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一種芯片貼裝機和貼裝方法與流程

文檔序號:12137525閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種芯片貼裝機,其特征在于,包括:

吸附裝置,所述吸附裝置設(shè)有至少一層真空密封壁和至少一個真空吸附區(qū),其中,每個所述真空吸附區(qū)所選用材料為高開口氣孔率的多孔材料,且內(nèi)部各孔洞之間相互貫通,每個所述真空吸附區(qū)對應(yīng)一層所述真空密封壁,所述吸附裝置用于載置面板;

加熱裝置,所述加熱裝置設(shè)于所述吸附裝置的下方,且所述加熱裝置的上表面與所述吸附裝置的下表面緊密貼合,所述加熱裝置的下表面設(shè)有多個均勻排布的安裝孔以及填充在所述安裝孔內(nèi)的加熱體,所述加熱裝置設(shè)有多個真空孔道,且每個所述真空孔道與每個所述真空吸附區(qū)一一對應(yīng)并導(dǎo)通;

真空裝置,所述真空裝置與所述真空孔道連接導(dǎo)通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片貼裝機,其特征在于,在所述加熱裝置的下方設(shè)有隔熱板。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的芯片貼裝機,其特征在于,所述隔熱板與所述加熱裝置之間設(shè)有多個隔熱支撐。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的芯片貼裝機,其特征在于,所述隔熱支撐的數(shù)量為四個,且兩兩呈對角設(shè)于所述隔熱板與所述加熱裝置之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求2-4中任一項所述的芯片貼裝機,其特征在于,在所述隔熱板的下方設(shè)有散熱裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的芯片貼裝機,其特征在于,所述散熱裝置內(nèi)部設(shè)有至少一個氣流通道。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的芯片貼裝機,其特征在于,所述氣流通道的數(shù)量為兩個。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片貼裝機,其特征在于,所述真空密封壁為方形。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片貼裝機,其特征在于,在所述加熱裝置的下方設(shè)有移動裝置,所述移動裝置包括橫向移動模塊和縱向移動模塊。

10.一種芯片貼裝方法,其特征在于,包括:

將上表面緊貼有熱熔膜的面板放置到如權(quán)利要求1-9中任一項的所述吸附裝置上;

將所述面板加熱至貼裝要求的溫度;

鍵合頭拾取芯片,并識別所述芯片的貼裝標(biāo)記位;

根據(jù)所述貼裝標(biāo)記位將所述芯片貼裝所述面板上。

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