技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種在厚度小于3毫米的板狀工件(1)內(nèi)加工至少一個尤其穿孔狀凹槽(4)的方法。為此，將激光束(2)對準(zhǔn)工件(1)的表面。激光束(2)的持續(xù)作用時間選擇得非常短，所以僅集中圍繞激光束的射束軸線進(jìn)行工件(1)的修正。以此方式修正的缺損點(3)的區(qū)域造成一連串氣孔。在隨后的一個工藝步驟中，基于腐蝕劑的作用，通過逐步蝕刻，導(dǎo)致在工件(1)的由缺損點(3)形成的、事先通過激光束(3)經(jīng)歷修正的那些區(qū)域內(nèi)各向異性的材料去除。其結(jié)果是，沿圓柱形作用區(qū)在工件(1)內(nèi)形成凹槽(4)作為穿孔。

技術(shù)研發(fā)人員：N.安布羅修斯;R.奧斯特霍爾特
受保護(hù)的技術(shù)使用者：LPKF激光電子股份公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.08.07
技術(shù)公布日：2017.08.01