸承上密封蓋9的四角各通過一個鎖緊螺絲8固定連接，承載對中桶3通過轉(zhuǎn)軸7與7008C/P4a軸承10、7008C/P4b軸承11的配合沿轉(zhuǎn)軸 7縱軸線360°自由轉(zhuǎn)動，盒式方臺14上表面的一角設(shè)有一同心度確定裝置。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，所述同心度確定裝置包括一檢驗棒1，與盒式方臺14保持絕對垂直，檢驗棒1上設(shè)有一能沿檢驗棒1上下任意滑動的固定套15，所述固定套15上設(shè)有 固定旋鈕，所述固定套15上還設(shè)有一數(shù)顯游標卡尺2。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，檢驗棒1長度為300mm，直徑為20mm，檢驗棒1的縱向 軸線與承載對中桶3的縱向軸線的平行距為155mm，承載對中桶3直徑為210mm，高度為 280mm。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，所述吸拿工具包括由側(cè)壁和頂壁構(gòu)成的吸盤座23，其下端開口，頂壁上居中設(shè)有一方孔，頂壁上表面居中設(shè)有一小方壓力支片20，小方壓力支片20上亦居中設(shè)有一方孔，直提把手16通過螺絲28固定在吸盤座23的頂壁上表面，吸盤座23下端開口處設(shè)有聚乙烯吸盤25，聚乙烯吸盤25內(nèi)居中埋設(shè)有帶埋頭螺釘27的氣墊下夾片26，氣墊上夾片24穿裝在埋頭螺釘27上，其下表面與聚乙烯吸盤25的上表面觸接，埋頭螺釘27的頭部旋裝在升降桿21的下端，升降桿21的下端端面與氣墊上夾片 24的上表面觸接，升降桿21為矩形柱體，升降桿21位于吸盤座23內(nèi)的桿體上設(shè)有反饋梯形彈簧 22，升降桿21的上端穿出頂壁上居中設(shè)置的方孔后，與一連接軸19垂直連接，所述連接軸19設(shè)置在壓氣柄17的下端，且連接軸19的兩端由軸銷18鎖住。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，壓氣柄17壓點的Rl-I支拱為90mm，R2-1支拱為 135mm。一種基于上述裝置的等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接方法，其特征在于，包括以 下步驟
步驟1，用吸拿工具將第一個等徑短圓晶棒或第一個等邊方錠提起，從承載對中桶 3的上口放入桶底中心，用定位螺絲4固定牢固，步驟2，將檢驗棒1上的數(shù)顯游標卡尺2的測試針指到等徑短圓晶棒或等邊方錠中 心，讀出顯示數(shù)值A(chǔ)，步驟3，以步驟2得到的顯示數(shù)值A(chǔ)為基準，依次用吸拿工具將第二 至第四個等 徑短圓晶棒或第二 至第四個等邊方錠提起，從承載對中桶3的上口放入，使四個等徑短 圓晶棒上下疊置，或使四個等邊方錠上下疊置，步驟4，把四個等徑短圓晶棒的四個結(jié)晶對稱棱線由下至上對齊，或把四個等邊方 錠的四角由下至上對齊，步驟5，旋緊所有的定 位螺絲4，使定位螺絲4夾緊各個等徑短圓晶棒或等邊方錠，步驟6，用記號筆從最上端的一個到最下端的一個等徑短圓晶棒或等邊方錠的外 表面上劃一直線，稱為二次對接線；步驟7，松開靠近操作者的兩列定位螺絲4，使用吸拿工具將第二 至第四個等徑 短圓晶棒或等邊方錠取出，置于工作臺上，步驟8，在第一個等徑短圓晶棒或等邊方錠的上端抹上粘接劑，使用吸拿工具將第 二個等徑短圓晶棒或等邊方錠放在已經(jīng)抹上粘接劑的端面上，將二者的二次對接線對齊，步驟9，在第二個等徑短圓晶棒或等邊方錠的上端抹上粘接劑，使用吸拿工具將第 三個等徑短圓晶棒或等邊方錠放在已經(jīng)抹上粘接劑的端面上，將二者的二次對接線對齊，步驟10，在第三個等徑短圓晶棒或等邊方錠的上端抹上粘接劑，使用吸拿工具將 第四個等徑短圓晶棒或等邊方錠放在已經(jīng)抹上粘接劑的端面上，將二者的二次對接線對 齊，步驟11，再次將步驟7時松開的定位螺絲4旋緊，使定位螺絲4夾緊各個等徑短圓 晶棒或等邊方錠，固化8小時后，使用吸拿工具將等長晶圓棒或等長方晶錠取出。本發(fā)明所述的等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置及方法，拼接時間短，拼接好 的等長晶圓棒或等長方晶錠的同心度好，四個結(jié)晶對稱棱線或方錠四角容易對齊，易于標 準化和規(guī)?；a(chǎn)。本發(fā)明所述的等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置及方法，可對多達四個等徑短 圓棒(或等邊方錠)一次性確定同心度對中位置，可以同時將四個結(jié)晶對稱棱線(或方錠 四角)對齊，再用記號筆從上到下依次做出二次對接操作標識線后，逐個取出最上面的三 個等徑短圓棒(或等邊方錠)，先給未取出的固定在裝置中的那個上端抹好粘接劑，再放上 第二個；在第二個上端面抹好粘接劑再放第三個；在第三個上端面抹好粘接劑，再放第四 個，同時快速逐個按照預(yù)先用記號筆做出的二次對接標識線對齊、粘接，8小時就能完成等 長晶圓棒或等長方晶錠的拼接，且拼接后的等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接符合多線切割 機的等長要求。


本發(fā)明有如下附圖圖1、硅晶錠拼接裝置外觀示意圖，圖2、硅晶錠拼接裝置結(jié)構(gòu)示意圖，
圖3、吸拿工具示意圖，圖4、吸拿工具結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式以下結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳細說明。本發(fā)明所述的等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置，包括拼接機構(gòu)及配套的吸
拿工具，如圖1、2所示，所述拼接機構(gòu)包括一圓柱形的承載對中桶3 (硅晶錠承載對中桶)，其桶體的外表面十字對稱的設(shè)有 四列縱向定位線，所述縱向定位線由若干從上至下等間隔排列的定位螺絲4組成，圖1、2所 示的實施例中，9 12個定位螺絲4從上至下等間隔排列構(gòu)成縱向定位線，相鄰的兩個縱向定位線之間的桶體上設(shè)有同心度測試開口 5，圖1所示的實施例 中，共設(shè)有四個同心度測試開口 5，每個同心度測試開口 5包括兩平行的左右側(cè)邊，上下為 弧形側(cè)邊，承載對中桶3開口朝上，桶底6底面居中設(shè)有一個轉(zhuǎn)軸7，例如，可以在桶底6底面 的中心部焊接一個轉(zhuǎn)軸7，轉(zhuǎn)軸7穿裝在盒式方臺14正中的通孔內(nèi)，且轉(zhuǎn)軸7與盒式方臺14保持絕對垂直，盒式方臺14上表面設(shè)有固定轉(zhuǎn)軸7的軸承上密封蓋9，轉(zhuǎn)軸7位于盒式方臺14內(nèi)腔中的軸身上從上至下依次套裝有7008C/P4a軸承10、 7008C/P4b軸承11、軸承護套12，軸承護套12的下表面與臺下壓緊軸承蓋13的上表面抵接，臺下壓緊軸承蓋13和軸承上密封蓋9的四角各通過一個鎖緊螺絲8固定連接，承載對中桶3通過轉(zhuǎn)軸7與7008C/P4a軸承10、7008C/P4b軸承11的配合沿轉(zhuǎn)軸 7縱軸線360°自由轉(zhuǎn)動，盒式方臺14上表面的一角設(shè)有一同心度確定裝置。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，所述同心度確定裝置包括一檢驗棒1，與盒式方臺14保持絕對垂直，即檢驗棒1與承載對中桶3縱向中心 線平行，檢驗棒1長度為300mm，直徑為20mm，檢驗棒1上設(shè)有一能沿檢驗棒1上下任意滑動的固定套15，所述固定套15上設(shè)有 固定旋鈕，當松開固定旋鈕時，固定套15能沿檢驗棒1上下任意滑動以便調(diào)節(jié)位置，調(diào)節(jié)到 位后旋緊固定旋鈕，則固定套15無法移動，所述固定套15上還設(shè)有一數(shù)顯游標卡尺2。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，檢驗棒1的縱向軸線與承載對中桶3的縱向軸線的平 行距為155mm，承載對中桶3直徑為210mm，高度為280mm。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，如圖3、4所示，所述吸拿工具包括 由側(cè)壁和頂壁構(gòu)成的吸盤座23，其下端開口，頂壁上居中設(shè)有一方孔，頂壁上表面居中設(shè)有一小方壓力支片20，小方壓力支片20上亦居中設(shè)有一方孔，直提把手16通過螺絲28固定在吸盤座23的頂壁上表面，
吸盤座23下端開口處設(shè)有聚乙烯吸盤25，聚乙烯吸盤25內(nèi)居 中埋設(shè)有帶埋頭螺釘27的氣墊下夾片26，氣墊上夾片24穿裝在埋頭螺釘27上，其下表面與聚乙烯吸盤25的上表面觸接，埋頭螺釘27的頭部旋裝在升降桿21的下端，升降桿21的下端端面與氣墊上夾片 24的上表面觸接，升降桿21為矩形柱體，升降桿21位于吸盤座23內(nèi)的桿體上設(shè)有反饋梯形彈簧 22，升降桿21的上端穿出頂壁上居中設(shè)置的方孔后，與一連接軸19垂直連接，所述連接軸19設(shè)置在壓氣柄17的下端，且連接軸19的兩端由軸銷18鎖住。吸拿工具可以很方便牢固地吸住等徑短圓棒(或等邊方錠)，在提拿過程中不會 脫掉，又能輕易松開，吸拿工具使用方法如下將吸拿工具放在等徑短圓棒(或等邊方錠) 中心，只要一只手指按壓下壓氣柄17，則聚乙烯吸盤25便牢固地吸住等徑短圓棒(或等邊 方錠)，在提拿過程中不會脫掉，提到需要放置等徑短圓棒(或等邊方錠)處，再用手指扳起 壓氣柄17，即可輕易使吸拿工具與等徑短圓棒(或等邊方錠)松開。吸拿工具可以使用市 場上公開銷售的成品產(chǎn)品。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，如圖3所示，所述壓氣柄17壓點的Rl-I支拱為90mm， R2-1支拱為135mm。Rl-I支拱和R2-1支拱的功能是起變心增加距離的作用。在上述拼接裝置的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還給出了一種等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接 方法，包括以下步驟步驟1，用吸拿工具將第一個等徑短圓晶棒或第一個等邊方錠提起，從承載對中桶 3的上口放入桶底中心，用定位螺絲4固定牢固，步驟2，將檢驗棒1上的數(shù)顯游標卡尺2的測試針指到等徑短圓晶棒或等邊方錠中 心，讀出顯示數(shù)值A(chǔ)，步驟3，以步驟2得到的顯示數(shù)值A(chǔ)為基準，依次用吸拿工具將第二 至第四個等 徑短圓晶棒或第二 至第四個等邊方錠提起，從承載對中桶3的上口放入，使四個等徑短 圓晶棒上下疊置，或使四個等邊方錠上下疊置，步驟4，把四個等徑短圓晶棒的四個結(jié)晶對稱棱線由下至上對齊，或把四個等邊方 錠的四角由下至上對齊，步驟5，旋緊所有的定位螺絲4，使定位螺絲4夾緊各個等徑短圓晶棒或等邊方錠，步驟6，用記號筆從最上端的一個到最下端的一個等徑短圓晶棒或等邊方錠的外 表面上劃一直線，稱為二次對接線；步驟7，松開靠近操作者的兩列定位螺絲4，使用吸拿工具將第二 至第四個等徑 短圓晶棒或等邊方錠取出，置于工作臺上，步驟8，在第一個等徑短圓晶棒或等邊方錠的上端抹上粘接劑，使用吸拿工具將第 二個等徑短圓晶棒或等邊方錠放在已經(jīng)抹上粘接劑的端面上，將二者的二次對接線對齊，步驟9，在第二個等徑短圓晶棒或等邊方錠的上端抹上粘接劑，使用吸拿工具將第 三個等徑短圓晶棒或等邊方錠放在已經(jīng)抹上粘接劑的端面上，將二者的二次對接線對齊，步驟10，在第三個等徑短圓晶棒或等邊方錠的上端抹上粘接劑，使用吸拿工具將 第四個等徑短圓晶棒或等邊方錠放在已經(jīng)抹上粘接劑的端面上，將二者的二次對接線對齊，步 驟11，再次將步驟7時松開的定位螺絲4旋緊，使定位螺絲4夾緊各個等徑短圓 晶棒或等邊方錠，固化8小時后，使用吸拿工具將等長晶圓棒或等長方晶錠取出。按照本發(fā)明給出的拼接方法，能夠在10分鐘內(nèi)完成四個等徑短圓晶棒(或等邊方 錠)的一次拼接。在確保硅晶錠切斷或切方端面誤差< 2mm情況下，使四節(jié)等徑短圓晶棒 (或等邊方錠)外結(jié)晶棱線(或四角)完全對齊，晶向偏差小于2°。本發(fā)明中所述的粘接劑可以為本領(lǐng)域慣常使用的任意購入市售粘接劑。本發(fā)明所述的等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置，制造成本極低，是太陽能晶 硅片制造過程的理性裝置，并且可以產(chǎn)業(yè)化復(fù)制應(yīng)用。以下為一具體實施例1、用平板直尺檢測等徑短圓晶棒(或等邊方錠)拼接的兩個端面高度，確認偏差 < 2mm(又稱馬蹄切口)為合格。并且按多線切割機的等長度要求，配選相應(yīng)高度的等徑短 圓晶棒(或等邊方錠)待用。2、把吸拿工具的聚乙烯氣墊25放在擬粘接面上，用力下壓壓氣柄17，使吸拿工具 與等徑短圓晶棒(或等邊方錠)吸緊，確認后，提起從桶口放入桶底中心位置，將同心度檢 驗棒1上的數(shù)顯游標尺2滑下，將指針從承載對稱桶的對稱同心度測試空口 5進入，讀出并 且記住此讀數(shù)，擰動相應(yīng)的定位螺絲4靠住晶錠，退出數(shù)顯游標尺2的指針；隨后放入第二 個，對準等徑短圓晶棒(或等邊方錠)外四條晶體生長棱線(或四角)，用數(shù)顯游標尺測出 的第一節(jié)晶錠的同心度讀數(shù)值，確定第二個的中心，擰動相應(yīng)的定位螺絲4靠住晶錠，依次 將后面各個等徑短圓晶棒(或等邊方錠)放入，逐節(jié)用數(shù)顯游標尺2用第一個等徑短圓晶 棒(或等邊方錠)的同心度讀數(shù)確定第三、四個等徑短圓晶棒(或等邊方錠)的中心，旋靠 相應(yīng)的定位螺絲4，直至規(guī)定長度，用記號筆由上至下劃出一條二次對接線記號。之后，除桶 底的那節(jié)不動外，從上至下又依次將等徑短圓晶棒(或等邊方錠)取出排放好，按倒序，先 桶底的硅晶錠上端面均勻抹好粘接劑，擠出粘接劑中氣泡達到均勻平整，再放入第二個，按 二次對接線記號對準，再在其上端面平整均勻抹好粘接劑，再放入第三個，對好二次對接線 記號，又在上端面平整均勻抹好粘接劑，繼續(xù)疊放第四個等徑短圓晶棒(或等邊方錠)，對 好二次對接線記號，把所有固定螺絲旋緊，完成全部操作約10分鐘，在自然條件下放置8小 時，松掉全部定位螺絲，用吸拿工具整體提出，就算多個等徑短圓晶棒(或等邊方錠)的等 長晶錠拼接工作已經(jīng)全部完成。轉(zhuǎn)為下道工序，進行正常加工。特點是，設(shè)備投入低，操作 方便，易掌握。尤其是硅晶錠棱線(或角)對準偏度，晶向偏離度均<2°，將普通四節(jié)晶錠 拼接成工藝規(guī)定的320mm(或410mm)等長晶錠的時間由24小時縮短到8小時，大大提高了 功效。
權(quán)利要求
1.一種等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置，其特征在于，包括拼接機構(gòu)及配套的吸 拿工具，所述拼接機構(gòu)包括一圓柱形的承載對中桶(3)，其桶體的外表面十字對稱的設(shè)有四列縱向定位線，所述縱 向定位線由若干從上至下等間隔排列的定位螺絲(4)組成，相鄰的兩個縱向定位線之間的桶體上設(shè)有同心度測試開口(5)， 承載對中桶(3)開口朝上，桶底(6)底面居中設(shè)有一個轉(zhuǎn)軸(7)， 轉(zhuǎn)軸(7)穿裝在盒式方臺(14)正中的通孔內(nèi)，且轉(zhuǎn)軸(7)與盒式方臺(14)保持絕對 垂直，盒式方臺(14)上表面設(shè)有固定轉(zhuǎn)軸(7)的軸承上密封蓋(9)， 轉(zhuǎn)軸(7)位于盒式方臺(14)內(nèi)腔中的軸身上從上至下依次套裝有7008C/P4a軸承 (10)、7008C/P4b 軸承(11)、軸承護套(12)，軸承護套(12)的下表面與臺下壓緊軸承蓋(13)的上表面抵接， 臺下壓緊軸承蓋(13)和軸承上密封蓋(9)的四角各通過一個鎖緊螺絲(8)固定連接， 承載對中桶(3)通過轉(zhuǎn)軸(7)與7008C/P4a軸承(10)、7008C/P4b軸承(11)的配合沿 轉(zhuǎn)軸(7)縱軸線360°自由轉(zhuǎn)動，盒式方臺(14)上表面的一角設(shè)有一同心度確定裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置，其特征在于，所述同心 度確定裝置包括一檢驗棒(1)，與盒式方臺(14)保持絕對垂直，檢驗棒(1)上設(shè)有一能沿檢驗棒(1)上下任意滑動的固定套(15)，所述固定套(15)上 設(shè)有固定旋鈕，所述固定套(15)上還設(shè)有一數(shù)顯游標卡尺(2)。
3.如權(quán)利要求2所述的等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置，其特征在于檢驗棒(1) 長度為300mm，直徑為20mm，檢驗棒(1)的縱向軸線與承載對中桶(3)的縱向軸線的平行距 為155mm，承載對中桶(3)直徑為210mm，高度為280mm。
4.如權(quán)利要求1所述的等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置，其特征在于，所述吸拿 工具包括由側(cè)壁和頂壁構(gòu)成的吸盤座(23)，其下端開口，頂壁上居中設(shè)有一方孔，頂壁上表面居中設(shè)有一小方壓力支片(20)，小方壓力支片(20)上亦居中設(shè)有一方孔，直提把手(16)通過螺絲(28)固定在吸盤座(23)的頂壁上表面，吸盤座(23)下端開口處設(shè)有聚乙烯吸盤(25)，聚乙烯吸盤(25)內(nèi)居中埋設(shè)有帶埋頭螺釘(27)的氣墊下夾片(26)，氣墊上夾片(24)穿裝在埋頭螺釘(27)上，其下表面與聚乙烯吸盤(25)的上表面觸接，埋頭螺釘(27)的頭部旋裝在升降桿(21)的下端，升降桿(21)的下端端面與氣墊上夾 片(24)的上表面觸接，升降桿(21)為矩形柱體，升降桿(21)位于吸盤座(23)內(nèi)的桿體上設(shè)有反饋梯形彈簧 (22)，升降桿(21)的上端穿出頂壁上居中設(shè)置的方孔后，與一連接軸(19)垂直連接， 所述連接軸(19)設(shè)置在壓氣柄(17)的下端，且連接軸(19)的兩端由軸銷(18)鎖住。
5.如權(quán)利要求4所述的等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置，其特征在于壓氣柄 (17)壓點的Rl-I支拱為90mm，R2-1支拱為135mm。
6.一種基于權(quán)利要求1所述裝置的等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接方法，其特征在 于，包括以下步驟步驟1，用吸拿工具將第一個等徑短圓晶棒或第一個等邊方錠提起，從承載對中桶(3) 的上口放入桶底中心，用定位螺絲(4)固定牢固，步驟2，將檢驗棒(1)上的數(shù)顯游標卡尺(2)的測試針指到等徑短圓晶棒或等邊方錠中 心，讀出顯示數(shù)值A(chǔ)，步驟3，以步驟2得到的顯示數(shù)值A(chǔ)為基準，依次用吸拿工具將第二 至第四個等徑短 圓晶棒或第二 至第四個等邊方錠提起，從承載對中桶(3)的上口放入，使四個等徑短圓 晶棒上下疊置，或使四個等邊方錠上下疊置，步驟4，把四個等徑短圓晶棒的四個結(jié)晶對稱棱線由下至上對齊，或把四個等邊方錠的 四角由下至上對齊，步驟5，旋緊所有的定位螺絲(4)，使定位螺絲(4)夾緊各個等徑短圓晶棒或等邊方錠， 步驟6，用記號筆從最上端的一個到最下端的一個等徑短圓晶棒或等邊方錠的外表面 上劃一直線，稱為二次對接線；步驟7，松開靠近操作者的兩列定位螺絲(4)，使用吸拿工具將第二 至第四個等徑短 圓晶棒或等邊方錠取出，置于工作臺上，步驟8，在第一個等徑短圓晶棒或等邊方錠的上端抹上粘接劑，使用吸拿工具將第二個 等徑短圓晶棒或等邊方錠放在已經(jīng)抹上粘接劑的端面上，將二者的二次對接線對齊，步驟9，在第二個等徑短圓晶棒或等邊方錠的上端抹上粘接劑，使用吸拿工具將第三個 等徑短圓晶棒或等邊方錠放在已經(jīng)抹上粘接劑的端面上，將二者的二次對接線對齊，步驟10，在第三個等徑短圓晶棒或等邊方錠的上端抹上粘接劑，使用吸拿工具將第四 個等徑短圓晶棒或等邊方錠放在已經(jīng)抹上粘接劑的端面上，將二者的二次對接線對齊，步驟11，再次將步驟7時松開的定位螺絲(4)旋緊，使定位螺絲(4)夾緊各個等徑短圓 晶棒或等邊方錠，固化8小時后，使用吸拿工具將等長晶圓棒或等長方晶錠取出。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置及方法，包括拼接機構(gòu)及配套的吸拿工具，通過承載對中桶上的定位螺絲固定等徑短圓晶棒或等邊方錠，并通過同心度確定裝置確保上下疊置的四個等徑短圓晶棒或等邊方錠的同心度，把四個等徑短圓晶棒的四個結(jié)晶對稱棱線由下至上對齊，或把四個等邊方錠的四角由下至上對齊，在等徑短圓晶棒或等邊方錠的外表面上劃一直線作為二次對接線，用吸拿工具將上面的第二～第四個等徑短圓晶棒或等邊方錠依次提出，抹上粘接劑后按二次對接線重新對齊、固定，完成拼接。本發(fā)明所述的拼接裝置及方法，拼接時間短，拼接好的等長晶圓棒或等長方晶錠的同心度好，四個結(jié)晶對稱棱線或方錠四角容易對齊，易于標準化和規(guī)?；a(chǎn)。
文檔編號C30B33/06GK102102226SQ20111004668
公開日2011年6月22日 申請日期2011年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月28日
發(fā)明者宋志安, 王飛, 賴汝萍 申請人:溫州神硅電子有限公司