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可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺(tái)的制作方法

文檔序號(hào):11406931閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺(tái),其特征在于:包括外殼、底座、若干載物臺(tái)、若干側(cè)方螺釘、若干底部螺釘,所述底座設(shè)置在外殼下方并與外殼相連接以支撐外殼,所述外殼內(nèi)設(shè)置有放置槽,所述放置槽內(nèi)間隔設(shè)置有若干載物臺(tái),所述放置槽底部設(shè)置有若干螺孔A,所述外殼前后側(cè)壁設(shè)置有若干螺孔B,所述底部螺釘一端貫穿螺孔A并與載物臺(tái)相連接,底部螺釘與螺孔A螺紋連接,載物臺(tái)能經(jīng)底部螺釘帶動(dòng)相對(duì)放置槽上下升降,所述側(cè)方螺釘一端貫穿螺孔B并伸入放置槽內(nèi)并位于載物臺(tái)正上方,側(cè)方螺釘與螺孔B螺紋連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺(tái),其特征在于:所述載物臺(tái)包括載物板,載物板底面中部設(shè)置有底柱,底部螺釘上端與底柱轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺(tái),其特征在于:所述底柱內(nèi)設(shè)置有圓孔,底部螺釘上端伸入圓孔內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺(tái),其特征在于:所述載物臺(tái)前后側(cè)面與槽體前后側(cè)壁之間的縫隙不超過0.5mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺(tái),其特征在于:所述外殼內(nèi)對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)放置槽,位于外殼前側(cè)的側(cè)方螺釘伸入前側(cè)的放置槽內(nèi),位于外殼后側(cè)的側(cè)方螺釘伸入后側(cè)的放置槽內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺(tái),其特征在于:每個(gè)放置槽內(nèi)間隔設(shè)置5個(gè)載物臺(tái)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任意一項(xiàng)所述的可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺(tái),其特征在于:所述載物臺(tái)上涂覆有導(dǎo)電膠。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-6任意一項(xiàng)所述的可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺(tái),其特征在于:所述外殼、底座、載物臺(tái)均為鋁合金材質(zhì)。

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