光二極管與接收襯底上的各向異性導(dǎo)電層接觸。例如，可以使得微發(fā)光二極管與接收襯底上的各向異性導(dǎo)電層粘接在一起。在這個步驟中，例如可以先將微發(fā)光二極管與接收襯底上對應(yīng)的接墊對準(zhǔn)。
[0088]在步驟S2400，從原始襯底側(cè)用激光照射原始襯底，以從原始襯底剝離微發(fā)光二極管。
[0089]例如，可以分別針對紅發(fā)光二極管、綠發(fā)光二極管、藍(lán)發(fā)光二極管分別執(zhí)行上述步驟。由于分別針對三種發(fā)光二極管執(zhí)行上述轉(zhuǎn)移可以看作是對上述步驟的簡單重復(fù)，因此，在這里不再重復(fù)。只要上述步驟中的每一個在一個方案中被執(zhí)行過，則該方案落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0090]在步驟S2500，對各向異性導(dǎo)電層進(jìn)行處理，使得微發(fā)光二極管(電極)與接收襯底上的接墊電連接。
[0091]在一個例子中，可以使用輔助襯底，從微發(fā)光二極管側(cè)對各向異性導(dǎo)電層施加壓力。例如，對各向異性導(dǎo)電層進(jìn)行處理的溫度可以在150°C至200°C之間。例如，所施加的壓力是在IMPa至4MPa之間。例如，施加壓力的時間是在1秒至30秒之間。
[0092]在一個例子中，輔助襯底可以是平板剛性襯底。本申請的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，通過采用剛性襯底可以減小微發(fā)光二極管可能出現(xiàn)的移位。這是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員尚未注意到的地方。
[0093]例如，可以在輔助襯底的表面上涂覆有臨時鍵合聚合物。在這種情況下，步驟S2500還可以包括:經(jīng)由臨時鍵合聚合物將輔助襯底與各向異性導(dǎo)電層鍵合；以及在施加壓力之后，經(jīng)由臨時鍵合聚合物對輔助襯底進(jìn)行解鍵合，以移除輔助襯底。將輔助襯底與微發(fā)光二極管臨時鍵合的好處在于，可以相對固定微發(fā)光二極管的位置，并減小對各向異性導(dǎo)電層進(jìn)行處理期間微發(fā)光二極管的移位。
[0094]在上述處理之后，可以對微發(fā)光二極管執(zhí)行通常的后續(xù)處理。例如，后續(xù)處理可以包括:對臨時鍵合聚合物進(jìn)行蝕刻，以暴露微發(fā)光二極管的外延層;在微發(fā)光二極管的外延層上形成N電極；以及在N電極上進(jìn)行封裝。
[0095]例如，接收襯底可以是顯示襯底。在接收襯底上可以預(yù)先設(shè)置引線以及接墊，以便與微發(fā)光二極管電連接。
[0096]在這個實(shí)施例中，通過各向異性導(dǎo)電層來連接微發(fā)光二極管和接收襯底。這種方式處理相對簡單，并且更適合于大規(guī)模生產(chǎn)。
[0097]在該另一個實(shí)施例中，本發(fā)明還包括一種用于制造微發(fā)光二極管裝置的方法。該制造方法包括使用根據(jù)本發(fā)明的用于微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移的方法將微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移到接收襯底上。所述接收襯底例如是顯示屏面板或顯示襯底。所述微發(fā)光二極管裝置例如是顯示屏裝置。
[0098]在該另一個實(shí)施例中，本發(fā)明還包括一種微發(fā)光二極管裝置，例如顯示屏裝置?？梢允褂酶鶕?jù)所述實(shí)施例的用于制造微發(fā)光二極管裝置的方法來制造所述微發(fā)光二極管裝置。在根據(jù)所述實(shí)施例的微發(fā)光二極管裝置中，微發(fā)光二極管通過各向異性導(dǎo)電層與接收襯底上的接墊電接觸，這與現(xiàn)有技術(shù)中的微發(fā)光二極管裝置是不同的。
[0099]在該另一個實(shí)施例中，本發(fā)明還包括一種電子設(shè)備。該電子設(shè)備包含根據(jù)所述實(shí)施例的微發(fā)光二極管裝置。例如，該電子設(shè)備可以是手機(jī)、平板電腦等。
[0100]圖4A至圖4L示出了根據(jù)本發(fā)明的用于微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移的另一個例子。
[0101]如圖4A所示，在諸如藍(lán)寶石襯底的原始襯底201上具有紅色微發(fā)光二極管202。在諸如顯示襯底的接收襯底204上具有各向異性導(dǎo)電膜(ACF)203。接收襯底204具有用于連接微發(fā)光二極管的信號引線205以及接墊205’。
[0102]如圖4B所示，以較小的力將原始襯底201(紅色微發(fā)光二極管202)與各向異性導(dǎo)電膜203接觸。例如，可以把要轉(zhuǎn)移的紅色微發(fā)光二極管202與接收襯底204上的接墊對準(zhǔn)。用激光206照射原始襯底201，以選擇性地剝離紅色微發(fā)光二極管。
[0103]圖4C中示出了剝離后的紅色微發(fā)光二極管202r。
[0104]圖4D示出了原始襯底207及其綠色微發(fā)光二極管208。要剝離的綠色微發(fā)光二極管與接收襯底204上的接墊對準(zhǔn)。
[0105]圖4E示出了綠色微發(fā)光二極管208以較小的力與各向異性導(dǎo)電膜203接觸。通過激光209選擇性地剝離至少一個綠色微發(fā)光二極管。
[0106]圖4F示出了剝離后的紅色微發(fā)光二極管202r和綠色微發(fā)光二極管208g。
[0107]圖4G示出了原始襯底210及其藍(lán)色微發(fā)光二極管211。要剝離的藍(lán)色微發(fā)光二極管與接收襯底204上的接墊對準(zhǔn)。
[0108]圖4H示出了藍(lán)色微發(fā)光二極管211以較小的力與各向異性導(dǎo)電膜203接觸。通過激光212選擇性地剝離至少一個藍(lán)色微發(fā)光二極管。
[0109]圖41示出了剝離后的紅色微發(fā)光二極管202r、綠色微發(fā)光二極管208g和藍(lán)色微發(fā)光二極管211b。
[0110]在轉(zhuǎn)移了三種顏色的發(fā)光二極管之后，可以檢查是否存在缺陷，并進(jìn)行修補(bǔ)。
[0111]圖4J中示出了輔助襯底213。輔助襯底213是平板剛性襯底，例如玻璃襯底。在輔助襯底213上涂覆有聚合物214，例如3M LC5200/5320聚合物。該聚合物例如可以通過紫外線固化，并且可以通過紅色激光解鍵合。
[0112]在圖4K中，通過輔助襯底213對ACF 203進(jìn)行處理。例如，處理?xiàng)l件為，溫度在150°C至200°C之間，所施加的壓力是在IMPa至4MPa之間，施加壓力的時間是在10秒至30秒之間。通過所述處理，ACF 203在垂直方向上將微發(fā)光二極管與對應(yīng)的接墊互連。
[0113]之后，(通過聚合物214)對輔助襯底213進(jìn)行解鍵合。
[0114]在圖4L中，執(zhí)行通常的后續(xù)處理:對聚合物214進(jìn)行蝕刻，以暴露微發(fā)光二極管的外延層;在微發(fā)光二極管的外延層上形成N電極215(例如，ITO材料電極)；以及在N電極上進(jìn)行封裝216 (例如，進(jìn)行PET層疊)。
[0115]圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的用于微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移的方法的又一個示意性實(shí)施例的流程圖。
[0116]如圖5所示，在步驟S3100，將至少一個微發(fā)光二極管從原始襯底轉(zhuǎn)移到支撐體。例如，原始襯底是激光透明的。
[0117]在一個例子中，該步驟可以包括:將原始襯底安裝到支撐體，其中，在原始襯底上形成有微發(fā)光二極管，在支撐體的表面上有光釋放粘合劑，微發(fā)光二極管通過光釋放粘合劑粘合到支撐體上;從原始襯底側(cè)用激光照射原始襯底，用于從原始襯底剝離所述至少一個微發(fā)光二極管；以及從支撐體側(cè)照射光，以釋放未被剝離的微發(fā)光二極管。在這個例子中，支撐體是透光的。
[0118]例如，光釋放粘合劑可以是紫外線照射膠帶(UVTape)。例如，支撐體是硬性的。在轉(zhuǎn)移過程中微發(fā)光二極管的移位會影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量。本申請的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)通過采用硬性的支撐體，可以減小這種移位。這是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員尚未注意到的地方。例如，支撐體的材料可以是PET。
[0119]通常，紅色微發(fā)光二極管很難在諸如藍(lán)寶石襯底的激光透明襯底上形成。因此，在一個例子中，可以預(yù)先形成紅色微發(fā)光二極管，然后將紅色微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移到原始襯底上，以用于最終轉(zhuǎn)移到接收襯底上。例如，在該實(shí)施例中，可以在生長襯底上形成紅色微發(fā)光二極管。接著，將紅色微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移到中間襯底上。之后，將紅色微發(fā)光二極管從中間襯底轉(zhuǎn)移到原始襯底上。
[0120]在步驟S3200，將所述至少一個微發(fā)光二極管從支撐體轉(zhuǎn)移到備用襯底。
[0121]例如，備用襯底在其表面上具有彈性體或聚合物。例如，通過彈性體或聚合物將所述至少一個微發(fā)光二極管鍵合到備用襯底。
[0122]在一個例子中，該步驟還可以包括:將具有所述至少一個微發(fā)光二極管的支撐體鍵合到備用襯底，以及從支撐體側(cè)照射光，以釋放所述至少一個微發(fā)光二極管。
[0123]在步驟S3300，將所述至少一個微發(fā)光二極管從備用襯底轉(zhuǎn)移到接收襯底上。
[0124]在一個例子中，該步驟還可以包括:將所述至少一個微發(fā)光二極管與接收襯底上的接墊對準(zhǔn)；以及通過彈性體或聚合物剝離所述至少一個微發(fā)光二極管。
[0125]例如，可以分別針對紅色微發(fā)光二極管、藍(lán)色微發(fā)光二極管和綠色微發(fā)光二極管執(zhí)行上述轉(zhuǎn)移步驟。在這里不再重復(fù)描述。
[0126]在上述處理之后，