的1價的烴基。妒為單鍵、-〇-、-(：〇-、-〇)〇-或者-〇)順-。1? 3為碳原子數(shù)1~20的（111+1) 價的有機基團。m為1~3的整數(shù)。m為1時，R3可以為單鍵。
[0041] 上述式（1-2)中，R2'為單鍵、-0-、-C00-或者-C0NH-。R 3'為碳原子數(shù)1~20的 (n+1)價的有機基團。η為1~3的整數(shù)。η為1時，R3'可以為單鍵。
[0042] 作為上述R1，從賦予結構單元（I-I)的單體的共聚性的觀點考慮，優(yōu)選氫原子、甲 基，更優(yōu)選甲基。
[0043] 作為上述R2,優(yōu)選單鍵、-COO-。
[0044] 作為上述R2'，優(yōu)選單鍵。
[0045] 作為上述R3表示的碳原子數(shù)1~20的（m+1)價的有機基團和R3'表示的碳原子數(shù) 1~20的（n+1)價的有機基團，例如，可舉出碳原子數(shù)1~20的k價（k為m+Ι或者n+1) 的烴基、在該烴基的碳-碳間含有2價的含雜原子基團的基團（a)、上述烴基和基團（a)所 具有的氫原子的一部分或者全部被1價的含雜原子基團取代的基團等。
[0046] 作為上述碳原子數(shù)1~20的k價的烴基，例如，可舉出碳原子數(shù)1~20的k價的 鏈狀烴基、碳原子數(shù)3~20的k價的脂環(huán)式烴基、碳原子數(shù)6~20的k價的芳香族烴基等。
[0047] 作為上述碳原子數(shù)1~20的k價的鏈狀烴基，例如，可舉出從甲烷、乙烷、丙烷、丁 烷等烷烴，乙烯、丙烯、丁烯等烯烴，乙炔、丙炔、丁炔等炔烴等除去k個氫原子而得的基團 等。
[0048] 作為上述碳原子數(shù)3~20的k價的脂環(huán)式烴基，例如，可舉出從環(huán)丙烷、環(huán)丁烷、 環(huán)戊烷、環(huán)己烷、降冰片烷、金剛烷等環(huán)烷烴，環(huán)戊烯、環(huán)己烯、降冰片烯等環(huán)烯烴等除去k 個氫原子而得的基團等。
[0049] 作為上述碳原子數(shù)6~20的k價的芳香族經(jīng)基，例如，可舉出從苯、甲苯、萘、蒽等 芳烴，甲苯、乙基苯、甲基萘等烷基芳烴等除去k個氫原子而得的基團等。
[0050] 作為上述2價和1價的含雜原子基團所具有的雜原子，例如，可舉出氧原子、氮原 子、硫原子、磷原子等。
[0051] 作為上述2價的含雜原子基團，例如，可舉出-0-、-順-、-3-、-(：0-、-03-、組合其中 的2種以上而得的基團等。
[0052] 作為上述1價的含雜原子基團，例如，可舉出羥基、氨基、氰基、硝基等。
[0053] 作為上述R3,優(yōu)選單鍵、烴基、氟代烴基、脂肪族雜環(huán)基，m為1時，更優(yōu)選單鍵、烷 烴二基、環(huán)烷烴二基、芳烴二基、芳烴二基烷烴二基、含氧原子的脂肪族雜環(huán)基，進一步優(yōu)選 單鍵、丙烷二基、環(huán)己烷二基、環(huán)己基乙烷二基、苯二基、苯二基乙烷二基、六氟丙烷二基環(huán) 己燒二基、降冰片燒內(nèi)酯（norbornanelactone)-二基羰氧基。
[0054] 作為上述R3'，優(yōu)選單鍵、烴基，更優(yōu)選鏈狀烴基，η為1時，進一步優(yōu)選甲烷二基。
[0055] 作為上述Rf表示的碳原子數(shù)1~20的1價的氟代烴基，例如，可舉出氟甲基、二 氟甲基、三氟甲基、三氟乙基、五氟正丙基、六氟異丙基等碳原子數(shù)1~20的1價的氟代鏈 狀烴基，二氟環(huán)戊基、十氟環(huán)己基、二氟降冰片基等碳原子數(shù)3~20的1價的氟代脂環(huán)式烴 基，氟苯基、三氟苯基、五氟苯基、三氟萘基等碳原子數(shù)6~20的1價的氟代芳香族烴基等。
[0056] 作為上述Rf表示的碳原子數(shù)1~20的1價的羥基取代氟代烴基，例如，可舉出羥 基二（三氟甲基）甲基、羥基二（三氟甲基）乙基、羥基二（三氟甲基）丙基、羥基二（三 氟甲基）丁基等碳原子數(shù)1~20的羥基取代氟代鏈狀烴基，羥基四氟環(huán)戊基、羥基四氟環(huán) 己基等碳原子數(shù)3~20的羥基取代氟代脂環(huán)式烴基，羥基苯基二氟甲基等碳原子數(shù)6~20 的羥基取代氟代芳香族烴基等。
[0057] 作為上述Rf表示的碳原子數(shù)1~20的1價的烷基羰基取代氟代烴基，例如，可舉 出甲基羰基二氟甲基、叔丁基羰基六氟丙基等碳原子數(shù)1~20的烷基羰基取代氟代鏈狀烴 基，甲基羰基二氟環(huán)己基、叔丁基羰基六氟環(huán)己基等碳原子數(shù)3~20的烷基羰基取代氟代 脂環(huán)式烴基，甲基羰基二氟苯基、叔丁基羰基四氟苯基等碳原子數(shù)6~20的烷基羰基取代 氟代芳香族烴基等。
[0058] 作為上述Rf表示的碳原子數(shù)1~20的1價的烷氧基羰基取代氟代烴基，例如，可 舉出甲氧基羰基二氟甲基、叔丁氧基羰基六氟丙基等碳原子數(shù)1~20的烷氧基羰基取代 氟代鏈狀烴基，甲氧基羰基二氟環(huán)己基、叔丁氧基羰基六氟環(huán)己基等碳原子數(shù)3~20的烷 氧基羰基取代氟代脂環(huán)式烴基，甲氧基羰基二氟苯基、叔丁氧基羰基四氟苯基等碳原子數(shù) 6~20的烷氧基羰基取代氟代芳香族烴基等。
[0059] 作為上述Rf表示的碳原子數(shù)1~20的1價的烷氧基羰氧基取代氟代烴基，例如， 可舉出甲氧基羰氧基二氟甲基、叔丁氧基羰氧基六氟丙基等碳原子數(shù)1~20的烷氧基羰氧 基取代氟代鏈狀烴基，甲氧基羰氧基二氟環(huán)己基、叔丁氧基羰氧基六氟環(huán)己基等碳原子數(shù) 3~20的烷氧基羰氧基取代氟代脂環(huán)式烴基，甲氧基羰氧基二氟苯基、叔丁氧基羰氧基四 氟苯基等碳原子數(shù)6~20的烷氧基羰氧基取代氟代芳香族烴基等。
[0060] 作為上述Rf表示的碳原子數(shù)1~20的1價的羥基取代氟代烴基，例如，可舉出下 述式（i)表不的基團等。
[0062] 上述式⑴中，Ra和Rb各自獨立地為氫原子、氟原子、碳原子數(shù)1~8的烷基或者 氟代烷基。其中，R 1和R2中的至少1個為氟原子或者碳原子數(shù)1~8的氟代烷基。*表示 與構成聚合物的其它原子的鍵合部位。
[0063] 作為Rf，其中優(yōu)選羥基取代氟代鏈狀烴基，更優(yōu)選上述式（i)表示的基團，進一步 優(yōu)選羥基二（三氟甲基）甲基。
[0064] 作為上述m，優(yōu)選為1或者2,更優(yōu)選為1。
[0065] 作為上述n，優(yōu)選為1。
[0066] 作為結構單元（I-I)，例如，可舉出下述式表示的結構單元等。
[0067]
[0068] 上述式中，R1與上述式（1-1)中的R1為相同含義。
[0069] 作為結構單元（1-2)，例如，可舉出下述式表示的結構單元等。
[0070]
[0071] 作為結構單元（II)，例如可舉出下述式（2)表示的結構單元（以下，也稱為"結構 單元（II-I) "）等。
[0073] 上述式（2)中，R4為氫原子、氟原子、甲基或者-C00R"。
[0074] R"為碳原子數(shù)1~20的1價的烴基。R5為單鍵、-0_、-C0-、-C00-或者-C0NH-。 R6為單鍵或者碳原子數(shù)1~20的2價的有機基團。Rg為硅原子數(shù)1~20的含硅原子基 團。
[0075] 作為上述R6表示的碳原子數(shù)1~20的2價的有機基團，可舉出與作為上述式 (1-1)中的R 3例示的基團中m為1的基團相同的基團等。
[0076] 作為結構單元（11-1)，可舉出下述式表示的結構單元等。
[0077]

[0079] 作為結構單元（I)的含有比例的下限，相對于構成[B]聚合物的全部結構單元，優(yōu) 選為10摩爾％，更優(yōu)選為50摩爾％，進一步優(yōu)選為90摩爾％，特別優(yōu)選為95摩爾％。作 為上述含有比例的上限，優(yōu)選為100摩爾％。
[0080] 作為結構單元（II)的含有比例的下限，相對于構成[B]聚合物的全部結構單元， 優(yōu)選為10摩爾％，更優(yōu)選為20摩爾％，進一步優(yōu)選為30摩爾％。作為上述含有比例的上 限，優(yōu)選為100摩爾％，更優(yōu)選為70摩爾％，進一步優(yōu)選為50摩爾％。
[0081] 作為結構單元（I)和結構單元（II)的合計含有比例的下限，相對于構成[B]聚合 物的全部結構單元，優(yōu)選為30摩爾％，更優(yōu)選為60摩爾％，進一步優(yōu)選為90摩爾％，特別 優(yōu)選為95摩爾％。作為上述合計含有比例的上限，優(yōu)選為100摩爾％。
[0082] 通過使結構單元（I)和結構單元（II)的含有比例為上述范圍，能夠進一步提高膜 的除去性。
[0083] 作為[B]聚合物的氟原子含有率的下限，優(yōu)選為1質(zhì)量％，更優(yōu)選為5質(zhì)量％，進 一步優(yōu)選為10質(zhì)量％，特別優(yōu)選為20質(zhì)量％。作為上述氟原子含有率的上限，優(yōu)選為60 質(zhì)量％，更優(yōu)選為50質(zhì)量％，進一步優(yōu)選為40質(zhì)量％。
[0084] 作為[B]聚合物的硅原子含有率的下限，優(yōu)選為1質(zhì)量％，更優(yōu)選為5質(zhì)量％，進 一步優(yōu)選為10質(zhì)量％，特別優(yōu)選為15質(zhì)量％。作為上述硅原子含有率的上限，優(yōu)選為40 質(zhì)量％，更優(yōu)選為30質(zhì)量％，進一步優(yōu)選為25質(zhì)量％。
[0085] 作為[B]聚合物的氟原子和硅原子的合計含有率的下限，優(yōu)選為2質(zhì)量％，更優(yōu)選 為8質(zhì)量％，進一步優(yōu)選為15質(zhì)量％，特別優(yōu)選為25質(zhì)量％。作為上述合計含有率的上限， 優(yōu)選為65質(zhì)量％，更優(yōu)選為55質(zhì)量％，進一步優(yōu)選為45質(zhì)量％。
[0086] 通過使氟原子和硅原子的含有率為上述范圍，能夠進一步提高膜的除去性。
[0087] 應予說明，[B]聚合物的氟原子含有率和硅原子含有率可以利用19F-NMR或者 29Si-NMR測定求出聚合物的結構，由其結構算出。
[0088] [B]聚合物可以進一步具有含有β-二酮結構的結構單元、含有羧基的結構單元、 含有磺