專利名稱：擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散爐石英件中的進(jìn)氣管領(lǐng)域，尤其是涉及一種加固了進(jìn)氣管中 粗細(xì)管徑結(jié)合部位的擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管。背景技術(shù)：
目前，在多晶硅薄膜太陽能電池制造過程中，必須要對薄膜電池進(jìn)行化學(xué)氣體沉 積處理，而進(jìn)行此項(xiàng)處理的擴(kuò)散爐又必須要通過石英材質(zhì)的進(jìn)氣管來完成各種工藝氣體的 輸送；為避免進(jìn)氣管受到擴(kuò)散爐的高溫影響而發(fā)生泄露現(xiàn)象，同時(shí)還便于在進(jìn)氣管和擴(kuò)散 爐的爐管之間安裝密封件，現(xiàn)在采用的基本上是將進(jìn)氣管的管壁與爐管之間安裝密封件的 部位加厚，即將進(jìn)氣管的該段管壁由原有的12mm增厚至19mm，參照附圖1能夠清楚了解目 前的結(jié)構(gòu)；但是，在長期實(shí)際應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)，由于進(jìn)氣管的管壁厚度突然由12mm增加至19mm， 從而導(dǎo)致了管內(nèi)輸送的氣體壓力也受到影響，即在進(jìn)氣管的粗管壁與細(xì)管壁結(jié)合處極易因 管壁壓力的突然變化而發(fā)生受力不均，進(jìn)而引起結(jié)合處的細(xì)管壁出現(xiàn)裂紋甚至管體斷裂的 現(xiàn)象。
發(fā)明內(nèi)容為了克服背景技術(shù)中的不足，本實(shí)用新型提供了一種擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管，所述的進(jìn) 氣管結(jié)實(shí)耐用，有效的延長了使用壽命。為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管，所述的進(jìn)氣管在粗管壁和細(xì)管壁結(jié)合的部位粘接或焊接一 個(gè)過渡管；所述過渡管的管內(nèi)徑與細(xì)管壁的外徑吻合對應(yīng)；過渡管的一端直徑與粗管壁的 外徑吻合對應(yīng)，過渡管的另一端直徑與細(xì)管壁的外徑吻合對應(yīng)。所述的擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管，所述的過渡管與進(jìn)氣管設(shè)為一體結(jié)構(gòu)。由于采用如上所述的技術(shù)方案，本實(shí)用新型具有如下有益效果本實(shí)用新型所述的擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管，由于增加了一個(gè)使管壁均勻的由粗管壁過渡 到細(xì)管壁的過渡管，從而使管體更加結(jié)實(shí)耐用，有效延長了進(jìn)氣管的使用壽命。
圖1是目前進(jìn)氣管上的粗管與細(xì)管的連接示意圖；圖2是本實(shí)用新型所述的過渡管的示意圖；圖3是本實(shí)用新型所述進(jìn)氣管的示意圖。圖中1、粗管壁；2、細(xì)管壁；3、過渡管；4、管內(nèi)徑。
具體實(shí)施方式
通過下面的實(shí)施例可以更詳細(xì)的解釋本實(shí)用新型，公開本實(shí)用新型的目的旨在保 護(hù)本實(shí)用新型范圍內(nèi)的一切變化和改進(jìn)，本實(shí)用新型并不局限于下面的實(shí)施例；3[0014]實(shí)施本實(shí)用新型所述的擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管時(shí)，結(jié)合附圖2 3所述的進(jìn)氣管，在現(xiàn)有 的進(jìn)氣管中粗管壁1和細(xì)管壁2結(jié)合的部位粘接或焊接一個(gè)過渡管3 ；為便于將過渡管3安 置于需要粘接或焊接的位置，所述過渡管3的管內(nèi)徑4與細(xì)管壁2的外徑吻合對應(yīng)，達(dá)到了 將過渡管3吻合卡套于細(xì)管壁2外壁的目的；過渡管3的一端直徑與粗管壁1的外徑吻合 對應(yīng)，過渡管3的另一端直徑與細(xì)管壁2的外徑吻合對應(yīng)，即達(dá)到了過渡管3被安置于粗管 壁1與細(xì)管壁2之間的連接位置，并使進(jìn)氣管粗管壁1的厚度能夠均勻的通過過渡管3的 管壁厚度過渡至細(xì)管壁2的管壁厚度的目的；根據(jù)需要，在生產(chǎn)新的進(jìn)氣管時(shí)，能夠直接將 過渡管3與進(jìn)氣管設(shè)置為一體生產(chǎn)。本實(shí)用新型所述的擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管，由于增加了一個(gè)能夠使管壁均勻的由粗管壁 1過渡到細(xì)管壁2的過渡管3，從而使進(jìn)氣管該位置內(nèi)的氣體壓力也得到過渡，由此避免了 因壓力突然改變而使管壁發(fā)生裂紋或斷裂的現(xiàn)象，使得粗管壁1與細(xì)管壁2結(jié)合處的管體 更加結(jié)實(shí)耐用；經(jīng)多次實(shí)驗(yàn)對比證明，現(xiàn)有的進(jìn)氣管平均使用壽命為4個(gè)月，而本實(shí)用新型 所述的進(jìn)氣管將平均使用壽命提高到了 6個(gè)月。以上內(nèi)容中未細(xì)述部份為現(xiàn)有技術(shù)，故未做細(xì)述。
權(quán)利要求1.一種擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管，其特征是所述的進(jìn)氣管在粗管壁(1)和細(xì)管壁( 結(jié)合的 部位粘接或焊接一個(gè)過渡管⑶；所述過渡管⑶的管內(nèi)徑⑷與細(xì)管壁⑵的外徑吻合 對應(yīng)；過渡管C3)的一端直徑與粗管壁(1)的外徑吻合對應(yīng)，過渡管C3)的另一端直徑與細(xì) 管壁O)的外徑吻合對應(yīng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管，其特征是所述的過渡管C3)與進(jìn)氣管設(shè) 為一體結(jié)構(gòu)。
專利摘要一種涉及擴(kuò)散爐石英件中進(jìn)氣管領(lǐng)域的擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管，所述的進(jìn)氣管在粗管壁和細(xì)管壁結(jié)合的部位粘接或焊接一個(gè)過渡管；所述過渡管的管內(nèi)徑與細(xì)管壁的外徑吻合對應(yīng)；過渡管的一端直徑與粗管壁的外徑吻合對應(yīng)，過渡管的另一端直徑與細(xì)管壁的外徑吻合對應(yīng)；所述的擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管，由于增加了一個(gè)使管壁均勻的由粗管壁過渡到細(xì)管壁的過渡管，從而使管體更加結(jié)實(shí)耐用，有效延長了進(jìn)氣管的使用壽命。
文檔編號(hào)C30B31/06GK201826036SQ201020549489
公開日2011年5月11日 申請日期2010年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月30日
發(fā)明者周積勛, 張明坤, 張磊, 朱曉磊, 王奇, 鄧占鵬, 霍得生 申請人:上海超日(洛陽)太陽能有限公司