本發(fā)明涉及吸嘴、安裝裝置及元件脫離方法。

背景技術(shù)：

以往，作為吸嘴，提出了如下的吸嘴：具備下端部的吸附筒部和與下端部的吸附筒部連接的主體筒部，在吸附筒部的中央部形成有吸引通路并且在側(cè)面形成有延伸至下端部的一對(duì)狹縫(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。該吸嘴在向印制基板的裝配時(shí)能夠極力避免元件不從吸嘴分離的帶回現(xiàn)象的發(fā)生。

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2007-266331號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

然而，在上述的吸嘴中，雖然通過(guò)一對(duì)狹縫能夠抑制帶回現(xiàn)象的發(fā)生，但是根據(jù)元件種類(lèi)的不同，有時(shí)也會(huì)產(chǎn)生帶回現(xiàn)象，要求進(jìn)一步的改良。

本發(fā)明鑒于這樣的課題而作出，主要目的在于提供能夠更可靠地進(jìn)行元件的吸附解除的吸嘴、安裝裝置及元件脫離方法。

用于解決課題的方案

本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)上述的主要目的而采用以下的方案。

本發(fā)明的吸嘴用于將元件安裝于基板的安裝裝置，所述吸嘴具備：空氣配管；前端部，形成于所述空氣配管的前端，具有面積比形成于所述空氣配管一側(cè)的空氣的流路大的開(kāi)口部，且與元件抵接；及狹縫，設(shè)于所述前端部的周狀的接觸面的一部分。

該吸嘴的空氣配管的前端部具有面積比空氣配管一側(cè)的流路大的開(kāi)口部，在形成于空氣配管的前端部的與元件抵接的周狀的接觸面的一部分設(shè)置狹縫。在該吸嘴中，從空氣配管供給的空氣經(jīng)由狹縫流出，因此能夠以該狹縫的位置為基點(diǎn)，解除元件的吸附狀態(tài)而更可靠地使元件分離。而且，前端部的開(kāi)口部形成得比流路大，且在更外周側(cè)形成狹縫。因此，空氣從更外周側(cè)經(jīng)由狹縫流出，因此容易施加向元件的應(yīng)力，容易對(duì)元件進(jìn)行吸附解除。因此，在該吸嘴中，能夠更可靠地進(jìn)行元件的吸附解除。

在本發(fā)明的吸嘴中，可以是，所述前端部形成為具有圓頂形狀的所述元件的圓頂部能夠進(jìn)入的形狀。在該吸嘴中，在安裝圓頂形狀的元件時(shí)，能夠更可靠地進(jìn)行元件的吸附解除。

在本發(fā)明的吸嘴中，可以是，所述狹縫形成為，所述狹縫的開(kāi)口面積y相對(duì)于所述流路的截面積x的比例為40％以上。該吸嘴在元件的吸附解除時(shí)施加了正壓的情況下，能夠進(jìn)一步抑制在元件與前端部的間隙產(chǎn)生的排氣和吸氣的氣流的產(chǎn)生(也稱(chēng)為噴流效果)，能夠更可靠地進(jìn)行元件的吸附狀態(tài)的解除。該吸嘴尤其是對(duì)于具有圓頂形狀的元件的吸附及吸附解除有效。此時(shí)，優(yōu)選為，所述狹縫形成為，所述狹縫的開(kāi)口面積y相對(duì)于所述流路的截面積x的比例為60％以上。該吸嘴能夠更可靠地進(jìn)行元件的吸附狀態(tài)的解除。

本發(fā)明的吸嘴可以在所述前端部形成有能夠與具有平面狀抵接面的元件的該抵接面接觸的所述接觸面。該吸嘴能夠更可靠地進(jìn)行具有平面狀抵接面的元件的吸附。此時(shí)，可以是，所述狹縫形成為，所述狹縫的開(kāi)口面積y相對(duì)于所述流路的截面積x的比例為20％以上。該吸嘴在元件的吸附解除時(shí)，能夠進(jìn)一步抑制噴流效果，能夠更可靠地進(jìn)行元件的吸附狀態(tài)的解除。需要說(shuō)明的是，當(dāng)考慮吸附時(shí)的效率時(shí)，所述接觸面的所述狹縫的面積y相對(duì)于流路的截面積x的比例優(yōu)選為120％以下，更優(yōu)選為100％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為80％以下。

在本發(fā)明的吸嘴中，可以是，在所述前端部形成有錐形部，該錐形部在其內(nèi)部具有將所述狹縫與所述流路連結(jié)的錐形面。該吸嘴通過(guò)具有錐形面的錐形部，能夠更容易地形成面積比流路大的開(kāi)口部。此時(shí)，優(yōu)選為，所述錐形部以設(shè)置在所述圓頂部進(jìn)入時(shí)避免該圓頂部與所述錐形面接觸的間隙的方式而形成。在該吸嘴中，在元件的吸附解除時(shí)能夠進(jìn)一步抑制噴流效果，能夠更可靠地進(jìn)行元件的吸附狀態(tài)的解除。

在本發(fā)明的吸嘴中，可以是，在所述接觸面上形成有一個(gè)所述狹縫。通常，吸嘴在端部上形成有多個(gè)狹縫的情況下，在元件的吸附解除時(shí)如果施加正壓，則容易引起從一方的狹縫排氣并從另一方的狹縫吸氣的氣流的現(xiàn)象(噴流效果)。該吸嘴通過(guò)僅設(shè)置1個(gè)狹縫，能夠進(jìn)一步抑制該噴流效果的產(chǎn)生，能夠更可靠地進(jìn)行元件的吸附狀態(tài)的解除。

可以是，本發(fā)明的吸嘴吸附所述前端部所接觸的抵接面由具有柔軟性和/或粘著性的樹(shù)脂形成的元件。元件的抵接面由具有柔軟性和/或粘著性的樹(shù)脂形成的元件在元件與前端部的間隙容易產(chǎn)生噴流效果。因此，本發(fā)明的吸嘴尤其是對(duì)于抵接面由具有柔軟性和/或粘著性的樹(shù)脂形成的元件的吸附解除有效。

本發(fā)明的安裝裝置具備：安裝頭，裝配有上述任一記載的吸嘴；及控制部，通過(guò)向吸附有所述元件的所述吸嘴供給空氣而對(duì)該元件進(jìn)行廢棄處理。

在該安裝裝置中，由于具備上述的吸嘴中的任一個(gè)，因此與上述的吸嘴同樣，能夠更可靠地進(jìn)行元件的吸附解除。需要說(shuō)明的是，該安裝裝置如果采用上述的吸嘴中的任一個(gè)，則能夠得到與該吸嘴對(duì)應(yīng)的效果。

在本發(fā)明的安裝裝置中，可以是，所述控制部在進(jìn)行所述廢棄處理時(shí)，向吸附有所述元件的所述吸嘴施加10kpa以上的排氣壓。在該安裝裝置中，具備上述的吸嘴中的任一個(gè)，因此即使在10kpa以上的排氣壓下，也能夠更可靠地進(jìn)行元件的吸附解除。該排氣壓例如可以為30kpa以上，也可以為50kpa以上。而且，該排氣壓可以為250kpa以下。

本發(fā)明的元件脫離方法向吸附有所述元件的上述任一記載的吸嘴供給空氣，通過(guò)從所述狹縫流出的空氣，以所述狹縫的位置為基點(diǎn)使該元件從該吸嘴分離。

在該元件脫離方法中，由于使用上述的吸嘴中的任一個(gè)，因此與上述的吸嘴同樣，能夠更可靠地進(jìn)行元件的吸附解除。需要說(shuō)明的是，在該元件脫離方法中，如果采用上述的吸嘴中的任一個(gè)，則能夠得到與該吸嘴對(duì)應(yīng)的效果。

附圖說(shuō)明

圖1是表示安裝系統(tǒng)10的一例的概略說(shuō)明圖。

圖2是表示安裝裝置11的結(jié)構(gòu)的框圖。

圖3是對(duì)具有圓頂部61的元件60進(jìn)行吸附的吸嘴30的說(shuō)明圖。

圖4是對(duì)元件60b進(jìn)行吸附的吸嘴30b的說(shuō)明圖。

圖5是從吸嘴30對(duì)元件60進(jìn)行吸附解除時(shí)的說(shuō)明圖。

圖6是從吸嘴30b對(duì)元件60b進(jìn)行吸附解除時(shí)的說(shuō)明圖。

圖7是從吸嘴130對(duì)元件60進(jìn)行吸附解除時(shí)的說(shuō)明圖。

具體實(shí)施方式

參照附圖，以下說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式。圖1是表示安裝系統(tǒng)10的一例的概略說(shuō)明圖。圖2是表示安裝裝置11的結(jié)構(gòu)的框圖。安裝系統(tǒng)10是執(zhí)行與將元件向基板s安裝的處理相關(guān)的安裝處理的系統(tǒng)。該安裝系統(tǒng)10具備安裝裝置11和管理計(jì)算機(jī)50。安裝系統(tǒng)10從上游至下游配置有實(shí)施將元件向基板s安裝的安裝處理的多個(gè)安裝裝置11。在圖1中，為了便于說(shuō)明而安裝裝置11僅示出1臺(tái)。需要說(shuō)明的是，安裝處理包括將元件向基板上進(jìn)行配置、裝配、插入、接合、粘結(jié)的處理等。而且，在本實(shí)施方式中，左右方向(x軸)、前后方向(y軸)及上下方向(z軸)如圖1所示。而且，在本實(shí)施方式中，主要使用吸嘴30及元件60進(jìn)行說(shuō)明，但是省略附圖標(biāo)記而對(duì)其構(gòu)成物進(jìn)行總稱(chēng)。例如，元件60、60b總稱(chēng)為“元件”，吸嘴30、30b總稱(chēng)為吸嘴。

如圖1、2所示，安裝裝置11具備基板搬運(yùn)單元12、安裝單元13、元件供給單元14、壓力施加單元15、零件相機(jī)16、控制裝置40?；灏徇\(yùn)單元12是進(jìn)行基板s的搬入、搬運(yùn)、安裝位置處的固定、搬出的單元?；灏徇\(yùn)單元12具有在圖1的前后空出間隔地設(shè)置且沿左右方向架設(shè)的一對(duì)輸送帶?；錽由該輸送帶搬運(yùn)。

安裝單元13是從元件供給單元14拾取元件并向固定于基板搬運(yùn)單元12的基板s進(jìn)行配置的結(jié)構(gòu)。安裝單元13具備頭移動(dòng)部20、安裝頭22、吸嘴30。頭移動(dòng)部20具備由導(dǎo)軌引導(dǎo)而在xy方向上移動(dòng)的滑動(dòng)件和對(duì)滑動(dòng)件進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)。安裝頭22以能夠拆卸的方式裝配于滑動(dòng)件，通過(guò)頭移動(dòng)部20而在xy方向上移動(dòng)。在安裝頭22的下表面以能夠拆卸的方式裝配有1個(gè)以上的吸嘴30。安裝頭22內(nèi)置z軸電動(dòng)機(jī)，通過(guò)該z軸電動(dòng)機(jī)沿z軸調(diào)整吸嘴30的高度。而且，安裝頭22具備通過(guò)未圖示的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)而使吸嘴30旋轉(zhuǎn)(自轉(zhuǎn))的旋轉(zhuǎn)裝置，能夠調(diào)整吸嘴30所吸附的元件的角度。

元件供給單元14具備多個(gè)帶盤(pán)，以能夠拆裝的方式安裝在安裝裝置11的前側(cè)。在各帶盤(pán)卷纏有帶，在帶的表面沿著帶的長(zhǎng)度方向保持有多個(gè)元件60。該帶從帶盤(pán)朝向后方松卷，在元件露出的狀態(tài)下，由供料器部向由吸嘴30吸附的拾取位置送出。

壓力施加單元15是向安裝頭22施加負(fù)壓或正壓的單元。壓力施加單元15具備負(fù)壓供給部24、正壓供給部25、電磁閥26。負(fù)壓供給部24具備真空泵等，向安裝頭22供給負(fù)壓。正壓供給部25具備常壓的配管、加壓泵等，向安裝頭22供給正壓。電磁閥26進(jìn)行向安裝頭22供給負(fù)壓或正壓的路徑的切換。安裝頭22通過(guò)從負(fù)壓供給部24經(jīng)由電磁閥26供給的負(fù)壓而向吸嘴30吸附元件60。而且，安裝頭22通過(guò)從正壓供給部25經(jīng)由電磁閥26供給的正壓而將元件60從吸嘴30進(jìn)行吸附解除。該壓力施加單元15可以構(gòu)成為向吸嘴30施加10kpa以上的排氣壓。如果排氣壓為10kpa以上，則能夠更可靠地對(duì)元件60進(jìn)行吸附解除。壓力施加單元15根據(jù)利用的元件種類(lèi)等而設(shè)計(jì)，例如，其排氣壓可以為30kpa以上，也可以為50kpa以上。而且，其排氣壓可以為250kpa以下。

吸嘴30是利用壓力來(lái)拾取元件60的結(jié)構(gòu)，以能夠拆卸的方式裝配于安裝頭22。圖3是對(duì)具有圓頂部61的元件60進(jìn)行吸附的吸嘴30的說(shuō)明圖，圖3(a)是立體圖，圖3(b)是剖視圖。如圖3所示，該吸嘴30構(gòu)成為對(duì)具有圓頂形狀的元件60進(jìn)行吸附保持。元件60具有與底面大致平行地形成的上表面即抵接面62和從抵接面62形成于上方的圓頂形狀的圓頂部61。該元件60的圓頂部61及抵接面62由具有柔軟性和/或粘著性的樹(shù)脂形成。即，元件60可以由具有柔軟性的樹(shù)脂形成，也可以由具有粘著性的樹(shù)脂形成，還可以由具有柔軟性及粘著性的樹(shù)脂形成。這樣的元件60也會(huì)產(chǎn)生從吸嘴30的吸附解除困難的情況，詳情在后文敘述。元件60例如是通過(guò)具有透光性的透明的樹(shù)脂而形成有圓頂部61的led元件。

該吸嘴30具備空氣配管31、前端部33、凸緣39。空氣配管31在其內(nèi)側(cè)形成有空氣流通的圓筒型的空間即流路32。該空氣配管31連接于安裝頭22的配管，從壓力施加單元15被供給負(fù)壓及正壓。前端部33是形成于空氣配管31的前端且與元件60抵接的部分。在前端部33的前端形成有周狀的接觸面34，該接觸面34與元件60抵接。在周狀的接觸面34的一部分設(shè)有狹縫37。狹縫37是使前端部33的外周側(cè)與內(nèi)周側(cè)連通的槽或凹部。該前端部33具有面積比流路32大的開(kāi)口部29。而且，在前端部33形成有錐形部35，該錐形部35在其內(nèi)部具有將狹縫37與流路32連結(jié)的錐形面36。在該吸嘴30中，前端部33將開(kāi)口部29及錐形部35形成為具有圓頂形狀的元件60的圓頂部61能夠進(jìn)入的形狀。前端部33形成有圓筒面35a，該圓筒面35a從開(kāi)口部29向流路32側(cè)形成圓筒型的空間，從該圓筒面35a向流路32形成錐形面36。該錐形部35設(shè)置在圓頂部61進(jìn)入時(shí)盡量不與該圓頂部61和錐形面36接觸且盡量不與圓頂部61和圓筒面35a接觸的間隙而形成。吸嘴特別是在未形成狹縫時(shí)等如果圓頂部61與錐形面36和/或圓筒面35a接觸，則會(huì)產(chǎn)生無(wú)法進(jìn)行元件的吸附解除的情況。

狹縫37可以形成為，狹縫37的開(kāi)口面積y相對(duì)于流路32的截面積x的比例(y/x×100(％)、也稱(chēng)為狹縫面積比例)為40％以上。狹縫面積比例為40％以上的話(huà)，能夠更可靠地進(jìn)行元件60的吸附解除。狹縫37更優(yōu)選形成為狹縫面積比例為60％以上。需要說(shuō)明的是，當(dāng)狹縫37的開(kāi)口面積y增大時(shí)，吸嘴30難以得到元件60的吸附時(shí)的負(fù)壓。因此，如果考慮吸附時(shí)的效率，則狹縫面積比例優(yōu)選為120％以下，更優(yōu)選為100％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為80％以下。需要說(shuō)明的是，流路32的截面積x是與空氣的流通方向正交的截面積。而且，狹縫37的開(kāi)口面積y是元件60的吸附時(shí)的空氣流通的有效面積(空氣流通的最小面積)。而且，優(yōu)選在接觸面34上形成1個(gè)狹縫37。如果形成多個(gè)狹縫37，則在元件60的吸附解除時(shí)施加正壓的情況下，容易引起在元件60與前端部33的間隙產(chǎn)生的排氣和吸氣的氣流的產(chǎn)生(也稱(chēng)為噴流效果)(參照后述圖7)。狹縫37只要設(shè)為例如該噴流效果難以產(chǎn)生的位置、大小即可，也可以形成多個(gè)，但是更優(yōu)選為1個(gè)。

前端部33以沿著空氣配管31能夠在z軸方向(上下方向)上滑動(dòng)的方式配設(shè)于空氣配管31。在空氣配管31的外周配設(shè)圓板狀的凸緣39。在該凸緣39與前端部33之間配設(shè)彈簧38。彈簧38將前端部33向下方按壓。在吸嘴30中，通過(guò)該空氣配管31、前端部33、彈簧38，構(gòu)成使用了彈簧力的應(yīng)力緩沖機(jī)構(gòu)，能夠緩和吸附及配置時(shí)的對(duì)元件60的沖擊。

另外，安裝頭22也可以設(shè)為裝配吸嘴30b的結(jié)構(gòu)。圖4是對(duì)具有平面狀的(平坦的)抵接面62b的元件60b進(jìn)行吸附的吸嘴30b的說(shuō)明圖，圖4(a)是立體圖，圖4(b)是剖視圖。在該吸嘴30b中，對(duì)于與吸嘴30同樣的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同附圖標(biāo)記而省略其說(shuō)明。如圖4所示，該吸嘴30b對(duì)具有平坦的上表面的元件60b進(jìn)行吸附保持。元件60b的抵接面62b由具有柔軟性和/或粘著性的樹(shù)脂形成。元件60b可以是例如通過(guò)具有透光性的透明的樹(shù)脂形成抵接面62b的led元件。該吸嘴30b具備前端部33b。前端部33b是形成在空氣配管31的前端并與元件60b抵接的部分。在前端部33b的前端形成有能夠與元件60b的平面狀的抵接面62b接觸的周狀的接觸面34b，該接觸面34b與元件60b抵接。在周狀的接觸面34b的一部分設(shè)有狹縫37b。狹縫37b是使前端部33b的外周側(cè)與內(nèi)周側(cè)連通的槽或凹部。該前端部33b具有面積比流路32大的開(kāi)口部29b。而且，在前端部33b形成有錐形部35b，該錐形部35b在內(nèi)部具有將狹縫37b與流路32連結(jié)的錐形面36。在該吸嘴30b中具有錐形部35b，該錐形部35b從開(kāi)口部29b的開(kāi)口緣向流路32形成有錐形面36。狹縫37b可以設(shè)為狹縫面積比例形成為20％以上的結(jié)構(gòu)。在吸嘴30b中，狹縫面積比例為20％以上的話(huà)，能夠更可靠地進(jìn)行元件60b的吸附解除。該狹縫37b優(yōu)選狹縫面積比例形成為40％以上，更優(yōu)選形成為60％以上。需要說(shuō)明的是，當(dāng)狹縫37b的開(kāi)口面積y增大時(shí)，吸嘴30b難以得到元件60b的吸附時(shí)的負(fù)壓。因此，當(dāng)考慮吸附時(shí)的效率時(shí)，狹縫面積比例優(yōu)選為120％以下，更優(yōu)選為100％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為80％以下。狹縫37b只要設(shè)為例如難以產(chǎn)生噴流效果的位置、大小即可，可以形成多個(gè)，但是更優(yōu)選為1個(gè)。該吸嘴30b具備由空氣配管31、前端部33b、彈簧38構(gòu)成的使用了彈簧力的應(yīng)力緩沖機(jī)構(gòu)。

零件相機(jī)16是對(duì)安裝頭22所吸附的元件進(jìn)行拍攝的結(jié)構(gòu)，配置在基板搬運(yùn)單元12的前方。零件相機(jī)16將拍攝到的圖像向控制裝置40發(fā)送。拍攝到的圖像用于元件的形狀的異常、吸附位置的異常等的判定。

如圖2所示，控制裝置40構(gòu)成為以cpu41為中心的微處理器，具備存儲(chǔ)處理程序的rom42、存儲(chǔ)各種數(shù)據(jù)的hdd43、作為作業(yè)區(qū)域而使用的ram44、用于與外部裝置進(jìn)行電氣信號(hào)的交接的輸入輸出接口45等，它們經(jīng)由總線(xiàn)46而連接。該控制裝置40向基板搬運(yùn)單元12、安裝單元13、元件供給單元14、壓力施加單元15及零件相機(jī)16輸出控制信號(hào)，并輸入來(lái)自安裝單元13、元件供給單元14、零件相機(jī)16的信號(hào)。該控制裝置40通過(guò)向吸附有元件的吸嘴供給空氣而對(duì)該元件進(jìn)行廢棄處理。而且，控制裝置40在進(jìn)行該廢棄處理時(shí)，可以向吸附有元件的吸嘴施加10kpa以上的排氣壓。

管理計(jì)算機(jī)50是對(duì)安裝系統(tǒng)10的各裝置的信息進(jìn)行管理的計(jì)算機(jī)。管理計(jì)算機(jī)50具備作業(yè)者輸入各種指令的鍵盤(pán)及鼠標(biāo)等輸入裝置52和顯示各種信息的顯示器54。

接下來(lái)，說(shuō)明這樣構(gòu)成的本實(shí)施方式的安裝系統(tǒng)10的動(dòng)作，首先，說(shuō)明安裝裝置11的安裝處理。當(dāng)安裝處理開(kāi)始時(shí)，控制裝置40的cpu41例如將與拾取的元件60對(duì)應(yīng)的吸嘴30裝配于安裝頭22，以從元件供給單元14拾取元件60的方式控制安裝單元13。接下來(lái)，cpu41使零件相機(jī)16拍攝安裝頭22所吸附保持的元件60。接下來(lái)，cpu41基于零件相機(jī)16的拍攝結(jié)果，判定元件60的形狀異常的有無(wú)、吸附位置異常的有無(wú)，如果它們沒(méi)有異常，則向基板s配置元件60，如果存在任一個(gè)的異常，則將該元件60向預(yù)定的廢棄場(chǎng)所廢棄。cpu41反復(fù)進(jìn)行這樣的處理直至元件60向基板s的配置全部結(jié)束為止。

接下來(lái)，說(shuō)明將元件廢棄的處理。圖5是從吸嘴30對(duì)元件60進(jìn)行吸附解除時(shí)的說(shuō)明圖，圖5(a)是吸附保持時(shí)的圖，圖5(b)是正壓施加時(shí)的圖，圖5(c)是吸附解除時(shí)的圖。圖6是從吸嘴30b對(duì)元件60b進(jìn)行吸附解除時(shí)的說(shuō)明圖，圖6(a)是吸附保持時(shí)的圖，圖6(b)是正壓施加時(shí)的圖，圖6(c)是吸附解除時(shí)的圖。圖7是從沒(méi)有狹縫的吸嘴130對(duì)元件60進(jìn)行吸附解除時(shí)的說(shuō)明圖?？刂蒲b置40在吸附保持時(shí)，通過(guò)從壓力施加單元15向吸嘴30施加負(fù)壓，使空氣從狹縫37向流路32流通，從而吸嘴30吸附元件60(圖5(a))。在吸附解除時(shí)，控制裝置40從壓力施加單元15向吸嘴30施加正壓。于是，在吸嘴30中，空氣從狹縫37向外部流通，從狹縫37側(cè)按壓元件60(圖5(b))，進(jìn)行吸附解除(圖5(c))。需要說(shuō)明的是，在吸嘴30b中也同樣(圖6)。在此，如圖7所示，在未形成狹縫的吸嘴130中，在向前端部133施加正壓時(shí)，空氣在前端部133與元件60之間流通，但是在一方也產(chǎn)生從間隙吸入空氣的吸氣狀態(tài)，存在成為元件60自轉(zhuǎn)且不會(huì)從吸嘴130脫離的狀態(tài)的情況。需要說(shuō)明的是，在上表面平坦的元件60b中也同樣。在吸嘴30、30b中，通過(guò)狹縫37、37b，進(jìn)一步抑制這樣的在元件與前端部的間隙產(chǎn)生的排氣和吸氣的氣流的產(chǎn)生(噴流效果)，能夠更可靠地對(duì)元件進(jìn)行吸附解除。

在此，明確本實(shí)施方式的構(gòu)成要素與本發(fā)明的構(gòu)成要素的對(duì)應(yīng)關(guān)系。本實(shí)施方式的空氣配管31相當(dāng)于本發(fā)明的空氣配管，前端部33、33b相當(dāng)于前端部，狹縫37、37b相當(dāng)于狹縫，錐形部35、35b相當(dāng)于錐形部。而且，安裝頭22相當(dāng)于安裝頭，控制裝置40相當(dāng)于控制部，圓頂部61相當(dāng)于圓頂部。需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施方式中，通過(guò)說(shuō)明安裝裝置11的動(dòng)作，本發(fā)明的元件脫離方法的一例也變得明確。

根據(jù)以上說(shuō)明的實(shí)施方式的吸嘴30，空氣配管31的前端部33具有面積比空氣配管31的流路32大的開(kāi)口部29，在形成于空氣配管31的前端部33的與元件60抵接的周狀的接觸面34的一部分設(shè)有狹縫37。在該吸嘴30中，從空氣配管31供給的空氣經(jīng)由狹縫37而流出，因此能夠以該狹縫37的位置為基點(diǎn)，解除元件60的吸附狀態(tài)而更可靠地使元件60分離。而且，前端部33的開(kāi)口部29形成得比流路32大，且在更外周側(cè)形成有狹縫37。因此，空氣從更外周側(cè)經(jīng)由狹縫37流出，因此容易向元件60施加應(yīng)力，容易對(duì)元件60進(jìn)行吸附解除。因此，在該吸嘴30中，能夠更可靠地進(jìn)行元件60的吸附解除。需要說(shuō)明的是，吸嘴30b也同樣。

另外，吸嘴30的前端部33形成為具有圓頂形狀的元件60的圓頂部61能夠進(jìn)入的形狀，因此在安裝圓頂形狀的元件60時(shí)，能夠更可靠地進(jìn)行元件60的吸附解除。此外，吸嘴30形成為，狹縫37的開(kāi)口面積y相對(duì)于流路32的截面積x的比例為40％以上，更優(yōu)選以60％以上，因此能夠進(jìn)一步抑制在元件的吸附解除時(shí)施加了正壓的情況下會(huì)發(fā)生的、在元件與前端部的間隙產(chǎn)生的排氣和吸氣的氣流的產(chǎn)生(噴流效果)。因此，在吸嘴30中，能夠更可靠地進(jìn)行元件60的吸附狀態(tài)的解除。吸嘴30在前端部33的內(nèi)部形成有錐形部35，該錐形部35具有將狹縫37與流路32連結(jié)的錐形面36，因此，通過(guò)錐形部35，能夠更容易地形成面積比流路32大的開(kāi)口部29。此外，錐形部35以設(shè)置在圓頂部61進(jìn)入時(shí)避免圓頂部61與錐形面36接觸的間隙的方式而形成，因此在元件60的吸附解除時(shí)能夠進(jìn)一步抑制噴流效果，能夠更可靠地進(jìn)行元件60的吸附狀態(tài)的解除。

另外，吸嘴30b在前端部33b形成能夠與具有平面狀的(平坦的)抵接面62b的元件60b的抵接面62b接觸的接觸面34b，因此能夠更可靠地進(jìn)行具有平坦的抵接面的元件的吸附。此外，吸嘴30b的狹縫37b的狹縫面積比例形成為20％以上，因此在元件60b的吸附解除時(shí)，能夠進(jìn)一步抑制噴流效果，能夠更可靠地進(jìn)行元件60b的吸附狀態(tài)的解除。此外，吸嘴30b在前端部33b的內(nèi)部形成有錐形部35b，該錐形部35b具有將狹縫37b與流路32連結(jié)的錐形面36，因此，通過(guò)錐形部35b，能夠更容易地形成面積比流路32大的開(kāi)口部29b。

另外，吸嘴30、30b在接觸面34、34b上形成1個(gè)狹縫37、37b，因此能夠進(jìn)一步抑制噴流效果的發(fā)生，能夠更可靠地進(jìn)行元件60、60b的吸附狀態(tài)的解除。此外，吸嘴30、30b對(duì)抵接面34、34b由具有柔軟性和/或粘著性的樹(shù)脂形成的難以吸附解除的元件60、60b進(jìn)行吸附、吸附解除，因此適用本發(fā)明的意義高。

另外，由于安裝裝置11具備吸嘴30、30b中的任一個(gè)，因此能夠更可靠地進(jìn)行元件60、60b的吸附解除。此外，由于安裝裝置11具備吸嘴30、30b，因此即使在10kpa左右這樣比較低的低壓范圍內(nèi)，也能夠更可靠地進(jìn)行元件的吸附解除。

需要說(shuō)明的是，本發(fā)明不受上述的實(shí)施方式的任何限定，只要屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍，當(dāng)然就能以各種形態(tài)實(shí)施。

例如，在上述的實(shí)施方式中，說(shuō)明了在前端部具備具有錐形面的錐形部的結(jié)構(gòu)，但是只要具有面積比流路大的開(kāi)口部即可，沒(méi)有特別限定于此，例如，可以形成為階梯狀且不具有錐形面。在該吸嘴中，通過(guò)從形成在更外周側(cè)的狹縫流出的空氣，也能夠以狹縫的位置為基點(diǎn)使元件從吸嘴分離，因此能夠更可靠地進(jìn)行元件的吸附解除。

在上述的實(shí)施方式中，在接觸面上形成1個(gè)狹縫，但是只要與沒(méi)有狹縫的結(jié)構(gòu)相比能夠抑制噴流效果的產(chǎn)生即可，也可以形成2個(gè)以上狹縫。

在上述的實(shí)施方式中，吸嘴所吸附的元件是抵接面由具有柔軟性和/或粘著性的樹(shù)脂形成的結(jié)構(gòu)，但是沒(méi)有特別限定于此，也可以是抵接面不具有柔軟性和/或粘著性的結(jié)構(gòu)。

在上述的實(shí)施方式中，說(shuō)明了使用吸嘴將元件廢棄的處理，但是只要是對(duì)吸嘴所吸附的元件進(jìn)行吸附解除的結(jié)構(gòu)即可，沒(méi)有限定為廢棄的處理，例如，可以設(shè)為將元件向基板配置時(shí)等。

在上述的實(shí)施方式中，將本發(fā)明作為安裝裝置11進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以作為吸嘴，還可以作為向吸嘴供給空氣并通過(guò)從狹縫流出的空氣以狹縫的位置為基點(diǎn)使元件從吸嘴分離的元件脫離方法。

實(shí)施例

以下，以具體地研究本發(fā)明的吸嘴的例子為實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。需要說(shuō)明的是，本發(fā)明不受以下的實(shí)施例的任何限定，只要屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍，當(dāng)然就能以各種形態(tài)實(shí)施。

在本實(shí)施例中，作成具有各個(gè)狹縫的開(kāi)口面積的吸嘴，研究了通過(guò)安裝裝置吸附了元件之后是否能夠?qū)υ撛M(jìn)行吸附解除(廢棄)。在安裝處理時(shí)的元件的吸附解除中，為了避免對(duì)吸附解除的元件的附近存在的配置完的元件造成影響而降低排氣壓，但是在此，以元件的廢棄為前提，只要能夠進(jìn)行元件的吸附解除即可，也研究了比較高的排氣壓。制作了對(duì)具有圓頂部的圓頂型的元件進(jìn)行吸附的第一吸嘴(圖3)和對(duì)具有平坦的抵接面的長(zhǎng)方體型的元件進(jìn)行吸附的第二吸嘴(圖4)。在第一吸嘴中，形成1個(gè)狹縫，狹縫的開(kāi)口面積y相對(duì)于流路的截面積x的比例(狹縫面積比例)及安裝裝置的排氣壓如表1所示。在第二吸嘴中，形成1個(gè)狹縫，狹縫面積比例及安裝裝置的排氣壓如表2所示。圓頂型的元件及長(zhǎng)方體型的元件是led元件，具有柔軟性及粘著性的透明的樹(shù)脂形成為抵接面。這樣的元件具有難以從吸嘴進(jìn)行吸附解除的特性。

在第一吸嘴中，如表1所示可知，如果形成狹縫，則能夠進(jìn)一步改善無(wú)法進(jìn)行元件的吸附解除的狀態(tài)。然而，如果狹縫面積比例低，則存在例如因元件的偏置等而狹縫被堵塞，產(chǎn)生噴流效果(參照?qǐng)D7)而無(wú)法吸附解除的情況。相對(duì)于此，在第一吸嘴中，可知在排氣壓為10～105kpa的范圍內(nèi)，狹縫面積比例為40％以上的話(huà)，能改善吸附解除，狹縫面積比例為60％以上的話(huà)，能夠完全進(jìn)行吸附解除。需要說(shuō)明的是，當(dāng)考慮裝置結(jié)構(gòu)時(shí)，希望以更低的排氣壓進(jìn)行元件的吸附解除。同樣，在第二吸嘴中，如表2所示可知，如果形成狹縫，則能夠進(jìn)一步改善無(wú)法進(jìn)行元件的吸附解除的狀態(tài)。然而，如果狹縫面積比例低，則存在產(chǎn)生噴流效果而無(wú)法進(jìn)行吸附解除的情況。相對(duì)于此。在第二吸嘴中，可知在排氣壓為10～53kpa的范圍內(nèi)，狹縫面積比例為20％以上的話(huà)，能夠完全進(jìn)行吸附解除。

[表1]

[表2]

工業(yè)實(shí)用性

本發(fā)明能夠利用于將元件配置于基板上的安裝裝置。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

10安裝系統(tǒng)、11安裝裝置、12基板搬運(yùn)單元、13安裝單元、14元件供給單元、15壓力施加單元、16零件相機(jī)、20頭移動(dòng)部、22安裝頭、24負(fù)壓供給部、25正壓供給部、26電磁閥、29、29b開(kāi)口部、30、30b、130吸嘴、31空氣配管、32流路、33、33b、133前端部、34、34b接觸面、35、35b錐形部、35a圓筒面、36錐形面、37、37b狹縫、38彈簧、39凸緣、40控制裝置、41cpu、42rom、43hdd、44ram、45輸入輸出接口、46總線(xiàn)、50管理計(jì)算機(jī)、52輸入裝置、54顯示器、60、60b元件、61圓頂部、62、62b抵接面、s基板。