技術(shù)編號：8037344
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散爐石英件中的進(jìn)氣管領(lǐng)域，尤其是涉及一種加固了進(jìn)氣管中 粗細(xì)管徑結(jié)合部位的擴(kuò)散爐用進(jìn)氣管。背景技術(shù)目前，在多晶硅薄膜太陽能電池制造過程中，必須要對薄膜電池進(jìn)行化學(xué)氣體沉 積處理，而進(jìn)行此項(xiàng)處理的擴(kuò)散爐又必須要通過石英材質(zhì)的進(jìn)氣管來完成各種工藝氣體的 輸送；為避免進(jìn)氣管受到擴(kuò)散爐的高溫影響而發(fā)生泄露現(xiàn)象，同時還便于在進(jìn)氣管和擴(kuò)散 爐的爐管之間安裝密封件，現(xiàn)在采用的基本上是將進(jìn)氣管的管壁與爐管之間安裝密封件的 部位加厚，即將進(jìn)氣管的該段管壁由原有的12mm增厚至19mm，參...
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