可以對微發(fā)光二極管執(zhí)行常規(guī)的后續(xù)處理。例如，后續(xù)處理可以包括:在具有微發(fā)光二極管的接收襯底上涂覆聚合物;對聚合物進行固化;對聚合物進行蝕亥Ij，以暴露微發(fā)光二極管的外延層;在微發(fā)光二極管的外延層上形成N電極；以及在N電極上進行封裝。
[0127]本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，在微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移過程中，通常僅轉(zhuǎn)移原始襯底上的部分微發(fā)光二極管。如果直接將微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移到接收襯底上，則容易污染原始襯底上的剩余微發(fā)光二極管。在這個實施例中，通過經(jīng)由中間的支撐體的轉(zhuǎn)移，可以減小這種污染。
[0128]在該又一個實施例中，本發(fā)明還包括一種用于制造微發(fā)光二極管裝置的方法。該制造方法包括使用根據(jù)所述實施例的用于微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移的方法將微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移到接收襯底上。所述接收襯底例如是顯示屏面板或顯示襯底。所述微發(fā)光二極管裝置例如是顯示屏裝置。
[0129]在該又一個實施例中，本發(fā)明還包括一種微發(fā)光二極管裝置，例如顯示屏裝置?？梢允褂酶鶕?jù)所述實施例的用于制造微發(fā)光二極管裝置的方法來制造所述微發(fā)光二極管裝置。
[0130]在該又一個實施例中，本發(fā)明還包括一種電子設(shè)備。該電子設(shè)備包含根據(jù)所述實施例的微發(fā)光二極管裝置。例如，該電子設(shè)備可以是手機、平板電腦等。
[0131]通常，紅色微發(fā)光二極管不能直接形成在諸如藍(lán)寶石襯底的激光透明的原始襯底上。因此，需要預(yù)先在另外的襯底上形成紅色微發(fā)光二極管，然后將其轉(zhuǎn)移到藍(lán)寶石襯底上。圖6A至圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的用于紅微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移的例子。
[0132]如圖6A所示，在諸如GaAs襯底的生長襯底301上形成紅色微發(fā)光二極管302。
[0133]如圖6B所示，通過臨時鍵合聚合物303，將紅色微發(fā)光二極管302與諸如硅襯底的中間襯底304鍵合。聚合物303例如是熱釋放膠帶(TRT)。
[0134]如圖6C所示，例如通過濕法蝕刻去除生長襯底301。
[0135]如圖6D所示，諸如藍(lán)寶石襯底的原始襯底306上涂覆有光刻膠305。通過光刻膠305，原始襯底306與紅色微發(fā)光二極管302鍵合。光刻膠305能夠承受200°C以上的溫度，通常250°C以上。
[0136]如圖6E所示，在小于200°C的溫度，對聚合物303進行處理，以去除中間襯底304。
[0137]如圖6F所示，對光刻膠305執(zhí)行O2等離子蝕刻，以便隔離各個紅色微發(fā)光二極管302。
[0138]圖7A至圖7L示出了根據(jù)本發(fā)明的用于微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移的又一個例子。
[0139]如圖7A所示，原始襯底406上具有光刻膠405和紅色微發(fā)光二極管402。紅色微發(fā)光二極管402被安裝到到紫外線照射膠帶411上。紫外線照射膠帶411位于硬性的PET支撐體412上。通過激光413，選擇性地剝離紅色微發(fā)光二極管。
[0140]如圖7B所示，從支撐體412側(cè)照射紫外線，從而釋放未被剝離的紅色微發(fā)光二極管。
[0141]被剝離的紅色微發(fā)光二極管402r很容易與原始襯底406脫離。如圖7C所示，被剝離的紅色微發(fā)光二極管402r粘在紫外線照射膠帶411上，而其他紅色微發(fā)光二極管仍留在原始襯底406上。
[0142]如圖7D所示，諸如玻璃襯底的備用襯底415上具有彈性體/聚合物416。例如，可以通過旋凃的方式將彈性體/聚合物416涂覆到備用襯底415上。彈性體/聚合物416例如可以是PDMS或3M LC5320，并且例如可以通過紫外線固化。
[0143]如圖7E所示，從支撐體側(cè)完全照射紫外線，從而釋放紅色微發(fā)光二極管及彈性體/聚合物416。
[0144]之后，例如，如果在微發(fā)光二極管上沒有微凸起，則可以利用銀漿對備用襯底415上的微發(fā)光二極管進行絲網(wǎng)印刷。
[0145]如圖7F所示，將備用襯底415上的紅色微發(fā)光二極管402r與接收襯底417上的接墊419對準(zhǔn)。例如，接收襯底417是顯示襯底，并包括信號引線418。例如，通過回流，將紅色微發(fā)光二極管402r鍵合到接墊419。回流的溫度例如可以大于260°C。之后通過激光剝離，將備用襯底415與接收襯底417分離。
[0146]圖7G示出了分離后的接收襯底417。在接收襯底417上具有接墊419和紅色微發(fā)光二極管402r。
[0147]圖7H示出了從備用襯底420向接收襯底417轉(zhuǎn)移綠色微發(fā)光二極管422g的示意圖。備用襯底420具有彈性體/聚合物421。
[0148]圖71示出了分離后的接收襯底417。在接收襯底417上具有接墊419、紅色微發(fā)光二極管402r和綠色微發(fā)光二極管422g。
[0149]圖7J示出了從備用襯底423向接收襯底417轉(zhuǎn)移藍(lán)色微發(fā)光二極管425b的示意圖。備用襯底423具有彈性體/聚合物424。
[0150]圖7K示出了分離后的接收襯底417。在接收襯底417上具有接墊419、紅色微發(fā)光二極管402r、綠色微發(fā)光二極管422g和藍(lán)色微發(fā)光二極管425b。
[0151]在圖7L中，對轉(zhuǎn)移后的微發(fā)光二極管執(zhí)行常規(guī)的后續(xù)處理:在具有微發(fā)光二極管的接收襯底上涂覆聚合物426;對聚合物426進行固化;對聚合物進行蝕刻，以暴露微發(fā)光二極管的外延層;在微發(fā)光二極管的外延層上形成N電極427;以及在N電極上進行封裝(未示出)。
[0152]雖然已經(jīng)通過例子對本發(fā)明的一些特定實施例進行了詳細(xì)說明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，以上例子僅是為了進行說明，而不是為了限制本發(fā)明的范圍。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，可在不脫離本發(fā)明的范圍和精神的情況下，對以上實施例進行修改。本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求來限定。
【主權(quán)項】
1.一種用于微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移的方法，包括: 在激光透明的原始襯底上形成微發(fā)光二極管； 在接收襯底上設(shè)置各向異性導(dǎo)電層； 使微發(fā)光二極管與接收襯底上的各向異性導(dǎo)電層接觸； 從原始襯底側(cè)用激光照射原始襯底，以從原始襯底剝離微發(fā)光二極管；以及 對各向異性導(dǎo)電層進行處理，使得微發(fā)光二極管與接收襯底上的接墊電連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，對各向異性導(dǎo)電層進行處理的步驟還包括: 使用輔助襯底，從微發(fā)光二極管側(cè)對各向異性導(dǎo)電層施加壓力。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，對各向異性導(dǎo)電層進行處理的溫度是在150°C至200°C之間，所施加的壓力是在IMPa至4MPa之間，以及施加壓力的時間是在10秒至30秒之間。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，輔助襯底是平板剛性襯底。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，在輔助襯底的表面上涂覆有臨時鍵合聚合物，以及對各向異性導(dǎo)電層進行處理的步驟還包括: 經(jīng)由臨時鍵合聚合物將輔助襯底與各向異性導(dǎo)電層鍵合；以及 在施加壓力之后，經(jīng)由臨時鍵合聚合物對輔助襯底進行解鍵合，以移除輔助襯底。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，還包括: 對臨時鍵合聚合物進行蝕刻，以暴露微發(fā)光二極管的外延層； 在微發(fā)光二極管的外延層上形成N電極；以及 在N電極上進行封裝。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，各向異性導(dǎo)電層是各向異性導(dǎo)電膜、各向異性導(dǎo)電漿和各向異性導(dǎo)電膠帶中的至少一種。8.—種用于制造微發(fā)光二極管裝置的方法，包括使用根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法將微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移到接收襯底上。9.一種使用根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法制造的微發(fā)光二極管裝置，其中，微發(fā)光二極管通過各向異性導(dǎo)電層與接收襯底上的接墊電接觸。10.—種電子設(shè)備，包含根據(jù)權(quán)利要求9所述的微發(fā)光二極管裝置。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移方法、制造方法、裝置和電子設(shè)備。該用于微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移的方法包括：在激光透明的原始襯底上形成微發(fā)光二極管；在接收襯底上設(shè)置各向異性導(dǎo)電層；使微發(fā)光二極管與接收襯底上的各向異性導(dǎo)電層接觸；從原始襯底側(cè)用激光照射原始襯底，以從原始襯底剝離微發(fā)光二極管；以及對各向異性導(dǎo)電層進行處理，使得微發(fā)光二極管與接收襯底上的接墊電連接。
【IPC分類】H01L33/00
【公開號】CN105493297
【申請?zhí)枴緾N201580001212
【發(fā)明人】鄒泉波, 王喆
【申請人】歌爾聲學(xué)股份有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2015年5月21日