一種基于噴墨打印技術(shù)的有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示領(lǐng)域，特別是涉及一種基于噴墨打印技術(shù)的有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著噴墨打印技術(shù)的迅速發(fā)展，越來越多的廠家利用噴墨打印技術(shù)制造有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting D1de，0LED)以及有機(jī)發(fā)光顯示裝置。
[0003]其中，現(xiàn)有技術(shù)中基于噴墨打印技術(shù)的OLED器件的簡易剖面結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括基板110、以及在基板110上依次形成的金屬電極120、氧化銦錫ITO陽極130、壩(bank)層140、有機(jī)發(fā)光層150、陰極160。
[0004]噴墨打印的關(guān)鍵步驟之一是將bank層140處理成為表面疏水性，關(guān)鍵步驟之二是把OLED墨水噴到bank層140所形成的槽內(nèi)。由于大多數(shù)的OLED墨水為親水性，這樣OLED墨水噴到bank材料上時，因親水性和疏水性的接觸力不好，OLED墨水會滾落到bank層140所形成的槽內(nèi)。然而由于墨水和槽的接觸角會直接影響墨水在槽內(nèi)的均勻性，在進(jìn)行OELD墨水噴涂，OLED墨水和槽的接觸角控制不當(dāng)(例如接觸角> 90° )時，會導(dǎo)致ITO基底和有機(jī)發(fā)光(OLED)材料接觸差，槽和OLED材料間存在間隙，OLED材料分布為中間厚兩邊薄的特點，均勻性差，不利于發(fā)出均勻的光來。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供一種基于噴墨打印技術(shù)的有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法，能夠使得OLED材料分布均勻，使得OLED裝置發(fā)出均勻的光。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是:提供一種基于噴墨打印技術(shù)的有機(jī)發(fā)光(OLED)顯示裝置，所述裝置包括基板以及在基板上依次疊層設(shè)置的金屬層、陽極層、壩(bank)層、有機(jī)發(fā)光層、陰極層;其中，在所述金屬層覆蓋所述基板的區(qū)域開設(shè)有三個開口區(qū)域，暴露對應(yīng)所述三個開口區(qū)域的基板;在所述壩層覆蓋所述陽極層的區(qū)域開設(shè)第四開口區(qū)域，暴露對應(yīng)所述第四開口區(qū)域的所述陽極層，所述有機(jī)發(fā)光層設(shè)置于所述第四開口區(qū)域內(nèi)，其特征在于，所述壩層平行于所述基板的表面還設(shè)置有疏水性材料層。
[0007]其中，所述疏水性材料層包括氟離子或氯離子。
[0008]其中，所述壩層為負(fù)性光阻。
[0009]其中，所述第四開口區(qū)域形成的形狀為倒置梯形。
[0010]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的另一個技術(shù)方案是:提供一種基于噴墨打印技術(shù)的有機(jī)發(fā)光(OLED)顯示裝置的制造方法，所述方法包括在基板上依次形成金屬層、陽極層以及壩(bank)層;其中，在所述金屬層覆蓋所述基板的區(qū)域開設(shè)有三個開口區(qū)域，暴露對應(yīng)所述三個開口區(qū)域的基板;在所述壩層覆蓋所述陽極層的區(qū)域開設(shè)第四開口區(qū)域，暴露對應(yīng)所述第四開口區(qū)域的所述陽極層;在暴露的所述陽極層、所述壩層的表面形成光致抗蝕劑層;其中，所述光致抗蝕劑層的光阻屬性與所述壩層的光阻屬性不同；對所述光致抗蝕劑層進(jìn)行曝光處理，暴露所述壩層平行于所述基板的表面;在暴露的所述壩層表面形成疏水材料層;進(jìn)行曝光顯影處理去除所述光致抗蝕劑層，利用噴墨打印技術(shù)在所述第四開口區(qū)域形成有機(jī)發(fā)光層，并在所述有機(jī)發(fā)光層上形成陰極層。
[0011]其中，在暴露的所述壩層表面形成疏水材料層的步驟具體為:對暴露的所述壩層表面進(jìn)行干法蝕刻處理，在暴露的所述壩層表面形成疏水材料層。
[0012]其中，所述疏水材料層包括氟離子或氯離子。
[0013]其中，所述壩層為負(fù)性光阻，所述光致抗蝕劑層為正性光阻。
[0014]其中，對所述光致抗蝕劑層進(jìn)行曝光處理，暴露所述壩層平行于所述基板的表面的步驟具體為:在預(yù)設(shè)時間內(nèi)對所述光致抗蝕劑層進(jìn)行曝光處理，暴露所述壩層平行于所述基板的表面。
[0015]上述方案，基于噴墨打印技術(shù)的有機(jī)發(fā)光顯示裝置在壩層平行于基板的表面還設(shè)置有疏水性材料層，壩層開設(shè)的第四開口區(qū)域未覆蓋疏水性材料層，能夠使得噴涂的OLED墨水能夠滾入第四開口區(qū)域，并且OLED墨水與第四開口區(qū)域的表面充分接觸，能夠使得噴涂的OELD墨水在第四開口區(qū)域均勻分布，從而形成均勻的有機(jī)發(fā)光層，有機(jī)發(fā)光顯示裝置能夠發(fā)出均勻光線。
【附圖說明】
[0016]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中基于噴墨打印技術(shù)的OLED器件的簡易剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2是本發(fā)明基于噴墨打印技術(shù)的有機(jī)發(fā)光顯示裝置一實施例的簡易剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3是本發(fā)明基于噴墨打印技術(shù)的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法一實施例的流程圖；
[0019]圖4至圖10是本發(fā)明制造基于噴墨打印技術(shù)的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法的不同制造階段一實施例的有機(jī)發(fā)光顯示裝置的剖視圖。
【具體實施方式】
[0020]以下描述中，為了說明而不是為了限定，提出了諸如特定系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、接口、技術(shù)之類的具體細(xì)節(jié)，以便透徹理解本發(fā)明。
[0021]請參閱圖2，圖2是本本發(fā)明基于噴墨打印技術(shù)的有機(jī)發(fā)光顯示裝置一實施例的簡易剖面結(jié)構(gòu)示意圖。本實施例中的有機(jī)發(fā)光(organic light-emitting d1de，OLED)顯示裝置包括玻璃基板210、以及在玻璃基板210上依次疊層設(shè)置的金屬層220、陽極層230、壩(bank)層240、疏水性材料層250、有機(jī)發(fā)光層260、以及陰極層270。
[0022]其中，在金屬層220覆蓋玻璃基板210的區(qū)域開設(shè)有三個開口區(qū)域，暴露對應(yīng)該三個開口區(qū)域的玻璃基板210;在壩層240覆蓋陽極層230的區(qū)域開設(shè)第四開口區(qū)域，暴露對應(yīng)第四開口區(qū)域的陽極層230，有機(jī)發(fā)光層260設(shè)置于第四開口區(qū)域內(nèi)；疏水性材料層250設(shè)置于壩層240平行于玻璃基板210的表面，且第四開口區(qū)域的表面未覆蓋疏水性材料層250。
[0023]金屬層220用于與陽極層230連接，減小內(nèi)部阻抗。進(jìn)一步地，陽極層230的材料可以為氧化銦錫(ITO)，但并不限于此，還可以為其他透明導(dǎo)電材料，此處不作限制。
[0024]壩層240的材料為光阻材料，壩層240開設(shè)的第四開口區(qū)域用于利用噴墨打印技術(shù)能夠?qū)LED墨水噴涂到第四開口區(qū)域，能夠形成有機(jī)發(fā)光層260。
[0025]進(jìn)一步地，壩層240的材料為負(fù)性光阻材料，可以理解的是，在其他實施例中壩層240的材料為正性光阻材料，此處不作限制。
[0026]進(jìn)一步地，第四開口區(qū)域形成的形狀為倒置梯形。第四開口區(qū)域的表面與陽極層230所在平面形成的角度大于90度，以在噴涂OLED墨水時，OLED墨水能夠與第四開口區(qū)域的表面充分接觸，從而防止OLED墨水無法噴涂到第四開口區(qū)域的表面的情況。
[0027]疏水性材料層250用于與壩層240的材料形成疏水基團(tuán)。由于OLED墨水一般為親水性材料，在向壩層240的第四開口區(qū)域噴涂OLED墨水時，覆蓋壩層240平行于玻璃基板210的表面的疏水性材料層250使得噴涂的OLED墨水均滾入第四開口區(qū)域，并使OLED墨水與第四開口區(qū)域的表面充分接觸(0LED墨水與第四開口區(qū)域表面的接觸角小于90度)，均勻分布OELD墨水，從而形成均勻的有機(jī)發(fā)光層260。
[0028]由于疏水性材料層250設(shè)置于壩層240平行于玻璃基板210的表面，且第四開口區(qū)域的表面未覆蓋疏水性材料層250，這樣能夠避免第四開口區(qū)域的表面也呈疏水性，進(jìn)而避免噴涂的OLED墨水與第四開口區(qū)域的表面接觸不良導(dǎo)致OLED墨水分布不均勻而造成OLED顯示裝置發(fā)光不均勻的情況。
[0029]進(jìn)一步地，疏水性材料層250包括氟離子或氯離子，但并不限于此，還可以為其他的疏水離子。
[0030]上述方案，基于噴墨打印技術(shù)的有機(jī)發(fā)光顯示裝置在壩層平行于基板的表面還設(shè)置有疏水性材料層，壩層開設(shè)的第四開口區(qū)域未覆蓋疏水性材料層，能夠使得噴涂的OLED墨水能夠滾入第四開口區(qū)域，并且OLED墨水與第四開口區(qū)域的表面充分接觸，能夠使得噴涂的OELD墨水在第四開口區(qū)域均勻分布，從而形成均勻的有機(jī)發(fā)光層，有機(jī)發(fā)光顯示裝置能夠發(fā)出均勻光線。
[0031]第四開口區(qū)域所形成的形狀為倒梯形，且第四開口區(qū)域的表面與陽極層所在表面形成的角度大于90度，能夠防止OLED墨水無法噴涂到第四開口區(qū)域的表面的情況。
[0032]請參閱圖3，圖3是本發(fā)明基于噴墨打印技術(shù)的有機(jī)發(fā)光(OLED)顯示裝置的制造方法一實施例的流程圖。本實施例中基于噴墨打印技術(shù)的有機(jī)發(fā)光(OLED)顯示裝置的制造方法包括以下步驟:
[0033]S301:在基板上依次形成金屬層、陽極層以及壩(bank)層；其中，在所述金屬層覆蓋所述基板的區(qū)域開設(shè)有三個