條數(shù)，可以有效減少數(shù)據(jù)線IC接頭的數(shù)量，實現(xiàn)降低成本的效果。
[0052]在本實施例中，柵極引入線5為將柵極線I引入閘集成電路2的走線，每根柵極引入線5控制一根柵極線I的開啟和關(guān)閉，當(dāng)柵極線I開啟時，顯示基板處于亮屏狀態(tài)，可實現(xiàn)顯示功能；當(dāng)柵極線I關(guān)閉時，顯示基板處于暗屏狀態(tài)。
[0053]參見圖3，柵極引入線5連接?xùn)艠O線I與閘集成電路2，柵極引入線5從閘集成電路2一側(cè)沿數(shù)據(jù)線4方向延伸至與柵極線I相連接處。
[0054]參見圖3，觸控電極引入線6與數(shù)據(jù)集成電路3相連。觸控電極引入線6從數(shù)據(jù)集成電路3—側(cè)沿數(shù)據(jù)線4方向延伸至柵極引入線5與柵極線I相連接處下方，使得觸控電極引入線6與柵極引入線5之間相互絕緣，例如間隔預(yù)設(shè)距離，該預(yù)設(shè)距離可以為I厘米、0.5厘米等，本實施例不對該預(yù)設(shè)距離作具體的限定。觸控電極引入線6設(shè)置于柵極引入線I下方的空間有利于實現(xiàn)窄邊框。
[0055]參見圖1，顯示基板還包括第一過孔7。在本實施例中，柵極線I與柵極引入線5通過該第一過孔7相連，并通過柵極引入線5連接到閘集成電路2的內(nèi)部，從而實現(xiàn)柵極線I開關(guān)功能，完成顯不基板的正常顯不。
[0056]參見圖1，顯示基板還包括第二過孔8，觸控電極引入線6通過第二過孔8與觸控子電極相連。觸控子電極通過觸控電極引入線6連接到數(shù)據(jù)集成電路3內(nèi)部，實現(xiàn)觸控功能。
[0057]上述圖1僅示出了顯示基板中的一個結(jié)構(gòu)單元，實際應(yīng)用中顯示基板包括多個如圖1所示的結(jié)構(gòu)單元，對于其他結(jié)構(gòu)單元的連接關(guān)系與上述圖1中所述的結(jié)構(gòu)單元相同，本實施例不再一一進(jìn)行說明。
[0058]參見圖3，隨著顯示基板中柵極線I從上到下排列，用于連接?xùn)艠O線I與柵極引入線5的第一過孔7的位置可呈臺階式逐級下降，還可呈臺階式逐級上升。實際上第二過孔7與第一過孔6具有相同模式，可呈臺階式逐級下降，還可呈臺階式逐級上升。
[0059]本發(fā)明實施例提供的陣列基板，通過設(shè)置不相交的柵極引入線和觸控電極引入線，避免了信號間干擾，提高了顯示和觸控效果，且所設(shè)置的柵極引入線和觸控電極引入線均未貫穿整個顯示基板，節(jié)省了空間，使得顯示裝置的邊框更窄。
[0060]上述所有可選技術(shù)方案，可以采用任意結(jié)合形成本發(fā)明的可選實施例，在此不再
--贅述。
[0061]本發(fā)明實施例提供了一種顯示裝置，該顯示裝置包括顯示基板，該顯示基板如上述圖1至圖3所示的任一顯示基板。在實際應(yīng)用中，該顯示裝置可以為智能手機(jī)、平板電腦、智能電視、臺式電腦、數(shù)碼相框機(jī)導(dǎo)航儀等任何具有顯示功能的產(chǎn)品或部件。
[0062]本發(fā)明實施例提供的顯示裝置，通過設(shè)置不相交的柵極引入線和觸控電極引入線，避免了信號間干擾，提高了顯示和觸控效果，且所設(shè)置的柵極引入線和觸控電極引入線均未貫穿整個顯示基板，節(jié)省了空間，使得顯示裝置的邊框更窄。
[0063]在顯示領(lǐng)域，顯示基板有底柵結(jié)構(gòu)和頂柵結(jié)構(gòu)，不同結(jié)構(gòu)的顯示基板的制備方法是不同的。針對這兩種不同結(jié)構(gòu)的顯示基板在制備時，下面將分別進(jìn)行介紹。
[0064]本發(fā)明實施例提供的一種底柵結(jié)構(gòu)的顯示基板的制備方法，參見圖4，具體所形成的膜層結(jié)構(gòu)可參見圖5，圖5所示的剖面圖為沿圖1中AA’切割得到的，本發(fā)明實施例提供的方法流程包括:
[0065]步驟401、在襯底基板上形成柵極金屬層。
[0066]4011、使用標(biāo)準(zhǔn)方法清洗襯底基板。
[0067]4012、采用sputter(派射)設(shè)備在襯底基板40上沉積柵極金屬層薄膜。
[0068]其中，柵極金屬層薄膜可以為由Al、Cr、W、T1、Ta、Mo、Cu等金屬或Al、Cr、W、T1、Ta、Mo、Cu等至少兩種金屬構(gòu)成的金屬薄膜，還可以為由多個金屬層薄膜構(gòu)成的復(fù)合層薄膜，且該柵極金屬層薄膜的厚度范圍為200?lOOOnm。
[0069]4013、采用構(gòu)圖工藝在襯底基板40上形成柵極金屬層。
[0070]通過光刻工藝在襯底基板40上定義出柵極金屬層的圖形，對該襯底基板進(jìn)行濕刻，剝離光刻膠，在襯底基板40上形成柵極金屬層，該柵極金屬層包括柵極線1、柵極41。[0071 ]步驟402、在完成步驟401的襯底基板上形成柵極絕緣層42。
[0072]米用PECVD(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposit1n，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法)設(shè)備在柵極金屬層圖形41上沉積一層?xùn)艠O絕緣薄膜，該薄膜可以為Si02、Si3N4、S1xNy等構(gòu)成的單層薄膜或多層薄膜，且該薄膜的厚度為5nm?300nm，通過構(gòu)圖工藝形成包括第一過孔7的柵極絕緣層42。
[0073]步驟403、在完成步驟402的襯底基板上形成有源層43。
[0074]采用sputter設(shè)備在步驟402得到的襯底基板40上沉積一層氧化物有源層，該有源層可以為1620、2]10、211(^、]^20等單元或多元氧化物半導(dǎo)體材料，該有源層的厚度為5111]1?250nm。通過光刻工藝在基板上定義出有源層的圖形，對襯底基板進(jìn)行濕刻，剝離光刻膠，在襯底基板40上形成有源層43。
[0075]步驟404、在完成步驟403的襯底基板上形成源漏極金屬層。
[0076]其中，源漏極金屬層包括數(shù)據(jù)線(圖中未示出)、柵極引入線5、觸控電極引入線6、源極49和漏極50。源漏極金屬層的制作過程如下:
[0077]4041、在襯底基板上沉積源漏極金屬薄膜。
[0078]4042、在源漏極金屬薄膜上涂覆一層光刻膠。
[0079]4043、采用掩膜版對涂覆光刻膠的襯底基板表面進(jìn)行曝光處理。
[0080]4044、對曝光處理后襯底基板表面進(jìn)行顯影處理。
[0081]4045、對顯影處理后的襯底基板表面進(jìn)行刻蝕處理，得到源漏極金屬層，其中柵極引入線5通過第一過孔7和柵極線I相連接。
[0082]步驟405、在完成步驟404的襯底基板上形成鈍化層45。
[0083]采用PECVD設(shè)備在步驟404中得到的襯底基板上形成鈍化材料薄膜層，通過光刻工藝定義出包括第三過孔10的圖形，經(jīng)過干刻，剝離光刻膠，在襯底基板上形成鈍化層45。
[0084]步驟406、在完成步驟405的襯底基板上形成像素驅(qū)動層46。
[0085]在步驟405得到的襯底基板上形成一層IT0(Indium Tin Oxide，氧化銦錫)薄膜，通過構(gòu)圖工藝得到像素驅(qū)動層46，像素驅(qū)動層46通過第三過孔10與漏極50相連接。
[0086]步驟407、在完成步驟406的襯底基板上形成平坦層47。
[0087]采用PECVD設(shè)備在襯底基板40上沉積無機(jī)材料薄膜層，光刻定義出包括第二過孔8的圖形，經(jīng)過干刻，剝離光刻膠，得到平坦層47，其中第二過孔8依次穿過平坦層47和鈍化層45到達(dá)觸控電極引入線6。
[0088]步驟408、在完成步驟407的襯底基板上形成觸控電極層48。
[0089]在步驟407得到的襯底基板上形成一層IT0(Indium Tin Oxide，氧化銦錫)薄膜，通過構(gòu)圖工藝得到觸控電極層48，觸控電極層48包括多個觸控子電極9，且觸控子電極9通過過孔8和觸控電極引入線6相連接。
[0090]經(jīng)過上述制備方法所制備的顯示基板中，柵極金屬層包括柵極線，源漏極金屬層包括數(shù)據(jù)線、柵極引入線和觸控電極引入線，觸控電極層圖形包括多個觸控子電極，柵極絕緣層具有第一過孔，柵極線與柵極引入線之間通過第一過孔連接，觸控電極引入線上方具有第二過孔，觸控子電極與觸控電極引入線一一對應(yīng)，且通過第二過孔連接。。
[0091]本發(fā)明實施例提供的方法，通過設(shè)置不相交的柵極引入線和觸控電極引入線，避免了信號間干擾，提高了顯示和觸控效果，且所設(shè)置的柵極引入線和觸控電極引入線均未貫穿整個顯示基板，節(jié)省了空間，使得顯示裝置的邊框更窄。
[0092]本發(fā)明實施例提供的一種頂柵結(jié)構(gòu)的顯示基板的制備方法，參見圖6，具體所形成的膜層結(jié)構(gòu)可參見圖7，圖7所示的剖面圖為與圖5的切割位置基本相同，本發(fā)明實施例提供的方法流程包括:
[0093]步驟701、在襯底基板40上形成像素驅(qū)動層46。
[0094]在襯底基板40上形成一層ITO薄膜，通過構(gòu)圖工藝得到像素驅(qū)動層46。
[0095]步驟702、在完成步驟701的襯底基板上形成鈍化層45。
[0096]采用PECVD設(shè)備在步驟701中得到的襯底基板上形成鈍化材料薄膜層，通過光刻工藝定義出包括第三過孔10的圖形