制，但可利用刀片（doctorblade)、擦拭器（wiper)或刷子（brush)。更加優(yōu)選利用刷子。 刷子能夠降低物理力，從而有效地防止基底表面的刮痕及墨水的流失。
[0122] 這一過程可進(jìn)行一次以上，并且可使用各種方法，尤其可以混合使用刀片、擦拭器 及刷子。
[0123] 可利用殘留物處理部件來推出已溶解的殘留導(dǎo)電油墨組合物，從而去除殘留在絕 緣層上的微細(xì)電極圖案之間表面的導(dǎo)電油墨組合物的成分、即金屬物質(zhì)或有機(jī)物質(zhì)等。
[0124] 此外，對(duì)于推出已溶解的殘留導(dǎo)電油墨組合物的方法，也可使用額外的振動(dòng)、搖動(dòng) 或空氣。
[0125] 導(dǎo)電物質(zhì)的形成步驟S70
[0126] 導(dǎo)電物質(zhì)的形成步驟S70為在去除離型膜之后的微細(xì)電極圖案上沉積或印刷導(dǎo) 電物質(zhì)而制造混合型透明電極薄膜的步驟。
[0127] 為了使用于元件的內(nèi)部電極，可根據(jù)需要增加本步驟。
[0128] 此外，導(dǎo)電物質(zhì)的形成步驟S70可在去除離型膜S50之后直接實(shí)施，也可在去除殘 留導(dǎo)電油墨組合物的處理步驟S60中進(jìn)行，當(dāng)去除殘留導(dǎo)電油墨組合物之后在微細(xì)電極圖 案上形成導(dǎo)電物質(zhì)時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)可靠性高的透明電極薄膜。
[0129] 可在微細(xì)電極圖案上形成的導(dǎo)電物質(zhì)優(yōu)選為ΙΤΟ、AZO、CNT、石墨烯或?qū)щ娦愿叻?子，導(dǎo)電性高分子可使用PEDOT(Poly(3, 4-乙撐二氧噻吩））或PSS:PEDOT(Poly(3, 4-乙撐 二氧噻吩）：P〇ly(4-苯乙烯磺酸））。
[0130] 導(dǎo)電物質(zhì)可在微細(xì)圖案電極上沉積而形成圖案或者直接印刷而形成微細(xì)電極圖 案，ΙΤ0或ΑΖ0的材料優(yōu)選以祀的形式進(jìn)行真空沉積（sputtering)或者經(jīng)油墨化之后作為 薄膜涂覆組合物來進(jìn)行印刷。
[0131] 對(duì)于這種混合型透明電極薄膜，由于兩個(gè)電極間的界面特性優(yōu)異，因此可在需要 較高的導(dǎo)電度并且要求高可靠性的領(lǐng)域中使用。
[0132] 用于制造透明電極薄膜的所述步驟，可通過輯對(duì)輯（roll-to-roll)的連續(xù)工序 來進(jìn)行，通過該工序能夠增加生產(chǎn)速度，從而提高生產(chǎn)效率。
[0133] 下面，參照?qǐng)D3對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0134] 圖3a至圖3j為將本發(fā)明的一實(shí)施例的透明電極薄膜的制造方法依次圖示化的剖 視圖。
[0135] 如圖3a所示，準(zhǔn)備耐熱薄膜11。耐熱薄膜11可使用如PEN、PET、PE、PL及PC的 各種材質(zhì)的薄膜。
[0136] 如圖3b所示，在耐熱薄膜11上涂覆離型劑12而制造離型膜10。離型膜10只要 具有離型力，采用任何形式也無妨，但優(yōu)選為調(diào)節(jié)了耐熱性離型力的離型涂覆膜形式。
[0137] 接下來會(huì)進(jìn)行通過熱壓等方式對(duì)基底層40進(jìn)行結(jié)合的工序，因此離型劑12優(yōu)選 為具有即時(shí)在熱壓工序中也不會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重收縮的耐熱特性的物質(zhì)，使用有機(jī)硅類離型劑為 有效。
[0138] 接下來，如圖3c所示，在離型膜10上形成微細(xì)電極圖案20。
[0139] 離型膜10為即將去除的對(duì)象，因此可在離型力優(yōu)異的離型劑12的表面上印刷微 細(xì)電極圖案20,將其形成為網(wǎng)狀。
[0140] 導(dǎo)電油墨組合物可使用金屬絡(luò)合物或金屬前體，可使用凹版印刷、柔性版印刷、膠 版印刷、反向膠版印刷、點(diǎn)膠、絲網(wǎng)印刷、旋轉(zhuǎn)式絲網(wǎng)印刷或噴墨印刷法等來印刷導(dǎo)電油墨 組合物，但并不局限于此。
[0141] 導(dǎo)電油墨組合物的印刷并不局限于一次，根據(jù)情況可重復(fù)多次。
[0142] 微細(xì)電極圖案20利用導(dǎo)電油墨組合物印刷而成，在印刷時(shí)，導(dǎo)電油墨組合物有可 能也殘留在非微細(xì)電極圖案20形成位置的區(qū)域上，因此之后會(huì)增加用于處理殘留導(dǎo)電油 墨組合物50的步驟。
[0143] 之后，如圖3d所示，在印刷有微細(xì)電極圖案20的離型劑12的表面上涂覆熱固性 或紫外線光固性樹脂而形成絕緣層30。
[0144] 如該圖中所示，絕緣層30的高度優(yōu)選形成為高于微細(xì)電極圖案20的高度，優(yōu)選為 與微細(xì)電極圖案的高度相比高〇.Ιμπι以上，更加優(yōu)選為高Ιμπι以上。
[0145] 在形成絕緣層30之后，如圖3e所示，在絕緣層30上層壓基底層40。
[0146] 基底層40的基底種類不受限制，透明電極薄膜可使用塑料薄膜或玻璃等透明材 質(zhì)。
[0147] 對(duì)于基底優(yōu)選在100°C至300°C的溫度下進(jìn)行熱壓而在絕緣層30上結(jié)合基底，也 可使用在絕緣層30上涂覆粘合劑而粘合基底的方法。
[0148] 當(dāng)使用粘合劑來粘合基底時(shí)，所述粘合劑優(yōu)選使用具有透明性的粘合劑，可使用 聚乙烯醇類粘合劑、丙烯酸類粘合劑、乙酸乙烯酯類粘合劑、聚氨酯類粘合劑、聚酯類粘合 劑、聚烯烴類粘合劑或聚乙烯烷基醚類粘合劑，根據(jù)基底種類可混合兩種以上的粘合劑而 使用。
[0149] 粘合劑層的厚度不受特別的限制，可考慮到物性而設(shè)置為通常的厚度。
[0150] 如圖3f所示，結(jié)合基底后，可去除離型膜10而制造透明電極薄膜。
[0151] 通過調(diào)節(jié)離型膜10的離型劑12的離型力，離型膜10從形成有微細(xì)電極圖案的絕 緣層30中分離。
[0152] 這樣，如圖3g所示，微細(xì)電極圖案20會(huì)裸露于外部，因此能夠?qū)崿F(xiàn)表面粗糙度優(yōu) 異的顯示器用透明電極薄膜。
[0153] 為了提高透明電極薄膜的可靠性，可進(jìn)一步進(jìn)行在圖3h、3i及3j中所示的工序。
[0154] 對(duì)于圖3h，如上所述，在印刷導(dǎo)電油墨組合物而形成微細(xì)電極圖案20時(shí)，在非微 細(xì)電極圖案20形成位置上可能會(huì)殘留導(dǎo)電油墨組合物，在去除離型膜10之后導(dǎo)電油墨組 合物仍然會(huì)殘留在絕緣層30上，因此可進(jìn)一步實(shí)施用于去除該殘留導(dǎo)電油墨組合物的工 序。
[0155] 可通過蝕刻液溶解殘留導(dǎo)電油墨組合物50之后推出該殘留導(dǎo)電油墨組合物50， 從而去除在非微細(xì)電極圖案形成位置的區(qū)域上的金屬物質(zhì)或有機(jī)物質(zhì)。
[0156] 優(yōu)選根據(jù)殘留導(dǎo)電油墨組合物50的殘留量來控制蝕刻液的濃度或浸漬速度。
[0157] 對(duì)于推出已溶解殘留導(dǎo)電油墨組合物的方法，可通過各種物理力來推出，但在圖 3h中使用了刮刀70。該過程可實(shí)施一次以上，也可將各種擠出方式混合使用。
[0158] 通過去除殘留導(dǎo)電油墨組合物50,能夠提高耐電壓特性及透光率。
[0159] 之后，如圖3i及圖3j所示，可在微細(xì)電極圖案上形成導(dǎo)電物質(zhì)。
[0160] 如圖3i所示，可將如11'0^20、犯\石墨烯或?qū)щ娦愿叻肿拥膶?dǎo)電物質(zhì)直接印刷在 形成有微細(xì)電極圖案20的絕緣層30上后，如圖3j所示，進(jìn)行蝕刻而形成混合型透明電極 薄膜。
[0161] 該步驟并不必須在圖3h的工藝之后進(jìn)行，當(dāng)然也可在去除離型膜10之后的圖3g 所示透明電極薄膜狀態(tài)下形成導(dǎo)電物質(zhì)。
[0162] 本發(fā)明的一實(shí)施例的顯示器用透明電極薄膜可包括：電極圖案，在離型膜上將導(dǎo) 電油墨組合物印刷為微細(xì)電極圖案而形成；絕緣層，在形成有所述電極圖案的所述離型膜 上涂覆絕緣樹脂而形成；及基底層，層壓在所述絕緣層的另一側(cè)面上，所述絕緣層的另一側(cè) 面為所述絕緣層中的與所述離型膜相接的一側(cè)面的反面；所述電極圖案設(shè)置為埋入于所述 絕緣層的內(nèi)部，并且所述電極圖案的一面向所述絕緣層的所述一側(cè)面的表面裸露而與所述 離型膜相接。
[0163] 本發(fā)明的另一實(shí)施例的顯示器用透明電極薄膜可包括：電極圖案，在離型膜上將 導(dǎo)電油墨組合物印刷為微細(xì)電極圖案而形成；絕緣層，通過全面涂覆所述絕緣樹脂，以使 所述絕緣樹脂填充在所述微細(xì)電極圖案之間的槽中來形成；及基底層，層壓在所述絕緣層 的另一側(cè)面上，所述絕緣層的另一側(cè)面為所述絕緣層中的與所述離型膜相接的一側(cè)面的反 面，所述電極圖案設(shè)置為埋入于所述絕緣層的內(nèi)部，并且所述電極圖案的一面向所述絕緣 層的所述一側(cè)面的表面裸露而與所述離型膜相接。
[0164] 本發(fā)明的另一實(shí)施例的顯示器用透明電極薄膜可包括：電極圖案，在離型膜上將 導(dǎo)電油墨組合物印刷為微細(xì)電極圖案而形成；絕緣層，在形成有所述微細(xì)電極圖案的所述 離型膜上涂覆絕緣樹脂，并使所述絕緣樹脂覆蓋所述微細(xì)電極圖案來形成；及基底層，層壓 在所述絕緣層的另一側(cè)面上，所述絕緣層的另一側(cè)面為所述絕緣層中的與所述離型膜相接 的一側(cè)面的反面，其中，所述電極圖案設(shè)置為埋入于所述絕緣層的內(nèi)部，并且所述電極圖案 的一面向所述絕緣層的所述一側(cè)面的表面裸露而與所述離型膜相接，此外，所述顯示器用 透明電極薄膜為通過蝕刻液溶解殘留在去除所述離型膜之后的所述微細(xì)電極圖案之間的 殘留導(dǎo)電油墨組合物，并且將溶解的所述殘留導(dǎo)電油墨組合物推出而去除殘留導(dǎo)電油墨組 合物而形成的。
[0165] 本發(fā)明的另一實(shí)施例的顯示器用透明電極薄膜可包括：電極圖案，在離型膜上將 導(dǎo)電油墨組合物印刷為微細(xì)電極圖案而形成；絕緣層，在形成有所述微細(xì)電極圖案的所述 離型膜上涂覆絕緣樹脂而形成；及基底層，層壓在所述絕緣層的另一側(cè)面上，所述絕緣層的 另一側(cè)面為所述絕緣層中的與所述離型膜相接的一側(cè)面的反面，所述電極圖案設(shè)置為埋入 于所述絕緣層的內(nèi)部，并且所述電極圖案的一面向所述絕緣層的所述一側(cè)面的表面裸露而 與所述離型膜相接，所述顯示器用透明電極薄膜進(jìn)一步包括導(dǎo)電物質(zhì)，所述導(dǎo)電物質(zhì)形成 于在去除所述離型膜的狀態(tài)下，通過蝕刻液溶解殘留在所述微細(xì)電極圖案之間的殘留導(dǎo)電 油墨組合物，并且將溶解的所述殘留導(dǎo)電油墨組合物推出而去除殘留導(dǎo)電油墨組合物之后 的所述微細(xì)電極圖案上。
[0166] 所述導(dǎo)電油墨組合物、所述絕緣樹脂、所述蝕刻液及所述導(dǎo)電物質(zhì)與在顯示器用 透明電極薄膜的制造方法中進(jìn)行的說明相同。
[0167] 本發(fā)明的顯示器用透明電極薄膜的表面粗糙度可為0. 05μπι至0. 3μπι，優(yōu)選可為 0· 10μm至 0· 2μm，更加優(yōu)選可為 0· 10μm至 0· 15μm。
[0168] 此外，本發(fā)明的顯示器用透明電極薄膜的面電阻可為ΙΟπιΩ/sq至l〇〇kQ/Sq， 優(yōu)選可為ΙΟπιΩ/sq至10kQ/sq，更加優(yōu)選可為3.0Ω/sq至18. 5Ω/sq，進(jìn)一步優(yōu)選可為 3.0Ω/sq至10.5Ω/sq。
[0169] 此外，本發(fā)明的顯示器用透明電極薄膜的透射率可為60%至99%，優(yōu)選可為70% 至99%，更加優(yōu)選可為83%至91%。
[0170] 下面，通過實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。本發(fā)明的范圍并不局限于實(shí)施例。
[0171] 實(shí)施例1
[0172] 在作為離型膜的耐熱性有機(jī)硅離型涂覆膜（SKC公司，SG32)上利用導(dǎo)電金屬組合 物（方正科技集團(tuán)股份公司，TEC-PA-010)通過反向膠印機(jī)（naraenanotech公司）印刷 微細(xì)電極圖案之后，在130°C的溫度下干燥20分鐘而形成線寬為3μπι的電極圖案。使用 狹縫式擠出涂布機(jī)（pactive公司）在電極圖案上涂覆干燥厚度為70μπι的紫外線光固性 樹脂（minutatech公司，MIR-30)涂覆液而形成絕緣層，并且在絕緣層上對(duì)厚度為12μηι