40移動。擋板342包含分隔片342a穿過第三吸附平臺340，因此可隨著擋板342移動而可選擇性地容置于第三吸附平臺340中(如圖4A所示)，或由第三吸附平臺340的另一側(cè)穿出(如圖4B所示)。擋板的功能在于供第一物件20的側(cè)邊抵靠，進而可防止相鄰的第一物件20之間發(fā)生碰撞。
[0051]另外，請參照圖5A以及圖5B。圖5A為第三吸附裝置14的另一實施方式的局部剖面示意圖。圖5B為圖5A的另一局部剖面示意圖。
[0052]如圖5A與圖5B所示，在本實施方式中，第三吸附裝置44包含第三吸附平臺440與擋板442。第三吸附平臺440具有氣孔440a?；邶埦盹L(fēng)原理，在不同的氣孔440a對第一物件20的周圍以斜向角度吸氣之后，可產(chǎn)生如龍卷風(fēng)般的螺旋氣流使第一物件20升起。通過調(diào)整氣孔440a吸氣的流速與流量，即可產(chǎn)生可與第一物件20的重量平衡的升力，進而達到以非接觸方式吸附第一物件20的目的。
[0053]同樣地，擋板442位于第三吸附平臺440的一側(cè)，并可往復(fù)地朝向或遠離第三吸附平臺440移動。擋板442包含分隔片442a穿過第三吸附平臺440，因此可隨著擋板442移動而可選擇性地容置于第三吸附平臺440中(如圖5A所示)，或由第三吸附平臺440的另一側(cè)穿出(如圖5B所示)。擋板的功能在于供第一物件20的側(cè)邊抵靠，進而可防止相鄰的第一物件20之間發(fā)生碰撞。
[0054]在一實施方式中，第一取放裝置11與第二取放裝置16可直接整合視覺檢測的功能。以下僅以第二取放裝置16為例做說明。請參照圖6，其為第二取放裝置16的一實施方式的局部剖面示意圖。
[0055]如圖6所示，在本實施方式中，第二取放裝置16包含殼體160以及視覺檢測模塊162。殼體160具有相連通的吸附口 160a以及流道160b。視覺檢測模塊162設(shè)置于流道160b中，并經(jīng)由吸附口 160a進行視覺檢測。借此，第二取放裝置16即可在吸附第二物件22時，同時檢測第二物件22的相對位置、旋轉(zhuǎn)角度，或辨識出是否發(fā)生相疊的狀況。相較于以往視覺檢測與取放分為兩個獨立步驟的作法，本實施方式的第二取放裝置16可進一步有效縮減工時，并提聞廣能。
[0056]在本實施方式中，第一物件20為底板，而第二物件22為晶粒，但本發(fā)明并不以此為限。
[0057]要補充說明的是，本發(fā)明雖僅將粘合設(shè)備I的工作區(qū)初步分為備料區(qū)Al、緩沖區(qū)A2、涂膠區(qū)A3與粘合區(qū)A4，但本發(fā)明并不以此為限。在實際應(yīng)用中，還可根據(jù)實際需求而延伸應(yīng)用在更多工作站的組合上。舉例來說，還可在備料區(qū)Al之前增加以振動盤輔助進行第一物件20的送料程序的工作區(qū)，或在粘合區(qū)A4之后增加烘烤程序的工作區(qū)。
[0058]由以上對于本發(fā)明的【具體實施方式】的詳述，可以明顯地看出，本發(fā)明的粘合設(shè)備在緩沖區(qū)與涂膠區(qū)中分別使用第一吸附裝置與第二吸附裝置吸附第一物件，進而可將排列第一物件的程序與對第一物件進行涂膠之后的程序進行切割。借此，不僅吸附裝置的配線管路易打結(jié)的問題得以解決，花費時間最多的第一物件排列程序亦可長時間不停機地持續(xù)運作，使得緩沖區(qū)中得以累積許多已完成第一物件的排列程序的第一吸附平臺。為了將第一物件由緩沖區(qū)移動至涂膠區(qū)，本發(fā)明的粘合設(shè)備還額外增設(shè)第三吸附裝置，其第三吸附平臺可將某一個第一吸附平臺上的所有第一物件同時吸起，并放置至空閑的第二吸附平臺上以進行后續(xù)涂膠與烘烤程序。由此可知，以往排列第一物件的程序花費最多時間的問題將得以解決。再者，由于第一吸附平臺、第二吸附平臺與第三吸附平臺皆為平面，不僅容易加工而使得成本驟降，涂膠裝置的針頭在第二吸附平臺上涂膠時也不會發(fā)生碰撞損壞的問題，且涂膠時間也可縮短。
[0059]雖然本發(fā)明已經(jīng)以實施方式公開如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種變動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準。
【主權(quán)項】
1.一種粘合設(shè)備，其特征在于，所述粘合設(shè)備包含: 第一吸附裝置，其包含至少一個第一吸附平臺，所述第一吸附平臺用以吸附多個第一物件； 第二吸附裝置，其包含至少一個第二吸附平臺； 第三吸附裝置，其包含至少一個第三吸附平臺，所述第三吸附平臺用以將所述多個第一物件由所述第一吸附平臺同時吸起，并放置至所述第二吸附平臺，其中被放置的所述多個第一物件隨即被所述第二吸附平臺吸附； 涂膠裝置，其用以對被所述第二吸附平臺吸附的所述多個第一物件進行涂膠；以及 取放裝置，其用以依序拾取多個第二物件，并分別放置至經(jīng)涂膠的所述多個第一物件上，使得所述多個第一物件分別與所述多個第二物件粘合。2.如權(quán)利要求1所述的粘合設(shè)備，其特征在于，所述第一吸附平臺、所述第二吸附平臺與所述第三吸附平臺中的至少一者具有多個氣孔，并且每一個所述氣孔用以吸附對應(yīng)的所述第一物件。3.如權(quán)利要求1所述的粘合設(shè)備，其特征在于，所述第一吸附平臺、所述第二吸附平臺與所述第三吸附平臺中的至少一者由多孔材料所制成。4.如權(quán)利要求3所述的粘合設(shè)備，其特征在于，所述多孔材料包含陶瓷或碳纖維。5.如權(quán)利要求1所述的粘合設(shè)備，其特征在于，每一個所述第一物件包含鐵磁材料，并且所述第一吸附平臺、所述第二吸附平臺與所述第三吸附平臺中的至少一者為電磁鐵。6.如權(quán)利要求1所述的粘合設(shè)備，其特征在于，所述第一吸附平臺、所述第二吸附平臺與所述第三吸附平臺中的至少一者以非接觸方式吸附所述多個第一物件，并且所述非接觸方式基于伯努利原理或龍卷風(fēng)原理。7.如權(quán)利要求1所述的粘合設(shè)備，其特征在于，所述粘合設(shè)備進一步包含網(wǎng)格構(gòu)件，所述網(wǎng)格構(gòu)件具有多個隔間，所述網(wǎng)格構(gòu)件能夠拆卸地與所述第二吸附平臺連接，使得被所述第二吸附平臺吸附的所述多個第一物件分別位于所述多個隔間內(nèi)。8.如權(quán)利要求1所述的粘合設(shè)備，其特征在于，所述取放裝置包含: 殼體，其具有相連通的吸附口以及流道；以及 視覺檢測模塊，其設(shè)置于所述流道中，并經(jīng)由所述吸附口進行視覺檢測。9.如權(quán)利要求1所述的粘合設(shè)備，其特征在于，所述粘合設(shè)備進一步包含承載體，其用以承載所述多個第二物件，所述取放裝置由所述承載體拾取所述多個第二物件，并且所述承載體為承載托盤或承載卷帶。10.如權(quán)利要求1所述的粘合設(shè)備，其特征在于，所述第一吸附裝置位于緩沖區(qū)，所述粘合設(shè)備進一步包含: 第一移動裝置，其連接所述第三吸附裝置，用以帶動所述第三吸附裝置移動于所述緩沖區(qū)與涂膠區(qū)之間，所述涂膠裝置在所述涂膠區(qū)內(nèi)對所述多個第一物件進行涂膠；以及 第二移動裝置，其連接所述第二吸附裝置，用以帶動所述第二吸附裝置移動于所述涂膠區(qū)與粘合區(qū)之間，所述取放裝置在所述粘合區(qū)內(nèi)將所述多個第二物件放置至所述多個第一物件上。11.如權(quán)利要求10所述的粘合設(shè)備，其特征在于，所述粘合設(shè)備進一步包含第三移動裝置，所述第三移動裝置連接所述涂膠裝置，用以帶動所述涂膠裝置相對所述第二吸附裝 置水平移動。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種粘合設(shè)備，其包含第一吸附裝置、第二吸附裝置、第三吸附裝置、涂膠裝置及取放裝置。第一吸附裝置包含第一吸附平臺，用以吸附多個第一物件。第二吸附裝置包含第二吸附平臺。第三吸附裝置包含第三吸附平臺，用以將第一物件由第一吸附平臺同時吸起，并放置至第二吸附平臺。第一物件隨即被第二吸附平臺吸附。涂膠裝置用以對被第二吸附平臺吸附的第一物件進行涂膠。取放裝置用以依序拾取多個第二物件，并分別放置至經(jīng)涂膠的物件上，使得第一物件分別與第二物件粘合。本發(fā)明的粘合設(shè)備解決了排列第一物件花費最多時間的問題，并且容易加工；涂膠裝置的針頭在第二吸附平臺上涂膠時也不會發(fā)生碰撞損壞的問題，且涂膠時間也可縮短。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號】CN105097610
【申請?zhí)枴緾N201410316917
【發(fā)明人】陳勇吉, 陳金圣
【申請人】陳勇吉, 陳金圣
【公開日】2015年11月25日
【申請日】2014年7月4日