制造顯示裝置的裝置和方法
【專利說明】制造顯示裝置的裝置和方法
[0001]本申請要求于2014年10月6日在韓國知識產(chǎn)權(quán)局提交的第10-2014-0134487號韓國專利申請的權(quán)益，該韓國專利申請的公開內(nèi)容通過引用全部包含于此。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]所描述的技術(shù)總體上涉及一種制造顯示裝置的裝置和方法。
【背景技術(shù)】
[0003]便攜式或移動設(shè)備已被廣泛使用。例如，平板電腦是移動電子設(shè)備的常見示例，除了諸如移動電話的小尺寸電子設(shè)備之外。
[0004]這些電子設(shè)備包括顯示單元，用于支持各種功能并向用戶提供諸如圖像或視頻的可視信息。最近，隨著用于驅(qū)動顯示單元的組件已經(jīng)被小型化，顯示單元已經(jīng)逐漸地增大尺寸。此外，已經(jīng)開發(fā)出能夠被彎曲(即，具有相對于平坦構(gòu)造的預(yù)定角度)的顯示器。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]—個發(fā)明方面是一種用于制造顯示裝置的裝置和制造顯示裝置的方法。
[0006]另一個方面是一種用于制造顯示裝置的裝置，該裝置包括:室；無機(jī)層形成噴嘴單元，形成在室中，用于形成無機(jī)層；有機(jī)層形成噴嘴單元，形成在室中，并被布置為無機(jī)層形成噴嘴單元順列以形成有機(jī)層；以及分隔噴嘴單元，形成在無機(jī)層形成噴嘴單元與有機(jī)層形成噴嘴單元之間以噴射惰性氣體。
[0007]無機(jī)層形成噴嘴單元和分隔噴嘴單元以及有機(jī)層形成噴嘴單元和分隔噴嘴單元可被形成為彼此分隔開，室中的氣體可在無機(jī)層形成噴嘴單元與分隔噴嘴單元之間以及有機(jī)層形成噴嘴單元與分隔噴嘴單元之間被抽吸。
[0008]所述裝置還可包括形成在所述室中以直線地移動的傳送單元，其中，其上形成有顯示單元的基底被安裝在傳送單元上。
[0009]無機(jī)層形成噴嘴單元可包括:源氣體供給噴嘴單元，包括第一空間，源氣體被供給到第一空間以被噴射；等離子體供給噴嘴單元，包括第二空間，反應(yīng)氣體被供給到第二空間以產(chǎn)生等離子體，等離子體供給噴嘴單元向外部噴射等離子體；以及吹掃氣體供給噴嘴單元，與源氣體供給噴嘴單元和等離子體供給噴嘴單元中的至少一個分開，并供給吹掃氣體。
[0010]等離子體供給噴嘴單元可包括:反應(yīng)氣體供給單元，形成在第二空間中并包括第三空間，使得可通過第三空間供給反應(yīng)氣體；以及等離子體供給噴嘴主體，被設(shè)置為圍繞反應(yīng)氣體供給單元以與反應(yīng)氣體供給單元形成第二空間，并與反應(yīng)氣體供給單元產(chǎn)生電勢差以從反應(yīng)氣體(從第三空間供給到第二空間的)產(chǎn)生等離子體。
[0011]有機(jī)層形成噴嘴單元可包括噴頭，噴頭供給來自外部的沉積氣體以形成活化的離子物種并噴射活化的離子物種。
[0012]有機(jī)層形成噴嘴單元可包括:外部，形成外觀；絕緣單元，形成在外部中并在其中包括噴頭；以及第二電源單元，用于在外部與噴頭之間產(chǎn)生電勢差。
[0013]無機(jī)層形成噴嘴單元、分隔噴嘴單元和有機(jī)層形成噴嘴單元可順序地布置。
[0014]有機(jī)層形成噴嘴單元、分隔噴嘴單元和無機(jī)層形成噴嘴單元可順序地布置。
[0015]無機(jī)層形成噴嘴單元和有機(jī)層形成噴嘴單元中的至少一者可設(shè)置為多個。
[0016]分隔噴嘴單元可形成在兩個相鄰的無機(jī)層形成噴嘴單元之間或兩個相鄰的有機(jī)層形成噴嘴單元之間。
[0017]所述裝置還可包括卸載單元，卸載單元用于通過連接到所述室來從所述室卸載基底，在所述室中，其上形成有顯示單元的基底被運(yùn)送，并且通過形成無機(jī)層和有機(jī)層中的至少一個在顯示單元上形成薄膜包封層。
[0018]所述裝置還可包括保護(hù)層形成單元，保護(hù)層形成單元連接到卸載單元使得基底可從卸載單元傳送，保護(hù)層形成單元在薄膜包封層上形成保護(hù)層。
[0019]另一方面是一種制造顯示裝置的方法，該方法包括:將其上形成有顯示單元的基底運(yùn)送到室中；通過在室中在顯示單元上沉積無機(jī)層和有機(jī)層來形成薄膜包封層；以及通過連接到室的保護(hù)層形成單元在薄膜包封層上形成保護(hù)層。
[0020]薄膜包封層可由用于形成無機(jī)層的無機(jī)層形成噴嘴單元和用于形成有機(jī)層的有機(jī)層形成噴嘴單元來形成，其中，無機(jī)層形成噴嘴單元和有機(jī)層形成噴嘴單元在室中彼此直列地布置。
[0021 ] 在形成無機(jī)層和有機(jī)層的同時，可以傳送基底。
[0022]該方法還可包括:在形成無機(jī)層或有機(jī)層時，向基底的側(cè)表面噴射惰性氣體。
[0023]該方法還可包括抽吸惰性氣體。無機(jī)層和有機(jī)層中的至少一者可設(shè)置為多個。
[0024]另一個方面是一種用于制造顯示裝置的裝置，該裝置包括:室；無機(jī)層形成噴嘴單元，形成在室中并被配置為形成至少一個無機(jī)層；有機(jī)層形成噴嘴單元，形成在室中并被配置為形成至少一個有機(jī)層，其中，有機(jī)層形成噴嘴單元與無機(jī)層形成噴嘴單元基本上直列地布置；以及分隔噴嘴單元，形成在無機(jī)層形成噴嘴單元與有機(jī)層形成噴嘴單元之間并被配置為噴射惰性氣體。
[0025]上述裝置還包括被配置為在無機(jī)層形成噴嘴單元與分隔噴嘴單元之間以及有機(jī)層形成噴嘴單元與分隔噴嘴單元之間抽吸室中的氣體的吸氣單元。上述裝置還包括形成在室中并被配置為基本上直線地移動的傳送器，其中，傳送器還被配置為接收其上形成有顯示單元的基底。在上述裝置中，無機(jī)層形成噴嘴單元包括:源氣體供給噴嘴，包括第一空間，源氣體被供給到第一空間以被噴射；等離子體供給噴嘴，包括第二空間，反應(yīng)氣體被供給到第二空間以產(chǎn)生等離子體，等離子體供給噴嘴被配置為向外部噴射等離子體；以及吹掃氣體供給噴嘴，與源氣體供給噴嘴和等離子體供給噴嘴中的至少一個分開，并被配置為供給吹掃氣體。在上述裝置中，等離子體供給噴嘴包括:反應(yīng)氣體供給單元，形成在第二空間中并包括第三空間，通過第三空間供給反應(yīng)氣體；以及等離子體供給噴嘴主體，被配置為圍繞反應(yīng)氣體供給單元以與反應(yīng)氣體供給單元形成第二空間，并被配置為與反應(yīng)氣體供給單元產(chǎn)生電勢差以從反應(yīng)氣體產(chǎn)生等離子體。
[0026]在上述裝置中，有機(jī)層形成噴嘴單元包括噴頭，噴頭被配置為供給沉積氣體以形成活化的離子物種并被配置為噴射活化的離子物種。在上述裝置中，有機(jī)層形成噴嘴單元包括:外部，形成外觀；絕緣單元，形成在外部中并在其中包括噴頭；以及第二電源單元，被配置為在外部與噴頭之間產(chǎn)生電勢差。在上述裝置中，無機(jī)層形成噴嘴單元、分隔噴嘴單元和有機(jī)層形成噴嘴單元順序地布置。在上述裝置中，有機(jī)層形成噴嘴單元、分隔噴嘴單元和無機(jī)層形成噴嘴單元順序地布置。在上述裝置中，無機(jī)層形成噴嘴單元是多個噴嘴單元，和/或有機(jī)層形成噴嘴單元是多個噴嘴單元。
[0027]在上述裝置中，分隔噴嘴單元形成在兩個相鄰的無機(jī)層形成噴嘴單元之間或兩個相鄰的有機(jī)層形成噴嘴單元之間。上述裝置還包括卸載器，卸載器被配置為從室卸載其上形成有顯示單元和薄膜包封層的基底。上述裝置還包括與被配置為傳送基底的卸載器連接的保護(hù)層形成單元，其中，保護(hù)層形成單元被配置為在薄膜包封層上形成保護(hù)層。
[0028]另一方面是一種制造顯示裝置的方法，該方法包括:將其上形成有顯示單元的基底運(yùn)送到室中；在室中在顯示單元上沉積無機(jī)材料和有機(jī)材料，以形成薄膜包封層；以及通過連接到室的保護(hù)層形成單元在薄膜包封層上形成保護(hù)層。
[0029]在上面的方法中，通過被配置為噴射無機(jī)材料的無機(jī)層形成噴嘴單元和被配置為噴射有機(jī)材料的有機(jī)層形成噴嘴單元來形成薄膜包封層，其中，無機(jī)層形成噴嘴單元和有機(jī)層形成噴嘴單元在室中基本上彼此直列地布置。在上面的方法中，在沉積無機(jī)材料和有機(jī)材料的同時傳送基底。上述方法還包括:在沉積無機(jī)材料和有機(jī)材料時，向基底的側(cè)表面噴射惰性氣體。上述方法還包括抽吸惰性氣體。在上面的方法中，沉積包括形成至少一個無機(jī)層和至少一個有機(jī)層。
[0030]另一方面是一種用于制造顯示裝置的裝置，該裝置包括:室；多個第一噴嘴，安置在室中，其中，多個第一噴嘴中的每個被配置為噴射無機(jī)材料以形成無機(jī)層；以及多個第二噴嘴，安置在室中，其中，多個第二噴嘴中的每個被配置為噴射有機(jī)材料以形成有機(jī)層，其中，第一噴嘴和第二噴嘴交替地布置。
【附圖說明】
[0031]圖1是根據(jù)實(shí)施例的用于制造顯示裝置的裝置的概念圖。
[0032]圖2是圖1的用于制造顯示裝置的裝置中的無機(jī)層形成噴嘴單元和有機(jī)層形成噴嘴單元的布置的概念圖。
[0033]圖3是圖2的無機(jī)層形成噴嘴單元的分解透視圖。
[0034]圖4是無機(jī)層形成噴嘴單元沿圖3中的IV-1V線截取的剖視圖。
[0035]圖5是由圖1的用于制造顯示裝置的裝置制造的顯示裝置的概念圖。
[0036]圖6是圖5的顯示裝置的部分的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0037]因?yàn)樗枋龅募夹g(shù)允許各種變化和眾多實(shí)施例，所以將在附圖中示出具體的實(shí)施例，并將在書面描述中詳細(xì)地描述具體的實(shí)施例。然而，這并不意圖將所描述的技術(shù)局限于具體的實(shí)施方式，并且將要理解的是，不脫離精神和技術(shù)范圍的所有改變、等同物和替換物被包含在所描述的技術(shù)中。
[0038]在下文中，將通過參照附圖解釋所描述的技術(shù)的示例性實(shí)施例來詳細(xì)描述所描述的技術(shù)。附圖中的相同的附圖標(biāo)記表示相同的元件。
[0039]將要理解的是，盡管在這里可使用術(shù)語“第一”、“第二”等來描述各種組件，但是這些組件不應(yīng)該受這些術(shù)語的限制。這些術(shù)語僅是用來將一個組件與另一個組件區(qū)分開來。
[0040]如這里所使用的，除非上下文另外清楚地指出，否則單數(shù)形式的“一個(種)(者)”、“該”和“所述”也意圖包括復(fù)數(shù)形式。
[0041]將要理解的是，當(dāng)層、區(qū)域或組件被稱作“形成在”另一層、區(qū)域或組件“上”時，它可